JP7195542B2 - 冷却器、半導体モジュール - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係る半導体モジュール100の断面図を示している。半導体モジュール100としては、主に2つの半導体素子1a,1b、配線基板3、積層基板5、冷却器6、ケース9等で構成されているものを例示する。図示するように、半導体素子1a,1b、配線基板3及び積層基板5はケース9内に収められ、樹脂10でモールドされている。また、ケース9の下面に半導体素子1a,1bを冷却する、冷却器ケース7及び冷却フィン8からなる冷却器6が配設されている。
次に、図2を参照して、半導体モジュール100に含まれる冷却器6の詳細を説明する。
次に、図3~図9を参照して、冷却フィン8の詳細を説明する。なお、冷却フィン8の形状パラメータは、熱流体解析ソフトにより流路部の形状パラメータ等を変化させて温度及び圧力損失を評価し、さらに、流路部を含む冷却フィン及び冷却器を試作して検証することにより求めた。
図3(b)は、図3(a)の領域R1の拡大図である。図示するように、この実施形態では、隣接する冷却フィン8A,8Bの間に、板状のストレートフィン8Sが挿入されている。ストレートフィン8Sは、冷却フィン8A,8Bの両方の屈曲フィン8fに接触している。このような配置とすることにより、冷却フィン8Aの流路を流れる冷却用流体が、冷却フィン8Bの流路に流入しなくなるので、乱流が生じず、圧力損失を抑えることができる。
また、図4は、冷却フィン8A,8B,8Cの配列を変えた他の例(冷却フィン8’)を示している。この例では、隣接する冷却フィン8A,8B,8Cの羽根部8b(羽根部8bから延び出る屈曲フィン8f)が互いに接触しており、かつ、螺旋方向は互いに反対向きとなっている。このような配置とすることにより、例えば、冷却フィン8Aの流路を流れる流体が、冷却フィン8Bの流路に流入したとしても逆流が生じづらく、乱流が発生しづらい。そのため、ストレートフィン8Sで仕切らなくても、圧力損失を抑えることができる。
また、羽根部8bを軸部8aの周囲に均等な間隔(今回、羽根間隔d2=0.9mm)で配置することも効果的である。これにより、冷却フィン8Aに流入した流体を軸部8aの周りに均等に流すことができるため、冷却フィン8Aのどの方向に接触させた冷却対象物であっても、冷却することが可能となる。羽根部8bの個数は冷却効率を左右する重要な形状パラメータであり、4から10個程度であることが好ましく、6から8個であるとさらに好ましい。
図3(c)に戻り、屈曲フィン8f1は、羽根部8bの「1」(以下、羽根部8b1のように記す)から長軸方向(Y軸方向)に螺旋状に延びていく。また、羽根部8b2からは、屈曲フィン8f1の後方の屈曲フィン8f2が、同じく長軸方向に螺旋状に延びていく。
冷却フィン8Aの全体長さy1をフィンピッチy4で除算することで、回転数が得られ、全体長さy1が60.0mm、フィンピッチy4が16.4mmであれば、3.66(回)である。これは、冷却フィン8Aの全体長さy1において、螺旋数が3.66回であることを意味する。フィンピッチは、正確には螺旋状に回転する周期を示す。
さらに、羽根部8bの厚み(フィン幅y2)は、羽根部8bの軸方向のピッチ(フィンピッチy4)を羽根数で割った長さの10から60%であることが好ましく、20から40%とするとさらに好ましい。なお、これはy2/(y2+y3)の割合であり(図7(b)参照)、Y-Z平面から見たフィン間隔とフィン幅の和に対するフィン幅の割合である。また、冷却用流体中のパーティクルが詰まらないようにするため、フィン間隔は0.9mm以上とすることが好ましい。これによっても、流路を流れる流体の圧力損失を低下させることができる。
図3(c)に示した冷却フィン8Aのように、羽根部8bの幅が同じ形状の場合、流路の幅は、軸部8aの外周にいくほど広がってしまう。流路の幅が広がると、流体が外側に流れやすくなり、軸部8aの冷却が悪化してしまい、冷却器としても冷却効率がよくならない。
2a~2c 金属接合部材
3 配線基板
4 ピン
5 積層基板
6 冷却器
7 冷却器ケース
7a 天板
7b 底板
7c 側板
7d 流入口
7e 流出口
8,8’,8A~8C,8X 冷却フィン
8S ストレートフィン
8a,8a’ 軸部
8b,8b’,8b1~8b8 羽根部
8f,8f1~8f8 屈曲フィン
9 ケース
10 樹脂
51 第1導電性板
52 絶縁基板
53 第2導電性板
100 半導体モジュール
Claims (9)
- 天板、底板及び側板からなるケースと、該ケース内に配置された冷却フィンと、該冷却フィンに接触して、前記ケース内を流通する冷却用流体の流路とを備え、前記天板又は前記底板に接触する冷却対象物を冷却する冷却器において、
前記冷却フィンは、軸部と、前記軸部から外側に突出して軸方向に螺旋状をなして延びる羽根部とを有すると共に、全体が四角柱状をなし、少なくとも前記天板及び前記底板に接触して配置されており、
前記流路は、前記羽根部、前記天板及び前記底板によって形成された螺旋形状を有することを特徴とする冷却器。 - 前記羽根部は4から10個あり、前記軸部の周囲に均等な間隔で配設されていることを特徴とする請求項1に記載の冷却器。
- 前記羽根部の軸方向のピッチは、前記四角柱の高さの1.5から6.25倍の長さであることを特徴とする請求項1又は2に記載の冷却器。
- 前記軸部の断面積は、前記四角柱の軸方向に垂直な断面の断面積の10から60%であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の冷却器。
- 前記羽根部の厚みは、前記羽根部の軸方向のピッチを羽根数で割った長さの10から60%であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の冷却器。
- 前記ケース内に、前記冷却フィンが複数個並列して配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の冷却器。
- 並列して配置された前記冷却フィン同士の間に、ストレートフィンが前記冷却フィンと接触して配置されていることを特徴とする請求項6に記載の冷却器。
- 並列して配置された前記冷却フィンの隣接するもの同士は、前記羽根部が互いに接しており、かつ、前記羽根部の螺旋方向が反対向きであることを特徴とする請求項6に記載の冷却器。
- 半導体素子と、
前記半導体素子を搭載し、絶縁基板の上面及び下面を導電性板で挟んだ構造の積層基板と、
前記積層基板の前記半導体素子を搭載していない側と接合し、前記半導体素子を冷却する冷却用流体が流れる冷却器と、を備え、
前記冷却器が、請求項1から8のいずれか1項に記載の冷却器であることを特徴とする半導体モジュール。
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