JP7200956B2 - インダクタ部品 - Google Patents
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Description
以下、インダクタ部品の一実施形態を図1~図22に従って説明する。なお、図面は理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。また、断面図ではハッチングを付しているが、理解を容易にするために一部の構成要素のハッチングを省略している場合がある。
インダクタ配線40は、導電性材料で構成されている。インダクタ配線40は、例えば、銅、銀、金及びアルミニウムの少なくとも1つを導電性材料として含んでいる。また例えば、インダクタ配線40は、銅、銀、金及びアルミニウムの少なくとも2つの合金を導電材料として含んでいてもよい。本実施形態では、図4に示すように、インダクタ配線40は、絶縁層50に接触するシード層である配線用シード層401と、配線用シード層401を挟んで絶縁層50の反対側に位置する導電層402とを備えている。配線用シード層401は、導電性材料の一例として銅を含んでいる。第1主面21及び第2主面22の並ぶ方向における配線用シード層401の寸法を配線用シード層401の厚みとした場合、配線用シード層401の厚みは、「30nm」以上且つ「500nm」以下である。導電層402は、例えば、銅及び硫黄を含んでいる。このように導電層402が銅及び硫黄を含んでいる場合、例えば、導電層402では、銅の比率を「99wt%」以上とし、硫黄の比率を「0.1wt%」以上であって「1.0wt%」未満としてよい。なお、インダクタ配線40は、配線用シード層401を備えない構成であってもよい。
図3に示すように、絶縁層50のうち、インダクタ配線40の第2パッド42に接触する部分には、貫通孔であるビアホール50aが設けられている。そして、垂直配線70は、ビアホール50aを貫通して第2パッド42に接続されている。
図3及び図4に示すように、垂直配線60は、第1パッド41との接触部分60aから一方向に延びている。本実施形態では、垂直配線60が、インダクタ配線40との接触部分60aから第1主面21まで延伸する「垂直配線」であり、垂直配線60の延びる方向を「規定方向Y」とする。図3及び図4に示す例では、規定方向Yは、厚み方向X1と同じ方向である。
(1)本実施形態では、第1側面431と第3側面433とに跨がって垂直配線60がインダクタ配線40に接触している。そのため、垂直配線60が第3側面433のみに繋がっている場合と比較し、垂直配線60の接触部分60aの面積を拡大できる。また、インダクタ配線40に対して、複数の方向から垂直配線60を接触させることができる。詳しくは、厚み方向X1からだけではなく幅方向X2からも垂直配線60がインダクタ配線40に接触している。
(2)また、垂直配線70とインダクタ配線40との接続形態のようなビア接続によって垂直配線60をインダクタ配線40に繋げる場合と比較し、垂直配線60の接触部分60aの面積を拡大できる。これにより、垂直配線60の接触部分60aの近傍を太くできる分、接触部分60aの近傍での断線の発生を抑制できる。
(5)磁性層20の第1主面21上には、絶縁性の表層30が設けられている。これにより、第1主面21側に複数の外部端子が設けられる場合、各外部端子間での絶縁性を高くできる。
(9)垂直配線60は、第1パッド41の第1側面431及び第2側面432のうち、インダクタ配線40の密度が粗となる方に位置する第1側面431に接触している。言い換えると、垂直配線60は、第1パッド41の第1側面431及び第2側面432のうち、インダクタ配線40の密度が密となる方に位置する第2側面432に繋がっていない。これにより、インダクタ配線40のうちの第1パッド41以外の部分が垂直配線60と接触してしまうことを抑制できる。
図6に示すように、はじめのステップS11では、基板200上にベース絶縁層210を形成する。図7に示すように、基板200は、板状をなしている。基板200の材質としては、例えば、セラミックスを挙げることができる。図7において、基板200の上面を表面201とし、基板200の下面を裏面202とする。そして、基板200の表面201全体を覆うように、基板200上にベース絶縁層210が形成される。ベース絶縁層210は、上記インダクタ部品10を構成する絶縁層50と同じ非磁性の材料によって構成される。例えば、トリフルオロメチル基とシルセスキオキサンとを含むポリイミドワニスをスピンコートによって基板200の表面201に塗布することにより、ベース絶縁層210を形成できる。
次に、インダクタ部品の第2実施形態を図23~図27に従って説明する。以下の説明においては、第1実施形態と相違している部分について主に説明するものとし、第1実施形態と同一又は相当する部材構成には同一符号を付して重複説明を省略するものとする。
(12)垂直配線60Aに接する空隙SPを本体BD内に設けることにより、垂直配線60Aに外力が加わった際に垂直配線60Aで生じる応力を低減できる。同様に、空隙SPは、インダクタ配線40にも接している。そのため、インダクタ配線40に外力が加わった際にインダクタ配線40で生じる応力を低減できる。
インダクタ部品10Aを製造する場合、図6に示すステップS17では、図25に示すような第2保護膜230Bを形成する。すなわち、幅方向X2におけるインダクタ配線40の第1パッド41の中心を基準とした場合、絶縁層50のうち、幅方向X2において第1パッド41よりも内側に位置する部分を第2保護膜230Bで覆うように、第2保護膜230Bが形成される。これは、例えば露光装置による露光時における露光光の焦点の位置を調整することによって実現できる。なお、当該部分を覆う第2保護膜230Bの厚みは、露光光の焦点の位置を調整することによって調整できる。
(変更例)
上記各実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・インダクタ部品は、表層30を備えない構成であってもよい。
・上記各実施形態では、柱状配線用シード層61は、第1側面431と第3側面433との双方に接触している。しかし、柱状配線用シード層61は、第1側面431及び第3側面433の一方には接触し、他方には接触しないように構成してもよい。また、柱状配線用シード層61を省略してもよい。
20…磁性層
21…第1主面
22…第2主面
30…表層
40,40A,40B,40C…インダクタ配線
41…第1パッド
42…第2パッド
431…第1側面
431a…第1接続部
431b…第2接続部
431c…規定位置
432…第2側面
433…第3側面
434…第4側面
141A…第1端部
141C…第2端部
641…第1配線部
642…第2配線部
50,50A…絶縁層
501…第1絶縁主面
502…第2絶縁主面
503…絶縁非主面
60,60A,60B,60C…垂直配線
60a…接触部分
61…柱状配線用シード層
65…第1外部端子
100…所定の平面
BD…本体
CS…横接続面
SP…空隙
Claims (18)
- 磁性層を含み、第1主面及び第2主面を有する本体と、
前記本体内において所定の平面上に沿って延伸するインダクタ配線と、
前記本体内に設けられているとともに、前記インダクタ配線に接触しており、当該インダクタ配線との接触部分から前記第1主面まで延伸する垂直配線と、
前記本体内に設けられている絶縁層と、を備え、
前記第2主面は、前記インダクタ配線を挟んで前記第1主面の反対側に位置しており、
前記インダクタ配線の延びる方向に直交する当該インダクタ配線の横断面及び前記所定の平面の双方に沿う方向を、前記インダクタ配線の幅方向とし、前記横断面に沿う方向のうち前記幅方向と直交する方向を、前記インダクタ配線の厚み方向とし、
前記インダクタ配線の側面のうち、前記幅方向の第1側に位置する側面を第1側面とし、前記幅方向の第2側に位置する側面を第2側面とし、前記幅方向における前記第1側面と前記第2側面との間に位置するとともに前記第1側面及び前記第2側面の双方よりも前記厚み方向で前記第1主面側に位置する側面を第3側面とし、前記幅方向における前記第1側面と前記第2側面との間に位置するとともに前記第1側面及び前記第2側面の双方よりも前記厚み方向で前記第2主面側に位置する側面を第4側面とした場合、
前記垂直配線は、前記第1側面と、前記第3側面と、に跨がって前記インダクタ配線と接触しており、
前記絶縁層は、前記インダクタ配線の前記第4側面に接触しており、
前記絶縁層の一端は、前記本体内に位置しており、
前記垂直配線は、前記インダクタ配線に加え、前記絶縁層にも接触しており、
前記インダクタ配線と前記垂直配線とを含むとともに、当該インダクタ配線の延びる方向に直交する前記本体の断面において、前記インダクタ配線の前記幅方向の中心を基準とした場合、前記垂直配線の端は前記絶縁層の前記一端よりも前記幅方向における外側に位置する
インダクタ部品。 - 前記絶縁層は、前記第1側面には接触していない
請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記絶縁層は、前記インダクタ配線が接触する主面である第1絶縁主面と、前記厚み方向において前記第1絶縁主面と前記第2主面との間に位置する主面である第2絶縁主面と、前記第1絶縁主面の前記幅方向の第1側の端と前記第2絶縁主面の前記幅方向の第1側の端とを接続する面である絶縁非主面と、を有しており、
前記垂直配線は、前記第1絶縁主面のうち、前記インダクタ配線との接触部分よりも前記幅方向の第1側の部分と、前記絶縁非主面と、に接触している
請求項1又は請求項2に記載のインダクタ部品。 - 磁性層を含み、第1主面及び第2主面を有する本体と、
前記本体内において所定の平面上に沿って延伸するインダクタ配線と、
前記本体内に設けられているとともに、前記インダクタ配線に接触しており、当該インダクタ配線との接触部分から前記第1主面まで延伸する垂直配線と、を備え、
前記第2主面は、前記インダクタ配線を挟んで前記第1主面の反対側に位置しており、
前記インダクタ配線の延びる方向に直交する当該インダクタ配線の横断面及び前記所定の平面の双方に沿う方向を、前記インダクタ配線の幅方向とし、前記横断面に沿う方向のうち前記幅方向と直交する方向を、前記インダクタ配線の厚み方向とし、
前記インダクタ配線の側面のうち、前記幅方向の第1側に位置する側面を第1側面とし、前記幅方向の第2側に位置する側面を第2側面とし、前記幅方向における前記第1側面と前記第2側面との間に位置するとともに前記第1側面及び前記第2側面の双方よりも前記厚み方向で前記第1主面側に位置する側面を第3側面とし、前記幅方向における前記第1側面と前記第2側面との間に位置するとともに前記第1側面及び前記第2側面の双方よりも前記厚み方向で前記第2主面側に位置する側面を第4側面とした場合、
前記垂直配線は、前記第1側面と、前記第3側面と、に跨がって前記インダクタ配線と接触しており、
前記磁性層は、金属磁性粉を含有する樹脂で構成されており、
前記本体内には、前記磁性層と、前記第1側面と、前記垂直配線と、によって区画された空隙が設けられており、前記空隙の大きさは、前記金属磁性粉の大きさよりも大きい
インダクタ部品。 - 前記第1側面のうち、前記垂直配線に接触している部分を横接続面とし、前記厚み方向における前記横接続面の長さを横接続面長さとした場合、前記横接続面長さが、前記厚み方向における前記第1側面の長さの3分の1よりも大きい
請求項1~請求項4のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記垂直配線は、前記厚み方向で互いに接触する第1配線部と第2配線部とを有し、前記第1配線部及び前記第2配線部は、前記厚み方向における前記第3側面と前記第1主面との間にそれぞれ位置しており、
前記厚み方向と直交する前記第1配線部の断面の面積は、前記厚み方向と直交する前記第2配線部の断面の面積と異なる
請求項1~請求項5のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記本体の前記第1主面上に位置する絶縁性の表層と、
前記垂直配線に接触しているとともに、前記表層に露出する外部端子と、を備える
請求項1~請求項6のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記第1主面に沿う方向において、前記外部端子の中心が前記垂直配線の中心とずれている
請求項7に記載のインダクタ部品。 - 前記垂直配線における前記インダクタ配線との接触部分は、シード層を有する
請求項1~請求項8のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記シード層は、前記第1側面と前記第3側面とのうちの少なくとも一方に接触している
請求項9に記載のインダクタ部品。 - 前記シード層は、銅の含有率が「90wt%」以上となる層を含む
請求項9又は請求項10に記載のインダクタ部品。 - 前記シード層は、パラジウムを含有する層を含む
請求項9~請求項11のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記本体内には、前記所定の平面上に沿って配置されるとともに、当該所定の平面に沿う並設方向に並ぶ複数の前記インダクタ配線が設けられており、
前記垂直配線は、前記第2側面には接触しておらず、
複数の前記インダクタ配線のうち、前記並設方向で最も外側に位置する前記インダクタ配線では、前記第1側面は、前記並設方向において前記第2側面よりも他の前記インダクタ配線から離れた位置に設けられている
請求項1~請求項12のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記本体内には、
前記所定の平面上に沿って配置されるとともに、当該所定の平面に沿う並設方向に並ぶ複数の前記インダクタ配線と、
複数の前記インダクタ配線の各々に対して個別に設けられている複数の前記垂直配線と、が設けられており、
複数の前記インダクタ配線のうち、第1インダクタ配線には、複数の前記垂直配線のうちの第1垂直配線が接触しており、
複数の前記インダクタ配線のうち、前記並設方向で第1インダクタ配線の隣りに位置する第2インダクタ配線には、複数の前記垂直配線のうちの第2垂直配線が接触しており、
前記第1垂直配線は、前記第1インダクタ配線の前記第2側面には接触していないとともに、前記第2垂直配線は、前記第2インダクタ配線の前記第2側面には接触しておらず、
前記第1インダクタ配線において、前記第1側面は、前記並設方向において前記第2側面よりも前記第2インダクタ配線から離れた位置に設けられており、
前記第2インダクタ配線において、前記第1側面は、前記並設方向において前記第2側面よりも前記第1インダクタ配線から離れた位置に設けられている
請求項1~請求項12のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記インダクタ配線は、前記所定の平面上で1ターンを超えて巻回された渦巻状をなしており、
前記第1側面は、前記インダクタ配線の密度が粗となる方に位置し、前記第2側面は、前記インダクタ配線の密度が密となる方に位置している
請求項1~請求項12のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記垂直配線は、前記インダクタ配線の第1端部に接触しており、
前記本体内には、前記インダクタ配線の第2端部に接触しており、当該インダクタ配線との接触部分から前記第1主面又は前記第2主面まで延伸する他の垂直配線が設けられている
請求項1~請求項15のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記第1主面と前記第2主面との間隔は、「0.15mm」以上且つ「0.3mm」以下である
請求項1~請求項16のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。 - 前記インダクタ配線の厚みは、「40μm」以上且つ「55μm」以下である
請求項1~請求項17のうち何れか一項に記載のインダクタ部品。
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