JP7227574B2 - グラビアロール、グラビアロールの製造方法、グラビア印刷装置および積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＨＩＰ層を有するグラビアロール、ＨＩＰ層を有するグラビアロールの製造方法、ＨＩＰ層を有するグラビアロールを具備したグラビア印刷装置およびＨＩＰ層を有するグラビアロールにより製造される積層セラミック電子部品に関する。

グラビアロールは近年、各種電子機器の配線、電極、画素などの印刷形成に使用されるようになっている。例えば、特開２０１３－１８０４０４号公報（特許文献１）にはそのようなグラビア印刷装置が記載されている。積層セラミック電子部品の製造に係るグラビア印刷装置について図面を用いて説明する。

図５は現在一般的に採用されている積層セラミック電子部品の製造に係るグラビア印刷装置の模式図である。図５を用いて積層セラミック電子部品の製造に係るグラビア印刷装置を説明すると、グラビア印刷装置１０１は、グラビアロール１０２と、圧胴１０３と、タンク１０８と、ドクターブレード１０５と、を含んでいる。

図５に示す例において、グラビアロール１０２および圧胴１０３は、それぞれ、矢印１１０ａおよび１１０ｂ方向に回転し、それによって、被印刷シート１０４は矢印１１０ｃ方向へ搬送される。
グラビア印刷装置１０１は、たとえば図７に図示している積層セラミックコンデンサ１１３のような積層セラミック電子部品を製造するために用いられるものである。

グラビアロール１０２は回転しながら印刷媒体である導電性ペースト１０９が供給されるタンク１０８内に浸漬される。導電性ペースト１０９に浸漬される間、グラビアロール１０２に形成されたグラビアセル１０６の内部に導電性ペースト１０９ａが浸され、上記グラビアセル１０６は、回転するグラビアロール１０２に従って圧胴１０３に向かうようになる。

グラビアロール１０２の表面に形成されたグラビアセル１０６を満たす量を超える余剰の導電性ペースト１０９は、ドクターブレード１０５によって搾り取られる。また、グラビアセル１０６に満たされた導電性ペースト１０９ａは、グラビアロール１０２と圧胴１０３とが接触する地点において被印刷シート１０４に転写される。

被印刷シート１０４は、グラビア印刷法が適用されることができる多様な電子部品製造のためのシートであることができるが、図６に図示している誘電体セラミック材料を用いて作成されたセラミックグリーンシート１１１を用いることができる。

被印刷シート１０４はセラミックグリーンシート１１１が、図６に示す例のように、キャリアフィルム１１２によって裏打ちされた状態にある。そして、図６に示す例のように、セラミックグリーンシート１１１上に、パターニングされた内部電極となるべき導電性ペースト膜１０７がグラビア印刷によって形成されるのである。

次に、積層セラミック電子部品の製造方法について説明するが、それは例えば特開２００４－３０３７４８号公報（特許文献２）に開示されている。図７は、積層型セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す図解図である。積層セラミックコンデンサ１１３は、基体１２０を含む。基体１２０は、複数の誘電体セラミック層１１６を含み、隣接する誘電体セラミック層１１６間に内部電極１１５ａ，１１５ｂが形成される。

一方の内部電極１１５ａの一端側は、基体１２０の対向する端部の一方側に引き出され、内部電極１１５ａの他端側は、基体１２０の対一向する端部の他方側近傍まで延びるように形成される。また、他方の内部電極１１５ｂの一端側は、基体１２０の対向する端部の他方側に引き出され、内部電極１１５ｂの他端側は、基体１２０の対向する端部の一方側近傍まで延びるように形成される。

これらの内部電極１１５ａ，１１５ｂは、基体１２０の厚み方向において、交互に配置される。したがって、基体１２０の内部において、内部電極１１５ａ，１１５ｂが重なり合い、隣接する内部電極１１５ａ，１１５ｂが、基体１２０の反対側の端部に引き出される。基体１２０の両端部には外部電極１１４ａ，１１４ｂが形成され、外部電極１１４ａ，１１４ｂには、それぞれ内部電極１１５ａ，１１５ｂが接続される。したがって、外部電極１１４ａ，１１４ｂ間に静電容量が形成される。

図７に図示したような積層セラミックコンデンサ１１３を作製するには、キャリアフィルム１１２に裏打ちされたセラミックグリーンシート１１１上に、導電性ペースト層１０７を印刷することにより、内部電極１１５ａ，１１５ｂの形状の電極パターンが形成される。内部電極１１５ａ，１１５ｂの形状の電極パターンを有するセラミックグリーンシート１１１を積層し、その両側に電極パターンのないセラミックグリーンシートを積層して圧着することにより、積層体が作製される。

得られた積層体を切断することにより、内部電極１１５ａ，１１５ｂの形状の電極パターンが交互に積層されたチップが形成される。得られたチップを例えばバレル研磨し、内部電極１１５ａ，１１５ｂの引出し部を露出させるとともに、必要に応じて基体１２０の角部に丸みが形成される。そして、内部電極１１５ａ，１１５ｂが露出した基体１２０の端部に導電性ペーストを塗布し、焼結することによって、外部電極１１４ａ，１１４ｂが形成される。

このようにして積層セラミック電子部品は製造されるが、その製造工程から理解できるように、積層セラミック電子部品の製造にグラビア印刷法を利用する場合、グラビアロールに形成されたグラビアセルの精密度や保形性によって導電性ペースト層の印刷品質が大きく左右されるということである。そのため、製造された積層セラミック電子部品の品質も導電性ペースト層の印刷品質によって決定されることとなる。

なお、本発明でいうグラビアセルの精密度とは、例えば積層セラミックコンデンサの静電容量、導電性ペーストの粘性度、グラビアセルからの導電性ペーストの離形性等を考慮して設計されたグラビアセルの最適な形状のことである。また、グラビアセルの保形性とは、最適な形状設計により形成されたグラビアセルの形状がそのままの状態で保持されていることである。したがって、保形性が維持されているとはグラビアセルの形状が長期にわたって破損、腐食することなく継続的にそのままの形状で維持されている状態をいう。

グラビアセルの精密度に関しては、例えば特開２０１２－１３１２２７号公報（特許文献３）にその重要性が記載されている。
そこには、「グラビア印刷法で積層セラミック電子部品用内部電極パターンを印刷する際、印刷面全体における内部電極パターンの均一性のみならず、各パターン内部の微視的な均一性が求められる。従って、積層セラミック電子部品の製造においては印刷品質を決定するグラビアセルの精密な形状設計が非常に重要となる。」と記載されている。

さらに、「グラビアセルの形状をどのように設計するかにより、印刷にじみの発生の有無、印刷パターン表面のレベリング特性が決定される。印刷パターンがにじみ、レベリング特性が良くなくなり、厚さが均一でないと、積層セラミック電子部品の容量偏差が非常に大きくなる。容量偏差を減少させて信頼性が高い高品質の積層セラミック電子部品を製造するためには、グラビアロールに形成されたグラビアセルの精密度を実現する形状設計が重要である」と記載されている。そして、グラビアセルの精密度を達成できるグラビアセルの形状設計として、図８（ａ）に図示しているようなグラビアセルを発明している。

また、例えば特開２０１０－１０５２４５号公報（特許文献４）には、「印刷物が電子回路などの場合には、使用する導電性インキが高粘度（硬い）の場合には、従来のグラビアロールを用いて細線を印刷形成すると、各ドットが隣接しているドットと不連続となる場合があり、このような場合には、製品に不良品が発生する。これに対して低粘度で流動性の高いインキを使用すれば、各ドットが変形し、各ドットが連続するが、この場合には極細線を隣接して印刷する場合には、極細線同士のショートが発生する畏れがある。」と記載されている。そして、グラビアセルの精密度を達成できるグラビアセルの形状設計として、図８（ｂ）に図示しているような積層セラミック電子部品の製造に係るグラビアセルを発明している。

このようにグラビアセルの精密度はグラビアセルの精密な形状設計に基づくグラビアセルを形成することにより導電性ペースト層の印刷品質の高度化を達成できる。一方、そのグラビアセルの保形性を維持するための構成としては、現在、一般的に版母材の表面に設けられかつ表面に多数のグラビアセルが形成された銅メッキ層と、その銅メッキ層の周面を被覆するクロムメッキ層という構成が多く採用されている。

図９を用いてその構成を説明すると、積層セラミック電子部品の内部電極１１５ａ、１１５ｂとなる導電性ペースト層１０７を形成するためのグラビアセルは、アルミニウムや鉄などの金属製中空ロールである版母材１１７の周面に版面形成用銅メッキ層１１８を設け、この銅メッキ層１１８にエッチング法や電子彫刻法によって、製版情報に応じて多数のグラビアセル１０６を形成し、次いでグラビアロール１０２の耐刷力を向上させるためにクロムメッキ層１１９を形成している。

なお、最近はクロムメッキ層に代えてあるいはさらに追加して、ニッケル合金メッキ層、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ－Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）層、あるいは超硬合金層という構成が採用されている場合も多い。特開２００８－０４５２０６号公報（特許文献５）にはクロムメッキ層に代えてニッケル合金メッキ層を形成した構成が開示されている。

特開２０１３－１８０４０４号公報 特開２００４－３０３７４８号公報 特開２０１２－１３１２２７号公報 特開２０１０－１０５２４５号公報 特開２００８－０４５２０６号公報

しかしながら、現実の問題として、現在採用されている銅メッキ層に製版情報に応じて多数のグラビアセルを形成し、次いでグラビアロールの耐刷力を向上させるためにクロムメッキ層を形成した構成を採用しても、またクロムメッキ層に代えてあるいはさらに追加して、ニッケル合金メッキ層、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ－Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）層、あるいは超硬合金層という構成を採用したとしても、直ぐにグラビアセルが欠損したり腐食したりして、そのグラビアセルの保形性は３か月程度であり、そのため頻繁にグラビアロールを交換しなければならないという課題があった。

グラビアセルの精密度を形状設計により達成できたとしても、そのグラビアセルそのものの保形性が継続的に長期にわたって維持できないので、積層セラミック電子部品の品質を高度に達成させるために、短期的に頻繁にグラビアロールを交換しないといけないという問題が従来から存在し、いままで解決できないでいた。

ＩＴ技術が社会のあらゆる分野に浸透しつつある現在、ＩＴ技術の基本的な部品である積層セラミック電子部品の需要が増大している。その需要に対応するためには、積層セラミック電子部品の高度な品質と達成するために必要なグラビアセルの精密度と保形性に関し、特に保形性の長期的な継続性が求められていたのである。

このような問題を解決するために、本発明のグラビアロールは積層セラミック電子部品の積層構造物の一部である内部電極またはペースト膜を、被印刷シート上に形成するためのグラビア印刷機のグラビアロールであって、グラビアロールはクロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる中空円柱状の版母材と、ニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理して該版母材の少なくとも側面に形成したＨＩＰ層とからなり、該ＨＩＰ層に、内部電極またはペースト膜の形成に係る導電性ペーストが付与されるグラビアセルを形成したことを特徴とする。

このように、グラビアセルの精密度を達成できるグラビアセルの形状設計に基づいてＨＩＰ層に直接グラビアセルを形成することにより、グラビアセルの形状が有するエッジ部分が破損、腐食することなく、導電性ペーストの離形性等のグラビアセルの精密度を長期にわたって維持できることとなる。

また、本発明のグラビアロールの製造方法は、金属性の版母材と、その版母材の少なくとも側面に形成されるＨＩＰ層と、そのＨＩＰ層に形成されるグラビアセルを備えるグラビアロールの製造方法であって、クロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる円柱状の版母材用部材の製作工程と、該版母材用部材の側面にニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理してＨＩＰ層を形成するＨＩＰ層形成工程と、該版母材用部材に断面円形状の空洞を軸方向に形成するとともに版母材用部材の両端部にグラビアロールの軸部を固定するための段部分を形成する版母材形成工程と、該ＨＩＰ層にエッチング法や電子彫刻法によって製版情報に応じてグラビアセルを形成するグラビアセル形成工程と、該版母材の両端に設けた段部分にグラビアロールの軸部を固定する軸部固定工程と、を備えることを特徴とする。

このような製造工程に構成することによって、版母材とＨＩＰ層を一体化させることが出来るとともに、軸部の固定位置を版母材の段部分に限定することによって、グラビアロールの軽量化を目的としてＨＩＰ層や版母材の厚さを必要に応じて変更したとしても、軸部を介した版母材の回転によるＨＩＰ層への影響をなくし、ＨＩＰ層に形成した製版情報に基づくグラビアセルの精密度を安定化させることが出来る。

また、本発明のグラビア印刷装置は、積層セラミック電子部品に備える積層構造物の一部をなすパターニングされた内部電極またはペースト膜を被印刷シート上にグラビア印刷によって形成するためのグラビア印刷装置であって、該内部電極またはペースト膜を与える導電性ペーストが付与されるグラビアセルをその周面上に形成しているグラビアロールと、該グラビアロールに対して、該被印刷シートを挟んで対向する圧胴とを備え、該グラビアロールは、クロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる中空円柱状の版母材の少なくとも側面に、ニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理して形成されたＨＩＰ層に備え、グラビアセルは該ＨＩＰ層に形成されていることを特徴とする。

このような印刷装置に構成することによって、グラビアセルの精密度を達成できるグラビアセルの形状設計に基づいてＨＩＰ層に直接グラビアセルを形成したグラビアロールを使用することにより、グラビアセルの精密度を長期にわたって維持できるので、被印刷シートに印刷される導電性ペースト層の品質を長期にわたって継続的に維持でき、積層セラミック電子部品の製造が安定する。

また、本発明の積層セラミック電子部品は、内部電極とセラミック層とを複数交互に積層形成した基体を部品本体とし、その基体の内部電極と電気的に導通する外部電極を基体の両端部に設ける積層セラミック電子部品であって、グラビアロールはクロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる中空円柱状の版母材の少なくとも側面に、ニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理して形成したＨＩＰ層を備え、導電性ペースト充填用のグラビアセルを該グラビアロールのＨＩＰ層の表面に形成し、該グラビアロールにより印刷形成した内部電極またはペースト膜を備えてなることを特徴とする。

このように構成することによって、ＨＩＰ層に形成されたグラビアセルの精密度と保形性が長期にわたり維持できるグラビアロールにより印刷された内部電極またはペースト膜を使用した積層セラミック電子部品であるので、常に積層セラミック電子部品の品質が保証され、また長期にわたって継続的に製造することが出来る。

以上の通り、本発明は版母材の側面に設けたＨＩＰ層にグラビアセルを形成したグラビアロールを使用して積層セラミック電子部品の内部電極やペースト膜を印刷する構成であるので、グラビアセルの精密度や保形性を長期にわたって維持することが出来、そのため積層セラミック電子部材の品質に不可欠な内部電極やペースト膜の印刷品質を常に最良の状態で作成することが出来るのである。

また、ＨＩＰ層自体には従来採用されていたメッキ層に比べて格段に優れた耐久性、耐腐食性を有しているのであるが、ＨＩＰ層によるグラビアセルの保形性の優れた機能を見出したことにより、グラビアロールの長期的な継続性を達成出来るようになったのであり、従来から課題であった頻繁なグラビアロールの交換を減少させることが出来たのである。

本発明の実施形態の一例によるグラビアロールを概略的に示す断面図である。 本発明の実施形態の一例によるグラビアロールを概略的に示す正面図である。 本発明の実施形態の一例によるグラビアロールの製造工程を模式的に表した図である。（ａ）版母材用部材にＨＩＰ層を形成した状態を模式的に表した断面図（ｂ）版母材用部材を中空状にした状態を模式的に表した断面図（ｃ）ＨＩＰ層の表面にグラビアセルを形成した状態を模式的に表した断面図（ｄ）版母材に軸部を固定手段により取り付ける状態を模式的に表した断面図。 本発明の実施形態の一例によるグラビアロールに形成されたグラビアセルの断面図である。（ａ）導電性ペーストが充填されていない状態（ｂ）導電性ペーストが充填されている状態。 グラビア印刷装置を概略的に表した正面図である。 図５に示したグラビア印刷装置によって、キャリアフィルムに裏打ちされたセラミックグリーンシート上に導電性ペースト層が形成された状態を示す断面図である。 積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す図解図である。 グラビアセルの精密度を達成したセルパターンを表した図である。 版母材の銅メッキ層にグラビアセルを形成した状態にクロムメッキ層を形成した状態を示す従来のグラビアセルの断面図である。

本発明のグラビアロールの具体化した形態について、図１、図２、図３．図４を用いて説明する。

図１は本発明の実施形態の一例によるグラビアロールを概略的に示す断面図である。グラビアロール１は中空円柱状の版母材２の側面にＨＩＰ層３が形成されている。ＨＩＰ層には製版情報に応じて形成された多数のグラビアセル６が設けられている。グラビアセルが設けられたＨＩＰ層のみによって導電性ペースト層を印刷できるように構成している。中空円柱状の版母材２の両端にはグラビアロールの軸部４を固定手段５によって固定するための段部分２ａが形成されている。図２には、グラビアロールを概略的に示す正面図を図示している。

図１、図２に図示しているグラビアロールの製造方法について図３を用いて説明する。図３は、本発明の実施形態の一例によるグラビアロールの製造工程を模式的に表した図である。

最初の製造工程は、円柱状の版母材用部材１２ａを製作する。版母材１２ａにはＨＩＰ層の合金粉末に使用されるニッケル系合金粉末又はコバルト系合金粉末と熱膨張率が近いクロムモリブデン鋼やオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼が好ましい。特に中空状への加工性や経済性からクロムモリブデン鋼、さらに好ましくはＳＣＭ４４０が使用される。

次の製造工程は、作成した版母材用部材１２ａの側面にニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理してＨＩＰ層１３ａを形成する。ＨＩＰ層の厚さは３ｍｍ程度が一般的である。その段階の状態を図示したのが図３（ａ）である。

ＨＩＰ層１３ａに採用されるニッケル系合金粉末として好ましいものの構成元素比率としては、ニッケル６９．７５重量％、クロム１６．５重量％、ホウ素３．３重量％、珪素４．０重量％、炭素０．６５重量％、鉄３．５重量％、モリブデン３．０重量％及び銅２．３重量％からなるものである。他の好ましいニッケル系合金粉末は、ニッケル５８．２重量％、クロム１８．０重量％、ホウ素３．３重量％、珪素３．７重量％、炭素０．８重量％、鉄１．５重量％、モリブデン２．５重量％及びタングステン１２．０重量％からなるものである。更に他の好ましいニッケル系合金粉末は、ニッケル５０．０５重量％、クロム１９．０重量％、ホウ素３．０重量％、珪素３．１重量％、炭素０．８５重量％、鉄１．５重量％、モリブデン２．５重量％及びタングステン２０．０重量％からなるものである。なお、ＨＩＰ層を形成する合金設計において、グラビアセルの耐食性や耐摩耗性に影響を与える導電性ペーストに含有されているフッ素を考慮して、複合ポライドを含有させているニッケル系合金粉末を採用してもよい。

一方、ＨＩＰ層１３ａに採用されるコバルト系合金粉末として好ましいものの構成元素比率としては、コバルト４５．７重量％、クロム１９．０重量％、タングステン１５．０重量％、銅１．３重量％、ニッケル１３．０重量％、ホウ素３．０重量％及び珪素３．０重量％からなるものである。

次の製造工程は先ず版母材用部材１２ａに断面円形状の空洞を軸方向に形成する。そして、版母材用部材の両端部にグラビアロールの軸部を固定する段部分を形成した版母材１２ｂを製造する。この段階の状態を図示したのが図３（ｂ）である。

次の製造工程はＨＩＰ層１３ａにエッチング法や電子彫刻法によって製版情報に応じてグラビアセルを形成したＨＩＰ層１３ｂとする。この段階の状態を図示したのが図３（ｃ）である。

ＨＩＰ層１３ａにグラビアセルを形成する方法として、従来から銅メッキ層にグラビアセルを形成する方法として採用されているエッチング法や電子彫刻法をそのまま使用することが出来る。また、ＨＩＰ層に形成するグラビアセルの大きさや深さについても、グラビアセルの精密度を実現する形状設計に基づいて決定することが出来、ＨＩＰ層に対して特別な形状設計が必要となるわけではない。

次の製造工程は、版母材１２ｂの両端に設けた段部分にグラビアロールの軸部１４ａを固定手段１５で固定する。この段階の状態を図示したのが図３（ｄ）である。形状的には軸部１４ａを版母材１２ｂの両端に設けられた凹部に挿入することになるが、軸部１４ａの凹部への挿入部分の形状と凹部の形状はグラビアロールの回転にとって有効な形状が採用される。

以上説明した本発明のＨＩＰ層を形成したグラビアロールを設けたグラビア印刷装置を使用して積層セラミックコンデンサの内部電極を印刷した場合について説明する。グラビア印刷装置は、グラビアロール１と、圧胴と、タンクと、ドクターブレードと、を含んでいる。

グラビアロール１は回転しながら印刷媒体である導電性ペーストが供給されるタンク内に浸漬される。導電性ペーストに浸漬される間、グラビアロール１に形成されたグラビアセルの内部に導電性ペーストが浸され、グラビアセル１は、回転するグラビアロールに従って圧胴に向かうようになる。グラビアロール１の表面に形成されたグラビアセルを満たす量を超える余剰の導電性ペーストは、ドクターブレードによって搾り取られる。また、グラビアセルに満たされた導電性ペーストは、グラビアロール１と圧胴とが接触する地点において被印刷シートに転写される。セラミックグリーンシート上に、積層セラミックコンデンサ用のパターニングされた内部電極となるべき導電性ペースト膜がグラビア印刷によって形成される。

本発明のグラビアロールを備えたグラビア印刷装置を使用した場合の特徴について図４を用いて説明する。図４（ａ）は導電性ペーストが充填されていない状態を図示しているが、この図からも分かる通り、版母材の側面に形成されているのはＨＩＰ層のみであり、印刷の品質を左右するグラビアセルの精密度を実現させる形状設計に基づいたグラビアセルを直接ＨＩＰ層に形成している構成である。そのように構成されたＨＩＰ層のグラビアセルに導電性ペーストが充填されている状態が図４（ｂ）である。このような状態において、ＨＩＰ層のグラビアセルに充填されている導電性ペーストが被印刷シートのセラミックグリーンシートに転写印刷されるようにＨＩＰ層が形成されている。

このように構成することにより、印刷の品質を左右するグラビアセルの精密度を実現させる形状設計に基づいて形成されたグラビアセルの保形をＨＩＰ層が長期にわたって維持できることとなり、その結果、グラビアロールを長期にわたって継続的に使用することが出来、頻繁にグラビアロールの交換をする必要がなくなるのである。理論的には、銅メッキ層にクロムメッキ層を施したグラビアロールが３か月で交換する必要があるのであれば、ＨＩＰ層を形成したグラビアロールは１年以上交換する必要がない。

本実施の形態では積層セラミックコンデンサの製造方法を例に説明したが、積層構造を有する積層バリスタ、積層コイル及び多層基板等のセラミック電子部品の製造方法にも本発明を適用することができるものである。

１ グラビアロール
２ 版母材
２ａ 段部分
３ ＨＩＰ層
４ 軸部
５ 固定手段
６ グラビアセル
７ 導電性ペースト
１２ａ 版母材用部材
１２ｂ 中空化された版母材用部材
１３ａ ＨＩＰ層
１３ｂ グラビアセルが形成されたＨＩＰ層
１４ａ 軸部
１５ 固定手段
１０１ グラビア印刷装置
１０２ グラビアロール
１０３ 圧胴
１０４ 被印刷シート
１０５ ドクターブレード
１０６ グラビアセル
１０７ 導電性ペースト層
１０８ タンク
１０９ 導電性ペースト
１０９ａ 導電性ペースト
１１１ セラミックグリーンシート
１１２ キャリアフィルム
１１３ 積層セラミックコンデンサ
１１４ 外部電極
１１５ 内部電極
１１６ 誘電体セラミック層
１１７ 版母材
１１８ 銅メッキ層
１１９ クロムメッキ層
１２０ 基体

Claims (4)

1. 積層セラミック電子部品の積層構造物の一部である内部電極またはペースト膜を、被印刷シート上に形成するためのグラビア印刷機のグラビアロールであって、
   グラビアロールはクロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる中空円柱状の版母材と、ニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理して該版母材の少なくとも側面に形成したＨＩＰ層とからなり、
   該ＨＩＰ層に、内部電極またはペースト膜の形成に係る導電性ペーストが付与されるグラビアセルを形成したことを特徴とするグラビアロール。
2. 金属性の版母材と、その版母材の少なくとも側面に形成されるＨＩＰ層と、そのＨＩＰ層に形成されるグラビアセルを備えるグラビアロールの製造方法であって、
   クロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる円柱状の版母材用部材の製作工程と、
   該版母材用部材の側面にニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理してＨＩＰ層を形成するＨＩＰ層形成工程と、
   該版母材用部材に断面円形状の空洞を軸方向に形成するとともに該版母材用部材の両端部にグラビアロールの軸部を固定するための段部分を形成する版母材形成工程と、
   該ＨＩＰ層にエッチング法や電子彫刻法によって製版情報に応じてグラビアセルを形成するグラビアセル形成工程と、
   該版母材の両端に設けた段部分にグラビアロールの軸部を固定する軸部固定工程と、を備えることを特徴とするグラビアロールの製造方法。
3. 積層セラミック電子部品に備える積層構造物の一部をなすパターニングされた内部電極またはペースト膜を被印刷シート上にグラビア印刷によって形成するためのグラビア印刷装置であって、
   内部電極またはペースト膜を与える導電性ペーストが付与されるグラビアセルをその側面上に形成しているグラビアロールと、
   該グラビアロールに対して、該被印刷シートを挟んで対向する圧胴と
   を備え、
   該グラビアロールは、クロムモリブデン鋼またはオーステナイト／フェライト系ステンレス鋼からなる中空円柱状の版母材の少なくとも側面に、ニッケル系合金又はコバルト系合金からなる合金粉末を熱間等方圧加圧処理して形成されたＨＩＰ層を備え、
   グラビアセルは該ＨＩＰ層に形成されていることを特徴とするグラビア印刷装置。
4. 請求項３に記載のグラビア印刷装置を用いてパターニングされた内部電極またはペースト膜を該被印刷シート上に形成する工程が実施されることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。

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