JP7149065B2

JP7149065B2 - Sheet peeling device and peeling method

Info

Publication number: JP7149065B2
Application number: JP2017224076A
Authority: JP
Inventors: 憲吾穴澤; 光司岡本
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2017-11-21
Filing date: 2017-11-21
Publication date: 2022-10-06
Anticipated expiration: 2037-11-21
Also published as: JP2019096704A

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。 The present invention relates to a sheet peeling device and a sheet peeling method.

従来、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体とを相対移動させて被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, there has been known a sheet peeling device that affixes a peeling tape to an adhesive sheet stuck to an adherend, and separates the adhesive sheet from the adherend by relatively moving the peeling tape and the adherend. (See Patent Document 1, for example).

特開２０１４－３００３９号公報JP 2014-30039 A

特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置は、テーブル１１（保持手段）に保持された半導体ウエハ（被着体）に反りがあると、被着体が保持手段に対して浮いた状態で保持される場合があるため、接着シートを剥離している途中で被着体が保持手段から離脱し、接着シートの剥離不良が生じるという不都合がある。 In a conventional sheet peeling device such as that described in Patent Document 1, when a semiconductor wafer (adherend) held on a table 11 (holding means) is warped, the adherend floats from the holding means. Since the adhesive sheet may be held in this state, the adherend may be separated from the holding means while the adhesive sheet is being peeled off, resulting in a problem of poor peeling of the adhesive sheet.

本発明の目的は、接着シートの剥離不良を防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a sheet peeling device and a peeling method that can prevent peeling defects of an adhesive sheet.

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the configurations described in the claims.

本発明によれば、被着体を保持する保持手段に当該被着体を押圧して当該被着体の反りを矯正するので、被着体が保持手段に対して浮いた状態で保持されることを防止することができ、接着シートの剥離不良が生じることを防止することができる。 According to the present invention, since the warp of the adherend is corrected by pressing the adherend against the holding means for holding the adherend, the adherend is held in a floating state with respect to the holding means. Therefore, it is possible to prevent the peeling failure of the adhesive sheet from occurring.

（Ａ）～（Ｃ）は本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。1A to 1C are explanatory diagrams of a sheet peeling device according to an embodiment of the present invention; FIG. （Ａ）、（Ｂ）は本発明の変形例に係るシート剥離装置の説明図。(A) and (B) are explanatory diagrams of a sheet peeling device according to a modification of the present invention. （Ａ）～（Ｄ）は本発明の変形例に係るシート剥離装置の説明図。(A) to (D) are explanatory diagrams of a sheet peeling device according to a modification of the present invention.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
Note that the X-axis, Y-axis, and Z-axis in this embodiment are orthogonal to each other, and the X-axis and Y-axis are axes within a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the front in FIG. 1 parallel to the Y-axis, when the direction is indicated without designating the drawing, "up" is the direction of the arrow of the Z-axis and "down". is the opposite direction, "left" is the arrow direction of the X axis, "right" is the opposite direction, "front" is the direction parallel to the Y axis in FIG. 1, and "rear" is the opposite direction.

図１（Ａ）において、シート剥離装置１０は、剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段２０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを押圧して貼付する貼付手段３０と、剥離用テープＰＴを所定長さに切断する切断手段４０と、剥離用テープＰＴと被着体ＷＫとを相対移動させて被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する移動手段５０と、被着体ＷＫを保持する保持手段６０に当該被着体ＷＫを押圧して当該被着体ＷＫの反りを矯正する反り矯正手段７０とを備えている。 In FIG. 1A, the sheet peeling device 10 includes feeding means 20 for feeding the peeling tape PT, and sticking means 30 for pressing and sticking the peeling tape PT to the adhesive sheet AS stuck to the adherend WK. , a cutting means 40 for cutting the peeling tape PT into a predetermined length, a moving means 50 for relatively moving the peeling tape PT and the adherend WK to separate the adhesive sheet AS from the adherend WK, and A warp correcting means 70 for correcting the warp of the adherend WK by pressing the adherend WK against a holding means 60 for holding the body WK is provided.

繰出手段２０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としてのリニアモータ２３のスライダ２３Ａに支持されたスライドプレート２４と、駆動機器としての直動モータ２５の出力軸２５Ａに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ２６と、一対の把持爪２７Ａを有する保持部材であって駆動機器としてのチャックシリンダ２７とを備えている。 The feeding means 20 includes a support roller 21 that supports the peeling tape PT, a guide roller 22 that guides the peeling tape PT, a slide plate 24 supported by a slider 23A of a linear motor 23 as a driving device, and a driving device. A pressing roller 26 as a pressing member rotatably supported by an output shaft 25A of a direct-acting motor 25, and a chuck cylinder 27 as a holding member having a pair of gripping claws 27A and serving as a driving device. .

貼付手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持されたコイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段３２と、加熱手段３２に支持され、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを押圧して貼付する押圧部材としての押圧ヘッド３３とを備えている。 The sticking means 30 is supported by a direct-acting motor 31 as a driving device, a heating means 32 such as a coil heater, an infrared heater, or a heating side of a heat pipe supported by an output shaft 31A of the direct-acting motor 31, and the heating means 32. and a pressing head 33 as a pressing member for pressing and attaching the peeling tape PT to the adhesive sheet AS attached to the adherend WK.

切断手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持された切断刃４２を備えている。 The cutting means 40 includes a cutting blade 42 supported by an output shaft 41A of a direct-acting motor 41 as a driving device.

移動手段５０は、スライダ５１Ａで保持手段６０を支持する駆動機器としてのリニアモータ５１を備えている。 The moving means 50 has a linear motor 51 as a driving device that supports the holding means 60 with a slider 51A.

保持手段６０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の保持部材である図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持面６１Ａを有するテーブル６１を備えている。 The holding means 60 includes a table 61 having a holding surface 61A that can be held by suction by a decompression means (not shown), which is a holding member such as a decompression pump and a vacuum ejector.

反り矯正手段７０は、貼付手段３０と兼用する構成となっており、保持手段６０に被着体ＷＫを当該貼付手段３０で押圧する構成になっている。 The warp correcting means 70 is configured to also serve as the sticking means 30 , and is configured to press the adherend WK against the holding means 60 with the sticking means 30 .

以上のシート剥離装置１０において、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する手順について説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置１０に対し、当該シート剥離装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が剥離用テープＰＴを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、保持面６１Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、保持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面６１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次いで、反り矯正手段７０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ヘッド３３を下降させ、被着体ＷＫを保持面６１Ａに押し付け、所定時間が経過した後、押圧ヘッド３３を上昇させる。これにより、被着体ＷＫは、反りが生じていたとしても、当該反りが矯正され、保持面６１Ａに全面が吸着保持される。 A procedure for peeling the adhesive sheet AS from the adherend WK in the sheet peeling apparatus 10 described above will be described.
First, the user of the sheet peeling device 10 (hereinafter simply referred to as the “user”) puts the peeling tape PT on the sheet peeling device 10 in which each member is arranged at the initial position indicated by the solid line in FIG. 1(A). is set as shown in the figure, and a signal for starting automatic operation is inputted via an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, when a user or a conveying means (not shown) such as a belt conveyor or an articulated robot places the adherend WK on the holding surface 61A as shown in FIG. The decompression means is driven to start holding the adherend WK on the holding surface 61A by suction. Next, the warp correcting means 70 drives the direct-acting motor 31 to lower the pressing head 33 as indicated by the two-dot chain line in FIG. After the time has elapsed, the pressing head 33 is raised. As a result, even if the adherend WK is warped, the warp is corrected, and the entire surface of the adherend WK is held by suction on the holding surface 61A.

次に、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、押圧ヘッド３３の下方右端部の直下に接着シートＡＳの右端部が位置するようにテーブル６１を移動させる。その後、繰出手段２０がリニアモータ２３を駆動し、スライドプレート２４を右方に移動させ、図１（Ｂ）に示すように、一対の把持爪２７Ａ間に剥離用テープＰＴを繰り出す。次いで、繰出手段２０が直動モータ２５およびリニアモータ２３を駆動し、押圧ローラ２６を上方に退避させるとともに、スライドプレート２４を初期位置に復帰させた後、チャックシリンダ２７を駆動し、把持爪２７Ａで剥離用テープＰＴを把持する。 Next, the moving means 50 drives the linear motor 51 to move the table 61 so that the right end portion of the adhesive sheet AS is positioned immediately below the lower right end portion of the pressing head 33 as shown in FIG. 1(B). . After that, the feeding means 20 drives the linear motor 23 to move the slide plate 24 rightward, and as shown in FIG. Next, the feeding means 20 drives the direct-acting motor 25 and the linear motor 23 to retract the pressing roller 26 upward and return the slide plate 24 to the initial position, then drives the chuck cylinder 27 to move the gripping claws 27A. to grip the peeling tape PT.

次に、貼付手段３０が直動モータ３１および加熱手段３２を駆動し、加熱された押圧ヘッド３３を下降させ、図１（Ｃ）に示すように、当該押圧ヘッド３３で剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの外縁部に押圧して貼付する。次いで、繰出手段２０が直動モータ２５を駆動し、押圧ローラ２６で剥離用テープＰＴをスライドプレート２４に押圧した状態で、切断手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、切断刃４２を下降させて剥離用テープＰＴを切断する。そして、貼付手段３０および切断手段４０が直動モータ３１、４１を駆動し、押圧ヘッド３３および切断刃４２を初期位置に復帰させる。その後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、テーブル６１を右方に移動させ、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する。 Next, the pasting means 30 drives the direct-acting motor 31 and the heating means 32, lowers the heated pressing head 33, and adheres the peeling tape PT with the pressing head 33 as shown in FIG. It is attached by being pressed against the outer edge of the sheet AS. Next, the feeding means 20 drives the direct-acting motor 25, and the pressure roller 26 presses the peeling tape PT against the slide plate 24. Then, the cutting means 40 drives the direct-acting motor 41, and as shown in FIG. As shown, the cutting blade 42 is lowered to cut the peeling tape PT. Then, the sticking means 30 and the cutting means 40 drive the direct-acting motors 31 and 41 to return the pressing head 33 and the cutting blade 42 to their initial positions. After that, the moving means 50 drives the linear motor 51 to move the table 61 rightward as indicated by the chain double-dashed line in FIG. 1(C) to peel the adhesive sheet AS from the adherend WK.

接着シートＡＳの剥離が完了すると、移動手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止するとともに、保持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。次いで、繰出手段２０がチャックシリンダ２７を駆動し、把持爪２７Ａによる剥離用テープＰＴの把持を解除して、剥離した接着シートＡＳを回収する箱や袋等の図示しない回収手段や使用者に当該接着シートＡＳを受け渡す。そして、使用者または図示しない搬送手段が被着体ＷＫを次工程に搬送した後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル６１を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。 When the peeling of the adhesive sheet AS is completed, the moving means 50 stops driving the linear motor 51, and the holding means 60 stops driving the pressure reducing means (not shown). Next, the feeding means 20 drives the chuck cylinder 27 to release the gripping of the peeling tape PT by the gripping claws 27A. Transfer the adhesive sheet AS. After the user or unillustrated conveying means conveys the adherend WK to the next step, the moving means 50 drives the linear motor 51 to return the table 61 to the initial position, and the same operation as described above is repeated thereafter. .

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫを保持する保持手段６０に当該被着体ＷＫを押圧して当該被着体ＷＫの反りを矯正するので、被着体ＷＫが保持手段６０に対して浮いた状態で保持されることを防止することができ、接着シートＡＳの剥離不良が生じることを防止することができる。 According to the embodiment as described above, the warpage of the adherend WK is corrected by pressing the adherend WK against the holding means 60 that holds the adherend WK. Therefore, it is possible to prevent the adhesive sheet AS from being held in a floating state, and it is possible to prevent the adhesive sheet AS from being detached.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration, method, etc. for carrying out the present invention are disclosed in the above description, but the present invention is not limited thereto. That is, although the present invention has been particularly illustrated and described primarily with respect to certain embodiments, it is understood that there may be modifications to the above-described embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of materials, quantity, and other detailed configurations. In addition, the descriptions that limit the shape, material, etc. disclosed above are exemplified to facilitate understanding of the present invention, and do not limit the present invention. The description by the name of the member that removes some or all of the limitations such as is included in the present invention.

例えば、シート剥離装置１０は、切断手段４０が反り矯正手段７０と兼用する構成とし、上記実施形態と同様にして、保持面６１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始した後、反り矯正手段７０が直動モータ４１を駆動し、切断刃４２を下降させ、被着体ＷＫを保持面６１Ａに押し付けて被着体ＷＫの反りを矯正してもよいし、切断手段４０に代えて、図２に示す切断手段４０Ａを採用し、当該切断手段４０Ａが反り矯正手段７０と兼用する構成としてもよい。
切断手段４０Ａは、直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持され、下方が開口した凹部４３Ａを有する押圧ヘッド４３と、凹部４３Ａ内に支持された駆動機器としてのリニアモータ４４と、そのスライダ４４Ａに支持された切断刃４２とを備えている。
この場合、図２（Ａ）に示すように、切断刃４２を凹部４３Ａ内に収容した状態で、反り矯正手段７０が直動モータ４１を駆動し、押圧ヘッド４３を下降させ、被着体ＷＫを保持面６１Ａに押し付けて当該被着体ＷＫの反りを矯正する。また、切断手段４０Ａがリニアモータ４４を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、切断刃４２を凹部４３Ａから突き出した後、直動モータ４１を駆動し、切断刃４２を下降させて剥離用テープＰＴを切断する。 For example, the sheet peeling device 10 is configured such that the cutting means 40 also serves as the warp correcting means 70, and as in the above-described embodiment, after the adherend WK is held by the holding surface 61A by suction, the warp correcting means 70 may drive the direct-acting motor 41 to lower the cutting blade 42 and press the adherend WK against the holding surface 61A to correct the warpage of the adherend WK. 2 may be employed, and the cutting means 40A may also be used as the warp correcting means 70. FIG.
The cutting means 40A is supported by an output shaft 41A of a direct-acting motor 41 and includes a pressing head 43 having a recess 43A with an open bottom, a linear motor 44 as a driving device supported in the recess 43A, and a slider 44A. and a supported cutting blade 42 .
In this case, as shown in FIG. 2A, with the cutting blade 42 accommodated in the recess 43A, the warp correcting means 70 drives the direct-acting motor 41 to lower the pressing head 43, thereby lowering the adherend WK. is pressed against the holding surface 61A to correct the warpage of the adherend WK. Further, the cutting means 40A drives the linear motor 44 to project the cutting blade 42 from the concave portion 43A as shown in FIG. Cut the tape PT for

シート剥離装置１０は、繰出手段２０および貼付手段３０に代えて、図３（Ａ）に示す繰出手段２０Ａおよび貼付手段３０Ａを備えてもよい。
繰出手段２０Ａは、支持ローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２８Ａによって駆動され、剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ２８とを備えている。
貼付手段３０Ａは、駆動機器としての直動モータ３４の出力軸３４Ａに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ３５を備えている。
この場合、貼付手段３０Ａが反り矯正手段７０と兼用する構成とし、図３（Ａ）に示すように、保持面６１Ａ上に載置された被着体ＷＫの吸着保持が開始されると、反り矯正手段７０が直動モータ３４を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、押圧ローラ３５を下降させ、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付するとともに、被着体ＷＫを保持面６１Ａに押し付けて当該被着体ＷＫの反りを矯正する。次いで、繰出手段２０Ａおよび移動手段５０が回動モータ２８Ａおよびリニアモータ５１を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、テーブル６１を左方に移動させ、剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付しつつ、被着体ＷＫを剥離開始位置に移動させる。その後、繰出手段２０Ａおよび移動手段５０が回動モータ２８Ａおよびリニアモータ５１を駆動し、回収ローラ２８で剥離用テープＰＴを巻き取りつつ、図３（Ｄ）に示すように、テーブル６１を右方に移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する。 The sheet peeling device 10 may be provided with feeding means 20A and sticking means 30A shown in FIG.
The delivery means 20A includes a support roller 21 and a recovery roller 28 driven by a rotating motor 28A as a drive device to recover the peeling tape PT.
30 A of sticking means are equipped with the press roller 35 as a press member rotatably supported by the output shaft 34A of the linear motion motor 34 as a drive apparatus.
In this case, the sticking means 30A is configured to be used also as the warp correcting means 70, and as shown in FIG. The correcting means 70 drives the direct-acting motor 34 to lower the pressure roller 35 as shown in FIG. to correct the warpage of the adherend WK. Next, the feeding means 20A and the moving means 50 drive the rotary motor 28A and the linear motor 51 to move the table 61 to the left as shown in FIG. While sticking, the adherend WK is moved to the peel start position. After that, the feeding means 20A and the moving means 50 drive the rotation motor 28A and the linear motor 51, and while the recovery roller 28 winds the peeling tape PT, the table 61 is moved to the right as shown in FIG. to separate the adhesive sheet AS from the adherend WK.

繰出手段２０は、枚葉の剥離用テープＰＴを繰り出してもよい。 The feeding means 20 may feed a sheet of peeling tape PT.

貼付手段３０は、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等の加熱手段を採用してもよい。
貼付手段３０、３０Ａは、加熱手段に代えてまたは併用して、押圧ヘッド３３や押圧ローラ３５を振動させる振動手段を備えてもよいし、剥離用テープＰＴとして、感圧接着性または感熱接着性の接着シートＡＳを採用してもよく、剥離用テープＰＴが感圧接着性の接着シートＡＳの場合、加熱手段はあってもよいし、なくてもよい。 The sticking means 30 may employ a heating means such as a discharge heater, a microwave irradiation device, or a warm air blowing device.
The sticking means 30 and 30A may be provided with vibrating means for vibrating the pressing head 33 and the pressing roller 35 instead of or in combination with the heating means. , and if the peeling tape PT is a pressure-sensitive adhesive sheet AS, the heating means may or may not be provided.

切断手段４０は、なくてもよく、この場合、帯状の剥離用テープＰＴを切断することなく、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離したり、繰出手段２０が枚葉の剥離用テープＰＴを繰り出したりすればよい。 The cutting means 40 may be omitted. In this case, the adhesive sheet AS may be peeled from the adherend WK without cutting the strip-shaped peeling tape PT, or the feeding means 20 may separate the peeling tape PT in sheet form. You can bring it out.

移動手段５０は、チャックシリンダ２７を移動可能に支持する駆動機器を備えていてもよく、テーブル６１の位置を固定しておき、チャックシリンダ２７を移動させてもよいし、チャックシリンダ２７とテーブル６１との両方を移動させてもよい。 The moving means 50 may include a driving device that movably supports the chuck cylinder 27 , may move the chuck cylinder 27 while fixing the position of the table 61 , or may move the chuck cylinder 27 and the table 61 . and both can be moved.

シート剥離装置１０は、被着体ＷＫの反りを検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサ、超音波センサ、圧力センサ、接触式センサ等の各種センサ等の反り検知手段を備えてもよい。この場合、反り検知手段が被着体ＷＫの反りを検知したときのみに、反り矯正手段７０で被着体ＷＫの反りを矯正するようにしてもよい。
シート剥離装置１０は、保持手段６０の図示しない減圧手段による減圧状態を検知する圧力センサやロードセル等の減圧検知手段を備えてもよく、この場合、例えば、保持面６１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持が開始されてから、所定の時間が経過しても所定の減圧状態にならないことを減圧検知手段が検知したときのみに、反り矯正手段７０で被着体ＷＫの反りを矯正するようにしてもよい。 The sheet peeling device 10 includes imaging means such as a camera and a projector for detecting warpage of the adherend WK, and warp detection means such as various sensors such as an optical sensor, an ultrasonic sensor, a pressure sensor, and a contact sensor. good too. In this case, the warpage of the adherend WK may be corrected by the warp correction means 70 only when the warp detection means detects the warp of the adherend WK.
The sheet peeling device 10 may be provided with a decompression detection means such as a pressure sensor or a load cell for detecting a decompression state by decompression means (not shown) of the holding means 60. In this case, for example, the adherend WK on the holding surface 61A The warpage of the adherend WK is corrected by the warp correcting means 70 only when the decompression detecting means detects that the predetermined decompressed state has not been reached even after the elapse of a predetermined time from the start of the adsorption and holding. may

反り矯正手段７０は、上記で例示したもの以外に、シャフト材や環状部材等の押圧部材で保持手段６０に被着体ＷＫを押圧して当該被着体ＷＫの反りを矯正したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより保持手段６０に被着体ＷＫを押圧して当該被着体ＷＫの反りを矯正したりしてもよいし、被着体ＷＫの外縁部が保持面６１Ａから浮き上がる反りの場合、例えば、押圧ヘッド３３と切断手段４０とで反りを矯正したり、押圧ヘッド３３と押圧部材とで反りを矯正したり、複数の押圧部材で反りを矯正したり、複数個所から気体を吹き付けて反りを矯正したりしてもよい。 The warp correcting means 70 can correct the warp of the adherend WK by pressing the adherend WK against the holding means 60 with a pressing member such as a shaft member or an annular member, or correct the warp of the adherend WK. The warpage of the adherend WK may be corrected by pressing the adherend WK against the holding means 60 by blowing a gas such as gas, or the warp may be such that the outer edge of the adherend WK rises from the holding surface 61A. In the case of , for example, the warp is corrected by the pressing head 33 and the cutting means 40, the warping is corrected by the pressing head 33 and the pressing member, the warping is corrected by a plurality of pressing members, and the gas is released from a plurality of points. Warping may be corrected by spraying.

被着体ＷＫは、他の接着シートを介してリングフレーム等のフレーム部材に支持されていてもよいし、他の装置が保持してもよく、この場合、保持手段６０はなくてもよい。 The adherend WK may be supported by a frame member such as a ring frame via another adhesive sheet, or may be held by another device. In this case, the holding means 60 may be omitted.

本発明における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS, the peeling tape PT and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, and may have adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. Further, the adhesive sheet AS is, for example, a single-layer adhesive layer only, an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, or three or more layers such as a cover layer on the upper surface of the substrate. Furthermore, it may be a so-called double-sided adhesive sheet from which the base material can be peeled off from the adhesive layer. It may be of a single layer or multiple layers. Examples of the adherend WK include food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards and optical discs, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates, resins, and the like. It may be a single substance, or a composite formed by two or more of them, and may be a member or article of any shape. In addition, the adhesive sheet AS can be arbitrarily used, for example, a label for information recording, a label for decoration, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a resin sheet for forming a recording layer, etc. sheet, film, tape, or the like.

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離用テープを繰出可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断したりしてもよい。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for those means and steps. The process is not limited at all. For example, as long as the feeding means can feed the peeling tape, it is not limited in any way as long as it is within the technical scope in light of the common general knowledge at the time of filing (other means and processes can also be same).
The drive device in the above embodiment includes a rotating motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, an electric device such as a multi-joint robot having two or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless robot. Actuators such as cylinders and rotary cylinders can be used, and combinations thereof directly or indirectly can also be used.
In the above embodiments, when a rotating member such as a roller is employed, a drive device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be made of deformable material such as rubber or resin. It may be composed of a member, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or a pressing means such as a pressing roller or a pressing head, or a pressing member such as a pressing member that presses an object to be pressed. If it is adopted, instead of or in combination with the above examples, a member such as a roller, round bar, blade material, rubber, resin, sponge, etc. is adopted, or it is pressed by blowing air or gas. Alternatively, the object to be pressed may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be made of a non-deformable member, a peeling plate, a peeling roller, or the like. When a means for peeling the object to be peeled such as a peeling means or a peeling member is adopted, a member such as a plate-shaped member, a round bar, or a roller may be adopted in place of or in combination with the above examples. Alternatively, the part to be peeled off may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a non-deformable member. If a device is used to support or hold the member, gripping means such as a mechanical chuck or chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli A configuration may be adopted in which the member to be supported is supported (held) by suction, suction or suction, a driving device, or the like. is adopted, instead of or in combination with the above examples, cutter blades, laser cutters, ion beams, thermal power, heat, water pressure, heating wires, spraying of gas, liquid, etc. It is also possible to employ a device that cuts with a swipe, or to cut by moving a member to be cut with a combination of appropriate driving devices.

１０シート剥離装置
２０、２０Ａ繰出手段
３０、３０Ａ貼付手段
３３押圧ヘッド
３５押圧ローラ
４０、４０Ａ切断手段
５０移動手段
７０反り矯正手段
ＡＳ接着シート
ＰＴ剥離用テープ
ＷＫ被着体 REFERENCE SIGNS LIST 10 Sheet peeling device 20, 20A Feeding means 30, 30A Sticking means 33 Pressing head 35 Pressing roller 40, 40A Cutting means 50 Moving means 70 Warp correcting means AS Adhesive sheet PT Peeling tape WK Adherend

Claims

剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
被着体に貼付された接着シートに前記剥離用テープを押圧して貼付する貼付手段と、
前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動手段と、
前記剥離用テープを貼付する前に、前記被着体を保持する保持手段に当該被着体を押圧して当該被着体の反りを矯正する反り矯正手段とを備え、
前記反り矯正手段は、前記保持手段に前記被着体を前記貼付手段で押圧することを特徴とするシート剥離装置。 a feeding means for feeding the peeling tape;
an attaching means for pressing and attaching the peeling tape to the adhesive sheet attached to the adherend;
a moving means for relatively moving the peeling tape and the adherend to peel the adhesive sheet from the adherend;
A warp correcting means for correcting the warp of the adherend by pressing the adherend against a holding means for holding the adherend before sticking the peeling tape ,
The sheet peeling device, wherein the warp correcting means presses the adherend against the holding means with the sticking means.

剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
被着体に貼付された接着シートに前記剥離用テープを貼付する貼付手段と、
前記剥離用テープを所定長さに切断する切断手段と、
前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動手段と、
前記接着シートを剥離する前に、前記被着体を保持する保持手段に当該被着体を押圧して当該被着体の反りを矯正する反り矯正手段とを備え、
前記反り矯正手段は、前記保持手段に前記被着体を前記切断手段で押圧することを特徴とするシート剥離装置。 a feeding means for feeding the peeling tape;
an attaching means for attaching the peeling tape to the adhesive sheet attached to the adherend;
a cutting means for cutting the peeling tape into a predetermined length;
a moving means for relatively moving the peeling tape and the adherend to peel the adhesive sheet from the adherend;
Warp correcting means for correcting warpage of the adherend by pressing the adherend against holding means for holding the adherend before peeling the adhesive sheet,
The sheet peeling device, wherein the warp correcting means presses the adherend against the holding means with the cutting means.

剥離用テープを繰り出す繰出工程と、
被着体に貼付された接着シートに前記剥離用テープを貼付手段で押圧して貼付する貼付工程と、
前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動工程と、
前記剥離用テープを貼付する前に、前記被着体を保持する保持手段に当該被着体を押圧して当該被着体の反りを矯正する反り矯正工程とを備え、
前記反り矯正工程は、前記保持手段に前記被着体を前記貼付手段で押圧することを特徴とするシート剥離方法。 A feeding step of feeding the peeling tape;
an attaching step of pressing and attaching the peeling tape to the adhesive sheet attached to the adherend by an attaching means;
a moving step of relatively moving the peeling tape and the adherend to peel the adhesive sheet from the adherend;
A warp correction step of pressing the adherend against a holding means for holding the adherend to correct the warp of the adherend before applying the peeling tape ,
The sheet peeling method, wherein the warp correcting step presses the adherend against the holding means with the sticking means.

剥離用テープを繰り出す繰出工程と、
被着体に貼付された接着シートに前記剥離用テープを貼付する貼付工程と、
前記剥離用テープを切断手段で所定長さに切断する切断工程と、
前記剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動工程と、
前記接着シートを剥離する前に、前記被着体を保持する保持手段に当該被着体を押圧して当該被着体の反りを矯正する反り矯正工程とを有し、
前記反り矯正工程は、前記保持手段に前記被着体を前記切断手段で押圧することを特徴とするシート剥離方法。 A feeding step of feeding the peeling tape;
an attaching step of attaching the peeling tape to the adhesive sheet attached to the adherend;
a cutting step of cutting the peeling tape into a predetermined length by a cutting means;
a moving step of relatively moving the peeling tape and the adherend to peel the adhesive sheet from the adherend;
a warp correction step of pressing the adherend against a holding means for holding the adherend to correct the warp of the adherend before peeling off the adhesive sheet;
The sheet peeling method, wherein the warp correcting step presses the adherend against the holding means by the cutting means.