JP7151758B2 - 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 - Google Patents
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 60
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 60
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 73
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 13
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 54
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 16
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- LMPMFQXUJXPWSL-UHFFFAOYSA-N 3-(3-sulfopropyldisulfanyl)propane-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CCCSSCCCS(O)(=O)=O LMPMFQXUJXPWSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920001646 UPILEX Polymers 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- YIOJGTBNHQAVBO-UHFFFAOYSA-N dimethyl-bis(prop-2-enyl)azanium Chemical compound C=CC[N+](C)(C)CC=C YIOJGTBNHQAVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
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- H—ELECTRICITY
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- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
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- H—ELECTRICITY
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Description
本発明の銅張積層板の製造方法は、めっき装置を用いて、ロールツーロールにより基材を搬送しつつ、電解めっきにより該基材の表面の銅めっき被膜を成膜して、厚さ0.4~3.0μmの導体層を有する銅張積層板を得るにあたり、前記めっき装置は、前記基材のめっき面に接触する全てのローラの搬送面の表面粗さ(Rmax)が0.1μm以下であることを特徴とする。
本発明の銅張積層板の製造方法によれば、直径5μm以上のピンホールが0.04個/cm2以下の導体層を有する銅張積層板を製造できる。
(銅張積層板)
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る銅張積層板1は、ベースフィルム10と、ベースフィルム10の表面に形成された導体層20とからなる。図1に示すようにベースフィルム10の片面のみに導体層20が形成されてもよいし、ベースフィルム10の両面に導体層20が形成されてもよい。
つぎに、本発明の一実施形態に係る銅張積層板の製造方法を説明する。
ロールツーロール方式のスパッタリング装置を用いれば、長尺帯状のベースフィルム10の表面に金属層21を成膜できる。以下、ベースフィルム10の表面に金属層21を成膜したものを基材と称する。ロールツーロール方式のめっき装置を用いれば、長尺帯状の基材の表面に銅めっき被膜22を成膜できる。これにより、長尺帯状の銅張積層板1が得られる。
ベースフィルムとして、幅570mm、厚さ34μmの長尺帯状のポリイミドフィルム(宇部興産社製 Upilex)を用意した。ベースフィルムをマグネトロンスパッタリング装置にセットした。マグネトロンスパッタリング装置内にはニッケルクロム合金ターゲットと銅ターゲットとが設置されている。ニッケルクロム合金ターゲットの組成はCrが20質量%、Niが80質量%である。真空雰囲気下で、ベースフィルムの片面に、厚さ25nmのニッケルクロム合金からなる下地金属層を形成し、その上に厚さ100nmの銅薄膜層を形成した。
めっき装置が有するローラのうち、基材のめっき面に接触する全てのローラとして、搬送面の表面粗さ(Rmax)が0.068~0.074μmのローラを用いた。導体層の厚さが0.4μmとなるように銅めっき被膜の厚さを調整した。
めっき装置が有するローラのうち、基材のめっき面に接触する全てのローラとして、搬送面の表面粗さ(Rmax)が0.068~0.074μmのローラを用いた。導体層厚さが2.0μmとなるように銅めっき被膜の厚さを調整した。
めっき装置が有するローラのうち、基材のめっき面に接触する全てのローラとして、搬送面の表面粗さ(Rmax)が0.068~0.074μmのローラを用いた。導体層の厚さが3.0μmとなるように銅めっき被膜の厚さを調整した。
めっき装置が有するローラのうち、基材のめっき面に接触する全てのローラとして、搬送面の表面粗さ(Rmax)が4.003~4.218μmのローラを用いた。導体層の厚さが3.0μmとなるように銅めっき被膜の厚さを調整した。
めっき装置が有するローラのうち、基材のめっき面に接触する全てのローラとして、搬送面の表面粗さ(Rmax)が7.101~7.129μmのローラを用いた。導体層の厚さが0.5μmとなるように銅めっき被膜の厚さを調整した。
10 ベースフィルム
20 導体層
21 金属層
21a 下地金属層
21b 銅薄膜層
22 銅めっき被膜
Claims (2)
- ベースフィルムの表面に直接形成された導体層を有し、
前記導体層は、
乾式成膜法により前記ベースフィルム上に直接成膜された金属層と、
電解めっきにより前記金属層上に直接成膜された銅めっき被膜と、を有し、
前記導体層は、厚さが0.4~3.0μmであり、直径5μm以上のピンホールが0.01個/cm2以下である
ことを特徴とする銅張積層板。 - めっき装置を用いて、ロールツーロールにより基材を搬送しつつ、電解めっきにより該基材の表面の銅めっき被膜を成膜して、厚さが0.4~3.0μmであり、直径5μm以上のピンホールが0.04個/cm2以下である導体層を有する銅張積層板を得るにあたり、
前記めっき装置は、前記基材のめっき面に接触する全てのローラの搬送面の表面粗さ(Rmax)が0.1μm以下である
ことを特徴とする銅張積層板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020214849A JP7151758B2 (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
KR1020210115685A KR102614463B1 (ko) | 2020-12-24 | 2021-08-31 | 동박 적층판 및 동박 적층판의 제조 방법 |
CN202111181106.2A CN114745849A (zh) | 2020-12-24 | 2021-10-11 | 覆铜层叠板和覆铜层叠板的制造方法 |
TW110146010A TWI818380B (zh) | 2020-12-24 | 2021-12-09 | 覆銅積層板及覆銅積層板之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020214849A JP7151758B2 (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022100710A JP2022100710A (ja) | 2022-07-06 |
JP7151758B2 true JP7151758B2 (ja) | 2022-10-12 |
Family
ID=82271208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020214849A Active JP7151758B2 (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7151758B2 (ja) |
KR (1) | KR102614463B1 (ja) |
CN (1) | CN114745849A (ja) |
TW (1) | TWI818380B (ja) |
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CN100564612C (zh) * | 2002-06-17 | 2009-12-02 | 东丽株式会社 | 镀膜的制备方法、电镀用阴极辊和制造电路板的方法 |
JP2010108964A (ja) | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Toray Ind Inc | 回路基板の製造方法 |
KR102504252B1 (ko) * | 2015-09-03 | 2023-02-24 | 에스케이넥실리스 주식회사 | 연성동박적층필름, 그 제조방법, 및 그것을 이용한 연성인쇄회로기판의 제조방법 |
JP7305342B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2023-07-10 | 日東電工株式会社 | 導電性フィルム |
JP7215211B2 (ja) * | 2019-02-21 | 2023-01-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
-
2020
- 2020-12-24 JP JP2020214849A patent/JP7151758B2/ja active Active
-
2021
- 2021-08-31 KR KR1020210115685A patent/KR102614463B1/ko active IP Right Grant
- 2021-10-11 CN CN202111181106.2A patent/CN114745849A/zh active Pending
- 2021-12-09 TW TW110146010A patent/TWI818380B/zh active
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JP2008087254A (ja) | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フレキシブル銅張積層板及びキャリア付フレキシブル銅張積層板 |
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JP2020152955A (ja) | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114745849A (zh) | 2022-07-12 |
KR102614463B1 (ko) | 2023-12-14 |
TWI818380B (zh) | 2023-10-11 |
KR20220092350A (ko) | 2022-07-01 |
TW202226909A (zh) | 2022-07-01 |
JP2022100710A (ja) | 2022-07-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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