JP7223625B2 - ダイアフラム、及び流体機器 - Google Patents

Description

本発明は、ダイアフラム、及び流体機器に関する。

半導体、液晶、有機ＥＬ等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる薬液の流れを制御する流体制御弁として、例えば特許文献１の図８に記載されたものが知られている。この流体制御弁は、ボディの入力ポートと出力ポートとの間に設けられた弁座に対して、ダイアフラム弁体が当接または離間することで、入力ポートから出力ポートへの薬液の流れを制御している。ダイアフラム弁体は、その周縁固定部の凸部を、ボディの内側シール部の外側に形成された圧入溝に圧入することによってボディ内の薬液が外部に漏れるのを抑制している。

特開２０１１－２１４７１３号公報

前記流体制御弁では、ダイアフラム弁体の周縁固定部に形成されたダイアフラム側テーパ面（弁体側テーパ面）を、ボディの内側シール部に形成されたボディ側テーパ面に当接させることにより、前記凸部を前記圧入溝に圧入したときに前記内側シール部が軸心側に倒れ込むのを抑止している。しかし、弁体側テーパ面とボディ側テーパ面との間には、両テーパ面の当接部分よりも軸心側に隙間が生じるため、その隙間に流体制御弁の内部を通過する薬液が入り込んで残存する場合がある。この場合、流体制御弁の内部を通過する薬液の種類が変わったときに、前記隙間に残存した薬液が汚染源となり、特にクリーンな環境が求められる半導体の製造工程において問題となることがあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制できるダイアフラム、及び流体機器を提供することを目的とする。

（１）本発明のダイアフラムは、ボディに固定される固定部と、前記固定部に一体に接続された可撓性を有する薄膜部と、を備え、前記薄膜部の一面が前記ボディ内の流体と接触する、ダイアフラムであって、前記固定部は、前記ボディに形成された筒状のシール溝に圧入される筒状の圧入部と、前記圧入部よりもその軸心側に形成され、前記圧入部の基端側から突出端側へ向かう方向に延びるにつれて前記軸心側へ近づくように傾斜したダイアフラム側テーパ面と、を有し、前記圧入部が前記シール溝に圧入された状態で、前記ダイアフラム側テーパ面の前記軸心に対する傾斜角度が、前記ボディにおいて前記ダイアフラム側テーパ面と同じ方向に傾斜して形成されたボディ側テーパ面の前記軸心に対する傾斜角度よりも小さく、前記ダイアフラム側テーパ面及び前記ボディ側テーパ面のうち、一方のテーパ面における前記軸心側の端部が他方のテーパ面に当接する。

本発明によれば、ダイアフラムの圧入部がボディのシール溝に圧入された状態で、ダイアフラム側テーパ面の傾斜角度が、ボディ側テーパ面の傾斜角度よりも小さく、これら両テーパ面のうち、一方のテーパ面における軸心側の端部が他方のテーパ面に当接する。これにより、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との当接部分よりも軸心側において両テーパ面の間に隙間が形成されることはないので、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制することができる。

（２）前記一方のテーパ面が前記ダイアフラム側テーパ面であり、前記他方のテーパ面が前記ボディ側テーパ面であり、前記ダイアフラム側テーパ面の前記軸心側の端部が、前記ボディ側テーパ面の傾斜方向の途中部に当接するのが好ましい。
この場合、ダイアフラム側テーパ面の軸心側の端部がボディ側テーパ面の傾斜方向の端部に当接する場合に比べて、ダイアフラム側テーパ面の軸心側の端部をボディ側テーパ面に対して安定した状態で押し付けることができる。これにより、圧入部をシール溝に圧入したときに固定部が軸心側に倒れ込むのを確実に抑制することができる。

（３）前記固定部は、前記ダイアフラム側テーパ面よりも前記軸心側において前記ダイアフラム側テーパ面の前記端部に接続された、流体と接触する接液面をさらに有し、前記接液面は、前記ボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制する形状とされているのが好ましい。
この場合、ダイアフラム側テーパ面の前記端部の近傍において、接液面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制することができるので、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのをさらに抑制することができる。

（４）本発明の流体機器は、上記（１）～（３）のいずれかのダイアフラムと、前記ダイアフラムの固定部が固定されるボディと、を備える。
本発明によれば、ダイアフラムの圧入部がボディのシール溝に圧入された状態で、ダイアフラム側テーパ面の傾斜角度が、ボディ側テーパ面の傾斜角度よりも小さく、これら両テーパ面のうち、一方のテーパ面における軸心側の端部が他方のテーパ面に当接する。これにより、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との当接部分よりも軸心側において両テーパ面の間に隙間が形成されることはないので、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制することができる。

本発明によれば、ダイアフラム側テーパ面とボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係るダイアフラムを備えた流体制御弁を示す断面図である。 ダイアフラムの固定部とボディとの固定構造を示す拡大断面図である。 ダイアフラムの変形例を示す拡大断面図である。 ダイアフラムの他の変形例を示す拡大断面図である。 ダイアフラムのさらに他の変形例を示す拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係るダイアフラムを備えたダイアフラムポンプを示す断面図である。 図６のダイアフラムの固定部とボディとの固定構造を示す拡大断面図である。

［第１実施形態］
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るダイアフラムを備えた流体制御弁を示す断面図である。図１において、流体制御弁１は、例えば、半導体製造装置で使用される配管経路において薬液（流体）の流れを制御する流体機器である。流体制御弁１は、ボディ部１０と、アクチュエータ部２０とを備えている。

ボディ部１０は、薬液を外部から流入する入力ポート１１と、薬液を外部へ流出する出力ポート１２と、入力ポート１１と出力ポート１２の間に形成された弁座１３とを有している。なお、入力ポート１１及び出力ポート１２のそれぞれには、スリーブ５ａとユニオンナット５ｂとを有する管継手５が設けられている。

アクチュエータ部２０は、シリンダ２１、ピストン２２、シャフト２３、蓋部材２４、ばね２５、ハンドル２６、及びダイアフラム３０を備えている。
シリンダ２１は、例えば円筒状に形成され、その軸心Ｃを上下方向に向けた状態で配置されている。シリンダ２１内には、ピストン２２がシリンダ２１と同軸上に配置された状態で上下方向に往復移動するように収容されている。なお、流体制御弁１は、シリンダ２１の軸心Ｃを上下方向以外の方向に向けた状態で使用されるものであってもよい。

ピストン２２の下側には、ダイアフラム３０の弁体部３１が固定されている。ダイアフラム３０は、例えばフッ素樹脂からなり、ボディ部１０の弁座１３に対して当接又は離間する前記弁体部３１と、ボディ部１０に固定される固定部３２と、弁体部３１と固定部３２とを接続している可撓性を有する薄膜部３３とを有している。薄膜部３３の下面（一面）３３ａは、薬液と接触する接液面とされている（図２参照）。固定部３２の詳細については後述する。

ピストン２２の上側には、当該ピストン２２と同軸上に配置されて上方に延びるシャフト２３が一体に形成されている。シャフト２３の上端部は、シリンダ２１の上端部に固定された蓋部材２４を、遊びをもって貫通してシリンダ２１の上方に突出している。シリンダ２１内における蓋部材２４とピストン２２との間には、ばね２５がシャフト２３に挿入して配置されている。これにより、ばね２５は、ピストン２２とシャフト２３を下方に押圧付勢している。

シリンダ２１の上端部の外周には雄ねじ部２１ａが形成されており、この雄ねじ部２１ａにはハンドル２６の内周に形成された雌ねじ部２６ａが螺合されている。ハンドル２６の中央部には、シャフト２３の上端部が遊びをもって貫通している。シャフト２３のハンドル２６よりも上方に突出している部分には鍔部材２７が固定されている。これにより、ハンドル２６を回転させてシリンダ２１に対して上方へ移動させると、ハンドル２６が鍔部材２７の下面に当接することで、シャフト２３が持ち上げられるようになっている。

以上の構成により、ハンドル２６を緩める方向に回転操作すると、ハンドル２６がシリンダ２１に対して上方へ移動することで、シャフト２３がハンドル２６と共に上方へ持ち上げられる。そうすると、ピストン２２がばね２５の付勢力に抗して上方へ移動し、ダイアフラム３０の弁体部３１が弁座１３から上方へ離間する。これにより、ボディ部１０内において入力ポート１１から出力ポート１２に向かって流れる薬液の流量が増加する。

一方、ハンドル２６を締め付ける方向に回転操作すると、ハンドル２６がシリンダ２１に対して下方へ移動することで、ハンドル２６によるピストン２２の持ち上げ力が解除される。そうすると、ピストン２２がばね２５の付勢力により下方へ移動し、ダイアフラム３０の弁体部３１が弁座１３に当接するまで下方へ移動する。これにより、ボディ部１０内において入力ポート１１から出力ポート１２に向かって流れる薬液の流量が減少する。

図２は、ダイアフラム３０の固定部３２とボディ部１０との固定構造を示す拡大断面図である。図２において、ボディ部１０は、ダイアフラム３０が固定される被固定部１４を有している。被固定部１４には、上方に開口するシール溝１５が形成されている。シール溝１５は、例えば円筒状に形成されており、その軸心はシリンダ２１の軸心Ｃ上に配置されている。

ダイアフラム３０の固定部３２は、下方に突出して被固定部１４のシール溝１５に圧入される圧入部３４を有している。圧入部３４は、例えば円筒状に形成されており、その軸心はシリンダ２１の軸心Ｃ上に配置されている。圧入部３４の外周面３４ａおよび内周面３４ｂは、シール溝１５の外周面および内周面にそれぞれに密着するシール面とされている。これにより、ボディ部１０内の薬液が被固定部１４と固定部３２との間から外部に漏れるのを抑制している。

ボディ部１０の被固定部１４には、シール溝１５の開口から軸心Ｃ側に向かって、第１ボディ側テーパ面１６、ボディ側平坦面１７、第２ボディ側テーパ面（ボディ側テーパ面）１８、及びボディ側接液面１９がこの順に連続して形成されている。なお、被固定部１４には、少なくとも、第２ボディ側テーパ面１８とボディ側接液面１９が形成されていればよい。

第１ボディ側テーパ面１６は、シール溝１５の底部から開口へ向かう方向（図２の上方向）に延びるにつれて軸心Ｃ側へ近づくように傾斜して形成されている。ボディ側平坦面１７は、軸心Ｃに対して垂直に形成されている。第２ボディ側テーパ面１８は、シール溝１５の開口から底部へ向かう方向（図２の下方向）に延びるにつれて軸心Ｃ側へ近づくように傾斜して形成されている。ボディ側接液面１９は、ボディ部１０内の薬液と接触する面であり、軸心Ｃと平行に形成されている。

ダイアフラム３０の固定部３２には、圧入部３４の内周面３４ｂから軸心Ｃ側に向かって、第１ダイアフラム側テーパ面３６、ダイアフラム側平坦面３７、第２ダイアフラム側テーパ面（ダイアフラム側テーパ面）３８、及びダイアフラム側接液面（接液面）３９がこの順に連続して形成されている。なお、固定部３２には、少なくとも、第２ダイアフラム側テーパ面３８とダイアフラム側接液面３９が形成されていればよい。

第１ダイアフラム側テーパ面３６は、圧入部３４の突出端側から基端側へ向かう方向（図２の上方向）に延びるにつれて軸心Ｃ側へ近づくように傾斜して形成されている。第１ダイアフラム側テーパ面３６の軸心Ｃに対する傾斜角度は、第１ボディ側テーパ面１６の軸心Ｃに対する傾斜角度と同一とされ、第１ダイアフラム側テーパ面３６の大部分は、第１ボディ側テーパ面１６に面接触している。ダイアフラム側平坦面３７は、軸心Ｃに対して垂直に形成されており、ボディ側平坦面１７に対して隙間をあけて対向している。

第２ダイアフラム側テーパ面３８は、圧入部３４の基端側から突出端側へ向かう方向（図２の下方向）に延びるにつれて軸心Ｃ側へ近づくように傾斜して形成されている。第２ダイアフラム側テーパ面３８の軸心Ｃに対する傾斜角度θ１は、第２ボディ側テーパ面１８の軸心Ｃに対する傾斜角度θ２よりも小さい。また、第２ダイアフラム側テーパ面３８のダイアフラム側平坦面３７からダイアフラム側接液面３９までの傾斜方向の長さは、第２ボディ側テーパ面１８のボディ側平坦面１７からボディ側接液面１９までの傾斜方向の長さよりも短い。

これにより、第２ダイアフラム側テーパ面３８の軸心Ｃ側の端部３８ａが、第２ボディ側テーパ面１８の傾斜方向の途中部に押し付けられるように当接するので、圧入部３４がシール溝１５に圧入されたときに固定部３２が軸心Ｃ側に倒れ込むのを抑制できる。
ここで、第２ダイアフラム側テーパ面３８の軸心Ｃ側の「端部」とは、第２ダイアフラム側テーパ面３８の軸心Ｃ側の端だけでなく、本発明の作用効果を奏する範囲において第２ダイアフラム側テーパ面３８の前記端の周辺部も含む意味である。

ダイアフラム側接液面３９は、ボディ部１０内の薬液と接触する面であり、第２ボディ側テーパ面１８との間に薬液が残存するのを抑制する形状とされている。具体的には、本実施形態のダイアフラム側接液面３９は、軸心Ｃと平行に形成された接液本体面３９ａと、接液本体面３９ａに対して傾斜している面取り面３９ｂとを有している。

接液本体面３９ａは、ボディ側接液面１９と同一面上に配置され、接液本体面３９ａの上端は、薄膜部３３の下面３３ａに接続され、接液本体面３９ａの下端は、面取り面３９ｂの上端に接続されている。面取り面３９ｂは、第２ボディ側テーパ面１８に対して垂直に形成され、面取り面３９ｂの下端は、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａに接続されている。

これにより、ダイアフラム側接液面３９の面取り面３９ｂと第２ボディ側テーパ面１８とによって区画形成された窪み２８は、その開口側が広くなるように断面Ｖ字状に形成されている。従って、ボディ部１０内の薬液は、窪み２８に入り込んでも、その開口から流出し易いため、窪み２８に薬液が残存するのを抑制することができる。

以上、本実施形態の流体制御弁１によれば、圧入部３４をシール溝１５に圧入した状態で、第２ダイアフラム側テーパ面３８の傾斜角度θ１が、第２ボディ側テーパ面１８の傾斜角度θ２よりも小さく、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａが第２ボディ側テーパ面１８に当接する。これにより、第２ダイアフラム側テーパ面３８と第２ボディ側テーパ面１８との当接部分よりも軸心Ｃ側において両テーパ面３８，１８の間に隙間が形成されることはないので、第２ダイアフラム側テーパ面３８と第２ボディ側テーパ面１８との間に流体が残存するのを抑制することができる。

また、第２ダイアフラム側テーパ面３８の軸心Ｃ側の端部３８ａが、第２ボディ側テーパ面１８の傾斜方向の途中部に当接するので、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａがボディ側テーパ面１８の傾斜方向の端部に当接する場合（図５参照）に比べて、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａを第２ボディ側テーパ面１８に対して安定した状態で押し付けることができる。これにより、圧入部３４をシール溝１５に圧入したときに固定部３２が軸心Ｃ側に倒れ込むのを確実に抑制することができる。

また、ダイアフラム側接液面３９は、第２ボディ側テーパ面１８との間に流体が残存するのを抑制する形状とされているので、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａの近傍において、ダイアフラム側接液面３９（面取り面３９ｂ）と第２ボディ側テーパ面１８との間に薬液が残存するのを抑制することができるので、第２ダイアフラム側テーパ面３８と第２ボディ側テーパ面１８との間に薬液が残存するのをさらに抑制することができる。

図３は、ダイアフラム３０の変形例を示す拡大断面図である。図３に示すように、本変形例のダイアフラム３０では、第２ダイアフラム側テーパ面３８のダイアフラム側平坦面３７からダイアフラム側接液面３９までの傾斜方向の長さが、第２ボディ側テーパ面１８のボディ側平坦面１７からボディ側接液面１９までの傾斜方向の長さよりも長い。このため、本変形例では、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａよりも上側（圧入部３４側）の部分が、第２ボディ側テーパ面１８の軸心Ｃ側の端部１８ａに押し付けられるように当接している。

図４は、ダイアフラム３０の他の変形例を示す拡大断面図である。図４に示すように、本変形例のダイアフラム３０では、ダイアフラム側接液面３９が、軸心Ｃと平行に形成された接液本体面３９ａと、接液本体面３９ａと第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａとを接続するＲ面取り面３９ｃとを有している。ダイアフラム側接液面３９のＲ面取り面３９ｃと第２ボディ側テーパ面１８とによって窪み２９が区画形成されている。本変形例では、上記実施形態と同様に、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａが、第２ボディ側テーパ面１８の傾斜方向の途中部に押し付けられるように当接している。

図５は、ダイアフラム３０のさらに他の変形例を示す拡大断面図である。図５に示すように、本変形例のダイアフラム３０では、ダイアフラム側接液面３９の全体が、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａから薄膜部３３の下面３３ａに向かうにつれて軸心Ｃ側に傾斜した傾斜面とされている。そして、第２ダイアフラム側テーパ面３８の端部３８ａは、第２ボディ側テーパ面１８の軸心Ｃ側の端部１８ａに押し付けられるように当接している。従って、本変形例では、ダイアフラム側接液面３９と第２ボディ側テーパ面１８との間に窪みは形成されないため、上記実施形態と比べて、ダイアフラム側接液面３９とボディ側テーパ面１８との間に薬液が残存するのをさらに抑制することができる。

［第２実施形態］
図６は、本発明の第２実施形態に係るダイアフラムを備えたダイアフラムポンプを示す断面図である。図６において、ダイアフラムポンプ５０は、例えば、半導体製造装置において薬液（流体）を送給する流体機器である。ダイアフラムポンプ５０は、シリンダ５１と、ボディ部５２と、ピストン５３と、シャフト５４と、ダイアフラム６０とを備えている。

シリンダ５１は、例えば円筒状に形成され、その軸心Ｃ’を上下方向に向けた状態で配置されている。なお、ダイアフラムポンプ５０は、シリンダ５１の軸心Ｃ’を上下方向以外の方向に向けた状態で使用されるものであってもよい。

ボディ部５２は、有蓋円筒形状に形成され、軸心Ｃ’と同軸上に配置されている。ボディ部５２は、シリンダ５１の軸方向上側にその開口を閉塞するように取り付けられている。ボディ部５２は、シリンダ５１と略同一の内径を有し、シリンダ５１と共にピストン５３を収容し得る収容空間を構成している。ボディ部５２には、薬液（流体）を貯溜する薬液タンク（図示省略）に接続される吸入口５２ａと、薬液を塗布する噴射ノズル等の薬液供給部（図示省略）に接続される吐出口５２ｂとが形成されている。

ピストン５３は、軸心Ｃ’と同軸上に配置されている。ピストン５３の中央部の下側には、シャフト５４の上端部が嵌合して固定されている。シャフト５４の下端部には、ピストン５３を軸方向に往復移動させる駆動装置（図示省略）が接続されている。

ダイアフラム６０は、例えばフッ素樹脂からなり、ボディ部５２内に収容されている。ダイアフラム６０は、ピストン５３の上側に取り付けられる円形の可動部６１と、ボディ部５２に固定される環状の固定部６２と、可動部６１と固定部６２とを接続している可撓性を有する薄膜部６３とを有している。薄膜部６３の外面（一面）６３ａは、薬液と接触する接液面とされている。

シリンダ５１及びボディ部５２の内部には、ダイアフラム６０によってポンプ室５５が区画形成されている。ダイアフラム６０は、シリンダ５１側に位置固定された固定部６２に対して可動部６１がピストン５３と一体に軸方向に往復移動し、薄膜部６３が屈曲運動することで、ポンプ室５５内の容積を変化させる。このようにポンプ室５５の容積が変化することで、薬液が吸入口５２ａからポンプ室５５に吸い込まれ、吐出口５２ｂから外部に吐出される。

図７は、ダイアフラム６０の固定部６２とボディ部５２との固定構造を示す拡大断面図である。図７において、ボディ部５２は、ダイアフラム６０が固定される被固定部５６を有している。被固定部５６には、下方に開口するシール溝５７が形成されている。シール溝５７は、例えば円筒状に形成されており、その軸心はシリンダ５１の軸心Ｃ’上に配置されている。

ダイアフラム６０の固定部６２は、上方に突出して被固定部５６のシール溝５７に圧入される圧入部６４を有している。圧入部６４は、例えば円筒状に形成されており、その軸心はシリンダ５１の軸心Ｃ’上に配置されている。圧入部６４の外周面６４ａおよび内周面６４ｂは、シール溝５７の外周面および内周面にそれぞれに密着するシール面とされている。これにより、ボディ部５２内の薬液が被固定部５６と固定部６２との間から外部に漏れるのを抑制している。

ボディ部５２の被固定部５６には、シール溝５７の開口から軸心Ｃ’側に向かって、ボディ側テーパ面５８、及びボディ側接液面５９がこの順に連続して形成されている。
ボディ側テーパ面５８は、シール溝５７の開口から底部へ向かう方向（図７の上方向）に延びるにつれて軸心Ｃ’側へ近づくように傾斜して形成されている。ボディ側接液面５９は、ボディ部５２内の薬液と接触する面であり、軸心Ｃ’と平行に形成されている。

ダイアフラム６０の固定部６２には、圧入部６４の内周面６４ｂから軸心Ｃ’側に向かって、ダイアフラム側テーパ面６８、及びダイアフラム側接液面６９がこの順に連続して形成されている。
ダイアフラム側テーパ面６８は、圧入部６４の基端側から突出端側へ向かう方向（図７の上方向）に延びるにつれて軸心Ｃ’側へ近づくように傾斜して形成されている。

ダイアフラム側テーパ面６８の軸心Ｃ’に対する傾斜角度θ１’は、ボディ側テーパ面５８の軸心Ｃ’に対する傾斜角度θ２’よりも小さい。また、ダイアフラム側テーパ面６８における圧入部６４の基端からダイアフラム側接液面６９までの傾斜方向の長さは、ボディ側テーパ面５８におけるシール溝５７の開口からボディ側接液面５９までの傾斜方向の長さよりも短い。

これにより、ダイアフラム側テーパ面６８の軸心Ｃ’側の端部６８ａが、ボディ側テーパ面５８の傾斜方向の途中部に押し付けられるように当接するので、圧入部６４がシール溝５７に圧入されたときに固定部６２が軸心Ｃ’側に倒れ込むのを抑制できる。
ここで、ダイアフラム側テーパ面６８の軸心Ｃ’側の「端部」とは、ダイアフラム側テーパ面６８の軸心Ｃ’側の端だけでなく、本発明の作用効果を奏する範囲においてダイアフラム側テーパ面６８の前記端の周辺部も含む意味である。

ダイアフラム側接液面６９は、ボディ部５２内の薬液と接触する面であり、圧入部６４の突出端側から基端側へ向かう方向（図７の下方向）に延びるにつれて軸心Ｃ’側へ近づくように傾斜して形成されている。なお、ダイアフラム側接液面６９は、本実施形態の形状に限定されるものではなく、例えば、軸心Ｃ’と平行に形成されていてもよい。

以上、本実施形態のダイアフラムポンプ５０によれば、圧入部６４をシール溝５７に圧入した状態で、ダイアフラム側テーパ面６８の傾斜角度θ１’が、ボディ側テーパ面５８の傾斜角度θ２’よりも小さく、ダイアフラム側テーパ面６８の端部６８ａがボディ側テーパ面５８に当接する。これにより、ダイアフラム側テーパ面６８の端部６８ａよりも圧入部６４側において、ダイアフラム側テーパ面６８とボディ側テーパ面５８との間に薬液が残存するのを抑制することができる。

また、ダイアフラム側テーパ面６８の軸心Ｃ’側の端部６８ａが、ボディ側テーパ面５８の傾斜方向の途中部に当接するので、ダイアフラム側テーパ面６８の端部６８ａがボディ側テーパ面５８の傾斜方向の端部に当接する場合に比べて、ダイアフラム側テーパ面６８の端部６８ａをボディ側テーパ面５８に対して安定した状態で押し付けることができる。これにより、圧入部６４をシール溝５７に圧入したときに固定部６２が軸心Ｃ’側に倒れ込むのを確実に抑制することができる。

［その他］
上記実施形態のダイアフラムは、半導体製造装置に使用される場合について説明したが、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野などにおいて使用されてもよい。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 流体制御弁（流体機器）
１０ ボディ部（ボディ）
１５ シール溝
１８ 第２ボディ側テーパ面（ボディ側テーパ面）
３０ ダイアフラム
３２ 固定部
３３ 薄膜部
３３ａ 下面（一面）
３４ 圧入部
３８ 第２ダイアフラム側テーパ面（ダイアフラム側テーパ面）
３８ａ 端部
３９ ダイアフラム側接液面（接液面）
５０ ダイアフラムポンプ（流体機器）
５２ ボディ部（ボディ）
５７ シール溝
５８ ボディ側テーパ面
６０ ダイアフラム
６２ 固定部
６３ 薄膜部
６３ａ 外面（一面）
６４ 圧入部
６８ ダイアフラム側テーパ面
６８ａ 端部
Ｃ 軸心
Ｃ’ 軸心
θ１ 傾斜角度
θ１’ 傾斜角度
θ２ 傾斜角度
θ２’ 傾斜角度

Claims (2)

1. ボディに固定される固定部と、前記固定部に一体に接続された可撓性を有する薄膜部と、を備え、前記薄膜部の一面が前記ボディ内の流体と接触する、ダイアフラムであって、
   前記固定部は、
   前記ボディに形成された筒状のシール溝に圧入される筒状の圧入部と、
   前記圧入部よりもその軸心側に形成され、前記圧入部の基端側から突出端側へ向かう方向に延びるにつれて前記軸心側へ近づくように傾斜したダイアフラム側テーパ面と、
   前記ダイアフラム側テーパ面よりも前記軸心側において前記ダイアフラム側テーパ面の前記軸心側の端部に接続された、流体と接触する接液面と、を有し、
   前記圧入部が前記シール溝に圧入された状態で、前記ダイアフラム側テーパ面の前記軸心に対する傾斜角度が、前記ボディにおいて前記ダイアフラム側テーパ面と同じ方向に傾斜して形成されたボディ側テーパ面の前記軸心に対する傾斜角度よりも小さく、前記ダイアフラム側テーパ面の前記端部が、前記ボディ側テーパ面の傾斜方向の途中部に当接し、
   前記接液面は、前記ボディ側テーパ面との間に流体が残存するのを抑制する形状とされている、ダイアフラム。
2. 請求項１に記載のダイアフラムと、
   前記ダイアフラムの固定部が固定されるボディと、を備える流体機器。

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