JP7168962B2 - 基板表面欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
(1) 磁気ディスク用アルミニウム基板における表面の欠陥を検出する基板表面欠陥検査方法であって、
前記アルミニウム基板の全面を撮影して得られた画像を用いて、30μm以上の大きさの欠陥を含む欠陥領域を抽出する第1検査工程と、
前記第1検査工程により抽出された前記欠陥領域の画像に基づいて、前記欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別する第2検査工程と、
を備える基板表面欠陥検査方法。
なお、ラインカメラ51の1画素の分解能の下限値は、検査時間を考慮して、1μm/pixel以上であることが好ましい。
なお、エリアカメラ61の1画素の分解能の下限値は、検査時間を考慮して、0.05μm/pixel以上であることが好ましい。
1.ピット欠陥(窪み系欠陥)
押込み疵:アルミニウム粉や砂、金属の微粉などを押し込んでできた窪み。
打痕系:何かをアルミニウム基板の表面に当てたり、引っ掻いてしまってできた疵。
スクラッチ:研削中に異物を巻き込んでできた深い疵。
2.付着系欠陥
ステイン、乾燥ムラなどのしみ。程度のひどいものは欠陥となる。
3.埃
表面に載っているだけの埃。
以上の欠陥のうち、1.と2.が実欠陥であり、3.の埃と区別する必要がある。
例えば、本実施形態では、第3検査ステージ70の断面プロファイルも考慮して、欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別しているが、本発明はこれに限らず、第2検査ステージ60の拡大画像に基づいて、欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別するようにしてもよい。
(1) 磁気ディスク用アルミニウム基板における表面の欠陥を検出する基板表面欠陥検査方法であって、
前記アルミニウム基板の全面を撮影して得られた画像を用いて、30μm以上の大きさの欠陥を含む欠陥領域を抽出する第1検査工程と、
前記第1検査工程により抽出された前記欠陥領域の画像に基づいて、前記欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別する第2検査工程と、
を備える基板表面欠陥検査方法。
この構成によれば、PVA砥石を用いて鏡面仕上げされたアルミニウム基板の表面を短時間で効率よく検査して、微小な欠陥を検出すると共に、該欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別することができる。
この構成によれば、欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを効率よく判別することができる。
この構成によれば、欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かをより正確に判別することができる。
この構成によれば、欠陥の特徴が判別でき、欠陥の発生原因を推定することができる。
この構成によれば、アルミニウム基板の全面を短時間で効率よく撮像することができる。
前記第2検査工程において用いる画像は、1画素の分解能が0.5μm/pixel以下である、(1)~(5)のいずれかに記載の基板表面欠陥検査方法。
この構成によれば、欠陥の有無の検出、及び、欠陥が埃か実欠陥であるかを判別するのに十分な解像度を有する画像が得られる。
20 アルミニウム基板(磁気ディスク用アルミニウム基板)
21 欠陥領域
22 欠陥画像
51 ラインカメラ
61 エリアカメラ
71 レーザ顕微鏡
Claims (5)
- 磁気ディスク用アルミニウム基板における表面の欠陥を検出する基板表面欠陥検査方法であって、
前記アルミニウム基板は、研削加工により鏡面仕上げが施されたグラインド・サブストレート基板であり、
回転台上に載置された前記アルミニウム基板の全面をラインカメラによって撮影して得られた画像を用いて、研削目が存在する前記アルミニウム基板の表面から30μm以上の大きさの欠陥を含む欠陥領域を抽出する第1検査工程と、
前記第1検査工程により抽出された前記欠陥領域の画像に基づいて、前記欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別する第2検査工程と、
を備える基板表面欠陥検査方法。 - 前記第2検査工程は、前記第1検査工程により抽出された前記欠陥領域を、1画素の分解能が0.05~0.5μm/pixelのエリアカメラによって撮像して得られた画像に基づいて、前記欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別する、請求項1に記載の基板表面欠陥検査方法。
- 前記30μm以上の大きさの前記欠陥領域をレーザ顕微鏡または白色干渉顕微鏡で測定して、該欠陥の深さを得ることで、前記欠陥が表面欠陥か表面に付着した埃かを判別する、請求項1又は2に記載の基板表面欠陥検査方法。
- 前記第2検査工程は、前記表面欠陥のうち、欠陥工程推定のための欠陥の特徴をさらに判別する、請求項1~3のいずれか1項に記載の基板表面欠陥検査方法。
- 前記第1検査工程は、回転台上に載置された前記アルミニウム基板の全面を、1画素の分解能が20μm/pixel以下の前記ラインカメラによって撮影する、請求項2に記載の基板表面欠陥検査方法。
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