JP7194996B2

JP7194996B2 - Fluid polisher

Info

Publication number: JP7194996B2
Application number: JP2019046253A
Authority: JP
Inventors: 元治清水
Original assignee: Matsui Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Matsui Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2019-03-13
Filing date: 2019-03-13
Publication date: 2022-12-23
Anticipated expiration: 2039-03-13
Also published as: JP2020146800A

Description

本発明は、流体研磨装置に関する。 The present invention relates to a fluid polishing apparatus.

金属部品やセラミック部品の内部に形成された管路に研磨剤を混合した混合流体を流動させて管路の内面を研磨する方法が用いられている。 A method is used in which a mixed fluid containing an abrasive is caused to flow through a conduit formed inside a metal part or a ceramic part to polish the inner surface of the conduit.

特許文献１には、金型等の金属部材からなるワークの両端に連通して設けた配管に一対の貯留タンクを連結し、貯留タンクには油等の流体に研磨剤を混合した混合流体を充填してあり、貯留タンクは、油圧シリンダによって混合流体をワークの連通流路に高速強制流入できる流体研磨装置が開示されている。 In Patent Document 1, a pair of storage tanks are connected to pipes provided in communication with both ends of a work made of a metal member such as a mold, and a mixed fluid obtained by mixing a fluid such as oil with an abrasive is stored in the storage tanks. A fluid polishing apparatus is disclosed in which the mixed fluid can be forced to flow into the communication passage of the workpiece at high speed by means of a hydraulic cylinder.

特許第５４７７７３９号公報Japanese Patent No. 5477739

しかし、特許文献１の装置では、油圧シリンダによって貯留タンクに圧力を加える際に混合流体に含まれる研磨剤が油圧シリンダ内に逆流し、油圧シリンダが摩耗し、装置の長時間の運転ができないという問題がある。また、油圧シリンダと貯留タンクとの配管の途中に逆流防止のフィルタを設けることも考えられるが、フィルタが目詰まりするためフィルタのメンテナンスが必要となるという問題、あるいは加圧できないという問題がある。 However, in the apparatus of Patent Document 1, when pressure is applied to the storage tank by the hydraulic cylinder, the abrasive contained in the mixed fluid flows back into the hydraulic cylinder, and the hydraulic cylinder wears out, making it impossible to operate the apparatus for a long time. There's a problem. It is also conceivable to provide a filter for preventing backflow in the middle of the piping between the hydraulic cylinder and the storage tank, but there are problems such as clogging of the filter and requiring maintenance of the filter, or the problem of not being able to pressurize.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、研磨剤の逆流を防止して長時間の運転が可能な流体研磨装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fluid polishing apparatus capable of long-time operation by preventing backflow of polishing agent.

本発明に係る流体研磨装置は、対象物に形成された管路の一方側と連通する第１管路に接続された第１貯留タンクと、前記管路の他方側と連通する第２管路に接続された第２貯留タンクと、前記第１貯留タンクに接続された第３管路及び前記第２貯留タンクに接続された第４管路それぞれを介して前記第１貯留タンクと前記第２貯留タンクとに交互に加圧流体を切り替えて供給する加圧流体供給部とを備え、前記第１貯留タンクは、前記第１管路側と前記第３管路側とを分離する第１可撓性隔壁を備え、前記第２貯留タンクは、前記第２管路側と前記第４管路側とを分離する第２可撓性隔壁を備え、前記第１貯留タンクの第１管路側及び前記第２貯留タンクの第２管路側に研磨剤混合流体を充填してある。 A fluid polishing apparatus according to the present invention comprises a first storage tank connected to a first conduit communicating with one side of a conduit formed in an object, and a second conduit communicating with the other side of the conduit. and the first storage tank and the second storage tank through the third pipeline connected to the first storage tank and the fourth pipeline connected to the second storage tank, respectively. and a pressurized fluid supply unit that alternately switches and supplies the pressurized fluid to the storage tank, wherein the first storage tank is a first flexible fluid that separates the first pipeline side and the third pipeline side. a partition, wherein the second storage tank includes a second flexible partition separating the second pipeline side and the fourth pipeline side; The second pipeline side of the tank is filled with the abrasive mixed fluid.

本発明によれば、研磨剤の逆流を防止して長時間の運転が可能となる。 According to the present invention, it is possible to operate for a long time by preventing backflow of abrasive.

本実施の形態の流体研磨装置の構成の一例を示す説明図である。1 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a fluid polishing apparatus according to an embodiment; FIG. 油圧シリンダの動作の様子の一例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of how a hydraulic cylinder operates. 第１貯留タンク及び第２貯留タンクの動作の様子の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the mode of operation|movement of a 1st storage tank and a 2nd storage tank. 第１貯留タンク及び第２貯留タンクの動作の様子の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the mode of operation|movement of a 1st storage tank and a 2nd storage tank. 金型の研磨の様子の一例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of how a mold is polished. 油圧シリンダの構成の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of a structure of a hydraulic cylinder. 研磨判定基準の一例を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of polishing judgment criteria; 劣化判定基準の一例を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of deterioration judgment criteria;

以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。図１は本実施の形態の流体研磨装置の構成の一例を示す説明図である。流体研磨装置は、装置全体を制御するコントローラ５０、第１貯留タンク１０、第２貯留タンク２０、油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０などを備える。油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０は、加圧流体供給部を構成する。符号８０は、対象物としての金型である。なお、対象物は金型８０に限定されない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described based on the drawings showing its embodiments. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a fluid polishing apparatus according to this embodiment. The fluid polishing apparatus includes a controller 50 that controls the entire apparatus, a first storage tank 10, a second storage tank 20, a hydraulic cylinder 30, a hydraulic unit 40, a flow path switching section 60, and the like. The hydraulic cylinder 30, the hydraulic unit 40, and the flow path switching section 60 constitute a pressurized fluid supply section. Reference numeral 80 is a mold as an object. Note that the object is not limited to the mold 80 .

コントローラ５０は、駆動制御部５１、検知部５２、流速算出部５３、判定部５４及び通知部５５を備える。 The controller 50 includes a drive control section 51 , a detection section 52 , a flow velocity calculation section 53 , a determination section 54 and a notification section 55 .

油圧シリンダ３０は、第１シリンダ部３１、第２シリンダ部３２、第１シリンダ部３１と第２シリンダ部３２との間を移動するピストン部３３を備える。第１シリンダ部３１には、リミットスイッチ３０１が設けられ、第２シリンダ部３２には、リミットスイッチ３０２が設けられている。 The hydraulic cylinder 30 includes a first cylinder portion 31 , a second cylinder portion 32 , and a piston portion 33 that moves between the first cylinder portion 31 and the second cylinder portion 32 . A limit switch 301 is provided on the first cylinder portion 31 and a limit switch 302 is provided on the second cylinder portion 32 .

油圧ユニット４０は、タンク４１、ポンプ４２、圧力センサ４３、熱交換器４４などを備える。タンク４１には、加圧流体としての油が貯留されている。 The hydraulic unit 40 includes a tank 41, a pump 42, a pressure sensor 43, a heat exchanger 44, and the like. The tank 41 stores oil as a pressurized fluid.

流路切替部６０は、切替弁６１、ソレノイド部６２を備える。切替弁６１は、配管７７と配管７５とを接続するとともに、配管７８と配管７６とを接続するモード、配管７７と配管７６とを接続するとともに、配管７８と配管７５とを接続するモード、及び配管を閉じるモードを有する。 The channel switching section 60 includes a switching valve 61 and a solenoid section 62 . The switching valve 61 connects the pipes 77 and 75 and also connects the pipes 78 and 76 , connects the pipes 77 and 76 and connects the pipes 78 and 75 , and It has a mode to close the piping.

第１貯留タンク１０は、金型８０に形成された管路の一方側と連通する第１管路７１に接続されている。第２貯留タンク２０は、金型８０に形成された管路の他方側と連通する第２管路７２に接続されている。第１貯留タンク１０には、第３管路７３が接続され、第３管路７３は、第２シリンダ部３２のピストン部３３側に接続されている。第２貯留タンク２０には、第４管路７４が接続され、第４管路７４は、第１シリンダ部３１のピストン部３３側に接続されている。 The first storage tank 10 is connected to a first pipeline 71 that communicates with one side of the pipeline formed in the mold 80 . The second storage tank 20 is connected to a second pipeline 72 that communicates with the other side of the pipeline formed in the mold 80 . A third pipeline 73 is connected to the first storage tank 10 , and the third pipeline 73 is connected to the piston portion 33 side of the second cylinder portion 32 . A fourth pipeline 74 is connected to the second storage tank 20 , and the fourth pipeline 74 is connected to the piston portion 33 side of the first cylinder portion 31 .

第１シリンダ部３１のピストン部３３側と反対側には、配管７６が接続され、配管７６は切替弁６１に接続されている。第２シリンダ部３２のピストン部３３側と反対側には、配管７５が接続され、配管７５は切替弁６１に接続されている。 A pipe 76 is connected to the side opposite to the piston portion 33 side of the first cylinder portion 31 , and the pipe 76 is connected to the switching valve 61 . A pipe 75 is connected to the side opposite to the piston portion 33 side of the second cylinder portion 32 , and the pipe 75 is connected to the switching valve 61 .

ポンプ４２の吐出側には配管７７が接続され、配管７７は切替弁６１に接続されている。ポンプ４２の吐出側の配管７７には圧力センサ４３を設けてある。切替弁６１に接続された配管７８は、熱交換器４４を介してタンク４１まで設けられている。上述の構成により、油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０は、第１貯留タンク１０に接続された第３管路７３及び第２貯留タンク２０に接続された第４管路７４それぞれを介して第１貯留タンク１０と第２貯留タンク２０とに交互に加圧流体を切り替えて供給することができる。 A pipe 77 is connected to the discharge side of the pump 42 , and the pipe 77 is connected to the switching valve 61 . A pressure sensor 43 is provided in the pipe 77 on the discharge side of the pump 42 . A pipe 78 connected to the switching valve 61 is provided to the tank 41 via the heat exchanger 44 . With the above-described configuration, the hydraulic cylinder 30, the hydraulic unit 40, and the channel switching unit 60 are connected to the third pipeline 73 connected to the first storage tank 10 and the fourth pipeline 74 connected to the second storage tank 20, respectively. The pressurized fluid can be alternately switched and supplied to the first storage tank 10 and the second storage tank 20 via the .

第１貯留タンク１０は、第１管路７１側の貯留部１１と第３管路７３側の貯留部１２とを分離する第１可撓性隔壁１３を備える。貯留部１１には、エアー抜き弁１５、排水用弁１６を設けてあり、貯留部１２には、エアー抜き弁１４を設けてある。 The first storage tank 10 includes a first flexible partition 13 that separates the storage portion 11 on the first pipeline 71 side from the storage portion 12 on the third pipeline 73 side. The reservoir 11 is provided with an air release valve 15 and a drain valve 16 , and the reservoir 12 is provided with an air release valve 14 .

第２貯留タンク２０は、第２管路７２側の貯留部２１と第４管路７４側の貯留部２２とを分離する第２可撓性隔壁２３を備える。貯留部２１には、エアー抜き弁２５、排水用弁２６を設けてあり、貯留部２２には、エアー抜き弁２４を設けてある。第１貯留タンク１０の貯留部１１、第２貯留タンク２０の貯留部２１、及び金型８０には研磨剤混合流体を充填することができる。研磨剤は、例えば、アルミナ系砥粒、炭化珪素系砥粒、ジルコニアアルミ系砥粒などを用いることができるが、これらに限定されない。 The second storage tank 20 includes a second flexible partition wall 23 that separates the storage portion 21 on the side of the second pipeline 72 and the storage portion 22 on the side of the fourth pipeline 74 . The reservoir 21 is provided with an air release valve 25 and a drain valve 26 , and the reservoir 22 is provided with an air release valve 24 . The reservoir 11 of the first reservoir 10, the reservoir 21 of the second reservoir 20, and the mold 80 can be filled with the abrasive mixed fluid. Examples of abrasives that can be used include, but are not limited to, alumina-based abrasive grains, silicon carbide-based abrasive grains, and zirconia-aluminum-based abrasive grains.

第１貯留タンク１０の第１可撓性隔壁１３で分離された貯留部１２には、第２シリンダ部３２を介して加圧流体が供給される。第２貯留タンク２０の第２可撓性隔壁２３で分離された貯留部２２には、第１シリンダ部３１を介して加圧流体が供給される。すなわち、加圧流体と研磨剤混合流体とは、第１可撓性隔壁１３及び第２可撓性隔壁２３によって混ざらない。 Pressurized fluid is supplied via the second cylinder portion 32 to the reservoir 12 separated by the first flexible partition 13 of the first reservoir 10 . Pressurized fluid is supplied via the first cylinder portion 31 to the storage portion 22 separated by the second flexible partition 23 of the second storage tank 20 . That is, the pressurized fluid and the mixed abrasive fluid do not mix due to the first flexible partition 13 and the second flexible partition 23 .

駆動制御部５１は、油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０の動作を制御する。より具体的には、駆動制御部５１は、ポンプ４２の運転制御、切替弁６１の切替（モード）制御などを行う。 The drive control section 51 controls operations of the hydraulic cylinder 30 , the hydraulic unit 40 and the flow path switching section 60 . More specifically, the drive control unit 51 performs operation control of the pump 42, switching (mode) control of the switching valve 61, and the like.

次に、流体研磨装置の動作について説明する。 Next, the operation of the fluid polishing apparatus will be explained.

まず、研磨の対象の金型８０を流体研磨装置に接続する。具体的には、金型８０に第１管路７１及び第２管路７２を接続する。図示していないが、注入口から水を注入するとともに研磨剤を入れる。なお、研磨剤の量を調整することにより、研磨剤混合流体の研磨剤濃度を調整することができる。第１管路７１、第２管路７２及び金型８０の管路内の空気を抜く。次に、加圧動作について説明する。 First, the mold 80 to be polished is connected to the fluid polishing apparatus. Specifically, the first pipeline 71 and the second pipeline 72 are connected to the mold 80 . Although not shown, water is injected from an injection port and an abrasive is added. By adjusting the amount of abrasive, the abrasive concentration of the abrasive mixed fluid can be adjusted. The air inside the first pipeline 71, the second pipeline 72 and the pipelines of the mold 80 is removed. Next, the pressurizing operation will be described.

図２は油圧シリンダ３０の動作の様子の一例を示す模式図である。図２Ａでは、切替弁６１は、配管７７と配管７５とを接続するとともに、配管７８と配管７６とを接続するモードであり、図２Ｂでは、配管７７と配管７６とを接続するとともに、配管７８と配管７５とを接続するモードであるとする。まず、図２Ａの場合から説明する。ポンプ４２によってタンク４１に貯留された油が加圧され、加圧流体として配管７７、切替弁６１、配管７５を経由して第２シリンダ部３２の第２室３２２（ピストン部３３の外側の容積室）に供給され（符号Ａ）、ピストン部３３を矢印ａの方向へ動かす。これにより、第２シリンダ部３２の第１室３２１（ピストン部３３の内側の容積室）内の油は、第２シリンダ部３２から押し出されて第３管路７３を介して流出する。このとき、第１貯留タンク１０及び第２貯留タンク２０の動作は、以下のとおりになる。 FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of how the hydraulic cylinder 30 operates. In FIG. 2A, the switching valve 61 is in a mode of connecting the pipes 77 and 75 and connecting the pipes 78 and 76, and in FIG. and the pipe 75 are connected. First, the case of FIG. 2A will be described. The oil stored in the tank 41 is pressurized by the pump 42, and as a pressurized fluid, it passes through the pipe 77, the switching valve 61, and the pipe 75 to the second chamber 322 of the second cylinder portion 32 (the volume outside the piston portion 33). chamber) (symbol A) to move the piston portion 33 in the direction of the arrow a. As a result, the oil in the first chamber 321 (volume chamber inside the piston portion 33 ) of the second cylinder portion 32 is pushed out of the second cylinder portion 32 and flows out through the third pipe line 73 . At this time, the operations of the first storage tank 10 and the second storage tank 20 are as follows.

図３は第１貯留タンク１０及び第２貯留タンク２０の動作の様子の一例を示す模式図である。第２シリンダ部３２から流出した加圧流体は、第３管路７３を介して第１貯留タンク１０に流入し、貯留部１２を通じて第１可撓性隔壁１３を押圧する。第１可撓性隔壁１３は、可撓性を有するので、図３に模式的に示すように変形し、貯留部１１内の研磨剤混合流体を押し出す。押し出された研磨剤混合流体は、金型８０の管路を流れ、第２管路７２を経由して第２貯留タンク２０の貯留部２１に流入する。貯留部２１に流入した研磨剤混合流体は、第２可撓性隔壁２３を押圧する。第２可撓性隔壁２３は、可撓性を有するので、図３に模式的に示すように変形し、貯留部２２内の油を押し出す。押し出された加圧流体は、図２Ａに示すように、第４管路７４を介して第１シリンダ部３１の第２室３１２（ピストン部３３の内側の容積室）に供給され（符号Ａ）、ピストン部３３を矢印ａの方向へ動かす。これにより、第１シリンダ部３１の第１室３１１（ピストン部３３の外側の容積室）内の油は、第１シリンダ部３１から押し出されて配管７６を介して流出し、配管７８を介してタンク４１に戻る。 FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of how the first storage tank 10 and the second storage tank 20 operate. The pressurized fluid flowing out of the second cylinder portion 32 flows into the first storage tank 10 through the third pipe line 73 and presses the first flexible partition 13 through the storage portion 12 . Since the first flexible partition 13 has flexibility, it deforms as schematically shown in FIG. The extruded abrasive mixed fluid flows through the pipeline of the mold 80 and flows into the storage section 21 of the second storage tank 20 via the second pipeline 72 . The abrasive mixed fluid that has flowed into the reservoir 21 presses the second flexible partition 23 . Since the second flexible partition 23 has flexibility, it deforms as schematically shown in FIG. As shown in FIG. 2A, the extruded pressurized fluid is supplied to the second chamber 312 (volume chamber inside the piston portion 33) of the first cylinder portion 31 via the fourth pipe line 74 (symbol A). , moves the piston part 33 in the direction of the arrow a. As a result, the oil in the first chamber 311 (volume chamber outside the piston portion 33) of the first cylinder portion 31 is pushed out from the first cylinder portion 31 and flows out through the pipe 76, and then flows through the pipe 78. Return to tank 41.

次に、図２Ｂの場合について説明する。ポンプ４２によってタンク４１に貯留された油が加圧され、加圧流体として配管７７、切替弁６１、配管７６を経由して第１シリンダ部３１の第１室３１１（ピストン部３３の外側の容積室）に供給され（符号Ｂ）、ピストン部３３を矢印ｂの方向へ動かす。これにより、第１シリンダ部３１の第２室３１２（ピストン部３３の内側の容積室）内の油は、第１シリンダ部３１から押し出されて第４管路７４を介して流出する。このとき、第１貯留タンク１０及び第２貯留タンク２０の動作は、以下のとおりになる。 Next, the case of FIG. 2B will be described. The oil stored in the tank 41 is pressurized by the pump 42, and as a pressurized fluid, it passes through the pipe 77, the switching valve 61, and the pipe 76 to the first chamber 311 (the volume outside the piston portion 33) of the first cylinder portion 31. chamber) (symbol B) and moves the piston part 33 in the direction of the arrow b. As a result, the oil in the second chamber 312 (volume chamber inside the piston portion 33 ) of the first cylinder portion 31 is pushed out of the first cylinder portion 31 and flows out through the fourth pipe line 74 . At this time, the operations of the first storage tank 10 and the second storage tank 20 are as follows.

図４は第１貯留タンク１０及び第２貯留タンク２０の動作の様子の一例を示す模式図である。第１シリンダ部３１から流出した加圧流体は、第４管路７４を介して第２貯留タンク２０に流入し、貯留部２２を通じて第２可撓性隔壁２３を押圧する。第２可撓性隔壁２３は、可撓性を有するので、図４に模式的に示すように変形し、貯留部２１内の研磨剤混合流体を押し出す。押し出された研磨剤混合流体は、金型８０の管路を流れ、第１管路７１を経由して第１貯留タンク１０の貯留部１１に流入する。貯留部１１に流入した研磨剤混合流体は、第１可撓性隔壁１３を押圧する。第１可撓性隔壁１３は、可撓性を有するので、図４に模式的に示すように変形し、貯留部１２内の油を押し出す。押し出された加圧流体は、図２Ｂに示すように、第３管路７３を介して第２シリンダ部３２の第１室３２１（ピストン部３３の内側の容積室）に供給され（符号Ｂ）、ピストン部３３を矢印ｂの方向へ動かす。これにより、第２シリンダ部３２の第２室３２２（ピストン部３３の外側の容積室）内の油は、第２シリンダ部３２から押し出されて配管７５を介して流出し、配管７８を介してタンク４１に戻る。 FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of how the first storage tank 10 and the second storage tank 20 operate. The pressurized fluid flowing out of the first cylinder portion 31 flows into the second storage tank 20 through the fourth pipe line 74 and presses the second flexible partition wall 23 through the storage portion 22 . Since the second flexible partition 23 has flexibility, it deforms as schematically shown in FIG. The extruded abrasive mixed fluid flows through the pipeline of the mold 80 and flows into the storage section 11 of the first storage tank 10 via the first pipeline 71 . The abrasive mixed fluid that has flowed into the reservoir 11 presses the first flexible partition 13 . Since the first flexible partition 13 is flexible, it deforms as schematically shown in FIG. 4 and pushes out the oil in the reservoir 12 . As shown in FIG. 2B, the extruded pressurized fluid is supplied to the first chamber 321 (volume chamber inside the piston portion 33) of the second cylinder portion 32 via the third pipe line 73 (symbol B). , moves the piston part 33 in the direction of the arrow b. As a result, the oil in the second chamber 322 of the second cylinder portion 32 (the volume chamber outside the piston portion 33) is pushed out of the second cylinder portion 32 and flows out through the pipe 75 and through the pipe 78. Return to tank 41.

図３及び図４において、図示した第１可撓性隔壁１３及び第２可撓性隔壁２３は、模式的に示したものであり、図の例に限定されるものではない。第１可撓性隔壁１３及び第２可撓性隔壁２３は、図示したように、蛇腹のパッキンでもよく、ダイヤフラムであれば他の構造のものでもよい。 3 and 4, the illustrated first flexible partition 13 and the second flexible partition 23 are shown schematically, and are not limited to the examples in the drawings. The first flexible partition 13 and the second flexible partition 23 may be bellows packings as shown, or may be diaphragms of other constructions.

図５は金型８０の研磨の様子の一例を示す模式図である。図２で説明したように、切替弁６１を切り替えて、加圧流体を、第１貯留タンク１０の貯留部１２と第２貯留タンク２０の貯留部２２に対して、交互に供給することにより、金型８０に形成された管路８１には、研磨剤混合流体が、矢印Ａで示す方向と、矢印Ｂで示す方向（方向Ａと反対方向）と交互に流れ、管路８１内を研磨することができる。なお、管路８１は、模式的に図示したものであり、実際の管路（流路）とは異なる場合がある。 FIG. 5 is a schematic diagram showing an example of how the mold 80 is polished. As described in FIG. 2, by switching the switching valve 61 and alternately supplying the pressurized fluid to the reservoir 12 of the first reservoir 10 and the reservoir 22 of the second reservoir 20, The abrasive mixed fluid alternately flows in the direction indicated by arrow A and the direction indicated by arrow B (opposite direction to direction A) in the conduit 81 formed in the mold 80, and polishes the inside of the conduit 81. be able to. Note that the pipeline 81 is schematically illustrated and may differ from the actual pipeline (flow path).

上述の構成により、研磨剤が混合された研磨剤混合流体と加圧流体とは第１可撓性隔壁１３及び第２可撓性隔壁２３で分離されているので、研磨剤が油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０（特に、油圧シリンダ３０）に混入（逆流）することはなく、長時間の運転が可能となる。また、研磨剤を分離するフィルタも不要なのでフィルタのメンテナンスが不要であり、保守性が向上する。また、フィルタの目詰まりもないので、加圧できないという問題も防止できる。 With the above-described configuration, the abrasive mixed fluid mixed with abrasive and the pressurized fluid are separated by the first flexible partition 13 and the second flexible partition 23, so that the abrasive is transferred to the hydraulic cylinder 30, There is no mixing (reverse flow) in the hydraulic unit 40 and the flow path switching section 60 (in particular, the hydraulic cylinder 30), and long-time operation is possible. In addition, since a filter for separating abrasives is not required, maintenance of the filter is unnecessary, and maintainability is improved. In addition, since the filter is not clogged, the problem of not being able to pressurize can be prevented.

図１の例では、油圧シリンダ３０は、２つのシリンダ部を備える構成であったが、これに限定されるものではなく、シリンダを１つ備える構成でもよい。 In the example of FIG. 1, the hydraulic cylinder 30 is configured to include two cylinder portions, but is not limited to this, and may be configured to include one cylinder.

図６は油圧シリンダ３４の構成の一例を示す模式図である。油圧シリンダ３４は、１つのシリンダ部を備え、駆動部３４４によって、ピストン部３４３が移動するようになっている。ピストン部３４３で区切られる第１室３４１と第２室３４２とは、同量の加圧流体を第１貯留タンク１０の貯留部１２と第２貯留タンク２０の貯留部２２とに供給することができる。 FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of the configuration of the hydraulic cylinder 34. As shown in FIG. The hydraulic cylinder 34 has one cylinder portion, and a driving portion 344 moves a piston portion 343 . The first chamber 341 and the second chamber 342 separated by the piston portion 343 can supply the same amount of pressurized fluid to the storage portion 12 of the first storage tank 10 and the storage portion 22 of the second storage tank 20. can.

リミットスイッチ３０１は、ピストン部３３が第１シリンダ部３１の所定位置まで移動したことを検知する。リミットスイッチ３０２は、ピストン部３３が第２シリンダ部３２の所定位置まで移動したことを検知する。 The limit switch 301 detects that the piston portion 33 has moved to a predetermined position of the first cylinder portion 31 . The limit switch 302 detects that the piston portion 33 has moved to a predetermined position of the second cylinder portion 32 .

検知部５２は、リミットスイッチ３０１、３０２からの検知信号に基づいて、油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０による加圧流体の切替間隔及び切替回数を検知することができる。切替間隔は、油圧シリンダ３０、油圧ユニット４０及び流路切替部６０が、第１貯留タンク１０又は第２貯留タンク２０のいずれか一方を加圧している時間であり、１ストロークに要する時間に相当する。切替回数はストローク回数とも称する。具体的には、切替間隔は、１ストロークに要する時間（ピストンの移動時間）と次の移動が始まるまでの停止時間（すなわち、切替間隔＝移動時間＋停止時間）が含まれるが、本明細書では、切替間隔を、１ストロークに要する時間（ピストンの移動時間）として説明する。 Based on detection signals from the limit switches 301 and 302 , the detection unit 52 can detect switching intervals and switching times of the pressurized fluid by the hydraulic cylinder 30 , the hydraulic unit 40 and the flow path switching unit 60 . The switching interval is the time during which the hydraulic cylinder 30, the hydraulic unit 40, and the flow path switching unit 60 pressurize either the first storage tank 10 or the second storage tank 20, and corresponds to the time required for one stroke. do. The number of times of switching is also called the number of strokes. Specifically, the switching interval includes the time required for one stroke (piston movement time) and the stop time until the next movement starts (that is, the switching interval = movement time + stop time). Now, the switching interval will be described as the time required for one stroke (piston movement time).

また、検知部５２は、研磨剤混合流体の流速を検知することができる。流速は、後述のように算出してもよく、あるいは不図示の流量計によって金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速を検知してもよい。 Further, the detection unit 52 can detect the flow velocity of the abrasive mixed fluid. The flow velocity may be calculated as described later, or the flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 may be detected by a flow meter (not shown).

流速算出部５３は、算出部としての機能を有し、検知部５２で検出した切替間隔、加圧流体の供給量、及び金型８０に形成された管路の断面積に基づいて研磨剤混合流体の流速を算出することができる。例えば、切替間隔をＴ、１ストローク当たりの加圧流体の供給量をＱ、管路の断面積をＳとすると、単位時間（１秒間）当たりの供給量Ｆは、Ｆ＝Ｑ／Ｔであり、流速Ｖは、Ｖ＝Ｆ／Ｓ＝Ｑ／（Ｔ・Ｓ）という式で求めることができる。 The flow velocity calculation unit 53 has a function as a calculation unit, and is based on the switching interval detected by the detection unit 52, the supply amount of the pressurized fluid, and the cross-sectional area of the conduit formed in the mold 80. Fluid flow velocity can be calculated. For example, if the switching interval is T, the supply amount of pressurized fluid per stroke is Q, and the cross-sectional area of the pipe is S, the supply amount F per unit time (1 second) is F=Q/T. , the flow velocity V can be obtained by the formula V=F/S=Q/(T·S).

駆動制御部５１は、設定部としての機能を有し、研磨剤混合流体の流速が所定範囲内になるように設定することができる。所定範囲は、例えば、１０ｍ／ｓ～３０ｍ／ｓとすることができるが、これに限定されない。流速の設定は、例えば、切替間隔、又は金型８０の管路の断面積が一定であれば、単位時間当たりの加圧流体の供給量を調整すればよい。また、流速の設定は、例えば、研磨する金型を交換した後、研磨剤混合流体の種類や濃度などの条件が変更された場合などの必要な場合に適宜行われる。流速が所定範囲を下回ると、研磨の処理能力が低下して研磨に要する時間が長くなり、あるいは十分に研磨することができない。また、流速が所定範囲を上回るとポンプ４２などの能力を大きくする必要があり、装置が大型化し、コストが高くなる。流速が所定範囲内になるように設定することにより、最適な研磨処理を実現できる。 The drive control section 51 has a function as a setting section, and can set the flow velocity of the abrasive mixed fluid to be within a predetermined range. The predetermined range can be, for example, 10 m/s to 30 m/s, but is not limited to this. For setting the flow rate, for example, if the switching interval or the cross-sectional area of the conduit of the mold 80 is constant, the supply amount of the pressurized fluid per unit time may be adjusted. Also, the flow rate is appropriately set when necessary, for example, when conditions such as the type and concentration of the mixed abrasive fluid are changed after replacing the mold to be polished. If the flow rate falls below the predetermined range, the polishing throughput will be reduced and the time required for polishing will be increased, or sufficient polishing will not be possible. Further, if the flow velocity exceeds the predetermined range, the capacity of the pump 42 or the like needs to be increased, which increases the size of the apparatus and increases the cost. An optimum polishing process can be achieved by setting the flow rate within a predetermined range.

判定部５４は、研磨判定部としての機能を有し、検知部５２で検知した検知結果（切替間隔、切替回数及び研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つ）に基づいて研磨が完了したか否かを判定することができる。 The determination unit 54 has a function as a polishing determination unit, and determines whether polishing is completed based on the detection result (at least one of the switching interval, the number of switching times, and the flow velocity of the abrasive mixture fluid) detected by the detection unit 52. It is possible to determine whether

図７は研磨判定基準の一例を示す説明図である。図７では、検知内容と研磨判定基準（研磨が完了したと判定できる基準）との関係を示す。第１基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が目標設定時間に達したとき、研磨が完了したと判定できる。第２基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が目標設定割合短縮したとき（例えば、所定の割合（％）だけ時間が短くなったとき）、研磨が完了したと判定できる。第３基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が目標速度に達したとき、研磨が完了したと判定できる。第４基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が目標設定割合増加したとき（例えば、所定の割合（％）だけ流速が増加したとき）、研磨が完了したと判定できる。第５基準は、検知内容として切替回数を検知した場合、所定時間におけるシリンダのストローク数が目標設定回数に達したとき、研磨が完了したと判定できる。 FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of polishing judgment criteria. FIG. 7 shows the relationship between detection details and polishing determination criteria (criteria for determining that polishing has been completed). According to the first criterion, when the switching interval is detected as the detection content, it can be determined that polishing is completed when the time required for one stroke reaches the target set time. The second criterion is that when the switching interval is detected as the detection content, polishing is completed when the time required for one stroke is reduced by a target set percentage (for example, when the time is shortened by a predetermined percentage (%)). can be determined. The third criterion is that when the switching interval or the flow velocity of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, the polishing is completed when the flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 reaches the target velocity. can. The fourth criterion is when the switching interval or the flow velocity of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, and when the flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 increases by a target set percentage (for example, a predetermined percentage ( %)), it can be determined that the polishing is complete. As for the fifth criterion, when the number of times of switching is detected as the detection content, it can be determined that polishing is completed when the number of strokes of the cylinder in a predetermined time reaches the target set number of times.

判定部５４は、劣化判定部としての機能を有し、検知部５２で検知した検知結果（切替間隔、切替回数及び研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つ）に基づいて研磨剤の劣化を判定することができる。 The judgment unit 54 has a function as a deterioration judgment unit, and judges the deterioration of the abrasive based on the detection result (at least one of the switching interval, the number of times of switching, and the flow velocity of the abrasive mixed fluid) detected by the detection unit 52. can do.

図８は劣化判定基準の一例を示す説明図である。図８では、検知内容と劣化判定基準（研磨剤が劣化したと判定できる基準）との関係を示す。第１基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が所定時間後、目標設定時間に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第２基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が所定時間後、目標設定割合短縮しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第３基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が所定回数後、目標設定時間に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第４基準は、検知内容として切替間隔を検知した場合、１ストロークあたりにかかる時間が所定回数後、目標設定割合短縮しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。 FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of deterioration judgment criteria. FIG. 8 shows the relationship between detection details and deterioration judgment criteria (criteria for judging that the abrasive has deteriorated). As for the first criterion, when the switching interval is detected as the detection content, it can be determined that the polishing agent has deteriorated when the time required for one stroke does not reach the target set time after a predetermined time. As for the second criterion, when the switching interval is detected as the detection content, it can be determined that the polishing agent has deteriorated when the time required for one stroke does not decrease by the target setting ratio after a predetermined time. As for the third criterion, when the switching interval is detected as the detection content, it can be determined that the polishing agent has deteriorated when the target set time is not reached after a predetermined number of times of the time required for one stroke. As for the fourth criterion, when the switching interval is detected as the detection content, it can be determined that the polishing agent has deteriorated when the time required for one stroke does not decrease by the target set percentage after a predetermined number of times.

第５基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が所定時間後、目標速度に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第６基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が所定時間後、目標設定割合増加しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第７基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が所定回数後、目標速度に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第８基準は、検知内容として切替間隔又は研磨剤混合流体の流速を検知した場合、金型８０の管路内の研磨剤混合流体の流速が所定回数後、目標設定割合増加しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。第９基準は、検知内容として切替回数を検知した場合、所定時間におけるシリンダのストローク数が目標設定回数に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。 The fifth criterion is that when the switching interval or the flow speed of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, when the flow speed of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 does not reach the target speed after a predetermined time, the abrasive can be determined to have deteriorated. The sixth criterion is that when the switching interval or the flow velocity of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, when the flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 does not increase by the target setting rate after a predetermined time, the abrasive can be determined to have deteriorated. The seventh criterion is that when the switching interval or the flow speed of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, when the flow speed of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 does not reach the target speed after a predetermined number of times, the abrasive can be determined to have deteriorated. The eighth criterion is that when the switching interval or the flow velocity of the abrasive mixed fluid is detected as the detection content, when the flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit of the mold 80 does not increase by the target setting rate after a predetermined number of times, the abrasive can be determined to have deteriorated. As for the ninth criterion, when the number of times of switching is detected as the detection content, it can be determined that the polishing agent has deteriorated when the number of strokes of the cylinder in a predetermined time does not reach the target set number of times.

通知部５５は、判定部５４の判定結果に基づいて研磨剤の交換を通知する。例えば、図８に例示したように、研磨剤の劣化が判定された場合、研磨剤の交換を通知できる。また、通知部５５は、判定部５４の判定結果に基づいて研磨の完了を通知する。例えば、図７に例示したように、研磨の完了が判定された場合、研磨の完了を通知できる。 The notification unit 55 notifies replacement of the abrasive based on the determination result of the determination unit 54 . For example, as exemplified in FIG. 8, replacement of the abrasive can be notified when deterioration of the abrasive is determined. Also, the notification unit 55 notifies completion of polishing based on the determination result of the determination unit 54 . For example, as illustrated in FIG. 7, when the completion of polishing is determined, the completion of polishing can be notified.

上述のように、本実施の形態によれば、研磨剤と加圧流体は、可撓性隔壁で分離されるので、両者が混じることを防止でき、長時間の運転が可能となる。これにより、研磨剤による油圧シリンダの摩耗を防止できる。また、研磨剤の逆流を防止するフィルタが不要なので、フィルタのメンテナンスが不要であり、フィルタの詰まりによる加圧できないという問題も発生しない。 As described above, according to the present embodiment, since the abrasive and the pressurized fluid are separated by the flexible partition, mixing of the two can be prevented, and long-time operation is possible. As a result, abrasion of the hydraulic cylinder due to the abrasive can be prevented. In addition, since a filter for preventing backflow of the abrasive is not required, maintenance of the filter is not required, and the problem of not being able to pressurize due to clogging of the filter does not occur.

また、研磨剤と加圧流体は、可撓性隔壁で分離されるので、金型の研磨作業は、流体研磨装置に金型のみを接続すればよく、加圧流体が流れる箇所のメンテナンスは不要である。 In addition, since the abrasive and the pressurized fluid are separated by the flexible partition, it is sufficient to connect only the mold to the fluid polishing apparatus for the polishing work of the mold, and there is no maintenance required for the place where the pressurized fluid flows. is.

上述の実施の形態では、加圧流体として油を用いる構成であったが、これに限定されない。例えば、加圧流体供給部として、空気圧アクチュエータを用いることもできる。可撓性隔壁で研磨剤混合流体と分離されているので、空気による加圧が可能となる。 In the above-described embodiment, the configuration is such that oil is used as the pressurized fluid, but the configuration is not limited to this. For example, a pneumatic actuator can be used as the pressurized fluid supply. Since it is separated from the abrasive mixed fluid by the flexible partition, pressurization by air is possible.

本実施の形態の流体研磨装置は、対象物に形成された管路の一方側と連通する第１管路に接続された第１貯留タンクと、前記管路の他方側と連通する第２管路に接続された第２貯留タンクと、前記第１貯留タンクに接続された第３管路及び前記第２貯留タンクに接続された第４管路それぞれを介して前記第１貯留タンクと前記第２貯留タンクとに交互に加圧流体を切り替えて供給する加圧流体供給部とを備え、前記第１貯留タンクは、前記第１管路側と前記第３管路側とを分離する第１可撓性隔壁を備え、前記第２貯留タンクは、前記第２管路側と前記第４管路側とを分離する第２可撓性隔壁を備え、前記第１貯留タンクの第１管路側及び前記第２貯留タンクの第２管路側に研磨剤混合流体を充填してある。 The fluid polishing apparatus of this embodiment comprises a first storage tank connected to a first pipeline communicating with one side of a pipeline formed in an object, and a second pipe communicating with the other side of the pipeline. The first storage tank and the second and a pressurized fluid supply unit for alternately switching and supplying the pressurized fluid to the two storage tanks, wherein the first storage tank is a first flexible that separates the first pipeline side and the third pipeline side. The second storage tank includes a second flexible partition separating the second pipeline side and the fourth pipeline side, and the first pipeline side of the first storage tank and the second The second pipeline side of the storage tank is filled with the abrasive mixed fluid.

第１貯留タンクは、対象物に形成された管路の一方側と連通する第１管路に接続されている。第２貯留タンクは、対象物に形成された管路の他方側と連通する第２管路に接続されている。加圧流体供給部は、第１貯留タンクに接続された第３管路及び第２貯留タンクに接続された第４管路それぞれを介して第１貯留タンクと第２貯留タンクとに交互に加圧流体を切り替えて供給する。 The first storage tank is connected to a first pipeline that communicates with one side of the pipeline formed in the object. The second storage tank is connected to a second pipeline that communicates with the other side of the pipeline formed in the object. A supply of pressurized fluid is alternately applied to the first and second storage tanks via a third line connected to the first storage tank and a fourth line connected to the second storage tank, respectively. The pressure fluid is switched and supplied.

第１貯留タンクは、第１管路側と第３管路側とを分離する第１可撓性隔壁を備え、第２貯留タンクは、第２管路側と第４管路側とを分離する第２可撓性隔壁を備え、第１貯留タンクの第１管路側及び第２貯留タンクの第２管路側に研磨剤混合流体を充填してある。 The first storage tank has a first flexible partition separating the first pipeline side and the third pipeline side, and the second storage tank has a second flexible partition separating the second pipeline side and the fourth pipeline side. A flexible septum is provided and the first line side of the first reservoir and the second line side of the second reservoir are filled with an abrasive fluid mixture.

第１貯留タンクの第１可撓性隔壁で分離された第１管路側（対象物側）には研磨剤混合流体が充填され、第２貯留タンクの第２可撓性隔壁で分離された第２管路側（対象物側）にも研磨剤混合流体が充填されている。 The first pipeline side (object side) separated by the first flexible partition of the first reservoir tank is filled with the abrasive mixed fluid, and the second pipeline separated by the second flexible partition of the second reservoir tank is filled with the abrasive mixed fluid. The second channel side (object side) is also filled with the abrasive mixed fluid.

第１貯留タンクの第１可撓性隔壁で分離された第３管路側（加圧流体供給部側）には加圧流体が供給され、第２貯留タンクの第２可撓性隔壁で分離された第４管路側（加圧流体供給部側）にも加圧流体が供給されている。すなわち、加圧流体と研磨剤混合流体とは、第１可撓性隔壁及び第２可撓性隔壁によって混ざらない。 The pressurized fluid is supplied to the third pipeline side (pressurized fluid supply unit side) separated by the first flexible partition of the first storage tank, and separated by the second flexible partition of the second storage tank. The pressurized fluid is also supplied to the fourth pipeline side (the pressurized fluid supply section side). That is, the pressurized fluid and the mixed abrasive fluid do not mix due to the first flexible partition wall and the second flexible partition wall.

加圧流体供給部が、第１貯留タンクを加圧すべく加圧流体を供給すると、加圧流体は第３管路を介して第１貯留タンクの第１可撓性隔壁を加圧する。第１可撓性隔壁は、可撓性を有するので、加圧流体による加圧によって変形し研磨剤混合流体を加圧する。これにより、研磨剤混合流体は加圧されて第１管路を介して対象物の管路を流れ、さらに第２管路を介して第２貯留タンクの第２可撓性隔壁を加圧する。第２可撓性隔壁は、可撓性を有するので、研磨剤混合流体による加圧によって変形し加圧流体を加圧する。これにより、加圧流体は、第４管路を介して加圧流体供給部に戻る。 When the pressurized fluid supply supplies pressurized fluid to pressurize the first reservoir, the pressurized fluid pressurizes the first flexible diaphragm of the first reservoir via the third conduit. Since the first flexible partition has flexibility, it deforms when pressurized by the pressurized fluid to pressurize the abrasive mixed fluid. This causes the abrasive mixture fluid to be pressurized to flow through the target conduit via the first conduit and pressurize the second flexible partition of the second reservoir via the second conduit. Since the second flexible partition has flexibility, it is deformed by pressurization by the abrasive mixed fluid and pressurizes the pressurized fluid. This causes the pressurized fluid to return to the pressurized fluid supply via the fourth conduit.

同様に、加圧流体供給部が、第２貯留タンクを加圧すべく加圧流体を供給すると、加圧流体は第４管路を介して第２貯留タンクの第２可撓性隔壁を加圧する。第２可撓性隔壁は、可撓性を有するので、加圧流体による加圧によって変形し研磨剤混合流体を加圧する。これにより、研磨剤混合流体は加圧されて第２管路を介して対象物の管路を流れ、さらに第１管路を介して第１貯留タンクの第１可撓性隔壁を加圧する。第１可撓性隔壁は、可撓性を有するので、研磨剤混合流体による加圧によって変形し加圧流体を加圧する。これにより、加圧流体は、第３管路を介して加圧流体供給部に戻る。 Similarly, when the pressurized fluid supply supplies pressurized fluid to pressurize the second reservoir, the pressurized fluid pressurizes the second flexible diaphragm of the second reservoir via the fourth conduit. . Since the second flexible partition is flexible, it deforms when pressurized by the pressurized fluid and pressurizes the abrasive mixed fluid. Thereby, the abrasive mixed fluid is pressurized to flow through the target duct via the second duct and pressurize the first flexible partition of the first storage tank via the first duct. Since the first flexible partition has flexibility, it is deformed by pressurization by the abrasive mixed fluid and pressurizes the pressurized fluid. This causes the pressurized fluid to return to the pressurized fluid supply via the third conduit.

上述の構成により、研磨剤が混合された研磨剤混合流体と加圧流体とは第１及び第２可撓性隔壁で分離されているので、研磨剤が加圧流体供給部に混入（逆流）することはなく、長時間の運転が可能となる。また、研磨剤を分離するフィルタも不要なのでフィルタのメンテナンスが不要であり、保守性が向上する。また、フィルタの目詰まりもないので、加圧できないという問題も防止できる。 With the above-described configuration, the abrasive mixed fluid in which the abrasive is mixed and the pressurized fluid are separated by the first and second flexible partition walls, so that the abrasive enters the pressurized fluid supply section (reverse flow). It is possible to operate for a long time. In addition, since a filter for separating abrasives is not required, maintenance of the filter is unnecessary, and maintainability is improved. In addition, since the filter is not clogged, the problem of not being able to pressurize can be prevented.

本実施の形態の流体研磨装置において、前記加圧流体供給部は、油圧アクチュエータを含む。 In the fluid polishing apparatus of this embodiment, the pressurized fluid supply section includes a hydraulic actuator.

加圧流体供給部は、油圧アクチュエータを含む。これにより、油圧シリンダに研磨剤が入り込むことを防止できる。 The pressurized fluid supply includes a hydraulic actuator. This can prevent the abrasive from entering the hydraulic cylinder.

本実施の形態の流体研磨装置において、前記加圧流体供給部は、空気圧アクチュエータを含む。 In the fluid polishing apparatus of this embodiment, the pressurized fluid supply section includes a pneumatic actuator.

加圧流体供給部は、空気圧アクチュエータを含む。第１及び第２可撓性隔壁で研磨剤混合流体と分離されているので、空気による加圧が可能となる。 The pressurized fluid supply includes a pneumatic actuator. Since it is separated from the abrasive mixed fluid by the first and second flexible partitions, pressurization by air is possible.

本実施の形態の流体研磨装置は、前記加圧流体供給部による加圧流体の切替間隔、切替回数及び前記管路内の研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つを検知する検知部と、前記検知部の検知結果に基づいて研磨が完了したか否かを判定する研磨判定部とを備える。 The fluid polishing apparatus of this embodiment comprises a detection unit for detecting at least one of switching interval and number of times of switching of the pressurized fluid by the pressurized fluid supply unit, and flow velocity of the abrasive mixed fluid in the pipeline; and a polishing determination unit that determines whether or not polishing is completed based on the detection result of the detection unit.

検知部は、加圧流体供給部による加圧流体の切替間隔及び切替回数を検知する。切替間隔は、加圧流体供給部が、第１貯留タンク又は第２貯留タンクのいずれか一方を加圧している時間であり、１ストロークに要する時間に相当する。切替回数はストローク数とも称する。また、検知部は、検出した切替間隔、加圧流体の供給量、及び対象物に形成された管路の断面積に基づいて研磨剤混合流体の流速を算出することにより流速を検知することもできる。例えば、切替間隔をＴ、１ストローク当たりの加圧流体の供給量をＱ、管路の断面積をＳとすると、単位時間（１秒間）当たりの供給量Ｆは、Ｆ＝Ｑ／Ｔであり、流速Ｖは、Ｖ＝Ｆ／Ｓ＝Ｑ／（Ｔ・Ｓ）という式で求めることができる。 The detection unit detects switching intervals and switching times of the pressurized fluid by the pressurized fluid supply unit. The switching interval is the time during which the pressurized fluid supply unit pressurizes either the first storage tank or the second storage tank, and corresponds to the time required for one stroke. The number of times of switching is also called the number of strokes. The detection unit may also detect the flow velocity by calculating the flow velocity of the abrasive mixture fluid based on the detected switching interval, the supply amount of the pressurized fluid, and the cross-sectional area of the duct formed in the object. can. For example, if the switching interval is T, the supply amount of pressurized fluid per stroke is Q, and the cross-sectional area of the pipe is S, the supply amount F per unit time (1 second) is F=Q/T. , the flow velocity V can be obtained by the formula V=F/S=Q/(T·S).

研磨判定部は、検知部の検知結果に基づいて研磨が完了したか否かを判定する。例えば、検知した切替間隔に基づいて、１ストロークあたりにかかる時間が目標設定時間に達したとき、研磨が完了したと判定できる。 The polishing determination unit determines whether or not the polishing is completed based on the detection result of the detection unit. For example, it can be determined that polishing is completed when the time required for one stroke reaches the target set time based on the detected switching interval.

本実施の形態の流体研磨装置は、前記加圧流体供給部による加圧流体の切替間隔、切替回数及び前記管路内の研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つを検知する検知部と、前記検知部の検知結果に基づいて研磨剤の劣化を判定する劣化判定部を備える。 The fluid polishing apparatus of this embodiment comprises a detection unit for detecting at least one of switching interval and number of times of switching of the pressurized fluid by the pressurized fluid supply unit, and flow velocity of the abrasive mixed fluid in the pipeline; A deterioration determination unit that determines deterioration of the abrasive based on the detection result of the detection unit is provided.

劣化判定部は、検知部の検知結果に基づいて、研磨剤の劣化を判定する。例えば、検知した切替間隔に基づいて、１ストロークあたりにかかる時間が所定時間後、目標設定時間に達しないとき、研磨剤が劣化したと判定できる。 The deterioration determination unit determines deterioration of the abrasive based on the detection result of the detection unit. For example, when the time required for one stroke does not reach the target set time after a predetermined time based on the detected switching interval, it can be determined that the abrasive has deteriorated.

本実施の形態の流体研磨装置は、前記劣化判定部の判定結果に基づいて研磨剤の交換、及び前記研磨判定部の判定結果に基づいて研磨の完了の少なくとも一方を通知する通知部を備える。 The fluid polishing apparatus of the present embodiment includes a notification unit that notifies at least one of replacement of the abrasive based on the determination result of the deterioration determination unit and completion of polishing based on the determination result of the polishing determination unit.

例えば、検知した切替間隔に基づいて、１ストロークあたりにかかる時間が所定時間後、目標設定時間に到達せず、研磨剤の劣化が判定された場合、研磨剤の交換を通知できる。また、検知した切替間隔に基づいて、１ストロークあたりにかかる時間が目標設定時間に達したとき、研磨の完了を通知できる。 For example, based on the detected switching interval, when the time required for one stroke does not reach the target set time after a predetermined time and it is determined that the abrasive is deteriorated, replacement of the abrasive can be notified. Further, when the time required for one stroke reaches the target set time based on the detected switching interval, the completion of polishing can be notified.

なお、前述の実施の形態の少なくとも一部を任意に組み合わせることができる。 At least part of the above-described embodiments can be combined arbitrarily.

１０第１貯留タンク
１１、１２貯留部
１３第１可撓性隔壁
２０第２貯留タンク
２１、２２貯留部
２３第２可撓性隔壁
３０油圧シリンダ
３１第１シリンダ部
３２第２シリンダ部
３３ピストン部
３０１、３０２リミットスイッチ
４０油圧ユニット
４１タンク
４２ポンプ
４３圧力センサ
４４熱交換器
５０コントローラ
５１駆動制御部
５２検知部
５３流速算出部
５４判定部
５５通知部
６０流路切替部
６１切替弁
６２ソレノイド部
７１第１管路
７２第２管路
７３第３管路
７４第４管路
７５、７６、７７、７８配管
８１管路 10 first storage tank 11, 12 storage section 13 first flexible partition 20 second storage tank 21, 22 storage section 23 second flexible partition 30 hydraulic cylinder 31 first cylinder section 32 second cylinder section 33 piston section 301, 302 limit switch 40 hydraulic unit 41 tank 42 pump 43 pressure sensor 44 heat exchanger 50 controller 51 drive control section 52 detection section 53 flow velocity calculation section 54 determination section 55 notification section 60 flow path switching section 61 switching valve 62 solenoid section 71 First pipeline 72 Second pipeline 73 Third pipeline 74 Fourth pipeline 75, 76, 77, 78 Pipe 81 Pipe

Claims

対象物に形成された管路の一方側と連通する第１管路に接続された第１貯留タンクと、
前記管路の他方側と連通する第２管路に接続された第２貯留タンクと、
前記第１貯留タンクに接続された第３管路及び前記第２貯留タンクに接続された第４管路それぞれを介して前記第１貯留タンクと前記第２貯留タンクとに交互に加圧流体を切り替えて供給する加圧流体供給部と
を備え、
前記第１貯留タンクは、
前記第１管路側と前記第３管路側とを分離する第１可撓性隔壁を備え、
前記第２貯留タンクは、
前記第２管路側と前記第４管路側とを分離する第２可撓性隔壁を備え、
前記第１貯留タンクの第１管路側及び前記第２貯留タンクの第２管路側に研磨剤混合流体を充填してある流体研磨装置。 a first storage tank connected to a first pipeline communicating with one side of the pipeline formed in the object;
a second storage tank connected to a second pipeline communicating with the other side of the pipeline;
Pressurized fluid is alternately supplied to the first storage tank and the second storage tank via a third pipeline connected to the first storage tank and a fourth pipeline connected to the second storage tank, respectively. A pressurized fluid supply unit that switches and supplies a pressurized fluid,
The first storage tank is
A first flexible partition separating the first pipeline side and the third pipeline side,
The second storage tank is
A second flexible partition separating the second pipeline side and the fourth pipeline side,
A fluid polishing apparatus in which the first pipeline side of the first storage tank and the second pipeline side of the second storage tank are filled with an abrasive mixed fluid.

前記加圧流体供給部は、
油圧アクチュエータを含む請求項１に記載の流体研磨装置。 The pressurized fluid supply unit
2. A fluid polishing apparatus according to claim 1, including a hydraulic actuator.

前記加圧流体供給部は、
空気圧アクチュエータを含む請求項１に記載の流体研磨装置。 The pressurized fluid supply unit
2. A fluid polishing apparatus according to claim 1, including a pneumatic actuator.

前記加圧流体供給部による加圧流体の切替間隔、切替回数及び前記管路内の研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つを検知する検知部と、
前記検知部の検知結果に基づいて研磨が完了したか否かを判定する研磨判定部と
を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流体研磨装置。 a detection unit that detects at least one of a switching interval of the pressurized fluid by the pressurized fluid supply unit, a switching frequency, and a flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit;
4. The fluid polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a polishing determination section that determines whether or not polishing is completed based on the detection result of the detection section.

前記加圧流体供給部による加圧流体の切替間隔、切替回数及び前記管路内の研磨剤混合流体の流速の少なくとも一つを検知する検知部と、
前記検知部の検知結果に基づいて研磨剤の劣化を判定する劣化判定部を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流体研磨装置。 a detection unit that detects at least one of a switching interval of the pressurized fluid by the pressurized fluid supply unit, a switching frequency, and a flow velocity of the abrasive mixed fluid in the conduit;
4. The fluid polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a deterioration determination section that determines deterioration of the polishing agent based on the detection result of the detection section.

前記研磨判定部の判定結果に基づいて研磨の完了を通知する通知部を備える請求項４に記載の流体研磨装置。 5. The fluid polishing apparatus according to claim 4, further comprising a notification section for notifying completion of polishing based on the judgment result of said polishing judgment section.

前記劣化判定部の判定結果に基づいて研磨剤の交換を通知する通知部を備える請求項５に記載の流体研磨装置。6. The fluid polishing apparatus according to claim 5, further comprising a notification section that notifies replacement of the abrasive based on the determination result of the deterioration determination section.