JP7178223B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
・第1アクセス動作:載置部(PASS1)へのアクセス
・第2アクセス動作:載置部(PASS2)へのアクセス
・第3アクセス動作:塗布処理ユニット(31)へのアクセス
・第4アクセス動作:熱処理ユニット(41)へのアクセス
・第5アクセス動作:載置部(PASS2)へのアクセス
・第6アクセス動作:載置部(PASS5)へのアクセス
・第7アクセス動作:エッジ露光ユニット(EEW)へのアクセス
・第8アクセス動作:現像処理ユニット(DEV)へのアクセス
・第9アクセス動作:熱処理ユニット(42)へのアクセス
<基板処理装置の概要>
図1は、第1実施形態の基板処理装置の概念図である。第1実施形態の基板処理装置10は、一連の処理を基板(例えば、半導体ウエハ)Wに行う。なお、基板Wは、後述する図4等に示される。
なお、第1領域B1と第2領域B2は、重複しない。
・基板Wの表面の形状、状態または欠陥
・基板Wの表面に形成された塗膜の形状、状態、膜厚または欠陥
・基板Wの表面に形成されたパターンの形状、状態または欠陥
このように、中間搬送機構3は、第2中間部4を介して第2搬送機構2から基板Wを受ける。
上述の基板処理装置10によれば、以下の効果を奏する。
図4は、第1実施形態の基板処理装置10の平面図である。基板処理装置10は、インデクサブロック11と第1熱処理ブロック21と第1搬送ブロック41と第2熱処理ブロック51と第2搬送ブロック61と液処理ブロック71を備える。インデクサブロック11と第1熱処理ブロック21と第1搬送ブロック41と第2熱処理ブロック51と第2搬送ブロック61と液処理ブロック71は、この順番で1列に並ぶように配置される。
図5は、インデクサブロック11の正面図である。インデクサブロック11は、キャリア載置部12A1、12A2、12B1、12B2を備える。キャリア載置部12A1、12A2、12B1、12B2はそれぞれ、1つのキャリアCを載置する。キャリアCは、複数枚の基板Wを収容する。キャリアCは、例えば、FOUP(front opening unified pod)である。
図4、6-8、図10を参照する。図10は、第1搬送ブロック41の正面図である。
図4、6-8、図11を参照する。図11は、第2搬送ブロック61の正面図である。第2搬送ブロック61は、第2熱処理ブロック51と液処理ブロック71に接続される。第2搬送ブロック61は、略箱形状を有する。第2搬送ブロック61は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
図4、6-8を参照する。液処理ブロック71は、第2搬送ブロック61に接続される。液処理ブロック71は、略箱形状を有する。液処理ブロック71は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
図4を参照する。搬送機構14と搬送機構45と搬送機構65と搬送機構74は、前後方向Xに並ぶ。搬送機構14と搬送機構46と搬送機構66と搬送機構74は、前後方向Xに並ぶ。搬送機構14、45、46、65、66、74の中で、搬送機構14は最も前方に配置される。搬送機構14、45、46、65、66、74の中で、搬送機構74は最も後方に配置される。
図4、6-8、12を参照する。図12は、第1熱処理ブロック21の正面図である。第1熱処理ブロック21は、インデクサブロック11と第1搬送ブロック41に接続される。第1熱処理ブロック21は、略箱形状を有する。第1熱処理ブロック21は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
図4、6-8、18を参照する。図18は、第2熱処理ブロック51の正面図である。第2熱処理ブロック51は、第1搬送ブロック41と第2搬送ブロック61に接続される。第2熱処理ブロック51は、略箱形状を有する。第2熱処理ブロック51は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
<中間部92>
図4、7、11を参照する。基板処理装置1は、中間部92を備える。基板Wは中間部92に載置される。
搬送機構14、45、46、65、66、74は、図1に示す制御部6の制御に従って、サイクル動作を繰り返す。
搬送機構75の第1アクセス動作は、中間部93にアクセスする動作である。搬送機構75の第1アクセス動作は、載置兼冷却ユニット95から基板Wを取る動作と、載置ユニット96に基板Wを載置する動作を含む。搬送機構75の第2アクセス動作は、処理部82にアクセスする動作である。搬送機構75の第2アクセス動作は、液処理ユニット84に基板Wを載置する動作と、液処理ユニット84から基板Wを取る動作を含む。
図19は、基板Wの搬送経路を模式的に示す図である。以下では、搬送機構15、45、65、75による基板Wの搬送は、搬送機構16、46、66、76による基板Wの搬送と類似する。このため、搬送機構15、45、65、75による基板Wの搬送を説明し、搬送機構16、46、66、76による基板Wの搬送の説明を省略する。
第1実施形態の主たる効果は、上述した通りである。例えば、搬送機構45のサイクル動作は、2つのアクセス動作(すなわち、第1アクセス動作と第2アクセス動作)のみからなる。したがって、搬送機構45の搬送効率は比較的に高い。よって、基板処理装置10のスループットを好適に向上できる。
搬送機構15のサイクル動作は、2つのアクセス動作(すなわち、第1アクセス動作と第2アクセス動作)のみからなる。したがって、搬送機構15の搬送効率は比較的に高い。よって、基板処理装置10のスループットをさらに向上できる。
図面を参照して、第2実施形態の基板処理装置1を説明する。なお、第1実施形態と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
図20は、第2実施形態の基板処理装置の概念図である。第1中間部4は、複数の第1送りユニット4Sを備える。但し、第1中間部4は、戻りユニット4Rを備えていない。
上述の基板処理装置10によれば、以下の効果を奏する。
図22は、第2実施形態の基板処理装置10の平面図である。基板処理装置10は、インデクサブロック11と第1熱処理ブロック21と第1搬送ブロック41と液処理ブロック71を備える。インデクサブロック11と第1熱処理ブロック21と第1搬送ブロック41と液処理ブロック71は、この順番で1列に並ぶように配置される。すなわち、第2実施形態の基板処理装置10は、第1実施形態の第2熱処理ブロック51と第2搬送ブロック61を備えていない。
図22、23を参照する。図23は、第1熱処理ブロック21の正面図である。
図22を参照する。中間部92は、前後方向Xに隣り合う搬送機構45と搬送機構74の間に配置される。中間部92は、前後方向Xに隣り合う搬送機構46と搬送機構74との間に配置される。中間部92は、搬送機構45、46の後方、かつ、搬送機構74の前方に配置される。より詳しくは、中間部92は、搬送機構45の後方かつ左方に配置される。中間部92は、搬送機構46の後方かつ右方に配置される。中間部92は、搬送機構45、46から略等距離の位置に配置される。
搬送機構14、45、46、74は、図1に示す制御部6の制御に従って、サイクル動作を繰り返す。
図24は、基板Wの搬送経路を模式的に示す図である。
第2実施形態の主たる効果は、上述した通りである。例えば、搬送機構45の第1アクセス動作は、中間部103に基板Wを載置する動作を含まない。搬送機構45の第2アクセス動作は、中間部92から基板Wを取る動作を含まない。よって、搬送機構45の搬送効率は一層高い。同様の理由により、搬送機構46の搬送効率も一層高い。このため、基板処理装置10のスループットを一層向上できる。
以上であってもよい。
2 … 第2搬送機構
3 … 中間搬送機構
4 … 第1中間部
4S … 第1送りユニット
4R … 第1戻りユニット
5 … 第2中間部
5S … 第2送りユニット
5R … 第2戻りユニット
6 … 制御部
11 … インデクサブロック
12A、12A1、12A2、12B、12B1、12B2 … キャリア載置部
14、15、16 … 搬送機構
17a … 支柱
17b … 昇降部
17c … 回転部
17d、17e … 保持部
21 … 第1熱処理ブロック
23、24 … 中間部
25、28 … 熱処理ユニット
26、29 … 載置ユニット
27 … 検査ユニット
30 … 棚部
31a … 第1プレート
31b … 第2プレート
31f … 蓋部
32 … 載置プレート
41 … 第1搬送ブロック
45、46 … 搬送機構
51 … 第2熱処理ブロック
53、54 … 中間部
55、58 … 熱処理ユニット
56、59 … 載置ユニット
61 … 第2搬送ブロック
65、66 … 搬送機構
71 … 液処理ブロック
74、75、76 … 搬送機構
81、82、83 … 処理部
84、85 … 液処理ユニット
92、93、94 … 中間部
95、98 … 載置兼冷却ユニット
96、99 … 載置ユニット
103、104 … 中間部
105、108 … 熱処理ユニット
A15、A16、A45、A46、A65、A66、A75、A76 … 回転軸線
B1 … 第1領域
B2 … 第2領域
B3 … 中間領域
BO1 … 第1重複領域
BO2 … 第2重複領域
B15、B16、B45、B46、B65、B66、B75、B76 … 領域
C … キャリア
W … 基板
X … 前後方向
Y … 幅方向
Z … 上下方向
Claims (22)
- 基板処理装置であって、
基板を搬送する第1搬送機構と、
基板を搬送する第2搬送機構と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構の間に配置され、基板を搬送する中間搬送機構と、
前記第1搬送機構および前記中間搬送機構が基板を搬送可能な第1重複領域内に配置され、基板が載置される第1中間部と、
前記中間搬送機構および前記第2搬送機構が基板を搬送可能な第2重複領域内に配置され、基板が載置される第2中間部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構と前記中間搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記第1中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記第2中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記第1搬送機構は、前記第1中間部に基板を載置し、
前記第2搬送機構は、前記第2中間部から基板を取り、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1中間部から基板を取る動作を含み、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2中間部に基板を載置する動作を含み、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記第1中間部を介して前記第1搬送機構から基板を受け、前記第1中間部から前記第2中間部に基板を搬送し、かつ、前記第2中間部を介して前記第2搬送機構に基板を渡し、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1中間部に基板を載置する動作を含まず、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2中間部から基板を取る動作を含まず、
前記中間搬送機構は、前記第2中間部から前記第1中間部に基板を搬送しない
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
基板を搬送する第1搬送機構と、
基板を搬送する第2搬送機構と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構の間に配置され、基板を搬送する中間搬送機構と、
前記第1搬送機構および前記中間搬送機構が基板を搬送可能な第1重複領域内に配置され、基板が載置される第1中間部と、
前記中間搬送機構および前記第2搬送機構が基板を搬送可能な第2重複領域内に配置され、基板が載置される第2中間部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構と前記中間搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記第1中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記第2中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記第1中間部は、1枚の基板が載置される複数の第1送りユニットを備え、
前記第2中間部は、1枚の基板が載置される複数の第2送りユニットを備え、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1送りユニットから基板を取る動作を含み、かつ、前記第1送りユニットに基板を載置する動作を含まず、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2送りユニットに基板を載置する動作を含み、かつ、前記第2送りユニットから基板を取る動作を含まず、
前記第1送りユニットおよび前記第2送りユニットの少なくともいずれかは、載置された基板にさらに処理を行う処理ユニットを含み、
前記処理ユニットは、基板に熱処理を行う熱処理ユニットである
基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記処理ユニットは、基板に処理液を供給せずに基板に処理を行う非液処理ユニットである
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
基板を搬送する第1搬送機構と、
基板を搬送する第2搬送機構と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構の間に配置され、基板を搬送する中間搬送機構と、
前記第1搬送機構および前記中間搬送機構が基板を搬送可能な第1重複領域内に配置され、基板が載置される第1中間部と、
前記中間搬送機構および前記第2搬送機構が基板を搬送可能な第2重複領域内に配置され、基板が載置される第2中間部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構と前記中間搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記第1中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記第2中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記第1中間部は、1枚の基板が載置される複数の第1送りユニットを備え、
前記第2中間部は、1枚の基板が載置される複数の第2送りユニットを備え、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1送りユニットから基板を取る動作を含み、かつ、前記第1送りユニットに基板を載置する動作を含まず、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2送りユニットに基板を載置する動作を含み、かつ、前記第2送りユニットから基板を取る動作を含まず、
前記第1中間部は、1枚の基板が載置される複数の第1戻りユニットを備え、
前記第2中間部は、1枚の基板が載置される複数の第2戻りユニットを備え、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1戻りユニットに基板を載置する動作を含み、かつ、前記第1戻りユニットから基板を取る動作を含まず、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2戻りユニットから基板を取る動作を含み、かつ、前記第2戻りユニットに基板を載置する動作を含まず、
前記第1送りユニットおよび前記第1戻りユニットの一方は、基板に熱処理を行う熱処理ユニットを含み、
前記第1送りユニットおよび前記第1戻りユニットの他方は、基板に処理を行わずに、基板が載置されるのみの載置ユニットを含み、
前記載置ユニットは、平面視において、前記熱処理ユニットと重なる位置に配置され、
前記熱処理ユニットおよび前記載置ユニットは、上下方向に1つずつ交互に並ぶように配置される
基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記第1戻りユニットは、上下方向に1列に並ぶように配置され、
前記第2戻りユニットは、上下方向に1列に並ぶように配置される
基板処理装置。 - 請求項4または5に記載の基板処理装置において、
前記第1戻りユニットは、平面視において、前記第1送りユニットと重なる位置に配置され、
前記第2戻りユニットは、平面視において、前記第2送りユニットと重なる位置に配置される
基板処理装置。 - 請求項4から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記基板処理装置は、
上下方向に並ぶように配置される複数の棚部と、
を備え、
前記熱処理ユニットおよび前記載置ユニットは、上下方向に隣り合う2つの前記棚部の間に配置され、
上下方向に隣り合う2つの前記棚部の間に配置される前記熱処理ユニットの数は、1つであり、
上下方向に隣り合う2つの前記棚部の間に配置される前記載置ユニットの数は、1つである
基板処理装置。 - 請求項4から7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記熱処理ユニットは、
基板が載置される第1プレートと、
前記第1プレートの側方に設けられ、基板が載置される第2プレートと、
前記第2プレートの上方に配置される蓋部と、
を備え、
前記載置ユニットは、
前記第1プレートの上方、かつ、前記蓋部の側方に配置され、基板が載置される載置プレートと、
を備え、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1プレートおよび前記載置プレートにアクセスする動作である
基板処理装置。 - 請求項4から8のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1戻りユニットおよび前記第2戻りユニットの少なくともいずれかは、基板を検査する検査ユニットを含む
基板処理装置。 - 請求項2から9のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1搬送機構は、前記第1中間部に基板を載置し、
前記第2搬送機構は、前記第2中間部から基板を取り、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1中間部から基板を取る動作を含み、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2中間部に基板を載置する動作を含み、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記第1中間部を介して前記第1搬送機構から基板を受け、前記第1中間部から前記第2中間部に基板を搬送し、かつ、前記第2中間部を介して前記第2搬送機構に基板を渡す
基板処理装置。 - 請求項10に記載の基板処理装置において、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記第1中間部に基板を載置する動作を含み、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記第2中間部から基板を取る動作を含み、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記第2中間部から前記第1中間部に基板を搬送する
基板処理装置。 - 請求項11に記載の基板処理装置において、
前記第1搬送機構は、前記第1中間部から基板を取り、
前記第2搬送機構は、前記第2中間部に基板を載置し、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記第2中間部を介して前記第2搬送機構から基板を受け、かつ、前記第1中間部を介して前記第1搬送機構に基板を渡す
基板処理装置。 - 請求項2から12のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1送りユニットは、上下方向に1列に並ぶように配置され、
前記第2送りユニットは、上下方向に1列に並ぶように配置される
基板処理装置。 - 請求項1から13のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1中間部は、前記第2搬送機構が基板を搬送可能な第2領域の外に配置され、
前記第2中間部は、前記第1搬送機構が基板を搬送可能な第1領域の外に配置される
基板処理装置。 - 請求項1から14のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記中間搬送機構が基板を搬送可能な中間領域は、平面視において、略円形である
基板処理装置。 - 請求項1から15のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記中間搬送機構は、
上下方向と平行な回転軸線回りに回転可能な回転部と、
前記回転部に支持され、基板を保持する保持部と、
を備え、
前記回転部は、水平方向に移動不能に設けられる
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
前後方向に並ぶ3基以上の搬送機構と、
前後方向に隣り合う2基の搬送機構の間に配置され、基板が載置される2つ以上の中間部と、
前記搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
最も前方に配置される前記搬送機構を、前端搬送機構とし、
最も後方に配置される前記搬送機構を、後端搬送機構とし、
前記前端搬送機構及び前記後端搬送機構以外の前記搬送機構を、中間搬送機構とし、
前記前端搬送機構の後方に隣接する前記中間部を、前端中間部とし、
前記後端搬送機構の前方に隣接する前記中間部を、後端中間部とし、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記中間搬送機構の前方に隣接する前記中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記中間搬送機構の後方に隣接する中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記前端中間部は、載置された1枚の基板にさらに処理を行う処理ユニットを含み、
前記前端搬送機構は、前記処理ユニットに基板を載置すること、および、前記処理ユニットから基板を取ることの少なくともいずれかを行う
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
前後方向に並ぶ3基以上の搬送機構と、
前後方向に隣り合う2基の搬送機構の間に配置され、基板が載置される2つ以上の中間部と、
前記搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
最も前方に配置される前記搬送機構を、前端搬送機構とし、
最も後方に配置される前記搬送機構を、後端搬送機構とし、
前記前端搬送機構及び前記後端搬送機構以外の前記搬送機構を、中間搬送機構とし、
前記前端搬送機構の後方に隣接する前記中間部を、前端中間部とし、
前記後端搬送機構の前方に隣接する前記中間部を、後端中間部とし、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記中間搬送機構の前方に隣接する前記中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記中間搬送機構の後方に隣接する中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記基板処理装置は、
前記前端搬送機構の前方に配置され、基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記前端搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記前端搬送機構の前記サイクル動作は、前記キャリア載置部に載置されるキャリアにアクセスする第1アクセス動作、および、前記前端中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなる
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
前後方向に並ぶ3基以上の搬送機構と、
前後方向に隣り合う2基の搬送機構の間に配置され、基板が載置される2つ以上の中間部と、
前記搬送機構を制御する制御部と、
を備え、
最も前方に配置される前記搬送機構を、前端搬送機構とし、
最も後方に配置される前記搬送機構を、後端搬送機構とし、
前記前端搬送機構及び前記後端搬送機構以外の前記搬送機構を、中間搬送機構とし、
前記前端搬送機構の後方に隣接する前記中間部を、前端中間部とし、
前記後端搬送機構の前方に隣接する前記中間部を、後端中間部とし、
前記制御部の制御に従って、前記中間搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記中間搬送機構の前記サイクル動作は、前記中間搬送機構の前方に隣接する前記中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記中間搬送機構の後方に隣接する中間部にアクセスする第2アクセス動作のみからなり、
前記基板処理装置は、
前記後端搬送機構の側方の位置または前記後端搬送機構の後方の位置の少なくともいずれかに配置され、基板に処理を行う後端処理部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記後端搬送機構はサイクル動作を繰り返し、
前記後端搬送機構の前記サイクル動作は、前記後端中間部にアクセスする第1アクセス動作、および、前記後端処理部にアクセスする第2アクセス動作のみからなる
基板処理装置。 - 請求項17から19のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記中間部の少なくともいずれかは、載置された基板にさらに処理を行う
基板処理装置。 - 請求項17から20のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前端搬送機構は、前記前端中間部に基板を載置し、
前記後端搬送機構は、前記後端中間部から基板を取り、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記中間搬送機構の前方に隣接する前記中間部から基板を取る動作を含み、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記中間搬送機構の後方に隣接する前記中間部に基板を載置する動作を含み、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記前端中間部を介して前記前端搬送機構から基板を受け、前記前端中間部から前記後端中間部に基板を搬送し、前記後端中間部を介して前記後端搬送機構に基板を渡す
基板処理装置。 - 請求項17から21のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前端搬送機構は、前記前端中間部から基板を取り、
前記後端搬送機構は、前記後端中間部に基板を載置し、
前記中間搬送機構の前記第1アクセス動作は、前記中間搬送機構の前方に隣接する前記中間部に基板を載置する動作を含み、
前記中間搬送機構の前記第2アクセス動作は、前記中間搬送機構の後方に隣接する前記中間部から基板を取る動作を含み、
前記中間搬送機構が前記中間搬送機構の前記サイクル動作を行うことによって、前記中間搬送機構は、前記後端中間部を介して前記後端搬送機構から基板を受け、前記後端中間部から前記前端中間部に基板を搬送し、前記前端中間部を介して前記前端搬送機構に基板を渡す
基板処理装置。
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