JP7216775B2 - ロボットアームの座標系校正装置及び校正方法 - Google Patents

ロボットアームの座標系校正装置及び校正方法 Download PDF

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Description

本発明は、ロボットアームに関し、特にロボットアームの座標系校正装置及び校正方法に関する。
ロボットアームの作業を正確な位置で、精密かつ正確に発生させることができるように、通常、ロボットアームにツールを取り付けた直後やツールを一定時間使用した後、或いは新しいツールに交換した後には、ロボットアーム及びロボットアーム上のツールに対して校正(特にツールセンターポイント(Tool Center Point, TCP)の座標に対する校正)を行う必要がある。
現在、市場でよく見られる校正装置は主に赤外線発射器によってクローズドなエリア内において赤外線を発射し、さらにロボットアームを制御してツールのTCPをクローズドなエリア内で移動させて赤外線を遮断することにより、TCPのポイント教示動作を行うとともに、ツールパターン(pattern)を構築する。
ツールの使用時間が予め設定された一定の周期を超過した後、或いは新しいツールに交換した後、上記校正装置は再度、上記動作によってツール(新しいツール又は一定時間使用後の古いツール)のTCPに対して測定を行うことにより、現時点のTCPと以前のTCPとを比較した偏差値を得る必要がある。このようにして、ロボットアームに対して制御を行う時、上記ツールパターン及び偏差値に基づいて現時点のTCPに対して補正を行うことで、ツールの校正を実現できる。
但し、上記校正装置の校正動作はツールの現時点のTCPと事前に構築したツールパターンとの間の相対偏差値を計算できるのみであり、ツールの絶対寸法を得ることができないため、ロボットアームのコントロールにおいて依然として多くの不便な点がある。
さらに、上記校正装置はツールのTCPの校正動作を行うのみであって、複数のロボットアーム間の変換関係の構築に用いることはできず、複数のロボットアームが同時に作業を行う環境下においては実質的かつ効果的な有益性を提供することができない。
本発明の主な目的は、変換行列の構築によって位置合わせ装置座標系中のポイントのロボット座標系上における相対位置を計算でき、これにより必要な校正動作を実施できるロボットアームの座標系校正装置及び校正方法を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明のロボットアームの座標系校正装置は、位置合わせ装置座標系を使用する位置合わせ装置と、ロボット座標系を使用するロボットアームと、ツール座標系を使用するツールと、上記位置合わせ装置及び上記ロボットアームと電気的に接続されたプロセッサとを含む。上記位置合わせ装置は視野範囲内の画像の取得に用いられ、上記視野範囲は三次元空間である。上記ロボットアームの一端にはフランジ面が設けられており、上記ツールの一端は上記フランジ面上に設置され、他端はツールセンターポイントを備えている。上記プロセッサにはアーム末端座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第一同次行列が記録されており、さらに上記プロセッサは上記ツールを制御して異なる姿勢で上記三次元空間中において移動させることによりツール校正工程を実施し、また上記ツール校正工程で得られたデータに基づいて上記ツール座標系及び上記アーム末端座標系間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を計算する。上記プロセッサは、上記第一同次行列及び上記第二同次行列に基づいて、上記ツール座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列を計算し、また上記第三同次行列に基づいて、上記ツールセンターポイントの上記ロボット座標系上における相対位置を計算する。上記プロセッサは、上記ツールセンターポイントを制御して上記三次元空間において三点位置決め工程を実施することで、上記位置合わせ装置座標系中のポイントを上記ツールセンターポイントのポイントとし、さらに上記第三同次行列に基づいて、上記位置合わせ装置座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算し、かつ上記第四同次行列に基づいて、上記位置合わせ装置座標系中のポイントの上記ロボット座標系上における相対位置を計算する。
上述の目的を達成するため、本発明のロボットアームの校正方法は校正装置において行われるものである。上記校正装置は、位置合わせ装置と、ロボットアームと、上記ロボットアームの一端のフランジ面上に設置されてツールセンターポイントを備えるツールと、上記位置合わせ装置及び上記ロボットアームと電気的に接続されたプロセッサとを含む。上記ロボットアームはロボット座標系を使用し、上記フランジ面はアーム末端座標系を使用し、上記ツールはツール座標系を使用し、上記位置合わせ装置は位置合わせ装置座標系を使用する。上記座標系校正方法は、下記の手順a~gを含む。
a)上記位置合わせ装置を制御して視野範囲内の画像を取得し、かつ上記視野範囲は三次元空間である
b)上記プロセッサにより上記ツールを制御して異なる姿勢で上記三次元空間中を移動させることでツール校正工程を実施し、上記プロセッサには上記アーム末端座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第一同次行列が記録されている
c)上記ツール校正工程で得られたデータに基づいて、上記ツール座標系及び上記アーム末端座標系間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を計算する
d)上記第一同次行列及び上記第二同次行列に基づいて、上記ツール座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列を計算し、また上記第三同次行列に基づいて、上記ツールセンターポイントの上記ロボット座標系上における相対位置を計算する
e)上記プロセッサにより上記ツールセンターポイントを制御して上記三次元空間中において三点位置決め工程を実施することで、上記位置合わせ装置座標系中のポイントを上記ツールセンターポイントのポイントとする
f)上記第三同次行列に基づいて、上記位置合わせ装置座標系及び上記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算する
g)上記第四同次行列に基づいて、上記位置合わせ装置座標系中のポイントの上記ロボット座標系上における相対位置を計算する
関連技術の校正装置及び校正方法と比較して、本発明は位置合わせ装置によってツールの絶対寸法を得ることができ、さらにツールセンターポイントのロボット座標系上における相対位置を正確に計算できる。このように、ロボットアームでの高精度な任務の実施に有利である。
また、さらに本発明は校正によって位置合わせ装置が使用する位置合わせ装置座標系中のポイントのロボット座標系上における相対位置を得ることができ、これにより同一の位置合わせ装置を通じて複数のロボットアームに対して位置合わせ校正を実施可能であり、複数のロボットアーム間の座標変換関係を構築できる。このように、複数のロボットアームが同一の座標系に基づいて操作を行うことが許容され、これによりさらに精密かつ正確に複数のロボットアーム同時作業の仕事環境を構築できる。
本発明の具体的な実施例1の校正装置の概略図である。 本発明の具体的な実施例1の校正装置のブロック図である。 本発明の具体的な実施例1の校正装置の座標系の概略図である。 本発明の具体的な実施例1の座標系校正方法のフローチャートである。 本発明の具体的な実施例2の座標系校正方法のフローチャートである。 本発明の具体的な実施例1のツール校正方法のフローチャートである。 本発明の具体的な実施例1のツール寸法の校正の概略図である。 本発明の具体的な実施例1のツール方向の校正の概略図である。 本発明の具体的な実施例2のツール校正方法のフローチャートである。 本発明の具体的な実施例1の位置合わせ方法のフローチャートである。 本発明の具体的な実施例1の位置決め操作の概略図である。 本発明の具体的な実施例1の光遮断操作の概略図1である。 本発明の具体的な実施例1の光遮断操作の概略図2である。 本発明の具体的な実施例1の複数のロボットアームの座標系の位置合わせの概略図である。 本発明の具体的な実施例2の校正装置の概略図である。 本発明の具体的な実施例2の複数のロボットアームの座標系の位置合わせの概略図である。
本発明の好ましい実施例について、下記のとおり詳細に説明する。
図1及び図2を参照されたい。図1は本発明の具体的な実施例1の校正装置の概略図であり、図2は本発明の具体的な実施例1の校正装置のブロック図である。
図1及び図2に示すとおり、本発明はロボットアーム11で使用する座標系に対し校正を行うのに用いられる校正装置1を開示している。具体的には、1台のロボットアーム11上の異なる部品がそれぞれ異なる座標系を使用して位置決めをする可能性があり、さらに異なるロボットアーム11もまたそれぞれ異なる座標系を使用する可能性がある。本発明の校正装置1は、主にこれらの互いに異なる座標系に対して位置合わせ校正を行うことにより、異なる座標系間の位置偏差をなくし、ユーザーが安心してロボットアーム11によって高い精度要求を有する加工任務を実施できるようにする。
図1及び図2に示すとおり、本発明の校正装置1は、プロセッサ10、プロセッサ10と電気的に接続されたロボットアーム11及び位置合わせ装置13を備え、そのうちロボットアーム11と位置合わせ装置13はそれぞれ独立して設置されている。
図1に示すとおり、ロボットアーム11は、一端にフランジ面(Flange)110を有し、他端がプラットフォーム上に設置されている。校正装置1は、さらにツール(Tool)12を備える。上記ツール12は、一端がロボットアーム11のフランジ面110上に設置され、他端が少なくとも一つのツールセンターポイント(Tool Center Point,TCP)121を有する。特筆すべき点は、プロセッサ10は電気的にツール12と接続することで、ツール12に対し直接コントロールを行うことができ、或いはロボットアーム11を通じてツール12に対し間接的にコントロールを行うことができるという点である。
本発明において、上記位置合わせ装置13は主にその視野範囲内の画像の取得に用いられるが、その形式は決して図1、図2中に示したものに限定されるわけではない。さらに、ロボットアーム11に対して校正を行えるように、本発明の位置合わせ装置13は主に三次元空間中の画像を取得し、画像に基づいて判断・分析ができ、言い換えれば、位置合わせ装置13の全体の視野範囲を1つの三次元空間とすることができる。
図1、図2の具体的な実施例1において、本発明の位置合わせ装置13は少なくとも光遮断センサー14及び2Dビジョン取込器15を含み、また光遮断センサー14と2Dビジョン取込器15はそれぞれ独立して設置されている。
上記2Dビジョン取込器15は、例えばカメラ又は感光装置等、各種の画像取込器であってよく、予め設定した視野範囲(Field of View, FoV)内において2D画像151を取得するのに用いられる。ロボットアーム11が動くことでツール12を移動させ、さらにツールセンターポイント121を予め設定した視野範囲内に入れた時、本発明の校正装置1は、2Dビジョン取込器15を通じてツールセンターポイント121の画像を含む2D画像151を取得し、また2D画像151によって、ツールセンターポイント121の二次元座標(即ち、X軸座標及びY軸座標)を計算して得ることができる。
上記光遮断センサー14は、外に対してビーム141を発射するのに用いられる。具体的には、光遮断センサー14は対応して設置された投光部及び受光部を備え、上記投光部は上記ビーム141を発射するのに用いられ、上記受光部は上記ビーム141を受けるのに用いられる。受光部がビーム141を受けることができない時、プロセッサ10はビーム141が遮断されたと判断することができる。実施例において、2Dビジョン取込器15は光遮断センサー14の位置に対応して設置され、またビーム141の発射位置は2Dビジョン取込器15の上記視野範囲の中にある。本実施例において、上記ビーム141は、可視光であっても不可視光であってもよい。上記ビーム141が可視光(例えば赤外線)である時、ビーム141は2Dビジョン取込器15の視野範囲の中にあるため、上記2D画像151中にはビーム141の画像が含まれる。
上記ビーム141が不可視光である場合、ビーム141は2Dビジョン取込器15の視野範囲の中で結像しないが、これに限定されない。
特筆すべき点は、光遮断センサー14は水平面(例えばロボットアーム11が設置されているのと同じプラットフォーム上)に設置されているため、光遮断センサー14が発射するビーム141は固定の高度(プロセッサ10の既知の高度であっても又は未知の高度であってもよい)を有する点である。ロボットアーム11が動くことでツール12を移動させ、またツールセンターポイント121にビーム141を遮断させる時、本発明の校正装置1は、光遮断センサー14の遮断信号によってツールセンターポイント121の現在の高度(即ち、Z軸座標)を設定できる。さらに具体的には、ツールセンターポイント121がビーム141を遮断する時、ツールセンターポイント121のZ軸高度はビーム141の発射高度と等しい。
上述のとおり、2D画像151に対する分析によってツールセンターポイント121のX軸座標とY軸座標を得ることができ、また光遮断センサー14の信号によってツールセンターポイント121のZ軸座標を得ることができる。つまり本発明の具体的な実施例1は、ビーム141と2D画像151により共同で前述の三次元空間(三次元の検出空間)を形成できる。さらに具体的には、本発明の校正装置1は、ツールセンターポイント121にビーム141を遮断する動作をさせることによって、ツールセンターポイント121の三次元空間中における座標情報を得て、これにより校正動作を実現できる。
同時に図3を参照されたい。本発明の具体的な実施例1の校正装置の座標系の概略図である。図3に示すとおり、本発明において、上記ロボットアーム11はロボット座標系RFを使用し、上記フランジ面12はアーム末端座標系EFを使用し、上記ツール12はツール座標系TFを使用し、上記位置合わせ装置13は位置合わせ装置座標系AFを使用する。
前述したとおり、ロボットアーム11上の各部品はそれぞれ異なる座標系に基づいて動作を行っており、このため長時間稼働後、機械の摩損が発生し、また各部品間で深刻な位置偏差が出現する可能性があり、さらにはロボットアーム11の精度の低下につながる可能性がある。本発明の技術的特性の1つは、即ち各座標系間の変換関係を構築することであり、変換関係が各部品(特にツールセンターポイント121及び位置合わせ装置13)のロボット座標系RF上の相対位置を取得することによって、関連技術において相対移動量だけしか取得できずに、校正効果に良くない影響を与えるという問題を解決する。
図2に示すとおり、本発明の校正装置1は、さらにプロセッサ10に接続されたストレージユニット16を備える。上記ストレージユニット16は、プロセッサ10に内蔵することも、プロセッサ10の外に独立させることも可能であり、また例えばメモリーでも、ハードディスクでも、クラウドストレージでも良く、特に限定しない。
ストレージユニット16内には座標変換行列161が保存されており、上記座標変換行列161は校正装置1中の各部品間の変換関係を記録する。本発明において、主に同次変換行列(Homogeneous transformation matrix)により上記変換関係を記録しているが、これに限定されない。
具体的には、上記座標変換行列161は、少なくとも以下の表1に列挙した同次行列等を含む。
Figure 0007216775000001
しかし、上記は本発明の具体的な実施例を示したに過ぎず、上記ストレージユニット16は上記行列の一部分又は全部を記録できるが、上に列挙したものに限定されない。
特筆すべき点は、ロボットアーム11とロボットアーム上のフランジ面110が一体と見なされ、これによりロボット運動学(robot kinematics)の関係に基づいて、上記第一同次行列が直接得られ、プロセッサ10本体が取得して知ることのできる情報に属するという点である。言い換えると、本発明において、プロセッサ10はいかなる計算プログラムも介することなく、直接、上記第一同次行列を取得できる。或いは、本発明の校正装置1は、製造時に第一同次行列をプロセッサ10内に直接記録させておくことも可能であり、特に限定しない。
図1、図2の実施例において、上記位置合わせ装置13は2D画像151の取得に用いられる2Dビジョン取込器15及び高度な情報の取得に用いられる光遮断センサー14を備えているが、ロボットアーム11の三次元空間中における移動情報を取得して、ロボットアーム11に校正を行うことができさえすれば、本発明中の位置合わせ装置13は特に上記形態に限定されない。
図14を参照されたい。本発明の具体的な実施例2の校正装置の概略図である。図14の実施例において、本発明の校正装置1は、プロセッサ(図には表示されていない)、上記ロボットアーム11及び別の位置合わせ装置13’を含む。本実施例において、上記位置合わせ装置13’は3Dマシンビジョンセンサーである。
具体的には、上記3Dマシンビジョンセンサーは、三次元空間131中の立体画像を直接取得可能なセンサーである。ロボットアーム11がツール12を制御して三次元空間131中での移動を行う時、位置合わせ装置13’はツール12の立体画像を直接取得し、さらに立体画像について画像分析を行うことが可能であり、これによりプロセッサは画像分析データに基づいてツール12の外形、姿勢、位置、傾斜角度等の情報を取得できる。さらに、位置合わせ装置13’が採用している位置合わせ装置座標系に対応させた後、プロセッサはツールセンターポイント121の三次元空間131中における座標位置(X,Y,Z)を直接取得できる。
その他の実施例において、本発明の位置合わせ装置は、その他の形式、例えば2D画像センサーと深度センサーの組み合わせ(例えばMicrosoft社が研究開発したKinect(登録商標))、又は構造化光の発射とスキャンの機能を備えたセンサーの組み合わせ等でもよく、特に限定しない。
図4を参照されたい。本発明の具体的な実施例1の座標系の校正方法のフローチャートである。図4は本発明の校正方法の具体的な実施手順を開示したものであり、以下、図1、図3及び図4を交えながら本発明の校正装置1が上記座標変換行列161をどのようにして構築するのかを一緒に説明する。
上記座標変換行列161を構築しようとする時、校正装置1はまずプロセッサ10によって光遮断センサー14を制御してビーム141を発射し(手順S10)、さらに2Dビジョン取込器15を制御して視野範囲内において2D画像151を取得する(手順S12)。上記ビーム141が可視光である場合、2D画像151内に少なくとも上記ビーム141の画像が含まれており、かつビーム141と2D画像151が共同で1つの三次元空間を構成する。さらに詳しく説明すると、プロセッサ10は手順S10及び手順S12を介して位置合わせ装置13を起動させる。
位置合わせ装置13を起動した後、プロセッサ10は引き続いてロボットアーム11上のツール12を制御して移動させ、ツール12に異なる姿勢でビーム141を複数回にわたって遮断させ、これによって光遮断センサー14がツール校正工程を実施する(手順S14)。ツール校正工程完了後、プロセッサ10はツール校正工程の実施により得られたデータに基づいて、前述のツール座標系TF及びアーム末端座標系EF間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を計算できるようになる(手順S16)。
特筆すべき点は、手順S14において、プロセッサ10は主に位置合わせ装置13中の光遮断センサー14によってツール12に対しツール寸法校正工程を実施し、これによりツールセンターポイント121のフランジ面110に相対する移動量を取得し、さらにツール12の絶対寸法を計算するという点である。また、プロセッサ10は手順S14中において別途、光遮断センサー14によってツール12に対しツール方向校正工程を実施し、これによりツールセンターポイント121のフランジ面110に相対する回転量を取得し、さらにツール12の方向ベクトル(内容について詳しくは後述する)を取得する。そして、手順S16中において、プロセッサ10は取得した移動量及び回転量に基づいて上記第二同次行列を構築することができる。
同次変換行列の数学的構造及び構築方式は、本技術分野における常用の技術的手段であり、ここでは説明を省略する。
手順S16の後、プロセッサ10はさらに進んで第一同次行列及び第二同次行列に基づいて、前述のツール座標系TF及びロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列を計算でき、さらに第三同次行列の変換に基づいてツールセンターポイント121のロボット座標系RF上における相対位置を計算する(手順S18)。
手順S18の後、校正装置1はツール12(及びツールセンターポイント121)の校正動作を完了する。また、プロセッサ10は手順S18の後において、ツールセンターポイント121のロボット座標系RF上における相対位置を直接得ることができ、それはツールセンターポイント121の以前に構築したツールパターンに相対する移動量ではないため、これにより関連技術において採用している技術的手段と比較して、本発明の校正装置及び校正方法はさらに良い校正効果を得ることが可能である。
手順S18の後、プロセッサ10はさらに進んでツール12を制御して移動させ、ツールセンターポイント121が上記2D画像151及びビーム141により構成した三次元空間中を移動するようにし、さらにツールセンターポイント121の上記三次元空間中における少なくとも三つの位置決め点の座標情報を記録することにより、三点位置決め工程を実施する。三点位置決め工程を実施することにより、プロセッサ10は位置合わせ装置座標系AF中の各ポイントをツールセンターポイント121のポイントとすることができる(手順S20)。
具体的には、前述の位置合わせ装置座標系AF及びロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を構築するためには、プロセッサ10はツール座標系TF及びロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列、並びに位置合わせ装置座標系AF及びツール座標系TF間の変換関係を示すのに用いられる第五同次行列をそれぞれ構築しなければならない。具体的には、下記の公式のとおりである。
Figure 0007216775000002
上記公式中における各同次行列は、上記表1に示したものである。
しかし、ツール座標系TF及び位置合わせ装置座標系AF間において、固定の変換関係を取得することができないため、上記第五同次行列を直接得ることができない。この問題を解決するため、本発明の校正装置1は三点位置決め工程を実施することにより位置合わせ装置座標系AF中のポイントをツールセンターポイント121のポイントとし、これによってプロセッサ10に直接第三同次行列に基づいて位置合わせ装置座標系AF及びロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算させる(手順S22)。これにより、プロセッサ10はさらに進んで第四同次行列に基づいて位置合わせ装置座標系AF中の各ポイントのロボット座標系RF上における相対位置を計算できる(手順S24)。
手順S24の後は、位置合わせ装置座標系AF中の任意のポイントの座標を取得しさえすれば、プロセッサ10は第四同次行列の変換によって上記ポイントのロボット座標系RF上における相対位置を取得可能となる。このような対応関係によって、本発明の校正装置1は、同一の位置合わせ装置13を通じて複数のロボットアームに対し位置合わせ校正を行うことが可能となる(内容について詳しくは後述する)。
引き続き、図5を参照されたい。本発明の具体的な実施例2の座標系の校正方法のフローチャートである。図5は本発明の校正方法の別の具体的な実施手順を開示したものであり、本発明の校正装置1が上記座標変換行列161をどのようにして構築するのかを説明するのに用いられる。
座標変換行列161を構築しようとする時、校正装置1はまずプロセッサ10によって位置合わせ装置13(又は位置合わせ装置13’、以下、位置合わせ装置13を例にとる)を制御して視野範囲内の画像を取得する(手順S30)。本発明において、上記位置合わせ装置13の視野範囲を1つの三次元空間(例えば、ビーム141と2D画像151が構成する三次元空間、又は3Dマシンビジョンセンサーが独自に形成した三次元空間)とする。
位置合わせ装置13を起動した後(即ち、画像の取得を開始した後)、プロセッサ10はロボットアーム11上のツール12を制御して、ツール12を異なる姿勢で三次元空間中において移動させ、これによってツール校正工程を実施する(手順S32)。手順S32の後、プロセッサ10は既知の第一同次行列を直接取得し(手順S34)、またツール校正工程の実施により得られたデータに基づいて上記第二同次行列を計算し(手順S36)、さらに第一同次行列及び第二同次行列に基づいて上記第三同次行列を計算する(手順S38)。引き続き、算出された第三同次行列の変換によって、プロセッサ10はツールセンターポイント121のロボット座標系RF上における相対位置を計算することができる(手順S40)。
具体的には、上記同次変換行列の数学的構造及び構築方式は、本技術分野における常用の技術的手段であり、ここでは説明を省略する。
手順S40の後、プロセッサ10は引き続きツール12を制御して移動を行い、ツールセンターポイント121に上記三次元空間中において三点位置決め工程を実施させることで、位置合わせ装置座標系AF中の各ポイントをツールセンターポイント121のポイントとする(手順S42)。
具体的には、上記三点位置決め工程はプロセッサ10が位置合わせ装置座標系AF中のポイントをツールセンターポイント121のポイントと見なせるようにし、これによってプロセッサ10は直接第三同次行列及びツールセンターポイント121の位置に基づいて前述の位置合わせ装置座標系AF及びロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算できる(手順S44)。このように、プロセッサ10は第四同次行列に基づいて位置合わせ装置座標系AF中の各ポイントのロボット座標系RF上における相対位置を計算できる(手順S46)。手順S46の後は、位置合わせ装置座標系AF中の任意のポイントの座標を取得しさえすれば、プロセッサ10は第四同次行列の変換によって上記ポイントのロボット座標系RF上における相対位置を取得可能となる。
引き続き、図6、図7及び図8を参照されたい。図6は本発明の具体的な実施例1のツール校正方法のフローチャートであり、図7は本発明の具体的な実施例1のツール寸法の校正の概略図であり、図8は本発明の具体的な実施例1のツール方向の校正の概略図である。図6は、図4の手順S14についてさらに詳細な説明をするのに用いられる。
具体的には、図4の手順S14において実施するツール校正工程は、ツール寸法校正工程(手順S50)及びツール方向校正工程(手順S52)を含む。ツール寸法校正工程によって、プロセッサ10はロボットアーム11上に現在配置されているツール12の絶対寸法を取得できる。ツール方向校正工程によって、プロセッサ10はツール12の現時点の方向ベクトルを取得できる。
図6に示すとおり、ツール寸法校正工程を実施する時、プロセッサ10は主にまずロボットアーム11を制御してツール12を移動させ、ツール12に異なる姿勢でツールセンターポイント121を同一の位置決め点に到達させるようにし、さらにツールセンターポイント121はこの位置決め点上においてちょうどビーム141を遮断することができる(手順S500)。図7に示すとおり、プロセッサ10はツール12を制御して第一姿勢でツールセンターポイント121を第一位置決め点P1に到達させ、第二姿勢でツールセンターポイント121を第二位置決め点P2に到達させ、……、また第N姿勢でツールセンターポイント121を第N位置決め点Pnに到達させ、その中で、上記位置決め点P1-Pnはみな同一のポイントであり(即ち、ツール座標系TF上に同じ座標を有する)、さらにツールセンターポイント121はこのポイント上でビーム141をちょうど遮断できる(即ち、プロセッサ10は光遮断センサー14の信号によってツールセンターポイント121のZ軸高度を取得できる)。
引き続き、プロセッサ10は、ツール12の各姿勢(例えば上述の第一姿勢から第N姿勢)における座標情報をそれぞれ記録する(手順S502)。これらの座標情報によって、プロセッサ10はツールセンターポイント121のフランジ面110に相対する移動量を計算し、またこれらの移動量に基づいてツール12全体の絶対寸法を取得することができる(手順S504)。
ツール12の絶対寸法を取得した後、プロセッサ10は上記ツール寸法校正工程を完了する。
ツール方向校正工程を実施する時、プロセッサ10は主にロボットアーム11を制御してツール12を移動させることによって、ツール12を制御して異なる高度に基づいて移動させビーム141の遮断を繰り返す(手順S520)。具体的には、手順S520は、ツール12の高度を途切れなく変えた(ロボットアーム11本体に対してであり、フランジ面110のZ軸高度を変えることを指す)後にツール12を制御して移動させ、またツール12上の異なる部分でビーム141を複数回にわたって遮断する。さらに、プロセッサ10は同時にツール12がビーム141を遮断できるのに必要なフランジ面110の横向移動量(水平移動量)を計算する(手順S522)。
本発明において、プロセッサ10はツール12の高度、傾斜方向を複数回変更でき、またツール12を回転させることもでき、上記手順S522によって複数の横向移動量を取得できる。取得した複数の横向移動量に基づいて、プロセッサ10はさらに進んでツールセンターポイント121のフランジ面110に相対する回転量を計算し、かつこれらの回転量に基づいてツール12の方向ベクトルを取得できる(手順S524)。
図8に示すとおり、ツール12が一方向に傾斜しており、フランジ面110が第一高度に位置している時(ツールセンターポイント121が第一位置決め点P1に位置する)、フランジ面110はスタート位置(X1,Y1,Z1)から開始し第一移動量M1の横向移動(水平移動)をして初めて、ツール12にビーム141を遮断させることができるようになる。フランジ面110が第二高度に位置している時(ツールセンターポイント121が第二位置決め点P2に位置する)、フランジ面110はスタート位置(X1,Y1,Z2)から開始し第二移動量M2の横向移動をして初めて、ツール12にビーム141を遮断させることができるようになる。第一移動量M1と第二移動量M2の比較によって、プロセッサ10はツール12の方向ベクトル(第一位置決め点P1を始点とし、第二位置決め点P2を終点とするベクトル)を演算できる。
ツール12の方向ベクトルを取得した後、プロセッサ10は上記ツール方向校正工程を完了する。
手順S50のツール寸法校正工程及び手順S52のツール方向校正工程をすべて完了した後、プロセッサ10は校正工程により得られたデータ(例えば前述の移動量、絶対寸法、回転量、方向ベクトル等)に基づいて、上記ツール座標系TF及びアーム末端座標系EF間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を構築できる。
特筆すべき点は、校正装置1が図14に示す位置合わせ装置13’を採用している場合、校正装置1は上記に近い方法によって上記ツール校正工程中のツール寸法校正工程及びツール方向校正工程を実施でき、これによってロボットアーム11上のツール12の絶対寸法及びツール12の方向ベクトルを取得できるという点である。
図9を参照されたい。本発明の具体的な実施例2のツール校正方法のフローチャートである。図9の実施例において、プロセッサ10がツール寸法校正工程(手順S60)を実施する時、主にまずロボットアーム11を制御して移動させることでツール12を位置合わせ装置13’の視野範囲(例えば三次元空間131)内に入れ、さらに位置合わせ装置13’を制御してツール12の画像を取得するとともに画像分析を行う(手順S600)。
引き続き、プロセッサ10は、画像分析データに基づいてロボットアーム11を制御してツール12に異なる姿勢でツールセンターポイント121を三次元空間131中の同一の位置決め点に到達させる(手順S602)。ツール12を制御して異なる姿勢でツールセンターポイント121を三次元空間131中の同一の位置決め点に到達させるという技術的手段に関して、前述の図7中で述べた内容に近いが、異なる点は画像分析結果によってツール12の外形、姿勢、ツールセンターポイント121の座標情報等のデータを位置合わせ装置13’が直接取得できるため、ビーム141を遮断する必要がないという点である。
引き続き、プロセッサ10はツール12の各姿勢における座標情報をそれぞれ記録し、かつこれらの座標情報に基づいてツールセンターポイント121のフランジ面110に相対する移動量を計算し、さらにこれらの移動量に基づいてツール12全体の絶対寸法を取得する(手順S604)。そしてツール12の絶対寸法を取得した後、プロセッサ10は上記ツール寸法校正工程を完了する。
本実施例において、プロセッサ10がツール方向校正工程(手順S62)を実施する時、主にツール12を制御して異なる高度及び角度に基づいて三次元空間131中で移動させ(手順S620)、さらに、位置合わせ装置13’を制御して三次元空間131中の画像を取得し続けるようにし、またツール12について画像分析を行うことでツール12の位置及び傾斜角度を取得し、これによりツール12の方向ベクトルを計算する(手順S622)。
本実施例において、プロセッサ10はツール12の高度、傾斜方向、傾斜角度を複数回にわたって変えることができ、またツール12を回転させることができ、同時に位置合わせ装置13’によってツール12の画像を取得して画像分析を行い、これによって画像分析で得られたデータによりツール12の方向ベクトルを直接計算することができる。図6で示した実施例と比較して、図9で示した実施例は、さらに高速に本発明のツール方向校正工程を完了できる。
ツール12の方向ベクトルを取得した後、プロセッサ10は上記ツール方向校正工程を完了する。そして手順S60のツール寸法校正工程及び手順S62のツール方向校正工程をすべて完了した後、プロセッサ10は校正工程により得られたデータ(例えば前述の移動量、絶対寸法、方向ベクトル等)に基づいて、上記ツール座標系TF及びアーム末端座標系EF間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を構築できる。
引き続き、図10及び図11を参照されたい。図10は本発明の具体的な実施例1の位置合わせ方法のフローチャートであり、図11は本発明の具体的な実施例1の位置決め操作の概略図である。図10は、図4の手順S20についてさらに進んだ詳細な説明をするのに用いられる。
上記手順S20において、プロセッサ10は主にツール12を制御して移動させ、ツールセンターポイント121を相次いで同一の二次元平面上の3つの位置決め点に到達させ、さらにこの3つの位置決め点の座標情報に基づいて上記三点位置決め工程を実施する。
具体的には、図10に示すとおり、三点位置決め工程を実施しようとする時、プロセッサ10はまずツール12を制御して移動させてツールセンターポイント121を1つの二次元平面上の第一位置決め点P1に到達させ、また第一位置決め点P1上でビーム141を遮断し(手順S70)、さらに、プロセッサ10はツールセンターポイント121が第一位置決め点P1上に位置する時の座標情報を記録する(手順S72)。具体的には、上記座標情報は、ツールセンターポイント121のツール座標系TF上の座標情報、アーム末端座標系EF上の座標情報、又はロボット座標系RF上の座標情報であってよく、特に限定しない。
上記二次元平面は、2Dビジョン取込器15の視野範囲内にある。
引き続き、プロセッサ10はツール12を制御して移動させてツールセンターポイント121を同一の二次元平面上の第二位置決め点P2に到達させ、また第二位置決め点P2上でビーム141を遮断し(手順S74)、さらに、プロセッサ10はツールセンターポイント121が第二位置決め点P2上に位置する時の座標情報を記録する(手順S76)。
図11に示すとおり、上記第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2が同一の二次元平面上に位置し、かつツールセンターポイント121がこの2つの位置決め点P1、P2上に位置する時、ちょうどビーム141を遮断でき、言い換えれば、第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2は同じZ軸高度を有し、さらに2Dビジョン取込器15の視野範囲内においてビーム141と重なる1本の直線を構成することができる。
手順S76の後、プロセッサ10はツール12を制御して移動させ、ツールセンターポイント121を上記二次元平面上の第三位置決め点P3に到達させ、さらに第三位置決め点P3をビーム141上に投影させる(手順S78)。さらに、プロセッサ10は、ツールセンターポイント121が第三位置決め点P3上に位置する時の座標情報を記録する(手順S80)。
図11に示すとおり、上記第三位置決め点P3は、第一位置決め点P1と異なるZ軸高度を有し、かつ第二位置決め点P2と異なるZ軸高度を有する。実施例において、第三位置決め点P3のZ軸高度は、第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2のZ軸高度より高くてもよく(即ち、ビーム141はツール12によって遮断されない)、別の実施例において、第三位置決め点P3のZ軸高度は、第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2のZ軸高度より低くてもよい(即ち、ビーム141はツール12によって遮断される)。また第三位置決め点P3は、第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2により構成される二次元直線上に上向き又は下向きに投影されてよく、上記直線と1つの二次元平面を構成する。上記二次元平面は、2D画像151及びビーム141により構成された三次元空間中にある。
手順S80の後、プロセッサ10はツールセンターポイント121の上記第一位置決め点P1、第二位置決め点P2及び第三位置決め点P3上における座標情報に基づいて、三点位置決め工程を実施することができ、これにより位置合わせ装置座標系AF中のポイントをツールセンターポイント121自身のポイントとし(手順S82)、さらに上記第三同次行列に基づいて、位置合わせ装置座標系AF中のポイントのロボット座標系RF上における相対位置を計算することが可能となる。
上記図10、図11の実施例は、光遮断センサー14及び2Dビジョン取込器15を含んだ位置合わせ装置13を例として、本発明において採用する三点位置決め工程を説明している。特筆すべき点は、校正装置1は図14に示す位置合わせ装置13’を採用した時、依然として図10、11に示した方法で三点位置決め工程を実施可能であるという点である。異なる点は、ツール12が三次元空間131中を移動する時、位置合わせ装置13’はツール12全体の画像を直接取得して画像分析を行うことが可能で、これによりツールセンターポイント121が上記第一位置決め点P1、第二位置決め点P2及び第三位置決め点P3に位置する時の座標情報を直接取得でき、ツールセンターポイント121に光遮断センサー14から発射されたビーム141を遮断させる必要がないという点である。
引き続き、図12A及び図12Bを参照されたい。それぞれ本発明の具体的な実施例1の光遮断操作の概略図1及び2である。図12A及び図12Bは動作を分解することによって、本発明においてプロセッサ10がどのようにしてツール12を制御して移動させ、ツールセンターポイント121にビーム141を遮断させるのかを説明したものである。
図12A中の動作(1)及び動作(2)に示すとおり、プロセッサ10は、まずツール12を制御してビーム141の右側から左側へ移動させ、かつツール12上の任意の一点によってビーム141の右側からビーム141を遮断する。この時、プロセッサ10はツール12の第一X軸座標及び第一Y軸座標を記録する。上記X軸座標及びY軸座標は、ツール12のツール座標系TF上の座標情報、アーム末端座標系EF上の座標情報、又はロボット座標系RF上の座標情報であってよく、特に限定しない。
引き続き、図12A中の動作(3)及び動作(4)に示すとおり、プロセッサ10は、ツール12を制御してビーム141の左側から右側へ移動させ、かつツール12上の任意の一点によってビーム141の左側からビーム141を遮断する。この時、プロセッサ10はツール12の第二X軸座標及び第二Y軸座標を記録する。
引き続き、図12Bの動作(5)に示すとおり、プロセッサ10は、第一X軸座標及び第二X軸座標によりツール12がビーム141を遮断可能な中間X軸座標を計算でき(例えば、第一X軸座標及び第二X軸座標の平均値を計算する)、また第一Y軸座標及び第二Y軸座標によりツール12がビーム141を遮断可能な中間Y軸座標を計算できる(例えば、第一Y軸座標及び第二Y軸座標の平均値を計算する)。これにより、プロセッサ10は、ツール12を制御してビーム141を遮断可能な中間位置(即ち、中間X軸座標及び中間Y軸座標)まで移動させることができる。
引き続き、図12Bの動作(6)に示すとおり、プロセッサ10はツール12を制御して上記中間位置上において、ツールセンターポイント121がちょうどビーム141を遮断可能な臨界位置まで上向きに移動させ、この臨界位置はプロセッサ10により、ツールセンターポイント121がビーム141を遮断可能な好ましいポイント(例えば上記三点位置決め工程における第一位置決め点P1及び第二位置決め点P2)として記録可能である。
さらに、図12Bの動作(7)に示すとおり、プロセッサ10はツール12を制御して臨界位置から上向きまた下向きに移動させ、ツールセンターポイント121をビーム141上に投影し、これによりビーム141と同一の二次元平面中にある1つの投影ポイント(例えば上記三点位置決め工程における第三位置決め点P3)を取得することができる。
但し、上記説明は本発明の中の1種のポイント記録方式を示したに過ぎず、上述したものに限定されない。例を挙げて説明すると、ビーム141が比較的細い場合、プロセッサ10は上記動作(1)から動作(5)の動作を必要とせずに上記中間X軸座標及び中間Y軸座標を計算可能である。
前述したとおり、本発明の主な技術的解決手段は、位置合わせ装置13が採用している位置合わせ装置座標系AF及びロボットアーム11が採用しているロボット座標系RF間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を構築することである。1つの作業環境中に1つの位置合わせ装置13及び複数のロボットアーム11を有し、かつプロセッサ10によって各ロボットアーム11と位置合わせ装置13の第四同次行列をそれぞれ構築した場合、プロセッサ10は複数の第四同次行列によって各ロボットアームがそれぞれ採用している複数のロボットアーム座標系間の変換関係を取得可能である。
図13を参照されたい。本発明の具体的な実施例1の複数のロボットアームの座標系の位置合わせ概略図である。
図13の実施例において、校正装置1は、上記ロボットアーム11、位置合わせ装置13及び第二ロボットアーム17を備えることができる。ロボットアーム11及び位置合わせ装置13は、図1、図2、図3及び前述のとおりであるため、ここでは説明を省略する。第二ロボットアーム17は一端にフランジ面が設けられている。第二ツール18は、一端が第二ロボットアーム17のフランジ面に設置され、他端が第二ツールセンターポイント181を有する。上記第二ロボットアーム17は、ロボットアーム11と同じ又は異なる形態のロボットアームであり、かつロボットアーム11に似た構造を有するため、ここでは説明を省略する。
図13に示すとおり、ロボットアーム11は第一ロボット座標系RF1を使用し、ツール12は第一ツール座標系TF1を使用する。位置合わせ装置13は、前述したように光遮断センサー14及び2Dビジョン取込器15を備え、また位置合わせ装置座標系AFを使用する。前述した校正方法により、校正装置1のプロセッサ10は、以下の表2に示す同次行列を構築可能である。
Figure 0007216775000003
第二ロボットアーム17は第二ロボット座標系RF2を使用し、第二ツール18は第二ツール座標系TF2を使用する。同様に、前述した校正方法により、校正装置1のプロセッサ10は、さらに以下の表3に示す同次行列を構築可能である。
Figure 0007216775000004
第二ロボット座標系RF2上のポイントを第一ロボット座標系RF1上のポイントに変換するにあたり、プロセッサ10はまず以下の表4に示す同次行列を構築しなければならない。
Figure 0007216775000005
ここで、以下の数2の関係が成り立つ。
Figure 0007216775000006
これにより、上記の表2に示す同次行列が既知で、上記の表3に示す同次行列も既知であるという状況において、プロセッサ10は演算によって、上記の表4に示す同次行列を得ることが可能である。
上記の表4に示す同次行列によって、本発明の校正装置1は、複数のロボットアーム11、17のポイント座標について容易に相互対応を行うことができ、さらに同一の座標系に基づいて複数のロボットアーム11、17に対し同時に操作を行うことが可能である。このようにして、ロボットアーム11、17の動作をより精密かつ正確にし、また複数のロボットアーム11、17が同時に作業をする仕事環境を構築するという技術的性能を効果的に達成できる。
図15を参照されたい。本発明の具体的な実施例2の複数のロボットアームの座標系の位置合わせ概略図である。校正装置1が図14に示す位置合わせ装置13’を採用する場合でも、複数のロボットアーム11、17は前述の三点位置決め工程によって第一ロボット座標系RF1及び第二ロボット座標系RF2間の変換関係を構築可能である。
具体的には、前述の三点位置決め工程を実施する時(図5の手順S42のとおり)、プロセッサ10は、まずロボットアーム11を制御して移動させ、ツール12上のツールセンターポイント121を三次元空間131中において、第一位置決め点P1、第一位置決め点P1が位置する同一直線(例えば第一直線)上の第二位置決め点P2、及び上記第一直線外かつ第一位置決め点P1と第二位置決め点P2が形成する二次元平面(例えば第一平面)に位置する第三位置決め点P3に順番に到達させ、さらにプロセッサ10は位置合わせ装置13’の画像分析結果によってツールセンターポイント121が上記第一位置決め点P1、第二位置決め点P2及び第三位置決め点P3上に位置する時の座標情報を記録する。
引き続き、プロセッサ10は、第二ロボットアーム17を制御して移動させ、第二ツール18上の第二ツールセンターポイント181をまず三次元空間131中で同じ第一位置決め点P1に到達させ、次に、第二ツールセンターポイント181を上記第一直線上の任意の第二位置決め点P2’に到達させてから、最後に、第二ツールセンターポイント181を上記第一平面上の任意の第三位置決め点P3’に到達させる(第三位置決め点P3’は第一直線外かつ上記第三位置決め点P3と同じ側に位置決めされる)。同様に、プロセッサ10は、位置決め装置13’の画像分析結果によって第二ツールセンターポイント181が上記第一位置決め点P1、任意の第二位置決め点P2’及び任意の第三位置決め点P3’上に位置する時の座標情報を記録する。
前述したとおり、プロセッサ10は三点位置決め工程により位置合わせ装置座標系AF中のポイントをツールセンターポイント121、181のポイントとすることができ、これによりプロセッサ10は上述の工程によって複数のロボットアーム11、17間のポイント変換関係を構築できる。
以上の内容は、本発明の好ましい具体的な実施例であり、これにより本発明の特許の範囲を制限するものではなく、本発明の内容を運用し、これに同等の変化を加えたものもすべて同様に本発明の範囲内に含まれることを明らかにしておく。
1…校正装置
10…プロセッサ
11…ロボットアーム
110…フランジ面
12…ツール
121…ツールセンターポイント
13、13’…位置合わせ装置
131…三次元空間
14…光遮断センサー
141…ビーム
15…2Dビジョン取込器
151…2D画像
16…ストレージユニット
161…座標変換行列
17…第二ロボットアーム
18…第二ツール
181…第二ツールセンターポイント
RF…ロボット座標系
RF1…第一ロボット座標系
RF2…第二ロボット座標系
EF…アーム末端座標系
TF…ツール座標系
TF1…第一ツール座標系
TF2…第二ツール座標系
AF…位置合わせ装置座標系
M1…第一移動量
M2…第二移動量
P1…第一位置決め点
P2…第二位置決め点
P2’…任意の第二位置決め点
P3…第三位置決め点
P3’…任意の第三位置決め点
Pn…第N位置決め点
S10~S24、S30~S46…座標系校正手順
S50、S500~S504、S52、S520~S524、S60、S600~S604、S62、S620~S622…ツール校正手順
S70~S82…位置合わせ手順

Claims (15)

  1. ロボットアームの座標系校正装置であって、
    視野範囲内の画像を取得し、前記視野範囲は三次元空間であり、かつ位置合わせ装置座標系を使用する位置合わせ装置と、
    アーム末端座標系を使用するフランジ面が一端に設けられており、ロボット座標系を使用するロボットアームと、
    一端が前記フランジ面上に設置され、他端にツールセンターポイントを備え、ツール座標系を使用するツールと、
    前記位置合わせ装置及び前記ロボットアームと電気的に接続され、前記アーム末端座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第一同次行列が記録されており、前記ツールを制御して異なる姿勢で前記三次元空間中を移動させることによりツール校正工程を実施し、また前記ツール校正工程で得られたデータに基づいて、前記ツール座標系及び前記アーム末端座標系間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を計算するプロセッサとを備え、
    前記プロセッサは、前記第一同次行列及び前記第二同次行列に基づいて、前記ツール座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列を計算し、また前記第三同次行列に基づいて、前記ツールセンターポイントの前記ロボット座標系上における相対位置を計算し、
    前記プロセッサは、前記ツールセンターポイントを制御して前記三次元空間中において三点位置決め工程を実施することで、前記位置合わせ装置座標系中におけるポイントを前記ツールセンターポイントのポイントとし、また前記第三同次行列に基づいて、前記位置合わせ装置座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算し、かつ前記第四同次行列に基づいて、前記位置合わせ装置座標系中のポイントの前記ロボット座標系上における相対位置を計算するロボットアームの座標系校正装置。
  2. 前記位置合わせ装置が3Dマシンビジョンセンサーである、請求項1に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  3. 前記ツール校正工程には、前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する移動量を取得するのに用いられるツール寸法校正工程、及び前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する回転量を取得するのに用いられるツール方向校正工程が含まれ、
    さらに前記プロセッサは前記移動量及び前記回転量に基づいて前記第二同次行列を構築し、
    前記プロセッサが前記ツール寸法校正工程を実施する時、前記位置合わせ装置を制御して前記ツールに対して画像分析を行い、画像分析データに基づいて前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ツールセンターポイントを前記三次元空間中の同一の位置決め点に到達させ、同時に前記ツールの各姿勢における座標情報を記録し、前記座標情報に基づいて前記ツールの絶対寸法を計算し、
    前記プロセッサが前記ツール方向校正工程を実施する時、前記ツールを制御して異なる高度及び角度で前記三次元空間中を移動させ、前記位置合わせ装置により前記ツールに対して画像分析を行うことで前記ツールの位置及び傾斜角度を取得し、これにより前記ツールの方向ベクトルを計算する、請求項2に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  4. 前記位置合わせ装置は光遮断センサー及び2Dビジョン取込器を含み、前記光遮断センサーはビームを発射し、前記2Dビジョン取込器は前記視野範囲内において2D画像を取得し、前記ビームは前記視野範囲内にあり、かつ前記ビームと前記2D画像とにより共同で前記三次元空間を形成し、前記プロセッサは前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ビームを遮断することにより前記光遮断センサーが前記ツール校正工程を実施する、請求項1に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  5. 前記光遮断センサーが水平面に設置され、かつ前記ビームが固定の高度を有する、請求項4に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  6. 前記ツール校正工程には、前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する移動量を取得するのに用いられるツール寸法校正工程、及び前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する回転量を取得するのに用いられるツール方向校正工程が含まれ、
    さらに前記プロセッサは前記移動量及び前記回転量に基づいて前記第二同次行列を構築し、
    前記プロセッサが前記ツール寸法校正工程を実施する時、前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ツールセンターポイントを同一の位置決め点に到達させ前記ビームを遮断し、前記ツールの各姿勢における座標情報をそれぞれ記録し、前記座標情報に基づいて前記ツールの絶対寸法を計算し、
    前記プロセッサが前記ツール方向校正工程を実施する時、前記ツールを制御して異なる高度に基づいて移動させ前記ビームを遮断し、前記ビームを遮断するのに必要な前記フランジ面の横向移動量をそれぞれ計算し、前記複数の横向移動量に基づいて前記ツールの方向ベクトルを計算する、請求項4または5に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  7. 前記プロセッサが前記三点位置決め工程を実施する時、前記ツールを制御して移動させ、前記ツールセンターポイントを相次いで前記三次元空間中の同一の二次元平面上の3つの位置決め点に到達させ、前記3つの位置決め点の座標情報に基づいて前記三点位置決め工程を実施する、請求項4~6のいずれか1つに記載のロボットアームの座標系校正装置。
  8. 前記プロセッサは、
    前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第一位置決め点に到達させ、前記ビームを遮断する、
    前記ツールセンターポイントの前記第一位置決め点上における座標情報を記録する、
    前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第二位置決め点に到達させ、前記ビームを遮断し、かつ前記第二位置決め点と前記第一位置決め点が同じ高度を有するようにする、
    前記ツールセンターポイントの前記第二位置決め点上における座標情報を記録する、
    前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第三位置決め点に到達させ、かつ前記第三位置決め点の高度は前記第一位置決め点及び前記第二位置決め点の高度とは異なるようにする、
    前記ツールセンターポイントの前記第三位置決め点上における座標情報を記録する、及び、
    前記第一位置決め点、前記第二位置決め点及び前記第三位置決め点の座標情報に基づいて前記三点位置決め工程を実施する、
    という動作を実施する、請求項7に記載のロボットアームの座標系校正装置。
  9. 校正装置において行われるロボットアームの座標系校正方法であって、
    前記校正装置は、位置合わせ装置と、ロボットアームと、前記ロボットアームの一端のフランジ面上に設置され、かつツールセンターポイントを備えるツールと、前記位置合わせ装置及び前記ロボットアームと電気的に接続されたプロセッサとを含み、前記ロボットアームはロボット座標系を使用し、前記フランジ面はアーム末端座標系を使用し、前記ツールはツール座標系を使用し、前記位置合わせ装置は位置合わせ装置座標系を使用しており、
    a)前記位置合わせ装置を制御して視野範囲内の画像を取得し、かつ前記視野範囲は三次元空間である、
    b)前記プロセッサにより前記ツールを制御して異なる姿勢で前記三次元空間中を移動させることでツール校正工程を実施し、前記プロセッサには前記アーム末端座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第一同次行列が記録されている、
    c)前記ツール校正工程で得られたデータに基づいて、前記ツール座標系及び前記アーム末端座標系間の変換関係を示すのに用いられる第二同次行列を計算する、
    d)前記第一同次行列及び前記第二同次行列に基づいて、前記ツール座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第三同次行列を計算し、また前記第三同次行列に基づいて、前記ツールセンターポイントの前記ロボット座標系上における相対位置を計算する、
    e)前記プロセッサにより前記ツールセンターポイントを制御して前記三次元空間中において三点位置決め工程を実施することで、前記位置合わせ装置座標系中のポイントを前記ツールセンターポイントのポイントとする、
    f)手順eの後、前記第三同次行列に基づいて、前記位置合わせ装置座標系及び前記ロボット座標系間の変換関係を示すのに用いられる第四同次行列を計算する、及び、
    g)前記第四同次行列に基づいて、前記位置合わせ装置座標系中のポイントの前記ロボット座標系上における相対位置を計算する、
    という手順を含む、ロボットアームの座標系校正方法。
  10. 前記手順bは、ツール寸法校正工程を実施することで前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する移動量を取得し、またツール方向校正工程を実施することで前記ツールセンターポイントの前記フランジ面に相対する回転量を取得し、さらに前記移動量及び前記回転量に基づいて前記ツール校正工程を完了し、
    前記手順cは、前記移動量及び前記回転量に基づいて前記第二同次行列を構築する、請求項9に記載のロボットアームの座標系校正方法。
  11. 前記位置合わせ装置が3Dマシンビジョンセンサーであり、
    前記手順bは、
    b11)前記位置合わせ装置を制御して前記ツールについて画像分析を行う、
    b12)画像分析データに基づいて前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ツールセンターポイントを前記三次元空間中の同一の位置決め点に到達させる、
    b13)前記ツールの各姿勢における座標情報を記録し、前記座標情報に基づいて前記移動量を計算し、さらに前記ツールの絶対寸法を得る、
    b14)前記プロセッサにより前記ツールを制御して異なる高度と角度に基づいて前記三次元空間中において移動させる、及び、
    b15)前記位置合わせ装置により前記ツールについて画像分析を行うことで、前記ツールの位置及び傾斜角度を取得し、これにより前記ツールの方向ベクトルを計算する、
    という手順を含む、請求項10に記載のロボットアームの座標系校正方法。
  12. 前記位置合わせ装置が光遮断センサー及び2Dビジョン取込器を含み、
    前記手順a)において前記光遮断センサーを制御してビームを発射し、また前記2Dビジョン取込器を制御して前記視野範囲内において2D画像を取得し、前記ビームは前記視野範囲内にあり、かつ前記ビームと前記2D画像とにより共同で前記三次元空間が形成され、
    前記手順b)において前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ビームを遮断し、これによって前記光遮断センサーが前記ツール校正工程を実施する、請求項9に記載のロボットアームの座標系校正方法。
  13. 前記手順bは、
    b21)前記プロセッサにより前記ツールを制御して異なる姿勢で前記ツールセンターポイントを同一の位置決め点に到達させ、前記ビームを遮断する、
    b22)前記ツールの各姿勢における座標情報をそれぞれ記録する、
    b23)前記座標情報に基づいて前記移動量を計算し、前記ツールの絶対寸法を得る、
    b24)前記プロセッサにより前記ツールを制御して異なる高度に基づいて移動させ、前記ビームを遮断する、
    b25)前記ビームを遮断するのに必要な前記フランジ面の横向移動量をそれぞれ計算する、及び、
    b26)前記複数の横向移動量に基づいて前記回転量を計算し、前記ツールの方向ベクトルを得る、
    という手順を含む、請求項12に記載のロボットアームの座標系校正方法。
  14. 前記手順eは前記ツールを制御して移動させ、前記ツールセンターポイントを相次いで前記三次元空間中の同一の二次元平面上の3つの位置決め点に到達させ、前記3つの位置決め点の座標情報に基づいて前記三点位置決め工程を実施する、請求項12または13に記載のロボットアームの座標系校正方法。
  15. 前記手順eは、
    e1)前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第一位置決め点に到達させ、前記ビームを遮断する、
    e2)前記ツールセンターポイントの前記第一位置決め点上における座標情報を記録する、
    e3)前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第二位置決め点に到達させ、前記ビームを遮断し、かつ前記第二位置決め点と前記第一位置決め点が同じ高度を有するようにする、
    e4)前記ツールセンターポイントの前記第二位置決め点上における座標情報を記録する、
    e5)前記ツールセンターポイントを制御して前記二次元平面上の第三位置決め点に到達させ、かつ前記第三位置決め点の高度は前記第一位置決め点及び前記第二位置決め点の高度とは異なるようにする、
    e6)前記ツールセンターポイントの前記第三位置決め点上における座標情報を記録する、及び、
    e7)前記第一位置決め点、前記第二位置決め点及び前記第三位置決め点の座標情報に基づいて前記三点位置決め工程を実施する、
    という手順を含む、請求項14に記載のロボットアームの座標系校正方法
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