JP7204806B2 - ロボットアームの繰り返し位置決め精度測定の装置及び方法 - Google Patents
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Description
101 光学テーブル
10 位置決め点
1 レーザースペックル画像3次元位置決め基台
11 位置決め点
110 X軸平行移動ステージ
111 スライダー
12 位置決め軌跡
120 Y軸平行移動ステージ
121 四角形の位置決め軌跡
122 三角形の位置決め軌跡
123 円形の位置決め軌跡
200 ロボットアームの繰り返し位置決め精度テスト定盤
20 ロボットアーム
2 レーザースペックル3次元変位センサー
21 ロボットアームエンドエフェクタ
30 レーザー送受信ヘッド
3 X軸レーザー干渉計
31 レトロリフレクターミラー
32 干渉鏡
40 レーザー送受信ヘッド
4 Y軸レーザー干渉計
41 レトロリフレクターミラー
42 干渉鏡
5 3次元変位センサー基台
6 Y軸変位センサー
7 Z軸変位センサー
8 X軸変位センサー
9 位置決め点
A、B、C テスト面
(xi、yj、zk) 位置決め座標
(Ip、Iq)X軸、(Ip、Iq)Y軸 座標レーザースペックル画像
Claims (10)
- 2つの互いに垂直な不変形レーザースペックル画像取り込み装置と、レーザー変位センサーと、を有するレーザースペックル3次元変位センサーと、
レーザースペックル画像3次元位置決め基台と、前記レーザースペックル3次元変位センサーと、を有し、前記レーザースペックル3次元変位センサーは、3つのレーザービームを前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の同じ位置に放射して、前記位置の2つのレーザースペックル画像及び1つの高さ値をキャプチャし、前記レーザースペックル3次元変位センサーの3つのレーザービームが当たった前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の複数の位置に各々対応する2つのレーザースペックル画像及び高さ値を2つの座標レーザースペックル画像と3次元位置決め座標とを有するレーザースペックル座標データベースとして構築するように構成される2次元レーザー干渉計キャリブレーションプラットフォームと、
3面の互いに垂直な前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台で構成され、各前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台はすでに前記レーザースペックル座標データベースを構築したロボットアームの繰り返し位置決め精度テスト定盤と、
前記レーザースペックル3次元変位センサーを取り付けたエンドエフェクタを含むロボットアームと、
を備えたロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置であって、
前記ロボットアームを動かすことにより、前記レーザースペックル3次元変位センサーを前記ロボットアームの繰り返し位置決め精度テスト定盤のレーザースペックル3次元絶対位置決め空間内に入るようにさせて位置決め点のレーザースペックル画像をキャプチャさせ、前記レーザースペックル画像と前記レーザースペックル座標データベースの前記座標レーザースペックル画像とを比較して、前記座標レーザースペックル画像のX軸及びY軸に対する前記位置決め点の相対変位量を得、さらに前記レーザースペックル3次元変位センサーのZ軸高さパラメータ及び前記座標レーザースペックル画像の前記3次元位置決め座標と組み合わせると、この時の前記ロボットアームの前記エンドエフェクタの3次元絶対位置決め座標を得ることができるロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。 - 前記不変形レーザースペックル画像取り込み装置は、X軸変位センサーと、Y軸変位センサーと、を含み、前記X軸変位センサーが物体表面上の任意の点のX軸方向の変位量を測定するために用いられ、前記Y軸変位センサーが物体表面上の任意の点のY軸方向の変位量を測定するために用いられる請求項1に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。
- 前記レーザー変位センサーは、Z軸変位センサーであり、かつ共焦点式レーザー変位センサー、カラー共焦点式変位センサー、白色光干渉変位センサーまたは三角測量式レーザー変位センサーを含む請求項2に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。
- 前記X軸変位センサー、前記Y軸変位センサー及び前記Z軸変位センサーのプローブレーザービームは、すべて前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の表面上の同じ点に当たり、各レーザービームの動作波長の差が少なくとも10nmであり、各変位センサーの受光レンズの前に±5nmの干渉式フィルタを取り付けて他の2つのレーザー散乱光を除去することで、3つのレーザービームが互いに干渉しないようにさせる請求項3に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。
- 前記レーザースペックル3次元絶対位置決め空間は、前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の上方、及び前記レーザースペックル3次元変位センサーの測定高さ内の3次元空間である請求項1に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。
- 前記レーザースペックル3次元変位センサーは、10kHzを超える周波数で連続的に画像を取り込む請求項1に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の装置。
- (A)2次元レーザー干渉計キャリブレーションプラットフォームを構築し、レーザースペックル3次元変位センサーの3つのレーザービームをレーザースペックル画像3次元位置決め基台の同じ位置に放射して、前記位置の2つのレーザースペックル画像及び1つの高さ値をキャプチャし、前記レーザースペックル3次元変位センサーの3つのレーザービームが当たった前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の複数の位置に各々対応する2つのレーザースペックル画像及び高さ値を2つの座標レーザースペックル画像と3次元位置決め座標とを有するレーザースペックル座標データベースとして構築するステップと、
(B)前記レーザースペックル座標データベースの構築済みで、3面の互いに垂直な前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台で構成したロボットアームの繰り返し位置決め精度テスト定盤を構築するステップと、
(C)前記レーザースペックル3次元変位センサーを前記ロボットアームのエンドエフェクタ上に取り付けるステップと、
(D)前記ロボットアームを動かすことにより、前記レーザースペックル3次元変位センサーを前記ロボットアームの繰り返し位置決め精度テスト定盤のレーザースペックル3次元絶対位置決め空間内に入るようにさせて位置決め点のレーザースペックル画像をキャプチャさせ、前記レーザースペックル画像と前記レーザースペックル座標データベースの前記座標レーザースペックル画像とを比較して、前記座標レーザースペックル画像のX軸及びY軸に対する前記位置決め点の相対変位量を得、さらに前記レーザースペックル3次元変位センサーのZ軸高さパラメータ及び前記座標レーザースペックル画像の前記3次元位置決め座標と組み合わせると、この時の前記ロボットアームの前記エンドエフェクタの3次元絶対位置決め座標を得ることができるステップと、
を含むロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の方法。 - 前記レーザースペックル3次元変位センサーは、2つの互いに垂直な不変形レーザースペックル画像取り込み装置と、レーザー変位センサーと、を有し、前記不変形レーザースペックル画像取り込み装置がX軸変位センサーと、Y軸変位センサーと、を含み、前記X軸変位センサーが物体表面上の任意の点のX軸方向の変位量を測定するために用いられ、前記Y軸変位センサーが物体表面上の任意の点のY軸方向の変位量を測定するために用いられる請求項7に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の方法。
- 前記レーザー変位センサーは、Z軸変位センサーであり、かつ共焦点式レーザー変位センサー、カラー共焦点式変位センサー、白色光干渉変位センサーまたは三角測量式レーザー変位センサーを含む請求項8に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の方法。
- 前記X軸変位センサー、前記Y軸変位センサー及び前記Z軸変位センサーのプローブレーザービームは、すべて前記レーザースペックル画像3次元位置決め基台の表面上の同じ点に当たり、各レーザービームの動作波長の差が少なくとも10nmであり、各変位センサーの受光レンズの前に±5nmの干渉式フィルタを取り付けて他の2つのレーザー散乱光を除去することで、3つのレーザービームが互いに干渉しないようにさせる請求項9に記載のロボットアーム繰り返し位置決め精度測定の方法。
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