JP7205891B2 - X線解析、x線回折データを処理する方法及び装置 - Google Patents
X線解析、x線回折データを処理する方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7205891B2 JP7205891B2 JP2019076098A JP2019076098A JP7205891B2 JP 7205891 B2 JP7205891 B2 JP 7205891B2 JP 2019076098 A JP2019076098 A JP 2019076098A JP 2019076098 A JP2019076098 A JP 2019076098A JP 7205891 B2 JP7205891 B2 JP 7205891B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray diffraction
- ray
- diffraction data
- data
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T15/00—3D [Three Dimensional] image rendering
- G06T15/08—Volume rendering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20025—Sample holders or supports therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/2055—Analysing diffraction patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T11/00—2D [Two Dimensional] image generation
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T11/00—2D [Two Dimensional] image generation
- G06T11/003—Reconstruction from projections, e.g. tomography
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/10—Segmentation; Edge detection
- G06T7/194—Segmentation; Edge detection involving foreground-background segmentation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/05—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection
- G01N2223/056—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection diffraction
- G01N2223/0566—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection diffraction analysing diffraction pattern
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
- G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
- G01N2223/1016—X-ray
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
- G01N2223/3306—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts object rotates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/401—Imaging image processing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2200/00—Indexing scheme for image data processing or generation, in general
- G06T2200/24—Indexing scheme for image data processing or generation, in general involving graphical user interfaces [GUIs]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10116—X-ray image
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Computer Graphics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
これにより、データを全体として明瞭に観察して、直感的に結晶の品質を評価することが困難になっている。アーティファクト、弱い散漫部分、又は双晶は、データ解析から見逃される恐れがある。しかも被調査試料の構造特性は、十分な数の2D画像が利用可能でかつ互いに対比可能となった後でしか推測できない。
Claims (18)
- コンピュータによって実装される、被調査試料の回折X線ビームを検出するように構成されるX線検出器によって供されるX線回折データの処理方法であって、
(a) 前記試料が入射X線ビームに対して回転している間に前記X線検出器からX線回折データを取得する段階、
(b) 前記の取得したX線回折データから2D画像フレームを生成する段階であって、前記の生成された2D画像フレームは前記試料の特定の回転位置についてのX線回折データを表す2D画像データを含み、前記X線回折データは試料に関連するX線データとバックグラウンドデータを含む、段階、
(c) 前記の生成された2D画像フレームについて、前記試料に関連するX線回折データを前記バックグラウンドデータから区別する段階、
(d) 前記の生成された2D画像フレームの区別された試料に関連するX線回折データを、単一の3D逆空間へマッピングする段階、及び、
(e)ディスプレイスクリーン上で前記のマッピングされたX線回折データとともに前記3D逆空間を可視化する段階、
を有し、
前記試料の回転位置が変化している間、前記(a)乃至(e)が連続的に繰り返される、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記の取得されたX線回折データは、前記X線検出器によって測定される強度データを有し、
前記段階(b)は、前記の測定される強度データを2D画素画像データへ変換する段階を有する、
方法。 - 請求項1又は2に記載の方法であって、前記区別する段階は、X線回折データを表す前記2D画像フレームの画素を、バックグラウンドデータから区別する段階を有する、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記マッピングする段階は、前記試料に関連するX線回折データを表す区別された2D画素を、前記3D逆空間へマッピングする段階を有する、方法。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法であって、前記の生成された2D画像フレームのX線回折データの前記3D逆空間へのマッピングは、試料の方位、検出器のサイズ、前記試料に対する検出器の位置、X線の波長、及びエワルド球の幾何学形状のうちの少なくとも一に基づいて実行される、方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法であって、
前記マッピングする段階は、取得されたX線回折データの一部と既知の結晶対称性に基づいて前記3D逆空間内で前記被調査試料のX線回折データを再構成する段階を有し、
前記可視化する段階は、前記ディスプレイ上で前記の再構成されたX線回折データを可視化する段階を有する、
方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の方法であって、
前記3D逆空間は、ボクセルグリッドによって表され、
前記マッピングする段階は、前記2D画像フレームの区別されたX線回折データを、前記3D逆空間の対応するボクセルへマッピングする段階を有する、
方法。 - 請求項7に記載の方法であって、回折X線ビームを表すマッピングされたX線回折データは、前記3D逆空間内において少なくとも1つのボクセルによって可視化される、方法。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法であって、
前記可視化する段階は、データのない3D逆空間を可視化することと、前記の連続して生成される2D画像フレームから導かれるマッピングされたX線回折データを、前記データのない前記3D逆空間に順次追加することと、を含む、
方法。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法であって、2つ以上の2D画像フレーム内において冗長に現れて前記3D逆空間内の同一のボクセル位置にマッピングされるX線回折データが、前記可視化する段階中に短時間強調される、方法。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法であって、前記のマッピングされたX線回折データの可視化は、少なくとも1つの事前に選択された可視化パラメータに従って実行される、方法。
- 請求項11に記載の方法であって、
前記少なくとも1つの事前に選択された可視化パラメータは、可視化される最小強度及び/又は最大強度を示唆し、
前記最小強度より大きいX線強度、前記最大強度より小さいX線強度、又は前記最小強度と前記最大強度の間のX線強度を表すマッピングされたX線回折データが、前記3D逆空間内で視認可能にされる、
方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記少なくとも1つの事前に選択された可視化パラメータは、可視化される最小d間隔解像度値及び/又は最大d間隔解像度値を示唆し、
前記最小d間隔解像度値より大きいd間隔解像度値、前記最大d間隔解像度値より小さいd間隔解像度値、又は前記最小d間隔解像度値と前記最大d間隔解像度値の間のd間隔解像度値を表すマッピングされたX線回折データが、前記3D逆空間内で視認可能にされる、
方法。 - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の方法であって、前記ディスプレイスクリーン上で可視化される前記3D逆空間は、回転可能及び/又は拡大可能である、方法。
- コンピュータデバイス上で実行されるときに請求項1乃至14のいずれか一項に記載の方法を実行するプログラムコードを備えるコンピュータプログラム製品。
- 被調査試料の回折X線ビームを検出するように構成されるX線検出器によって供されるX線回折データを処理する装置であって、
(a) 前記試料が入射X線ビームに対して回転している間に前記X線検出器からX線回折データを取得する段階、
(b) 前記の取得したX線回折データから2D画像フレームを生成する段階であって、前記の生成された2D画像フレームは前記試料の特定の回転位置についてのX線回折データを表す2D画像データを含み、前記X線回折データは試料に関連するX線データとバックグラウンドデータを含む、段階、
(c) 前記の生成された2D画像フレームについて、前記試料に関連するX線回折データを前記バックグラウンドデータから区別する段階、
(d) 前記の生成された2D画像フレームの区別された試料に関連するX線回折データを、単一の3D逆空間へマッピングする段階、及び、
(e)ディスプレイスクリーン上で前記のマッピングされたX線回折データとともに前記3D逆空間を可視化する段階、
を実行するように構成されるプロセッサを有し、
前記試料の回転位置が変化している間、前記(a)乃至(e)が連続的に繰り返される、
装置。 - 請求項16に記載の装置であって、少なくとも1つの事前に選択された可視化パラメータを受け取るように構成される入力ユニットをさらに有する、装置。
- 被調査試料の回折X線ビームを検出するように構成されるX線検出器、
前記X線検出器から取得されるX線回折データを処理する請求項16又は17に記載の装置、及び、
前記の処理されたX線回折データとともに前記3D逆空間を表示するように構成されるディスプレイスクリーン、
を有するX線回折測定用X線デバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18168895.3 | 2018-04-24 | ||
EP18168895.3A EP3561496B1 (en) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | Technique for processing x-ray diffraction data |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019203882A JP2019203882A (ja) | 2019-11-28 |
JP7205891B2 true JP7205891B2 (ja) | 2023-01-17 |
Family
ID=62062859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019076098A Active JP7205891B2 (ja) | 2018-04-24 | 2019-04-12 | X線解析、x線回折データを処理する方法及び装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10878615B2 (ja) |
EP (1) | EP3561496B1 (ja) |
JP (1) | JP7205891B2 (ja) |
CN (1) | CN110398509A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3561496B1 (en) | 2018-04-24 | 2021-10-06 | Rigaku Corporation | Technique for processing x-ray diffraction data |
EP3904870B1 (en) | 2020-04-30 | 2023-05-03 | Bruker AXS GmbH | Method for measuring an x-ray pattern of a sample, with parallax compensation |
CN113447507B (zh) * | 2021-06-28 | 2022-12-30 | 中国科学技术大学 | 一种x射线衍射信号的采集方法、***、设备及存储介质 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004354261A (ja) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Rigaku Corp | X線回折の散乱ベクトルの動的表示方法 |
JP2005300305A (ja) | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Rigaku Corp | X線分析方法及びx線分析装置 |
JP2005326261A (ja) | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 超微細構造体のx線迅速構造解析方法 |
WO2007052688A1 (ja) | 2005-11-02 | 2007-05-10 | Rigaku Corporation | 微結晶粒の方位分布測定方法及びその装置 |
EP2775295A1 (en) | 2013-03-05 | 2014-09-10 | Danmarks Tekniske Universitet | An X-ray diffraction method of mapping grain structures in a crystalline material sample, and an X-ray diffraction apparatus. |
US10878615B2 (en) | 2018-04-24 | 2020-12-29 | Rigaku Corporation | Technique for processing X-ray diffraction data |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4121146B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2008-07-23 | 株式会社リガク | 双晶解析装置 |
WO2008035959A1 (en) * | 2006-09-18 | 2008-03-27 | Avantium International B.V. | Method to derive a composition of a sample |
JP2014089143A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Rigaku Corp | X線検出器およびx線回折装置 |
US9864075B2 (en) | 2014-05-28 | 2018-01-09 | Bruker Axs, Inc. | Integrated reciprocal space mapping for simultaneous lattice parameter refinement using a two-dimensional X-ray detector |
WO2017102406A1 (en) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | Stichting Vu | Inspection apparatus and method |
JP2018205247A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 富士通株式会社 | X線回折分析方法及びx線回折分析装置 |
-
2018
- 2018-04-24 EP EP18168895.3A patent/EP3561496B1/en active Active
-
2019
- 2019-04-12 JP JP2019076098A patent/JP7205891B2/ja active Active
- 2019-04-23 CN CN201910328749.1A patent/CN110398509A/zh active Pending
- 2019-04-24 US US16/392,906 patent/US10878615B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004354261A (ja) | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Rigaku Corp | X線回折の散乱ベクトルの動的表示方法 |
JP2005300305A (ja) | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Rigaku Corp | X線分析方法及びx線分析装置 |
JP2005326261A (ja) | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Japan Synchrotron Radiation Research Inst | 超微細構造体のx線迅速構造解析方法 |
WO2007052688A1 (ja) | 2005-11-02 | 2007-05-10 | Rigaku Corporation | 微結晶粒の方位分布測定方法及びその装置 |
EP2775295A1 (en) | 2013-03-05 | 2014-09-10 | Danmarks Tekniske Universitet | An X-ray diffraction method of mapping grain structures in a crystalline material sample, and an X-ray diffraction apparatus. |
US10878615B2 (en) | 2018-04-24 | 2020-12-29 | Rigaku Corporation | Technique for processing X-ray diffraction data |
EP3561496B1 (en) | 2018-04-24 | 2021-10-06 | Rigaku Corporation | Technique for processing x-ray diffraction data |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Sho Ito et.al.,Structure determination of small molecule compounds by an electron diffractometer for 3D ED/MicroED,CrystEngComm,2021年,Vol.23,P.8622-8630 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3561496A1 (en) | 2019-10-30 |
CN110398509A (zh) | 2019-11-01 |
JP2019203882A (ja) | 2019-11-28 |
US10878615B2 (en) | 2020-12-29 |
EP3561496B1 (en) | 2021-10-06 |
US20190325635A1 (en) | 2019-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7205891B2 (ja) | X線解析、x線回折データを処理する方法及び装置 | |
Poulsen | An introduction to three-dimensional X-ray diffraction microscopy | |
Ketcham | Three-dimensional grain fabric measurements using high-resolution X-ray computed tomography | |
US8189002B1 (en) | Method and apparatus for visualizing three-dimensional and higher-dimensional image data sets | |
CN103210416B (zh) | 用于表示多孔介质的密度图像的多相态分割的***和方法 | |
Thiele et al. | Insights into the mechanics of en-échelon sigmoidal vein formation using ultra-high resolution photogrammetry and computed tomography | |
US20160275688A1 (en) | Method for Measuring the Interior Three-Dimensional Movement, Stress and Strain of an Object | |
Jung et al. | Exact inversion of the cone transform arising in an application of a Compton camera consisting of line detectors | |
CN112041667B (zh) | 确定宝石、矿物或其样本中的异物和/或杂质的位置的方法和*** | |
EP3726472A1 (en) | Technique for processing x-ray diffraction data | |
JP2000126173A (ja) | 円錐ビ―ムデ―タのための画像再構築 | |
Coules et al. | Reflectance Transformation Imaging as a tool for engineering failure analysis | |
Kirisits et al. | Fourier reconstruction for diffraction tomography of an object rotated into arbitrary orientations | |
Voropaev et al. | Direct Fourier inversion reconstruction algorithm for computed laminography | |
JP5883689B2 (ja) | X線撮像装置およびx線撮像方法 | |
Poulsen et al. | Multigrain crystallography and three-dimensional grain mapping | |
Han et al. | Three-dimensional visualization of soil pore structure using computed tomography | |
Pamukcu et al. | Quantitative 3D petrography using X-ray tomography 4: Assessing glass inclusion textures with propagation phase-contrast tomography | |
Ebadi et al. | Digital rock physics in low-permeable sandstone, downsampling for unresolved sub-micron porosity estimation | |
KR102591860B1 (ko) | 누락된 원뿔 아티팩트를 제거하기 위한 비지도 학습 기반 뉴럴 네트워크를 이용한 단층촬영영상 처리 방법 및 그 장치 | |
US10825202B2 (en) | Method for compressing measurement data | |
Huddlestone-Holmes et al. | Getting the inside story: using computed X-ray tomography to study inclusion trails in garnet porphyroblasts | |
JP2004329947A (ja) | スパイラルコンピュータ断層撮影法における画像作成方法およびスパイラルct装置 | |
Franco et al. | Visualization software for CT: fan/cone beam and metrology applications | |
Di Koa et al. | Interactive screenspace fragment rendering for direct illumination from area lights using gradient aware subdivision and radial basis function interpolation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7205891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |