JP7192460B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
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Description
1-1.液体噴射装置の全体構成
図1は、第1実施形態に係る液体噴射装置100を模式的に示す構成図である。第1実施形態の液体噴射装置100は、液体の例示であるインクを媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体12として利用される。図1に例示される通り、液体噴射装置100には、インクを貯留する液体容器14が設置される。例えば液体噴射装置100に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成される袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器14として利用される。
図2は、第1実施形態に係る液体噴射ヘッド26の分解斜視図である。図3は、図2のIII-III線の断面図、すなわちX-Z平面に平行な断面図である。図2に例示される通り、X-Y平面に垂直な方向を以下ではZ方向と表記する。各液体噴射ヘッド26によるインクの噴射方向、典型的には鉛直方向がZ方向に相当する。
図4は、第1実施形態における液体噴射ヘッド26の振動板36を示す平面図である。図5は、図4のV-V線の断面図である。図6は、図4のVI-VI線の断面図である。図7は、図4のVII-VII線の断面図である。図4に示すように、振動板36は、平面視で複数の圧力室Cにそれぞれ対応する形状の複数の振動領域Vを有する。振動領域Vは、振動板36の領域であって圧電素子38により振動する振動領域である。換言すると、振動領域Vは、振動板36の領域のうち圧力室基板34に接触せずに振動可能な領域である。
図9は、圧力室Cの製造工程の流れを例示するフローチャートである。図9に示すように、圧力室Cの製造工程は、マスク形成工程S1とエッチング工程S2とマスク除去工程S3と耐蝕膜形成工程S4と補強膜形成工程S5とを含む。以下、各工程の概略を順次説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。なお、以下の各例示において機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
以上の例示における各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択される2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
Claims (11)
- 液体を収容する圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、
前記振動板の前記圧力室側の面上に配置される補強膜と、を有し、
前記振動板の領域であって前記圧電素子により振動する振動領域は、前記振動板の厚さ
方向から見る平面視で、長手形状をなし、
前記振動領域は、前記補強膜が配置されない第1領域と、前記第1領域よりも前記振動
領域の長手方向での中央に近い位置にあり、前記補強膜が配置される第2領域と、を含み
、
前記第2領域は、前記振動領域の1次、2次または3次のいずれかの固有振動モードの
腹の位置に配置される、液体噴射ヘッド。 - 液体を収容する圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、
前記振動板の前記圧力室側の面上に配置される補強膜と、を有し、
前記振動板の領域であって前記圧電素子により振動する振動領域は、前記振動板の厚さ
方向から見る平面視で、長手形状をなし、
前記補強膜は、第1膜厚の第1部分と、前記第1部分よりも前記振動領域の長手方向で
の中央に近い位置に配置され、前記第1膜厚よりも厚い第2膜厚の第2部分と、を有し、
前記第2部分は、前記振動領域の1次、2次または3次のいずれかの固有振動モードの
腹の位置に配置される、液体噴射ヘッド。 - 前記第2部分は、前記振動領域の長手方向での中央に配置される、請求項2に記載の液
体噴射ヘッド。 - 前記圧電素子は、
第1電極と、
前記振動板との間に前記第1電極を挟んで配置される第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置される圧電体層と、を含む、請求項1ないし
3
のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記振動板が配置され、前記圧力室を構成する孔が設けられる基板を有し、
前記補強膜は、前記振動板の前記圧力室側の面と前記孔の壁面とが接続する角上に配置
される、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記圧力室の壁面上に配置され、前記液体に対する耐性が前記振動板よりも高い耐蝕膜
を有し、
前記補強膜は、前記圧力室の壁面と前記耐蝕膜との間に配置される、請求項1ないし5
のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記補強膜の構成材料は、金属である、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の液体
噴射ヘッド。 - 前記補強膜の構成材料は、金属酸化物である、請求項1ないし6のいずれか1項に記載
の液体噴射ヘッド。 - 液体を収容する圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、
前記振動板の前記圧力室側の面上に配置される補強膜と、を有し、
前記振動板の領域であって前記圧電素子により振動する振動領域は、前記振動板の厚さ
方向から見る平面視で、長手形状をなし、
前記振動領域は、前記補強膜が配置されない第1領域と、前記第1領域よりも前記振動
領域の長手方向での中央に近い位置にあり、前記補強膜が配置される第2領域と、を含み
、
前記圧力室の壁面上に配置され、前記液体に対する耐性が前記振動板よりも高い耐蝕膜
を有し、
前記補強膜は、前記圧力室の壁面と前記耐蝕膜との間に配置される、液体噴射ヘッド。 - 液体を収容する圧力室の壁面の一部を構成する振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、
前記振動板の前記圧力室側の面上に配置される補強膜と、を有し、
前記振動板の領域であって前記圧電素子により振動する振動領域は、前記振動板の厚さ
方向から見る平面視で、長手形状をなし、
前記補強膜は、第1膜厚の第1部分と、前記第1部分よりも前記振動領域の長手方向で
の中央に近い位置に配置され、前記第1膜厚よりも厚い第2膜厚の第2部分と、を有し、
前記圧力室の壁面上に配置され、前記液体に対する耐性が前記振動板よりも高い耐蝕膜
を有し、
前記補強膜は、前記圧力室の壁面と前記耐蝕膜との間に配置される、液体噴射ヘッド。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
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US16/449,584 US10913272B2 (en) | 2018-06-25 | 2019-06-24 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
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JP2018231369A Active JP7192460B2 (ja) | 2018-06-25 | 2018-12-11 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20100309259A1 (en) | 2008-03-17 | 2010-12-09 | Adel Jilani | Print head diaphragm support |
JP2012056172A (ja) | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Brother Industries Ltd | 液滴噴射ヘッド |
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-
2018
- 2018-12-11 JP JP2018231369A patent/JP7192460B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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