JP7217169B2 - ガスセンサユニット、および、ガス検出方法 - Google Patents
ガスセンサユニット、および、ガス検出方法 Download PDFInfo
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Description
2 ガス管
4 導入管
5 切替部
6 乾燥ガス供給部
7 制御部
8 チャンバ
9 ガスセンサ
11 乾燥検出センサ(素子が乾燥状態にあるか否かを検出するためのセンサ)
13 素子
14 素子ヒータ
22 ノズル
23 乾燥ガスヒータ
Claims (7)
- 常温で結露を生じるガスに曝される素子を有し前記ガスについて検出するためのガスセンサと、
前記素子を乾燥させる乾燥ガスを前記素子に供給するための乾燥ガス供給部と、
前記ガスが通過するガス管内の空間とは別の空間を形成し前記素子を収容したチャンバと、
前記チャンバ内へ前記ガス管から前記ガスを導入するための導入管と、
前記導入管による前記チャンバへの前記ガスの導入動作のオンとオフとを切り替える切替部と、
前記チャンバ内のうち前記ガスセンサの周囲において前記ガスセンサから離隔して配置され前記素子の周囲の雰囲気を加熱して乾燥させるヒータであって、前記ガスセンサが前記ガスの検出動作を行う前から前記ガスの検出動作を行っている間継続して前記雰囲気を加熱するヒータと、
を備えている、ガスセンサユニット。 - 請求項1に記載のガスセンサユニットであって、
前記乾燥ガス供給部は、前記素子に前記乾燥ガスを吹き付けるノズルを有している、ガスセンサユニット。 - 請求項1または請求項2に記載のガスセンサユニットであって、
前記乾燥ガス供給部は、加熱された前記乾燥ガスを供給するように構成されている、ガスセンサユニット。 - 請求項3に記載のガスセンサユニットであって、
前記乾燥ガス供給部は、前記乾燥ガスを加熱する乾燥ガスヒータを含み、
前記乾燥ガスヒータは、前記素子に供給される前の前記乾燥ガスを前記乾燥ガスの露点温度より高い温度となるように加熱する、ガスセンサユニット。 - 請求項1~請求項4の何れか1項に記載のガスセンサユニットであって、
前記素子は、前記ガスの特性に応じた起電力を出力するように構成されており、
前記素子を加熱する素子ヒータをさらに備え、
前記素子ヒータは、前記乾燥ガス供給部からの前記乾燥ガスの供給開始から所定時間経過後に加熱動作を開始されるように構成されている、ガスセンサユニット。 - 請求項1~請求項5の何れか1項に記載のガスセンサユニットであって、
前記素子は、前記ガスの特性に応じた起電力を出力するように構成されており、
前記素子が乾燥状態にあるか否かを検出するためのセンサと、前記素子を加熱する素子ヒータと、をさらに備え、
前記センサによって前記素子が乾燥状態にあると検出された後に、前記素子ヒータによる加熱動作が開始されるように構成されている、ガスセンサユニット。 - 常温で結露を生じるガスに曝される素子を有し前記ガスについて検出するためのガスセンサの前記素子を、前記ガスが通過するガス管内の空間とは別の空間を形成し前記ガス管に接続されたチャンバに収容し、前記チャンバへの前記ガスの導入動作のオンとオフとを切り替えるように構成し、前記素子を乾燥させる乾燥ガスを供給した後、前記ガスセンサによる検出動作を開始し、前記チャンバ内のうち前記ガスセンサの周囲において前記ガスセンサから離隔して配置され前記素子の周囲の雰囲気を加熱して乾燥させるヒータを用いて、前記ガスセンサが前記ガスの検出動作を行う前から前記ガスの検出動作を行っている間継続して前記雰囲気を加熱する、ガス検出方法。
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