JP7201208B2 - 校正ゲージ及び校正方法 - Google Patents
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Description
図1に示す非接触式三次元測定機の校正ゲージ10は、ベース12と、複数の測定対象部と備える。ベース12は、矩形の板状部材である。ベースは、アルミニウムを主成分とする金属、又はセラミックスなどで形成される。複数の測定対象部は、ベース12の長手方向に一列に配置されている。本図の場合、測定対象部は、ベース12の中央に配置された第1測定対象部13と、前記第1測定対象部13を挟んで両側に配置された一対の第2測定対象部15とを有し、合計3個である。
次に上記校正ゲージ10を用いた非接触式三次元測定機の校正方法について説明する。本実施形態では、プローブ40の光路LがステージのX軸に対し平行な方向に配置された、非接触式三次元測定機に適用する場合について説明する。
上記した校正ゲージを作製し、非接触式三次元測定機の誤差を検出することができるか、検証した。作製した校正ゲージの直径、真円度、各球体の中心間距離を、非接触式三次元測定機(三鷹光器(株)製、MLP-2、測定範囲φ80mm以下、分解能:軸方向0.01μm、円周方向0.1μm)及び接触式三次元測定機((株)ミツトヨ製、LEGEX9106、最大許容指示誤差0.35+L/1000μm)で測定した結果を表1に示す。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。上記実施形態の場合、プローブ40の光路LがステージのX-Y平面に対し平行な方向に配置された、非接触式三次元測定機に適用する場合について説明したが、本発明はこれに限らない。例えば、本発明は、プローブの光路LがZ軸に平行に配置された非接触式三次元測定機に適用することもできる。また、本発明は、プローブがステージ上を回転可能に配置された非接触式三次元測定機に適用することもできる。
上記実施形態の場合、第2測定対象部は、一対(2個)である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、1個、又は3個以上であってもよい。
12 ベース
13 第1測定対象部
14 第1軸部
15 第2測定対象部
16,18 第2軸部
20 第1球体
22,24 第2球体
26 上板部
28 下板部
32 第1歯車
34,36 第2歯車
38 回転軸
40 プローブ
42 ステージ
Claims (5)
- 非接触式三次元測定機の校正ゲージであって、
板状のベースと、
前記ベースに設けられた第1測定対象部と、前記第1測定対象部に対し一列に前記ベース上に配置された1又は2以上の第2測定対象部と
を備え、
前記第1測定対象部は、前記ベース表面に垂直に支持された第1軸部と、前記第1軸部の先端に設けられた第1球体とを有し、
前記第2測定対象部は、前記ベース表面に垂直に支持された第2軸部と、前記第2軸部の先端に設けられた第2球体とを有し、
前記ベースの表面から前記第2球体の中心までの高さは、前記ベースの表面から前記第1球体の中心までの高さより低く、
前記第1測定対象部及び前記第2測定対象部は、回転可能に前記ベースに支持されている、校正ゲージ。 - 前記第1測定対象部及び前記第2測定対象部は、互いに連動して回転可能である請求項1に記載の校正ゲージ。
- 前記第2測定対象部は、前記第1測定対象部の両側に一対配置されており、前記ベースの表面から前記一対の第2球体の中心までの高さは、実質的に同じ高さである請求項1又は2に記載の校正ゲージ。
- 前記ベースは、回転テーブル上に配置されている請求項1~3のいずれか1項に記載の校正ゲージ。
- 非接触式三次元測定機の校正ゲージであって、
板状のベースと、
前記ベースに設けられた第1測定対象部と、前記第1測定対象部に対し一列に前記ベース上に配置された1又は2以上の第2測定対象部と
を備え、
前記第1測定対象部は、前記ベース表面に垂直に支持された第1軸部と、前記第1軸部の先端に設けられた第1球体とを有し、
前記第2測定対象部は、前記ベース表面に垂直に支持された第2軸部と、前記第2軸部の先端に設けられた第2球体とを有し、
前記ベースの表面から前記第2球体の中心までの高さは、前記ベースの表面から前記第1球体の中心までの高さより低い、校正ゲージ
を用いて非接触式三次元測定機の校正を行う校正方法であって、
前記ベースを回転させ、所定の角度ごとに前記第1球体及び前記第2球体の、直径と、真円度と、中心間距離と、を測定するステップと、
測定した前記直径、前記真円度及び前記中心間距離を校正値と比較するステップと
を備える、校正方法。
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JP2001101410A (ja) | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Suzuki Motor Corp | 変換行列データ生成方法及び較正治具並びに三次元計測システム |
JP2007121124A (ja) | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ccdカメラ式3次元形状測定機の精度保証治具 |
JP2017207300A (ja) | 2016-05-16 | 2017-11-24 | 黒崎播磨株式会社 | 非接触式形状測定機校正用のセラミックス基準器用部材 |
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