JP7202909B2 - Electric actuator and deterioration index calculation method - Google Patents

Electric actuator and deterioration index calculation method Download PDF

Info

Publication number
JP7202909B2
JP7202909B2 JP2019012292A JP2019012292A JP7202909B2 JP 7202909 B2 JP7202909 B2 JP 7202909B2 JP 2019012292 A JP2019012292 A JP 2019012292A JP 2019012292 A JP2019012292 A JP 2019012292A JP 7202909 B2 JP7202909 B2 JP 7202909B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
opening
valve body
output shaft
deterioration index
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019012292A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020118283A (en
Inventor
浩昭 成田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2019012292A priority Critical patent/JP7202909B2/en
Publication of JP2020118283A publication Critical patent/JP2020118283A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7202909B2 publication Critical patent/JP7202909B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Electric Motors In General (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Description

本発明は、スプリングリターン形の電動アクチュエータに関し、特に、電動アクチュエータで制御する弁体に関する劣化状態の判定に用いる劣化指標を計算するための劣化指標計算技術に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a spring-return type electric actuator, and more particularly to a deterioration index calculation technique for calculating a deterioration index used to determine the deterioration state of a valve body controlled by an electric actuator.

バルブやダンパなどの操作端を電動で開閉制御する電動アクチュエータの1つとして、出力軸に取り付けたリターンスプリングの復帰力で電源供給遮断時に出力軸を所定の回動位置まで戻す、いわゆるスプリングリターン形の電動アクチュエータがある(例えば、特許文献1など参照)。 As one of the electric actuators that electrically controls the opening and closing of operating ends such as valves and dampers, so-called spring return type actuators return the output shaft to a predetermined rotation position when the power supply is cut off by the restoring force of the return spring attached to the output shaft. electric actuator (see, for example, Patent Document 1).

この電動アクチュエータは、通電時、動力伝達部を介してモータで出力軸を回動させて操作端の開度を調整すると同時にリターンスプリングを巻き上げ、モータのディテントトルクで回動位置を保持している。これにより、その後に外部からの電源供給が遮断された場合、モータの電動クラッチへの電源供給が停止されてクラッチ断となって、モータのディテントトルクが非常に小さくなるため、リターンスプリングの復帰力により全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで、出力軸が強制的に戻されることになる。 When energized, the electric actuator rotates the output shaft with the motor through the power transmission section to adjust the opening of the operating end, and at the same time winds up the return spring to hold the rotating position by the detent torque of the motor. . As a result, when the power supply from the outside is cut off after that, the power supply to the electric clutch of the motor is stopped and the clutch is disconnected. The output shaft is forcibly returned to a predetermined rotational position such as a fully closed position or a fully opened position.

特開平10-164878号公報JP-A-10-164878 特開2015-125038号公報JP 2015-125038 A 特開2015-114188号公報JP 2015-114188 A

通常、電動アクチュエータで制御する弁体は、耐食性を有する材料からなり、長期間にわたり十分な耐久性を持つと考えられる。このため、弁体の劣化状態を検出する必要性は低く、従来より電動アクチュエータの劣化判定機能として具体化されていない。
一方、電動アクチュエータとともに使用される操作端には保証期間が設定されていて、保証期間の満了に応じて新たなものに交換する必要がある。しかし、実際には保証期間を超えて長期間にわたり使用される場合もある。
A valve body controlled by an electric actuator is usually made of a material having corrosion resistance and is considered to have sufficient durability over a long period of time. Therefore, there is little need to detect the state of deterioration of the valve body, and conventionally, it has not been embodied as a function of determining deterioration of the electric actuator.
On the other hand, the operating device used together with the electric actuator has a warranty period, and must be replaced with a new one when the warranty period expires. However, in practice, it may be used for a long period of time beyond the warranty period.

このような保証期間を超えて長期にわたり使用した場合、弁体が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。このような場合、電動アクチュエータから弁体を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリングの復帰力により、出力軸を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、弁体の劣化状態を把握しておくことが重要となる。 If the valve body is used for a long period of time beyond the warranty period, it is conceivable that the original design performance may not be obtained due to deformation, failure, aging, etc. due to deterioration of the valve body. In such a case, the electric actuator may not be able to accurately control the opening and closing of the valve body. It may become irreversible. Therefore, it is important to grasp the deterioration state of the valve body.

本発明はこのような課題を解決するためのものであり、電動アクチュエータで制御する弁体の劣化状態を示す劣化指標を容易に計算できる劣化指標計算技術を提供することを目的としている。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a deterioration index calculation technique capable of easily calculating a deterioration index indicating the deterioration state of a valve body controlled by an electric actuator.

このような目的を達成するために、本発明にかかる電動アクチュエータは、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、前記制御回路は、前記モータを駆動制御して、互いに異なる第1および第2の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御部と、前記出力軸を前記第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングに生じたスプリングトルクと、前記出力軸を前記第1および第2の制御開度に回動した際に前記リターンスプリングおよび前記弁体に生じた合成トルクとに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理部とを有している。 In order to achieve such an object, an electric actuator according to the present invention includes an output shaft for rotating a valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission section, and a motor for driving the motor. a control circuit that controls the opening of the valve body by controlling; The control circuit includes an opening degree control unit that drives and controls the motor to rotate the output shaft to first and second control opening degrees different from each other, and a control circuit that rotates the output shaft to the second control opening degree. Based on a spring torque generated in the return spring when it rotates, and a combined torque generated in the return spring and the valve body when the output shaft rotates to the first and second control opening degrees. and a deterioration index processing unit for calculating the valve body torque of the valve body as the deterioration index of the valve body.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサをさらに備え、前記劣化指標処理部は、前記制御開度に前記出力軸を回動して保持した状態で、前記出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するようにしたものである。 Further, one configuration example of the electric actuator according to the present invention further includes an output-side angle sensor that detects the rotation angle of the output shaft as the output-side opening, and the deterioration index processing unit detects the control opening. With the output shaft rotated and held, the spring torque is calculated based on the output side opening detected by the output side angle sensor and the spring constant of the return spring. be.

また、本発明にかかる上記電動アクチュエータの一構成例は、前記劣化指標処理部が、前記モータトルクをTmとし、前記リターンスプリングのばね定数をkとし、前記出力側角度センサで検出された出力側開度をθaxとした場合、前記弁体トルクTvを次の式、Tv=-Tm-k・θaxで計算するようにしたものである。 Further, in one configuration example of the electric actuator according to the present invention, the deterioration index processing unit sets the motor torque to Tm, the spring constant of the return spring to k, and the output side detected by the output side angle sensor. When the degree of opening is θax, the valve body torque Tv is calculated by the following formula: Tv=-Tm-k·θax.

また、本発明にかかる劣化指標計算方法は、弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して所定の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御ステップと、前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を前記制御開度に回動して保持した状態で、前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理ステップとを備えている。 Further, a deterioration index calculation method according to the present invention includes an output shaft for rotating a valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission section, and driving and controlling the motor to control the valve. A deterioration indicator used in an electric actuator comprising a control circuit for controlling the opening of the body, and a return spring attached to the output shaft to return the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when power is cut off. A calculation method comprising: an opening control step in which an opening control unit of the control circuit drives and controls the motor to rotate the output shaft to a predetermined control opening; and a deterioration index processing unit of the control circuit. However, in a state in which the output shaft is rotated and held at the control opening, the valve element and a deterioration index processing step of calculating the valve body torque of

また、本発明にかかる劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記制御開度に前記出力軸を回動して保持した状態で、前記出力軸の回動角度を検出する出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するステップを含んでいる。 In one configuration example of the deterioration index calculation method according to the present invention, the deterioration index processing step detects the rotation angle of the output shaft while the output shaft is rotated and held at the control opening. calculating the spring torque based on the output-side opening detected by the output-side angle sensor and the spring constant of the return spring.

また、本発明にかかる劣化指標計算方法の一構成例は、前記劣化指標処理ステップが、前記モータトルクをTmとし、前記リターンスプリングのばね定数をkとし、前記出力側角度センサで検出された出力側開度をθaxとした場合、前記弁体トルクTvを次の式、Tv=-Tm-k・θaxで計算するステップを含んでいる。 Further, in one configuration example of the deterioration index calculation method according to the present invention, the deterioration index processing step sets the motor torque to Tm, the spring constant of the return spring to k, and the output detected by the output side angle sensor If the side opening is θax, it includes a step of calculating the valve body torque Tv by the following equation: Tv=−Tm−k·θax.

本発明によれば、弁体の劣化指標として、弁体の弁体トルクを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、弁体の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、角度センサや制御回路など、電動アクチュエータの既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータの信頼性を高めることが可能となる。 According to the present invention, since the valve body torque can be easily grasped as a deterioration index of the valve body, it is possible to easily grasp the state of deterioration of the valve body according to the degree of divergence from the initial design value. can. Therefore, when the range of divergence increases and the deterioration progresses, appropriate countermeasures can be taken before a failure occurs, and extremely effective predictive maintenance can be realized. This makes it possible to provide a certain level of reliability even when long-term use beyond the warranty period is assumed. In addition, the deterioration index can be easily calculated using the existing configuration of the electric actuator, such as the angle sensor and control circuit, making it possible to improve the reliability of the electric actuator without increasing the circuit scale or product cost. becomes.

図1は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an electric actuator. 図2は、流量制御処理を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flow chart showing flow control processing. 図3は、弁側センサ出力値と弁側開度との関係を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the valve-side sensor output value and the valve-side opening degree. 図4は、劣化指標処理を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing deterioration index processing. 図5は、劣化指標処理動作を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the deterioration index processing operation.

次に、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
まず、図1を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10について説明する。図1は、電動アクチュエータの構成を示すブロック図である。
Next, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, an electric actuator 10 according to this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an electric actuator.

この電動アクチュエータ10は、例えば、空調システム等の設備において、配管を流れる冷温水の流量を制御する流量制御バルブや、空気の風量を調整する風量調整ダンパーなどの弁体を電動制御する装置である。以下では、図1に示すように、流量制御バルブの弁本体20に電動アクチュエータ10を取り付けた場合を例として説明するが、これに限定されるものではなく、風量調整ダンパーなど、電動制御可能な弁体を有する他の機器に取り付けた場合にも、同様にして適用可能である。 The electric actuator 10 is, for example, a device for electrically controlling a valve body such as a flow rate control valve that controls the flow rate of hot and cold water flowing through a pipe or an air volume adjustment damper that adjusts the air volume in equipment such as an air conditioning system. . In the following, as shown in FIG. 1, the case where the electric actuator 10 is attached to the valve body 20 of the flow control valve will be described as an example. It can be applied in the same way when it is attached to other equipment having a valve body.

[弁本体]
弁本体20は、流体が流れる流路21が内部に形成された金属管からなり、流路21の途中には流体の流量を制御するための弁体22が回動自在に取り付けられている。弁体22には、弁本体20の外部へ一端が導出された弁軸26が結合されており、この弁軸26の回動操作により弁体22が回動し、流路21の断面積、すなわち弁開度が変化して、流体の流量が制御される。
[Valve body]
The valve body 20 is made of a metal tube in which a flow path 21 through which fluid flows is formed. A valve shaft 26 having one end led out of the valve main body 20 is connected to the valve body 22. By rotating the valve shaft 26, the valve body 22 rotates, and the cross-sectional area of the flow path 21 increases. That is, the valve opening degree is changed to control the flow rate of the fluid.

流路21の内壁23のうち、弁体22の一次側(流体上流側)には圧力センサS1が配置されており、弁体22の二次側(流体下流側)には圧力センサS2が配置されている。これら圧力センサS1,S2は、それぞれ流路21の一次側圧力P1および二次側圧力P2を検出し、得られた検出結果を示す圧力検出信号を電動アクチュエータ10へ出力する。これら一次側圧力P1および二次側圧力P2と、弁開度に相当する出力側開度θaからなる開度現在値θとに基づいて流路21を流れる流体の流量が計測される。 A pressure sensor S1 is arranged on the primary side (fluid upstream side) of the valve element 22 in the inner wall 23 of the flow path 21, and a pressure sensor S2 is arranged on the secondary side (fluid downstream side) of the valve element 22. It is These pressure sensors S<b>1 and S<b>2 detect the primary side pressure P<b>1 and the secondary side pressure P<b>2 of the flow path 21 , respectively, and output pressure detection signals indicating the obtained detection results to the electric actuator 10 . The flow rate of the fluid flowing through the flow path 21 is measured based on the primary side pressure P1, the secondary side pressure P2, and the current opening value θ, which is the output side opening θa corresponding to the valve opening.

[電動アクチュエータ]
電動アクチュエータ10は、ヨーク31を介して弁本体20の本体上面24に取り付けられており、継手30を介して弁軸26と接続されている出力軸16を回動制御することにより、弁体22の弁開度を制御して、流体の流量制御を行う機能を有している。
電動アクチュエータ10には、主な構成として、設定回路11、モータ駆動回路12、モータ13、動力伝達部14、リターンスプリング15、出力軸16、出力側角度センサ17A、弁側角度センサ17V、記憶回路18、および制御回路19が設けられている。
[Electric actuator]
The electric actuator 10 is attached to the main body upper surface 24 of the valve body 20 via the yoke 31 , and controls the rotation of the output shaft 16 connected to the valve shaft 26 via the joint 30 to rotate the valve body 22 . It has a function of controlling the flow rate of the fluid by controlling the opening degree of the valve.
The main components of the electric actuator 10 include a setting circuit 11, a motor drive circuit 12, a motor 13, a power transmission section 14, a return spring 15, an output shaft 16, an output side angle sensor 17A, a valve side angle sensor 17V, and a memory circuit. 18 and a control circuit 19 are provided.

設定回路11は、上位装置(図示せず)から受信した流量目標信号などの設定信号に含まれる、流量目標値Qrefなどの設定値を取得し、制御回路19へ出力する機能を有している。
モータ駆動回路12は、制御回路19から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ13を駆動する機能を有している。
The setting circuit 11 has a function of acquiring a set value such as a flow rate target value Qref included in a setting signal such as a flow rate target signal received from a host device (not shown) and outputting the set value to the control circuit 19. .
The motor drive circuit 12 has a function of driving the motor 13 based on the motor control signal output from the control circuit 19 .

モータ13は、DCモータ、ACモータ、ステッピングモータなどの制御用モータからなり、モータ駆動回路12からの駆動信号により、指定された方向へ指定された角度分だけシャフト13Aを回転させる機能と、外部からの電動アクチュエータ10に対する電源供給の有無に応じてディテントルクの発生有無を切り替えるのためのクラッチ機能とを有している。
動力伝達部14は、歯数の異なる複数の歯車が噛合されたギヤボックスなどの動力伝達機構からなり、モータ13のシャフト13Aの回転速度を減速して出力軸16を回動させる機能を有している。
The motor 13 is a control motor such as a DC motor, an AC motor, or a stepping motor. and a clutch function for switching whether or not detent torque is generated depending on whether or not power is supplied to the electric actuator 10 from.
The power transmission unit 14 is composed of a power transmission mechanism such as a gearbox in which a plurality of gears having different numbers of teeth are meshed, and has a function of reducing the rotational speed of the shaft 13A of the motor 13 to rotate the output shaft 16. ing.

これにより、制御回路19から出力されたモータ制御信号に基づいて、モータ駆動回路12から駆動信号がモータ13に出力される。また、この駆動信号に応じてモータ13のシャフト13Aが回転し、その回転出力が動力伝達部14で減速されて出力軸16を回動させ、継手30および弁軸26を介して弁体22が所定の回動角度すなわち弁開度まで回動することになる。 As a result, the drive signal is output from the motor drive circuit 12 to the motor 13 based on the motor control signal output from the control circuit 19 . In response to this drive signal, the shaft 13A of the motor 13 rotates, the rotational output of which is decelerated by the power transmission section 14 to rotate the output shaft 16, and the valve body 22 moves through the joint 30 and the valve shaft 26. It rotates to a predetermined rotation angle, that is, the valve opening degree.

リターンスプリング15は、一般的なコイルバネからなり、出力軸16に取り付けられて、電源遮断時に動力伝達部14でモータ13のシャフト13Aから解放された出力軸16を、自己の復帰力で所定の開度位置まで戻すスプリングである。
出力軸16は、継手30および弁軸26を介して弁体22と連結されて、弁体22を回動するための軸である。
The return spring 15 consists of a general coil spring, and is attached to the output shaft 16. When the power is cut off, the output shaft 16, which is released from the shaft 13A of the motor 13 by the power transmission section 14, is opened by its own restoring force. It is a spring that returns to the degree position.
The output shaft 16 is a shaft that is connected to the valve body 22 via a joint 30 and a valve shaft 26 to rotate the valve body 22 .

出力側角度センサ17Aは、動力伝達部14または出力軸16に取り付けられて、出力軸16の回動角度を検出し、回動角度に応じた出力側センサ出力値Saを制御回路19へ出力する角度センサである。
以下では、出力側角度センサ17Aとしては、例えば円形差動トランス型角度センサ(特許文献2)や磁気抵抗型角度センサ(特許文献3)を用いた場合を例として説明する。本発明は、これら特許文献2および特許文献3に記載されたすべての内容を含むものとする。なお、出力側角度センサ17Aは、これに限定されるものではなく、ポテンショメータ、インクリメンタルエンコーダ、アブソリュートエンコーダなど、回転角度が計測できるセンサを出力側角度センサ17Aとして用いてもよい。
The output side angle sensor 17A is attached to the power transmission portion 14 or the output shaft 16, detects the rotation angle of the output shaft 16, and outputs the output side sensor output value Sa according to the rotation angle to the control circuit 19. It is an angle sensor.
In the following, a case where, for example, a circular differential transformer type angle sensor (Patent Document 2) or a magnetoresistive type angle sensor (Patent Document 3) is used as the output side angle sensor 17A will be described as an example. The present invention includes all the contents described in these Patent Documents 2 and 3. Note that the output angle sensor 17A is not limited to this, and a sensor capable of measuring a rotation angle, such as a potentiometer, an incremental encoder, or an absolute encoder, may be used as the output angle sensor 17A.

弁側角度センサ17Vは、弁本体20の外側である本体上面24に取り付けられて、弁体22付近の弁軸26の回動角度を検出し、回動角度に応じた弁側センサ出力値Svを電動アクチュエータ10へ出力する角度センサである。弁側角度センサ17Vは、断熱材を介して弁本体20に取り付けられており、流体温度の影響が抑制されている。
また、弁側角度センサ17Vには温度センサS3が取り付けられており、温度センサS3で検出された検出温度Txに基づいて、弁側角度センサ17Vの弁側開度θvが開度現在値θに温度補正される。なお、弁側開度θvの温度補正は、本実施の形態において必須ではなく、弁側角度センサ17Vのセンサ出力が周囲温度の影響を受けない場合には、温度補正を省くこともできる。
The valve-side angle sensor 17V is attached to the body upper surface 24 outside the valve body 20, detects the rotation angle of the valve shaft 26 in the vicinity of the valve body 22, and outputs the valve-side sensor output value Sv corresponding to the rotation angle. to the electric actuator 10 . The valve-side angle sensor 17V is attached to the valve main body 20 via a heat insulating material, and the influence of the fluid temperature is suppressed.
A temperature sensor S3 is attached to the valve-side angle sensor 17V, and based on the detected temperature Tx detected by the temperature sensor S3, the valve-side opening θv of the valve-side angle sensor 17V changes to the current opening value θ. Temperature compensated. Note that the temperature correction of the valve-side opening degree θv is not essential in this embodiment, and the temperature correction can be omitted if the sensor output of the valve-side angle sensor 17V is not affected by the ambient temperature.

以下では、弁側角度センサ17Vとしては、例えば円形差動トランス型角度センサ(特許文献2)や磁気抵抗型角度センサ(特許文献3)を用いた場合を例として説明する。本発明は、これら特許文献2および特許文献3に記載されたすべての内容を含むものとする。なお、弁側角度センサ17Vは、これに限定されるものではなく、ポテンショメータ、インクリメンタルエンコーダ、アブソリュートエンコーダなど、回転角度が計測できるセンサを弁側角度センサ17Vとして用いてもよい。 In the following description, as the valve-side angle sensor 17V, for example, a circular differential transformer angle sensor (Patent Document 2) or a magnetoresistive angle sensor (Patent Document 3) is used. The present invention includes all the contents described in these Patent Documents 2 and 3. The valve-side angle sensor 17V is not limited to this, and a potentiometer, incremental encoder, absolute encoder, or other sensor capable of measuring a rotation angle may be used as the valve-side angle sensor 17V.

また、図1において破線で示すように、弁側角度センサ17Vの取付位置は、本体上面24に代えて弁本体20の本体底面25であってもよい。
弁体22を弁本体20内の流路21に回動自在に取り付ける際、内壁23の上側部と下側部とで弁軸26を係止している。このため、弁軸26の下端を本体底面25から弁本体20の外部へ導出することが可能であり、弁本体20の外側へ導出した弁軸26の下端の回動角度を弁側角度センサ17Vで検出すればよい。
1, the mounting position of the valve-side angle sensor 17V may be the bottom surface 25 of the valve body 20 instead of the top surface 24 of the valve body.
When the valve body 22 is rotatably attached to the flow path 21 in the valve main body 20 , the upper and lower portions of the inner wall 23 engage the valve shaft 26 . Therefore, the lower end of the valve shaft 26 can be led out of the valve body 20 from the bottom surface 25 of the valve body 25, and the rotation angle of the lower end of the valve shaft 26 led out of the valve body 20 is detected by the valve side angle sensor 17V. should be detected by

記憶回路18は、不揮発性の半導体メモリからなり、流量現在値Qの計算に用いる弁体22に固有の流量係数Cvを特定するための特性テーブルなど、流量制御や劣化指標計算に用いる各種の処理データを記憶する機能を有している。この特性テーブルには、流路21の一次側圧力P1および二次側圧力P2の差圧ΔP=P1-P2と弁体22の開度現在値θとの組み合わせごとに、弁体22に固有の流量係数Cvが予め登録されている。これら特性テーブルの各データは、形状や材質などの弁体22の特徴に基づいて別途計算されたものである。 The storage circuit 18 consists of a non-volatile semiconductor memory, and stores various processes used for flow rate control and deterioration index calculation, such as a characteristic table for specifying the flow rate coefficient Cv unique to the valve body 22 used for calculating the current flow rate value Q. It has the function of storing data. In this characteristic table, for each combination of the differential pressure ΔP=P1−P2 between the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 of the flow path 21 and the current opening value θ of the valve body 22, A flow coefficient Cv is registered in advance. Each data of these characteristic tables is separately calculated based on the characteristics of the valve body 22 such as shape and material.

制御回路19は、CPUとその周辺回路を有し、CPUとプログラムとを協働させることにより、流量制御や劣化指標計算のため処理を実行する各種の処理部を実現する機能を有している。
制御回路19は、主な処理部として、開度制御部19Aと劣化指標処理部19Bとを備えている。
The control circuit 19 has a CPU and its peripheral circuits, and has the function of realizing various processing units that execute processing for flow rate control and deterioration index calculation by cooperating the CPU and programs. .
The control circuit 19 includes an opening control section 19A and a deterioration index processing section 19B as main processing sections.

開度制御部19Aは、圧力センサS1,S2から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力P1および二次側圧力P2と開度現在値θとに基づいて、流路21を流れる流体の流量現在値Qを計算する機能と、この流量現在値Qと流量目標値Qrefとの流量偏差ΔQに基づいて、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、弁体22の弁開度を調整して流量現在値Qを制御する機能と、劣化指標計算時、予め設定されている制御開度θaに出力軸16を回動する機能とを有している。 The opening controller 19A controls the flow rate of the fluid flowing through the flow path 21 based on the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 indicated by the pressure detection signals output from the pressure sensors S1 and S2 and the current opening value θ. By outputting a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 based on the function of calculating the current flow rate Q and the flow rate deviation ΔQ between the current flow rate value Q and the target flow rate value Qref, the valve body 22 is opened. and a function of rotating the output shaft 16 to a preset control opening θa when calculating the deterioration index.

劣化指標処理部19Bは、出力軸16を制御開度θaに回動して保持した状態で、リターンスプリング15およびモータ13に生じた、スプリングトルクTsおよびモータトルクTmとに基づいて、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを計算する機能と、得られた弁体トルクTvと予め設定されている正常範囲Eとに基づいて、弁体22の劣化状態を判定する機能とを有している。 The deterioration index processing unit 19B adjusts the valve body 22 based on the spring torque Ts and the motor torque Tm generated in the return spring 15 and the motor 13 in a state where the output shaft 16 is rotated to the control opening degree θa and held. A function of calculating the valve body torque Tv of the valve body 22 as a deterioration index of the valve body 22, and a function of determining the deterioration state of the valve body 22 based on the obtained valve body torque Tv and the preset normal range E and

具体的には、劣化指標処理部19Bは、制御開度θaに出力軸16を回動して保持した状態で、出力側角度センサ17Aで検出された出力側開度θaxと、リターンスプリング15のばね定数kとに基づいて、スプリングトルクTsを計算する機能を有している。
より具体的には、劣化指標処理部19Bは、モータトルクをTmとし、リターンスプリングのばね定数をkとし、出力側角度センサ17Aで検出された出力側開度をθaxとした場合、弁体トルクTvを後述する式(3)で計算する機能とを備えている。
Specifically, the deterioration index processing unit 19B detects the output side opening θax detected by the output side angle sensor 17A and It has a function of calculating the spring torque Ts based on the spring constant k.
More specifically, when the motor torque is Tm, the spring constant of the return spring is k, and the output-side opening detected by the output-side angle sensor 17A is θax, the valve body torque It also has a function of calculating Tv by equation (3), which will be described later.

また、劣化指標処理部19Bは、任意の制御開度θでモータ13に流れるモータ電流に基づいてモータトルクTmを計算する機能を有している。なお、以下では、モータ電流に基づきモータトルクを計算する場合を例として説明するが、これに限定されるものではなく、他の手法でモータトルクを特定してもよい。 Further, the deterioration index processing section 19B has a function of calculating the motor torque Tm based on the motor current flowing through the motor 13 at an arbitrary control opening θ. In addition, although the case where the motor torque is calculated based on the motor current will be described below as an example, the present invention is not limited to this, and the motor torque may be specified by other methods.

本発明において、制御開度は、開度制御部19Aが開度制御に用いる目標値であり、出力側開度は、出力側角度センサ17Aで検出された出力軸16の回動角度を示す検出値であるものとする。なお、開度は全閉状態と全開状態との間を百分率で表した値であり、回動角度は開度を角度で表した値であるが、両者は一意に対応するものであり、本発明において、制御開度、出力側開度、あるいは弁側開度を、単に回動角度という場合もある。 In the present invention, the control opening is a target value used for opening control by the opening controller 19A, and the output side opening is detection indicating the rotation angle of the output shaft 16 detected by the output side angle sensor 17A. shall be a value. The degree of opening is a percentage value between the fully closed state and the fully open state, and the rotation angle is a value that expresses the degree of opening as an angle. In the invention, the control opening degree, the output side opening degree, or the valve side opening degree may be simply referred to as the rotation angle.

[流量制御動作]
次に、図2を参照して、弁側角度センサ17Vで検出した弁側開度θvを用いた、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10の流量制御動作について説明する。図2は、流量制御処理を示すフローチャートである。
制御回路19は、流路21を流れる流体の流量を制御する場合、図2の流量制御処理を実行する。
[Flow rate control operation]
Next, with reference to FIG. 2, the flow control operation of the electric actuator 10 according to the present embodiment using the valve-side opening degree θv detected by the valve-side angle sensor 17V will be described. FIG. 2 is a flow chart showing flow control processing.
When controlling the flow rate of the fluid flowing through the flow path 21, the control circuit 19 executes the flow rate control process of FIG.

図2の流量制御処理の開始時において、設定回路11には、予め流量目標値Qrefが設定されているものとする。また、記憶回路18には、弁体22に関する特性テーブルが予め登録されているものとする。
また、制御回路19内の記憶部(図示せず)には、弁側角度センサ17Vの弁側センサ出力値Svと弁体22の弁開度との対応関係の基準となる弁側出力基準値Ssが予め設定されているものとする。
It is assumed that the setting circuit 11 is preset with a flow rate target value Qref at the start of the flow rate control process of FIG. It is also assumed that a characteristic table relating to the valve body 22 is registered in advance in the storage circuit 18 .
A storage unit (not shown) in the control circuit 19 stores a valve-side output reference value that serves as a reference for the correspondence between the valve-side sensor output value Sv of the valve-side angle sensor 17V and the valve opening degree of the valve body 22. It is assumed that Ss is set in advance.

図3は、弁側センサ出力値と弁側開度との関係を示すグラフである。弁側角度センサ17Vとして用いられる、円形差動トランス型角度センサおよび磁気抵抗型角度センサは、弁軸26の中間位置角度すなわち50%開度を中心として、全閉方向および全開方向に対称となる弁側センサ出力値Svを出力する構造を有している。したがって、図3に示すように、弁側センサ出力値Svと弁側開度θvとの関係は線形比例するとともに、全閉および全開を示す電圧値は、50%開度を示す電圧値=0vを中心として、等しい電圧幅Ssだけ離れた電圧値-Ss,Ssとなる。 FIG. 3 is a graph showing the relationship between the valve-side sensor output value and the valve-side opening degree. The circular differential transformer type angle sensor and magnetoresistive type angle sensor used as the valve-side angle sensor 17V are symmetrical in the fully closed direction and the fully open direction centering on the intermediate position angle of the valve shaft 26, that is, the 50% opening degree. It has a structure that outputs the valve-side sensor output value Sv. Therefore, as shown in FIG. 3, the relationship between the valve-side sensor output value Sv and the valve-side opening degree θv is linearly proportional, and the voltage value indicating fully closed and fully opened is the voltage value indicating 50% opening=0v are the voltage values -Ss and Ss apart from each other by an equal voltage width Ss.

まず、開度制御部19Aは、弁側角度センサ17Vから弁側センサ出力値Svを取得し(ステップS100)、予め設定されている弁側出力基準値Ssに基づいて、Svから弁側開度θv=50×(1+Sv/Ss)[%]を計算する(ステップS101)。 First, the opening controller 19A acquires the valve-side sensor output value Sv from the valve-side angle sensor 17V (step S100), and based on the preset valve-side output reference value Ss, the valve-side opening degree is calculated from Sv. θv=50×(1+Sv/Ss) [%] is calculated (step S101).

この際、弁側角度センサ17Vに取り付けられた温度センサS3で検出された検出温度Txに基づいて、弁側角度センサ17Vの現在開度値θ(弁側開度θv)が温度補正される。なお、弁側開度θvの温度補正は、本実施の形態において必須ではなく、弁側角度センサ17Vのセンサ出力が周囲温度の影響を受けない場合には、温度補正を省くこともできる。 At this time, the current opening value θ of the valve-side angle sensor 17V (valve-side opening θv) is temperature-corrected based on the detected temperature Tx detected by the temperature sensor S3 attached to the valve-side angle sensor 17V. Note that the temperature correction of the valve-side opening degree θv is not essential in this embodiment, and the temperature correction can be omitted if the sensor output of the valve-side angle sensor 17V is not affected by the ambient temperature.

次に、開度制御部19Aは、圧力センサS1,S2から出力された圧力検出信号が示す一次側圧力P1および二次側圧力P2を取得し(ステップS102)、これらP1,P2の差圧ΔP=P1-P2を計算する(ステップS103)。
続いて、開度制御部19Aは、差圧ΔPと開度現在値θに対応する流量係数Cvを記憶回路18の特性テーブルから取得し(ステップS104)、流量係数Cvと差圧ΔPに基づいて、流路21を流れる流体の流量現在値Qを計算する(ステップS105)。この際、流路21の口径などによって定まる定数をAとした場合、流量現在値Qは、Q=A・Cv・(ΔP)1/2で求められる。
Next, the opening degree control unit 19A acquires the primary side pressure P1 and the secondary side pressure P2 indicated by the pressure detection signals output from the pressure sensors S1 and S2 (step S102). =P1-P2 is calculated (step S103).
Subsequently, the opening control unit 19A acquires the flow coefficient Cv corresponding to the differential pressure ΔP and the current opening value θ from the characteristic table of the storage circuit 18 (step S104), and based on the flow coefficient Cv and the differential pressure ΔP , the current flow rate Q of the fluid flowing through the flow path 21 is calculated (step S105). At this time, if A is a constant determined by the diameter of the flow path 21, etc., the current flow rate Q is obtained by Q=A.Cv.(.DELTA.P).sup.1/ 2 .

この後、開度制御部19Aは、QとQrefの流量偏差ΔQ=Q-Qrefを計算し(ステップS106)、ΔQとゼロとを比較する(ステップS107)。
ここで、ΔQがゼロと等しくΔQ=0である場合(ステップS107:ΔQ=0)、開度制御部19Aは、弁開度を変更することはないが、流量目標値Qrefが変更にならなくても、管路の状態により流量現在値Qが変化するため、ステップS100に戻る。
After that, the opening controller 19A calculates the flow rate deviation ΔQ=Q−Qref between Q and Qref (step S106), and compares ΔQ with zero (step S107).
Here, when ΔQ is equal to zero and ΔQ=0 (step S107: ΔQ=0), the opening degree control unit 19A does not change the valve opening degree, but the flow rate target value Qref does not change. However, since the current flow rate Q changes depending on the state of the pipeline, the process returns to step S100.

一方、ΔQがゼロより小さくΔQ<0である場合(ステップS107:ΔQ<0)、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、モータ13をΔQに相当する弁開度分だけ開方向に駆動し(ステップS108)、ステップS100に戻る。
また、ΔQがゼロより大きくΔQ>0である場合(ステップS107:ΔQ>0)、開度制御部19Aは、所定のモータ制御信号をモータ駆動回路12へ出力することにより、モータ13をΔQに相当する弁開度分だけ閉方向に駆動し(ステップS109)、ステップS100に戻る。
On the other hand, when ΔQ is smaller than zero and ΔQ<0 (step S107: ΔQ<0), the opening control unit 19A outputs a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 to set the motor 13 to ΔQ. The valve is driven in the opening direction by the corresponding valve opening degree (step S108), and the process returns to step S100.
Further, when ΔQ is greater than zero and ΔQ>0 (step S107: ΔQ>0), the opening controller 19A outputs a predetermined motor control signal to the motor drive circuit 12 to set the motor 13 to ΔQ. The valve is driven in the closing direction by the corresponding valve opening degree (step S109), and the process returns to step S100.

以上では、図2を参照して、弁側角度センサ17Vで検出した弁側開度θvを用いた流量制御動作について説明したが、弁側開度θvに代えて出力側角度センサ17Aで検出した出力側開度θaを用いて、流量制御動作を実行してもよい。 In the above, the flow rate control operation using the valve-side opening θv detected by the valve-side angle sensor 17V was described with reference to FIG. A flow rate control operation may be performed using the output side opening θa.

具体的には、図2のステップS100-S101において、出力側角度センサ17Aから出力側センサ出力値Saを取得し(ステップS100)、予め設定されている出力側出力基準値Sbに基づいて、Saから現在開度値θ(出力側開度θa)=50×(1+Sa/Sb)[%]を計算する(ステップS101)。なお、制御回路19内の記憶部(図示せず)には、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saと弁体22の弁開度との対応関係の基準となる出力側出力基準値Sbが予め設定されているものとする。 Specifically, in steps S100-S101 of FIG. 2, the output side sensor output value Sa is obtained from the output side angle sensor 17A (step S100), and based on the preset output side output reference value Sb, Sa current opening value θ (output side opening θa)=50×(1+Sa/Sb) [%] (step S101). Note that an output-side output reference value serving as a reference for the correspondence relationship between the output-side sensor output value Sa of the output-side angle sensor 17A and the valve opening degree of the valve body 22 is stored in a storage unit (not shown) in the control circuit 19. It is assumed that Sb is set in advance.

出力側出力基準値Sbは、弁側出力基準値Ssに代えて用いられるものである。出力側角度センサ17Aとして、円形差動トランス型角度センサや磁気抵抗型角度センサを用いた場合、前述した図3と同様に、出力側センサ出力値Saと出力側開度θaとの関係は線形比例するとともに、全閉および全開を示す電圧値は、50%開度を示す電圧値=0vを中心として、等しい電圧幅Sbだけ離れた電圧値-Sb,Sbとなる。
図2におけるこのほかのステップについては、前述と同様であり、ここでの説明は省略する。
The output-side output reference value Sb is used instead of the valve-side output reference value Ss. When a circular differential transformer type angle sensor or a magnetic resistance type angle sensor is used as the output side angle sensor 17A, the relationship between the output side sensor output value Sa and the output side opening θa is linear, as in FIG. In addition to being proportional, the voltage values indicating fully closed and fully open are voltage values −Sb, Sb separated by an equal voltage width Sb centering on the voltage value indicating 50% opening=0v.
Other steps in FIG. 2 are the same as described above, and descriptions thereof are omitted here.

[劣化指標処理動作]
次に、図4および図5を参照して、本実施の形態にかかる電動アクチュエータ10の動作について説明する。図4は、劣化指標処理を示すフローチャートである。図5は、劣化指標処理動作を示す説明図である。
制御回路19は、動力伝達部14の劣化指標を計算する際、図4の劣化指標処理を実行する。なお、図5に示すように、劣化指標計算時に出力軸16を回動する制御開度θxは、予め設定されているものとする。
[Deterioration index processing operation]
Next, operation of the electric actuator 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. FIG. 4 is a flowchart showing deterioration index processing. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the deterioration index processing operation.
When calculating the deterioration index of the power transmission unit 14, the control circuit 19 executes the deterioration index processing of FIG. As shown in FIG. 5, it is assumed that the control opening θx for rotating the output shaft 16 at the time of deterioration index calculation is set in advance.

まず、開度制御部19Aは、出力軸16を制御開度θxで保持する(ステップS150)。
次に、劣化指標処理部19Bは、出力軸16が制御開度θxで保持されている状態で、出力側角度センサ17Aの出力側センサ出力値Saから得られた出力側開度θaxを取得する(ステップS151)、モータ13に流れるモータ電流に基づいてモータトルクTmを取得する(ステップS152)。モータ電流については、モータ13を駆動制御する開度制御部19Aから取得すればよい。
First, the opening controller 19A holds the output shaft 16 at the control opening θx (step S150).
Next, the deterioration index processing unit 19B acquires the output side opening θax obtained from the output side sensor output value Sa of the output side angle sensor 17A while the output shaft 16 is held at the control opening θx. (Step S151), the motor torque Tm is obtained based on the motor current flowing through the motor 13 (step S152). The motor current may be acquired from the opening degree control section 19A that drives and controls the motor 13 .

続いて、劣化指標処理部19Bは、出力側センサ出力値Saから得られた出力側開度θaxに基づいて、リターンスプリング15のスプリングトルクTsを計算し(ステップS153)、これらモータトルクTmとスプリングトルクTsとに基づいて、弁体トルクTvを計算する(ステップS154)。 Subsequently, the deterioration index processing unit 19B calculates the spring torque Ts of the return spring 15 based on the output-side opening θax obtained from the output-side sensor output value Sa (step S153). A valve element torque Tv is calculated based on the torque Ts (step S154).

出力軸16を任意の開度で保持した場合、モータ13、動力伝達部14、リターンスプリング15、および弁体22で発生するそれぞれのトルクは、互いにつりあった状態にあり、これらトルクの総和はゼロとなる。図5に示すように、例えば、出力側開度θaxにおけるモータ13のモータトルクをTmとし、リターンスプリング15のスプリングトルクをTsとし、動力伝達部14における動力伝達トルクをTdとし、弁体22の弁体トルクをTvとした場合、出力側開度θaxにおけるこれらトルクのつり合いは、次の式(1)で表される。 When the output shaft 16 is held at an arbitrary opening, the torques generated by the motor 13, the power transmission section 14, the return spring 15, and the valve body 22 are in balance with each other, and the sum of these torques is zero. becomes. As shown in FIG. 5, for example, Tm is the motor torque of the motor 13 at the output side opening θax, Ts is the spring torque of the return spring 15, Td is the power transmission torque in the power transmission unit 14, and Td is the power transmission torque of the power transmission unit 14. When the valve body torque is Tv, the balance of these torques at the output side opening θax is represented by the following equation (1).

Figure 0007202909000001
Figure 0007202909000001

一方、リターンスプリング15のばね定数をkとした場合、出力側開度θaxにおけるスプリングトルクTsは、次の式(2)で表される。 On the other hand, when the spring constant of the return spring 15 is k, the spring torque Ts at the output side opening θax is expressed by the following equation (2).

Figure 0007202909000002
Figure 0007202909000002

ここで、出力軸16を任意の制御開度で保持した場合、動力伝達部14のにおける動力伝達トルクTdはゼロとなる。したがって、これら式(1)および式(2)に基づいて、弁体トルクTvは、次の式(3)で表される。 Here, when the output shaft 16 is held at an arbitrary control opening, the power transmission torque Td in the power transmission section 14 becomes zero. Therefore, based on these formulas (1) and (2), the valve body torque Tv is expressed by the following formula (3).

Figure 0007202909000003
Figure 0007202909000003

この後、劣化指標処理部19Bは、得られた弁体トルクTvと予め設定されている弁体トルクTvの正常範囲Eとを比較し(ステップS155)、弁体トルクTvが正常範囲E内である場合には(ステップS155:YES)、弁体22の劣化状態は正常であると判定し(ステップS156)、一連の劣化指標処理を終了する。正常範囲Eについては、弁体22の設計時に算出した、弁体トルクTvの初期値と許容範囲とに基づいて決定すればよい。 Thereafter, the deterioration index processing unit 19B compares the obtained valve body torque Tv with a preset normal range E of the valve body torque Tv (step S155), and determines whether the valve body torque Tv is within the normal range E. If there is (step S155: YES), it is determined that the deterioration state of the valve body 22 is normal (step S156), and the series of deterioration index processing ends. The normal range E may be determined based on the initial value and allowable range of the valve body torque Tv calculated when the valve body 22 is designed.

一方、弁体トルクTvが正常範囲E外である場合には(ステップS155:NO)、弁体22の劣化状態は異常であると判定し(ステップS157)、一連の劣化指標処理を終了する。得られた劣化状態判定結果については、劣化指標処理部19BがLCDやLEDを用いた表示部(図示せず)でアラーム表示してもよく、データ通信により上位装置へ通知してもよい。 On the other hand, when the valve body torque Tv is outside the normal range E (step S155: NO), it is determined that the deterioration state of the valve body 22 is abnormal (step S157), and the series of deterioration index processing is terminated. The deterioration index processing unit 19B may display an alarm on the obtained deterioration state determination result on a display unit (not shown) using an LCD or LED, or may notify the higher-level device of the deterioration state determination result by data communication.

この際、劣化指標処理部19Bが、弁体トルクTvの経時変化を定期的に計算し、データ通信により上位装置へ順次通知してもよい。さらには、劣化指標処理部19Bが、計算した弁体トルクTvを記憶回路18に時系列データとして順次保存しておき、この時系列データから生成した近似関数に基づき将来の弁体トルクTvの推定値Tv’を推定し、推定値Tv’が正常範囲Eから離脱する時期を注意点として予測するようにしてもよい。これにより、弁体22の劣化時期すなわち交換時期を予測することができる。 At this time, the deterioration index processing section 19B may periodically calculate the temporal change of the valve body torque Tv and sequentially notify the higher-level device through data communication. Furthermore, the deterioration index processing unit 19B sequentially stores the calculated valve body torque Tv in the storage circuit 18 as time-series data, and estimates the future valve body torque Tv based on the approximation function generated from this time-series data. The value Tv' may be estimated, and the timing at which the estimated value Tv' departs from the normal range E may be predicted as a point of caution. This makes it possible to predict when the valve body 22 will deteriorate, that is, when it should be replaced.

[本実施の形態の効果]
このように、本実施の形態は、開度制御部19Aが、モータ13を駆動制御して、任意の制御開度θaに出力軸16を回動し、劣化指標処理部19Bが、出力軸16を制御開度θaに回動して保持した状態で、リターンスプリング15およびモータ13に生じた、スプリングトルクTsおよびモータトルクTmとに基づいて、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを計算するようにしたものである。
[Effects of this embodiment]
Thus, in the present embodiment, the opening controller 19A drives and controls the motor 13 to rotate the output shaft 16 to an arbitrary control opening θa, and the deterioration index processor 19B controls the output shaft 16 is rotated and held at the control opening degree θa, the valve It is designed to calculate the body torque Tv.

流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの操作端が、保証期間を超えて長期にわたり使用された場合、弁体22が劣化して変形、故障、経年変化などにより設計当初の性能が得られない場合も考えられる。設計当初の性能が得られない場合、電動アクチュエータ10から弁体22を精度よく開閉制御できなくなったり、電源供給遮断時、リターンスプリング15の復帰力により、出力軸16を全閉位置や全開位置などの所定の回動位置まで確実に戻せなくなったりする可能性がある。このため、弁体22の劣化状態を把握しておくことが重要となる。 If the control element such as the flow control valve or the air volume adjustment damper is used for a long period of time beyond the warranty period, the valve body 22 may deteriorate and the original design performance may not be obtained due to deformation, failure, aging, etc. Conceivable. If the original design performance cannot be obtained, the valve body 22 cannot be controlled to open and close with high accuracy from the electric actuator 10, or when the power supply is cut off, the return force of the return spring 15 will move the output shaft 16 to the fully closed position, the fully open position, etc. There is a possibility that it may not be possible to reliably return to the predetermined rotation position of the . Therefore, it is important to grasp the deterioration state of the valve body 22 .

本実施の形態によれば、弁体22の劣化指標として、弁体22の弁体トルクTvを容易に把握できるため、当初の設計値からの乖離幅に応じて、弁体22の劣化状態を容易に把握することができる。したがって、乖離幅が大きくなって劣化が進んだ場合には、故障発生する前に適切な対応をとることができ、極めて効果的な予知保全を実現することが可能となる。これにより、保証期間を超える長期使用を想定した場合でも、一定の信頼性を提供することが可能となる。また、出力側角度センサ17A、弁側角度センサ17V、制御回路19など、電動アクチュエータ10の既存構成を用いて劣化指標を容易に計算でき、回路規模さらには製品コストの増大を必要とすることなく、電動アクチュエータ10の信頼性を高めることが可能となる。 According to the present embodiment, since the valve body torque Tv of the valve body 22 can be easily grasped as a deterioration index of the valve body 22, the deterioration state of the valve body 22 can be determined according to the deviation from the initial design value. can be easily grasped. Therefore, when the range of divergence increases and the deterioration progresses, appropriate countermeasures can be taken before a failure occurs, and extremely effective predictive maintenance can be realized. This makes it possible to provide a certain level of reliability even when long-term use beyond the warranty period is assumed. In addition, the deterioration index can be easily calculated using the existing configuration of the electric actuator 10, such as the output side angle sensor 17A, the valve side angle sensor 17V, the control circuit 19, etc., without increasing the circuit scale and product cost. , the reliability of the electric actuator 10 can be enhanced.

また、弁体トルクTvの経時変化を、劣化指標処理部19Bや上位装置でモニタすることにより、弁体22の劣化時期すなわち交換時期を予測でき、流量制御バルブや風量調整ダンパーなどの予知保全に極めて有用である。また、劣化指標計算時には、弁体22の開度が一時的に変化するものの、その所要時間は、出力側角度センサ17Aおよび弁側角度センサ17Vで開度を検出するという、極めて短い時間で済むため、アプリケーションによっては、通常の運転動作中であっても劣化指標計算を行うことができる。したがって、劣化指標処理動作を定期的に実行することにより、弁体22の劣化状態の変化をいち早く検出でき、迅速な対応をとることが可能となる。 In addition, by monitoring the change over time of the valve body torque Tv by the deterioration index processing unit 19B or a host device, it is possible to predict the deterioration time of the valve body 22, that is, the time to replace it. Extremely useful. Further, although the degree of opening of the valve body 22 temporarily changes during the deterioration index calculation, the required time is extremely short as the degree of opening is detected by the output-side angle sensor 17A and the valve-side angle sensor 17V. Therefore, depending on the application, the deterioration index calculation can be performed even during normal driving operation. Therefore, by periodically executing the deterioration index processing operation, it is possible to quickly detect a change in the deterioration state of the valve body 22 and take prompt measures.

また、本実施の形態において、出力軸16の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサ17Aをさらに備え、劣化指標処理部19Bが、制御開度θaに出力軸16を回動して保持した状態で、出力側角度センサ17Aで検出された出力側開度θaxと、リターンスプリング15のばね定数kとに基づいて、スプリングトルクTsを計算するようにしてもよい。これにより、出力側角度センサ17Aという極めて簡素な構成でスプリングトルクTsを計算できる。 Further, in the present embodiment, an output side angle sensor 17A that detects the rotation angle of the output shaft 16 as the output side opening is further provided, and the deterioration index processing unit 19B rotates the output shaft 16 to the control opening θa. In this state, the spring torque Ts may be calculated based on the output side opening θax detected by the output side angle sensor 17A and the spring constant k of the return spring 15 . As a result, the spring torque Ts can be calculated with the extremely simple configuration of the output side angle sensor 17A.

また、本実施の形態において、劣化指標処理部19Bが、モータトルクをTmとし、リターンスプリングのばね定数をkとし、出力側角度センサ17Aで検出された出力側開度をθaxとした場合、弁体トルクTvを前述の式(3)で計算するようにしてもよい。これにより、極めて簡素な演算処理で弁体トルクTvを計算することができる。 Further, in the present embodiment, when the deterioration index processing unit 19B sets the motor torque to Tm, the spring constant of the return spring to k, and the output side opening detected by the output side angle sensor 17A to θax, the valve The body torque Tv may be calculated by the above equation (3). This makes it possible to calculate the valve body torque Tv with extremely simple arithmetic processing.

[実施の形態の拡張]
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。
[Expansion of Embodiment]
Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. Various changes that can be understood by those skilled in the art can be made to the configuration and details of the present invention within the scope of the present invention.

10…電動アクチュエータ、11…設定回路、12…モータ駆動回路、13…モータ、13A…シャフト、14…動力伝達部、15…リターンスプリング、16…出力軸、17A…出力側角度センサ、17V…弁側角度センサ、18…記憶回路、19…制御回路、19A…開度制御部、19B…劣化指標処理部、20…弁本体、21…流路、22…弁体、23…内壁、24…本体上面、25…本体底面、26…弁軸、30…継手、31…ヨーク、S1,S2…圧力センサ、S3…温度センサ、Qref…流量目標値、Q…流量現在値、ΔQ…流量偏差、Sa…出力側センサ出力値、Sb…出力側出力基準値、Sv…弁側センサ出力値、Ss…弁側出力基準値、Tx…検出温度、P1…一次側圧力、P2…二次側圧力、ΔP…差圧、θx…制御開度、θa,θax…出力側開度、θv…弁側開度、k…ばね定数、Td…動力伝達トルク、Ts…スプリングトルク、Tv…弁体トルク、G…横弾性係数、Ip…断面二次極モーメント、L…軸長。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Electric actuator 11... Setting circuit 12... Motor drive circuit 13... Motor 13A... Shaft 14... Power transmission part 15... Return spring 16... Output shaft 17A... Output side angle sensor 17V... Valve Side angle sensor 18 Storage circuit 19 Control circuit 19A Opening degree control unit 19B Degradation index processing unit 20 Valve main body 21 Flow path 22 Valve body 23 Inner wall 24 Main body Upper surface 25 Body bottom 26 Valve shaft 30 Coupling 31 Yoke S1, S2 Pressure sensor S3 Temperature sensor Qref Target flow rate Q Current flow rate ΔQ Flow deviation Sa ... output side sensor output value, Sb ... output side output reference value, Sv ... valve side sensor output value, Ss ... valve side output reference value, Tx ... detected temperature, P1 ... primary side pressure, P2 ... secondary side pressure, ΔP Differential pressure θx Control opening θa, θax Output side opening θv Valve side opening k Spring constant Td Power transmission torque Ts Spring torque Tv Valve body torque G Lateral elastic modulus, Ip: polar moment of inertia of area, L: axial length.

Claims (6)

弁体を回動するための出力軸と、
動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、
前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、
前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備え、
前記制御回路は、
前記モータを駆動制御して所定の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御部と、
前記出力軸を前記制御開度に回動して保持した状態で、前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理部とを有する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
an output shaft for rotating the valve body;
a motor that rotates the output shaft via a power transmission unit;
a control circuit that controls the opening of the valve body by driving and controlling the motor;
a return spring attached to the output shaft to return the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when power is cut off;
The control circuit is
an opening degree control unit that drives and controls the motor to rotate the output shaft to a predetermined control opening degree;
In a state where the output shaft is rotated to and held at the control opening, the valve body is used as a deterioration index of the valve body based on spring torque and motor torque generated in the return spring and the motor. and a deterioration index processing unit that calculates body torque.
請求項1に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記出力軸の回動角度を出力側開度として検出する出力側角度センサをさらに備え、
前記劣化指標処理部は、前記制御開度に前記出力軸を回動して保持した状態で、前記出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算する
ことを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 1,
further comprising an output side angle sensor that detects the rotation angle of the output shaft as an output side opening;
The deterioration index processing unit, in a state where the output shaft is rotated and held at the control opening, based on the output side opening detected by the output side angle sensor and the spring constant of the return spring. , and calculating the spring torque.
請求項2に記載の電動アクチュエータにおいて、
前記劣化指標処理部は、前記モータトルクをTmとし、前記リターンスプリングのばね定数をkとし、前記出力側角度センサで検出された出力側開度をθaxとした場合、前記弁体トルクTvを次の式、Tv=-Tm-k・θaxで計算することを特徴とする電動アクチュエータ。
The electric actuator according to claim 2,
When the motor torque is Tm, the spring constant of the return spring is k, and the output side opening detected by the output side angle sensor is θax, the deterioration index processing unit calculates the valve body torque Tv as follows: An electric actuator characterized by being calculated by the following formula: Tv=−Tm−k·θax.
弁体を回動するための出力軸と、動力伝達部を介して前記出力軸を回動するモータと、前記モータを駆動制御することにより前記弁体の開度を制御する制御回路と、前記出力軸に取り付けられて、電源遮断時に自己の復帰力で前記出力軸を所定の開度位置まで戻すリターンスプリングとを備える電動アクチュエータで用いられる劣化指標計算方法であって、
前記制御回路の開度制御部が、前記モータを駆動制御して所定の制御開度へ前記出力軸を回動する開度制御ステップと、
前記制御回路の劣化指標処理部が、前記出力軸を前記制御開度に回動して保持した状態で、前記リターンスプリングおよび前記モータに生じた、スプリングトルクおよびモータトルクに基づいて、前記弁体の劣化指標として、前記弁体の弁体トルクを計算する劣化指標処理ステップと
を備えることを特徴とする劣化指標計算方法。
an output shaft for rotating a valve body, a motor for rotating the output shaft via a power transmission section, a control circuit for controlling the opening of the valve body by driving and controlling the motor, A deterioration index calculation method used in an electric actuator including a return spring attached to an output shaft and returning the output shaft to a predetermined opening position by its own restoring force when power is cut off,
an opening control step in which the opening controller of the control circuit drives and controls the motor to rotate the output shaft to a predetermined control opening;
The deterioration index processing unit of the control circuit determines the valve element based on the spring torque and the motor torque generated in the return spring and the motor while the output shaft is rotated and held at the control opening. and a deterioration index processing step of calculating the valve body torque of the valve body as the deterioration index of the deterioration index calculation method.
請求項4に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記制御開度に前記出力軸を回動して保持した状態で、前記出力軸の回動角度を検出する出力側角度センサで検出された出力側開度と、前記リターンスプリングのばね定数とに基づいて、前記スプリングトルクを計算するステップを含むことを特徴とする劣化指標計算方法。
In the deterioration index calculation method according to claim 4,
In the deterioration index processing step, the output side opening detected by an output side angle sensor for detecting the rotation angle of the output shaft in a state where the output shaft is rotated and held at the control opening; and a spring constant of a return spring.
請求項5に記載の劣化指標計算方法において、
前記劣化指標処理ステップは、前記モータトルクをTmとし、前記リターンスプリングのばね定数をkとし、前記出力側角度センサで検出された出力側開度をθaxとした場合、前記弁体トルクTvを次の式、Tv=-Tm-k・θaxで計算することを特徴とする劣化指標計算方法。
In the deterioration index calculation method according to claim 5,
In the deterioration index processing step, when the motor torque is Tm, the spring constant of the return spring is k, and the output side opening detected by the output side angle sensor is θax, the valve body torque Tv is calculated as follows. A deterioration index calculation method characterized by calculating with the following formula: Tv=−Tm−k·θax.
JP2019012292A 2019-01-28 2019-01-28 Electric actuator and deterioration index calculation method Active JP7202909B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019012292A JP7202909B2 (en) 2019-01-28 2019-01-28 Electric actuator and deterioration index calculation method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019012292A JP7202909B2 (en) 2019-01-28 2019-01-28 Electric actuator and deterioration index calculation method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020118283A JP2020118283A (en) 2020-08-06
JP7202909B2 true JP7202909B2 (en) 2023-01-12

Family

ID=71890393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019012292A Active JP7202909B2 (en) 2019-01-28 2019-01-28 Electric actuator and deterioration index calculation method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7202909B2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008039126A (en) 2006-08-09 2008-02-21 Hitachi Ltd Monitoring system for valve device
JP2008138769A (en) 2006-12-01 2008-06-19 Yamatake Corp Spring return type electric flow rate regulating device
US20150149100A1 (en) 2013-11-25 2015-05-28 Fisher Controls International Llc Methods and apparatus to diagnose a valve using electric valve actuators

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4990338B2 (en) * 2009-10-13 2012-08-01 岡野バルブ製造株式会社 Soundness diagnosis method, soundness diagnosis device and program for electric valve device
WO2014098008A1 (en) * 2012-12-22 2014-06-26 株式会社Schaft Rotational drive device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008039126A (en) 2006-08-09 2008-02-21 Hitachi Ltd Monitoring system for valve device
JP2008138769A (en) 2006-12-01 2008-06-19 Yamatake Corp Spring return type electric flow rate regulating device
US20150149100A1 (en) 2013-11-25 2015-05-28 Fisher Controls International Llc Methods and apparatus to diagnose a valve using electric valve actuators

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020118283A (en) 2020-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2971883B1 (en) Advanced valve actuator with true flow feedback
TWI616735B (en) Actuator failure detection device, control device and method
JP5101581B2 (en) Flow control device
US7584643B2 (en) Method for testing the functionality of an actuator, especially of an actuator of a safety valve
KR101938928B1 (en) System and method for using a rate of decay measurement for real time measurement and correction of zero offset and zero drift of a mass flow controller or mass flow meter
CN105339713B (en) A flow control valve servo mechanism based on a step motor and control method thereof
JP2008522319A (en) Process fluid flow device with variable orifice
JP6786096B2 (en) Pressure type flow control device
CN108292128B (en) Actuator and method of operating an actuator
RU2471107C1 (en) Valve unit, and valve actuating method
JP7202909B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP7197385B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2019002508A (en) Flow control valve and valve opening detection method
JP7248466B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP7256018B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP7248464B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP7256041B2 (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020118282A (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020118281A (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020153410A (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020153405A (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020154531A (en) Electric actuator and twist angle calculation method
JP2020153407A (en) Electric actuator and deterioration index calculation method
JP2020154528A (en) Electric actuator and twist angle calculation method
JP2009092110A (en) Shut-off valve control system and method for predicting failure of shut-off valve control system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211223

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20221206

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221214

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7202909

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150