JP7170546B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
また、本開示の試料保持具は、一方の主面が試料保持面である円板状の基体を備えており、該基体は、他方の主面から前記試料保持面まで貫通する流路を有しており、該流路は、前記基体の周方向に沿って伸びる第1部分と、該第1部分に連続し、前記試料保持面に垂直な方向に伸び、前記試料保持面に開口する複数の第2部分と、前記第1部分と前記複数の第2部分とを繋ぐ複数の第3部分とを有しており、前記第3部分は、前記第1部分または前記第2部分以外の方向に伸びる領域を有し、前記流路は、前記基体の径方向に伸びて前記第1部分に連続する複数の第4部分と、前記複数の第4部分と前記第1部分とを繋ぐ複数の第5部分とを有し、該第5部分は、前記第4部分よりも流路断面積が小さい。
また、本開示の試料保持具は、一方の主面が試料保持面である円板状の基体を備えており、該基体は、他方の主面から前記試料保持面まで貫通する流路を有しており、該流路は、前記基体の周方向に沿って伸びる第1部分と、該第1部分に連続し、前記試料保持面に垂直な方向に伸び、前記試料保持面に開口する複数の第2部分と、前記第1部分と前記複数の第2部分とを繋ぐ複数の第3部分とを有しており、前記第3部分は、前記第1部分または前記第2部分以外の方向に伸びる領域を有し、前記流路は、前記基体の径方向に伸びて前記第1部分に連続する複数の第4部分と、前記複数の第4部分と前記第1部分とを繋ぐ複数の第6部分とを有し、該第6部分は、前記第4部分よりも流路断面積が大きく、かつ、前記第1部分よりも流路断面積が小さい。
なお、図面では、互いに直交する3軸として、基体11の円周方向である〔C方向〕、基体11の中心点Oを通る径(直径)方向である〔D方向〕、試料保持面(基体上面11a)に垂直でかつ基体11の厚みを示す方向(図では鉛直方向)を〔V方向」として表示している。
図3(a)は、図1に記載の基体11のX-X’線断面を示す図であり、図3(b)は、縦孔部2と円環状流路部1とを接続する縦孔接続部3(第3部分)の拡大断面図である。
1 円環状流路部(第1部分)
2 縦孔部(第2部分)
3 縦孔接続部(第3部分)
4 径方向流路部(第4部分)
5 第1の分岐部(第5部分)
6 第2の分岐部(第6部分)
7 ガス流入部(流入部)
10,20 試料保持具
11 基体
11a 上面
11b 下面
12 支持体
Claims (4)
- 一方の主面が試料保持面である円板状の基体を備えており、
該基体は、他方の主面から前記試料保持面まで貫通する流路を有しており、
該流路は、
前記基体の周方向に沿って伸びる第1部分と、
該第1部分に連続し、前記試料保持面に垂直な方向に伸び、前記試料保持面に開口する複数の第2部分と、
前記第1部分と前記複数の第2部分とを繋ぐ複数の第3部分とを有しており、
前記第3部分は、前記第1部分または前記第2部分以外の方向に伸びる領域を有し、
前記領域の内壁面は曲面であることを特徴とする試料保持具。 - 一方の主面が試料保持面である円板状の基体を備えており、
該基体は、他方の主面から前記試料保持面まで貫通する流路を有しており、
該流路は、
前記基体の周方向に沿って伸びる第1部分と、
該第1部分に連続し、前記試料保持面に垂直な方向に伸び、前記試料保持面に開口する複数の第2部分と、
前記第1部分と前記複数の第2部分とを繋ぐ複数の第3部分とを有しており、
前記第3部分は、前記第1部分または前記第2部分以外の方向に伸びる領域を有し、
前記流路は、
前記基体の径方向に伸びて前記第1部分に連続する複数の第4部分と、
前記複数の第4部分と前記第1部分とを繋ぐ複数の第5部分とを有し、
該第5部分は、前記第4部分よりも流路断面積が小さいことを特徴とする試料保持具。 - 一方の主面が試料保持面である円板状の基体を備えており、
該基体は、他方の主面から前記試料保持面まで貫通する流路を有しており、
該流路は、
前記基体の周方向に沿って伸びる第1部分と、
該第1部分に連続し、前記試料保持面に垂直な方向に伸び、前記試料保持面に開口する複数の第2部分と、
前記第1部分と前記複数の第2部分とを繋ぐ複数の第3部分とを有しており、
前記第3部分は、前記第1部分または前記第2部分以外の方向に伸びる領域を有し、
前記流路は、
前記基体の径方向に伸びて前記第1部分に連続する複数の第4部分と、
前記複数の第4部分と前記第1部分とを繋ぐ複数の第6部分とを有し、
該第6部分は、前記第4部分よりも流路断面積が大きく、かつ、前記第1部分よりも流路断面積が小さいことを特徴とする試料保持具。 - 前記流路は、
前記基体の中央部に位置し、前記他方の主面に垂直な方向に伸びて前記他方の主面に開口する流入部であって、前記複数の第4部分が接続された流入部を、さらに有することを特徴とする請求項2または3に記載の試料保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019006801A JP7170546B2 (ja) | 2019-01-18 | 2019-01-18 | 試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019006801A JP7170546B2 (ja) | 2019-01-18 | 2019-01-18 | 試料保持具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020115536A JP2020115536A (ja) | 2020-07-30 |
JP7170546B2 true JP7170546B2 (ja) | 2022-11-14 |
Family
ID=71778720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019006801A Active JP7170546B2 (ja) | 2019-01-18 | 2019-01-18 | 試料保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003069020A1 (fr) | 2002-02-12 | 2003-08-21 | Hitachi Zosen Corporation | Systeme et procede de traitement d'un substrat |
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JP2016174060A (ja) | 2015-03-17 | 2016-09-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
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2019
- 2019-01-18 JP JP2019006801A patent/JP7170546B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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JP2007012795A (ja) | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電チャック及びその製造方法 |
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