JP7144582B2 - 搬送ハンドのセット及び搬送ロボット - Google Patents

Description

本発明は、搬送ハンド、及び搬送ハンドを備えた搬送ロボットに関する。

従来、搬送物品として、半導体基板などの板状物（以下、「板状物」として「基板」を例に説明する）を搬送するためにロボットが用いられている。この種のロボットに関する先行技術として、例えば、ワークを一方のハンドから他方のハンドに持ち直す動作によって位置決めと搬送とを行うようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。

また、他の先行技術として、異なる大きさや形状のワークを把持するハンドがある（例えば、特許文献２参照）。このハンドは、直線軸に沿って近接又は離間する１組のスライド部に把持部を備えている。把持部は、先端部分に備えさせた把持爪が回転する関節部を備えている。

特開２０１２－１９６７６８号公報 特開２０１２－１７６４６１号公報

ところで、複数の基板に対して連続した処理を行うために、複数の基板を整列された状態で積載する基板格納部が用いられることがある。この基板格納部は、一般に、離間されて配置された一対の支持部材を有し、支持部材には一定ピッチで複数の支持溝が形成されている。半導体基板は、一対の支持部材に形成された支持溝に挿入されることで、周縁部が支持部材に支持される。

しかし、上記先行技術は、上記したような基板格納部に対し基板を搬入及び搬出するハンドの構成について何ら開示していない。例えば、支持溝に沿ってスライド移動させることで基板を搬入又は搬出するハンドの構成は開示されていない。

そこで、本発明は、物品のスライド移動を伴った搬送をできる搬送ハンド及び搬送ロボットを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る搬送ハンドは、物品を把持して搬送する搬送ハンドであって、第１方向で物品を把持する第１把持部と、前記第１方向と異なる第２方向で前記物品を把持する第２把持部とを備え、前記第１把持部は、把持した前記物品をスライド移動させるように動作し、前記第２把持部は、前記第１把持部によってスライド移動された前記物品を把持する。

また、本発明の一態様に係る搬送ロボットは、本発明の一態様に係る搬送ハンドの第１ハンドを備えた第１アームと、本発明の一態様に係る搬送ハンドの第２ハンドを備えた第２アームと、前記第１アームの動作と前記第２アームの動作とを制御する制御装置とを備える。

また、本発明の一態様に係る搬送ロボットは、本発明の一態様に係る搬送ハンドを備えたアームと、前記アーム及び前記搬送ハンドの動作を制御する制御装置とを備える。

本発明によれば、搬送ハンドによって物品のスライド移動を伴った搬送をすることが可能となる。

図１は、実施の形態１に係る搬送ロボットを示す斜視図である。 図２は、実施の形態１に係る第１ハンドを示す平面図である。 図３は、図２に示す第１ハンドの正面図である。 図４は、図２に示す第１ハンドの側面図である。 図５は、図２に示すV－V矢視の断面図である。 図６は、実施の形態１に係る第２ハンドを示す平面図である。 図７は、図６に示す第２ハンドの側面図である。 図８は、図６に示す第４把持部の動作を示すVIII矢視の側面図である。 図９は、図２に示す第１ハンドと図６に示す第２ハンドとを用いて第１基板格納部から基板を搬送する前の状態を示す平面図である。 図１０は、図９に示す状態から基板を引き出すために把持した状態を示す平面図である。 図１１は、図１０に示す状態から基板を所定位置まで引き出した状態を示す平面図である。 図１２は、図１１に示すXII－XII矢視の断面図である。 図１３は、図１１に示す第２ハンドで基板を幅方向から把持した状態を示す平面図である。 図１４は、第２ハンドで基板を把持した状態の搬送ロボットを示す平面図である。 図１５は、図１４に示す搬送ロボットで試験装置に基板を搬送する動作を示す平面図である。 図１６は、図１５に示す搬送ロボットで試験装置の基板を入れ替える状態を示す平面図である。 図１７は、図１６に示す搬送ロボットで試験装置から外した基板を第２基板格納部に格納する前の状態を示す平面図である。 図１８は、図１７に示す基板を第２ハンドに持ち替える状態を示す平面図である。 図１９は、図１８に示す第２ハンドで基板の向きを変更した状態を示す平面図である。 図２０は、図１９に示すXX矢視の側面図である。 図２１は、図１９に示す状態の基板を第２基板格納部に格納する状態と、格納した基板を取り出す状態とを示す側面図である。 図２２は、搬送ロボットの第２ハンドで基板を引き出し、基板の向きを変更して第１基板格納部に格納する前の状態を示す平面図である。 図２３は、図２２に示す第２ハンドで第１基板格納部に基板を格納する前の状態を示す平面図である。 図２４は、図２３に示す第２ハンドで第１基板格納部に基板を格納する状態を示す平面図である。 図２５は、図２に示す第１ハンドの基板当接部と第３把持部との位置調節を可能とした例の平面図である。 図２６は、図２５の側面図である。 図２７は、実施の形態２に係る搬送ロボットを示す斜視図である。 図２８は、実施の形態２に係る搬送ロボットを示す平面図である。 図２９は、実施の形態２に係る搬送ハンドを示す斜視図である。 図３０は、右のアームの搬送ハンドが、第１基板格納部の搬送対象の基板に対して位置決めされた状態を示す平面図である。 図３１は、図３０の側面図である。 図３２は、右のアームの搬送ハンドに対して、第１基板格納部の搬送対象の基板が押し出された状態を示す平面図である。 図３３は、図３２の側面図である。 図３４は、右のアームの搬送ハンドの第１把持部が、押し出された基板を把持する状態を示す平面図である。 図３５は、図３４の側面図である。 図３６は、図３４及び図３５における第１把持部の第１アクチュエータの状態を示す側面図である。 図３７は、右のアームの搬送ハンドの第１把持部が、把持した基板を第１基板格納部から引き出す状態を示す平面図である。 図３８は、図３７の側面図である。 図３９は、図３７及び図３８における第１把持部の第２アクチュエータの状態を示す側面図である。 図４０は、図３９の第１把持部が、引き出された基板の把持を解除する状態を示す側面図である。 図４１は、右のアームの搬送ハンドの第２把持部が、引き出された基板を把持する状態を示す平面図である。 図４２は、図４１の側面図である。 図４３は、実施の形態２に係る試験装置の基板載置部を示す側面図である。 図４４は、実施の形態２に係る試験装置の基板載置部を示す平面図である。 図４５は、基板載置部に基板を載置する際の第１把持部の第２シリンダの状態を示す平面図である。

まず、本発明の種々の態様に係る搬送ハンド及び搬送ロボットは以下の通りである。例えば、本発明の一態様に係る搬送ハンドは、物品を把持して搬送する搬送ハンドであって、第１方向で物品を把持する第１把持部と、前記第１方向と異なる第２方向で前記物品を把持する第２把持部とを備え、前記第１把持部は、把持した前記物品をスライド移動させるように動作し、前記第２把持部は、前記第１把持部によってスライド移動された前記物品を把持する。

上記構成によると、第２把持部は、第１把持部によってスライド移動された物品を、第１把持部の把持方向と異なる方向で把持する。これにより、搬送ハンドは、物品をスライド移動させた後に把持して搬送することができる。よって、搬送ハンドは、物品のスライド移動を伴った搬送をできる。また、第２把持部は、第１把持部と異なる方向で物品を把持するため、第１把持部の影響を受けずに物品を容易且つ確実に把持することができる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドは、第１ハンドと第２ハンドとをさらに備え、前記第１ハンドは、第１アームに取り付けられる第１取付部を有し、第１面内で回動可能な第１ハンド本体と、前記第１ハンド本体に備えられ、前記物品の端部を厚さ方向である前記第１方向で把持する前記第１把持部と、前記第１把持部の両側方における前記物品の幅寸法内で側面の少なくとも２箇所に当接させる当接部と、前記物品を第３方向で両側部から把持する第３把持部とを有し、前記第２ハンドは、第２アームに取り付けられる第２取付部を有し、前記第１面内で回動可能な第２ハンド本体と、前記第２ハンド本体に備えられ、前記物品を幅方向である前記第２方向で両側部から把持する前記第２把持部とを有してもよい。

上記構成によると、第１ハンドの当接部を物品に当接させて第１ハンド本体に対する物品の位置決めをして、その状態で第１把持部によって物品を厚さ方向で把持することができる。そして、第２ハンドの第２把持部によって、第１把持部で引き出した物品を幅方向で把持することができる。これらの動作により、周縁部で保持されて格納されている物品を適切に引き出して搬送することができる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２把持部は、前記第１ハンドの前記第１把持部で把持した前記物品を両側部から把持するように構成されていてもよい。上記構成によると、第２把持部による物品の確実な把持が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２把持部は、前記第１ハンドの前記第１把持部で把持して前記第１面内で移動させる前記物品を下方から支持する支持部を有していてもよい。上記構成によると、物品を第１面内から逸脱させずに確実に移動させることが可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２ハンドは、前記物品を厚さ方向である第４方向で把持し、前記物品の姿勢を前記第１面内と直交する第２面内に変更する第４把持部をさらに備えていてもよい。上記構成によると、第２ハンドによる物品の姿勢の変化が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第１ハンド本体はＬ字状に形成され、Ｌ字状の一方に前記当接部と前記第１把持部とが備えられ、Ｌ字状の他方に前記第３把持部が備えられていてもよい。上記構成によると、第１把持部と第３把持部とが干渉することが抑制される。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第１ハンド本体は、下面に前記第３把持部が配置され、上面に前記物品を下方から支持する支持部が配置されていていてもよい。上記構成によると、第１ハンドは、第１ハンド本体の下面と上面とで異なる物品の処理を行うことができる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２ハンド本体はＬ字状に形成され、Ｌ字状の一方に前記第２把持部が備えられ、Ｌ字状の他方に前記第４把持部が備えられていてもよい。上記構成によると、第２把持部と第４把持部とが干渉することが抑制される。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記当接部は、前記第１把持部の両側方における配置間隔を調節できるように構成されていてもよい。上記構成によると、当接部は、様々なサイズの物品に対して当接することができる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２把持部及び前記第３把持部は、前記物品の把持間隔を調節できるように構成されていてもよい。上記構成によると、第２把持部及び第３把持部は、様々なサイズの物品に対して把持することができる。

本発明の一態様に係る搬送ロボットは、本発明の一態様に係る搬送ハンドの前記第１ハンドを備えた前記第１アームと、本発明の一態様に係る搬送ハンドの前記第２ハンドを備えた前記第２アームと、前記第１アームの動作と前記第２アームの動作とを制御する制御装置とを備えている。

上記構成によると、１台の搬送ロボットにより、第１アームの第１ハンドを動作制御して物品を引き出す動作と、第２アームの第２ハンドを動作制御して物品を把持して搬送する動作とを適切に行うことができる。また、一方のアームで物品を格納部などから所定の場所に配置する動作と、他方のアームで他の物品を所定の場所から格納部などに保持する動作とを並行して効率良く行うことができる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドは、前記第１把持部と前記第２把持部とを有するハンド本体をさらに備え、前記第１把持部は、前記第１方向で前記物品を把持し且つスライド移動可能である第１把持部材を有し、前記第２把持部は、前記第２方向で前記物品を把持し且つ対向して配置される第２把持部材を有し、前記第１把持部は、前記物品を把持した前記第１把持部材をスライド移動させることで、前記物品を前記第２把持部材の間に移動させ、前記第２把持部は、前記第２把持部材を前記第２方向に移動させることで、前記物品を把持してもよい。上記構成によると、１つのハンド本体によって、物品をスライド移動させた後に把持して搬送することができる。よって、搬送ハンドの構成のコンパクト化が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２把持部材はそれぞれ、前記第１把持部材のスライド移動方向に延び且つ互いに対向するガイド部を有し、前記ガイド部は、前記第１把持部材によって移動される前記物品を前記第２把持部材の間に案内するように構成されてもよい。上記構成によると、第１把持部材による物品の確実且つ安定したスライド移動が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第１把持部は、前記第１把持部材をスライド移動させるスライドアクチュエータを有してもよい。上記構成によると、アクチュエータを用いた第１把持部材のスライド動作が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記スライドアクチュエータは、複数段のシリンダを含んでもよい。上記構成によると、第１把持部材を複数段のスライド移動を用いて移動させることができる。よって、様々なパターンの第１把持部材のスライド移動が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドにおいて、前記第２把持部は、前記第２把持部材の少なくとも一方を移動させる把持アクチュエータを有してもよい。上記構成によると、アクチュエータを用いた第２把持部材の把持動作が可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ハンドは、前記ハンド本体を取り付け対象に取り付ける取付部と、前記ハンド本体と前記取付部とを接続する接続部とをさらに備え、前記接続部は、前記取付部に対する前記ハンド本体の揺動を可能にするフローティング機構を含んでもよい。上記構成によると、第２把持部で把持した物品を、周囲の物体との衝突等に起因する損傷を与えずに搬送及び配置することが可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ロボットは、本発明の一態様に係る搬送ハンドを備えたアームと、前記アーム及び前記搬送ハンドの動作を制御する制御装置とを備える。上記構成によると、１つのアームを用いて、物品をスライド移動させた後に把持して搬送することが可能になる。

本発明の一態様に係る搬送ロボットは、前記アームとして、第１アーム及び第２アームを備え、前記第１アーム及び前記第２アームのそれぞれが、前記搬送ハンドを備え、前記制御装置は、前記第１アーム及び前記第２アームの動作を制御してもよい。上記構成によると、第１アーム及び第２アームそれぞれによって、物品の搬送動作を行うことができるため、搬送効率が向上する。

本発明の一態様に係る搬送ロボットにおいて、前記第１アーム及び前記第２アームは、同軸上で回動するように構成されてもよい。上記構成によると、回動時の第１アーム及び第２アームの干渉が抑えられ、それぞれの回動範囲を大きくすることができる。

以下において、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、添付の図面における各図は、模式的な図であり、必ずしも厳密に図示されたものでない。さらに、各図において、実質的に同一の構成要素に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化される場合がある。

＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１を図面に基づいて説明する。以下の実施の形態でも、搬送対象の物品として板状物である基板１００を例に説明する。以下の実施の形態では、第１基板格納部１１０に格納された基板１００を試験装置２００に搬送する基板搬送ロボットである搬送ロボット１を例に説明する。本明細書及び特許請求の範囲の書類中における基板１００の幅方向は、基板１００の板厚方向と直交する盤面の左右方向をいう。基板１００の板厚方向は第１方向の一例であり、基板１００の幅方向は第２方向の一例である。また、水平方向の面を「第１面」、垂直方向の面を「第２面」と表記する場合がある。

（搬送ロボットの構成）
図１は、実施の形態１に係る搬送ロボット１を示す斜視図である。実施の形態１に係る搬送ロボット１は、基台２の鉛直方向に設けられた第１軸Ｓ１を中心に水平面内で回動する、第１アーム３（左腕）及び第２アーム４（右腕）を備える。第１アーム３及び第２アーム４はそれぞれ、第１リンク５、第２リンク６、第３リンク７及び第４リンク８を有している。第１リンク５は、第１軸Ｓ１を中心に水平面内で回動可能となっている。第２リンク６は、第２軸Ｓ２を中心に水平面内で回動可能となっている。第３リンク７は、第３軸Ｓ３を中心に垂直面内で回動可能となっている。第４リンク８は、第４軸Ｓ４を中心に揺動可能となっている。第１アーム３と第２アーム４とは、第１軸Ｓ１について同軸上で回動し、それぞれ独立した動作が可能となっている。第１アーム３の第１リンク５と第２アーム４の第１リンク５とは、第１軸Ｓ１方向にずらして配置されている。これにより、第１軸Ｓ１を中心とした回動時、第１アーム３と第２アーム４との干渉が抑えられるため、第１アーム３及び第２アーム４の回動範囲を大きくすることが可能になる。

第１アーム３及び第２アーム４はそれぞれ、制御装置９によって動作制御される。制御装置９は、プロセッサ、揮発性メモリ、不揮発性メモリ及びＩ／Ｏインターフェース等を有する。制御装置９は、受信部、記憶部、制御部及び出力部を機能的な構成要素として有する。受信部及び出力部は、Ｉ／Ｏインターフェースにより実現される。記憶部は、揮発性メモリ及び不揮発性メモリにより実現される。制御部の機能は、各リンク５～８の先端座標位置などを、不揮発性メモリに保存されたプログラムに基づいてプロセッサが揮発性メモリを用いて演算処理することで実現される。制御部は、演算処理した先端座標位置に基づいて、各リンク５～８の駆動部に動作量を出力し、各リンク５～８の駆動部から受信した動作信号に基づいて各座標位置を算出する。制御装置９は、後述する各把持部３０，４０，６０，７０の開閉制御、及び旋回部７３の旋回制御もする。

そして、搬送ロボット１には、第１ハンド２０と第２ハンド５０とを備えた搬送ハンド１０が備えられている。第１ハンド２０は、第１アーム３の第４リンク８の先端部に備えられている。第１ハンド２０は、第４リンク８の第５軸Ｓ５（第２ハンド５０と同一方向の軸）を中心に水平方向の第１面内で回動可能となっている。第２ハンド５０は、第２アーム４の第４リンク８の先端部に備えられている。第２ハンド５０は、第４リンク８の第５軸Ｓ５を中心に水平方向の第１面内で回動可能となっている。なお、図では第４リンク８の先端部に設けられた板材を介して第１ハンド２０及び第２ハンド５０が取り付けられている。

また、本実施の形態では、基台２の側方に、基板１００を水平方向に格納する第１基板格納部（格納部）１１０と、基板１００を垂直方向に格納する第２基板格納部（格納部）１２０とが備えられている。本実施の形態では、後述するように第１基板格納部１１０が基板１００の供給側であり、第２基板格納部１２０が基板１００の搬出側である。第１基板格納部１１０には、矩形状に形成された筐体１１１の内部の左右位置に垂直方向に延びる支持部材１１２が設けられている。支持部材１１２には、基板１００の周囲を水平状態で保持するように複数の支持溝１１３が設けられている。第１基板格納部１１０によれば、複数の基板１００を支持溝１１３に水平方向に格納できる。なお、以下の説明では、第１基板格納部１１０における基板１００の奥行き方向をＹ軸方向とし、幅方向をＸ軸方向とする。第２基板格納部１２０には、矩形状に形成された筐体１２１の内部の左右位置に垂直方向に延びる支持部材１２２（一方のみ図示）が設けられている。支持部材１２２には、基板１００を垂直方向に格納できるように複数の仕切溝１２３が所定間隔で設けられている。第２基板格納部１２０によれば、複数の基板１００を仕切溝１２３の間に垂直方向に格納できる。

さらに、基台２の他の側方には、基板１００の試験装置２００が備えられている。この例では、試験装置２００の基板載置部２０１の部分のみを示している。図示する状態は、基板載置部２０１に試験動作中の基板１００が載置されている状態を示している。

搬送ロボット１によれば、第１基板格納部１１０の内部に水平方向に格納された基板１００を引き出して試験装置２００に搬送し、試験装置２００で試験が終了した基板１００を第２基板格納部１２０の内部に垂直方向に格納することができる。

（第１ハンドの構成）
図２は、図１に示す第１ハンド２０を示す平面図である。図３は、図２に示す第１ハンド２０の正面図である。図４は、図２に示す第１ハンド２０の側面図である。図５は、図２に示すV－V矢視の断面図である。第１ハンド２０の上下方向は、図３に示す正面視の状態における上下方向とする。

本実施の形態の第１ハンド２０は、平面視がＬ字状に形成された第１ハンド本体２１を有している。第１ハンド本体２１のＬ字状形状を形成する２つの直線状部分の一方には、第１アーム３の第４リンク８に取り付けられる第１取付部２２が設けられている（図では円形部で示す）。第１取付部２２は、第４リンク８に取り付けられて第５軸Ｓ５を中心に回動させられる（図１）。第１取付部２２の近傍には、Ｌ字状形状を形成する２つの直線状部分の他方と平行に突出するように設けられた第１把持部３０と、基板当接部（当接部）３５とが設けられている。第１把持部３０には、基板１００を厚み方向から把持するように、上下方向に近接又は離間して開閉可能な一対の第１把持部材３１が設けられている。一対の第１把持部材３１としては、エアチャック及び電磁チャック等を用いることができる。第１把持部材３１には、一対の第１把持部材３１の間に基板１００が有ることを検知するセンサ３２が設けられている。センサ３２には、例えば、光電センサ（「ビームセンサ」とも呼ばれる）、レーザセンサ、リミットスイッチなどを用いることができる。

第１把持部３０の両側方には、第１把持部材３１で把持する基板１００の端面に当接させる基板当接部３５が設けられている。基板当接部３５は、基板１００の幅寸法内で少なくとも２箇所に設けられる。基板当接部３５は、例えば樹脂材料で形成され、基板１００に当接させても基板１００を傷付けない材料で形成される。

第１把持部３０によれば、後述するように、基板当接部３５を基板１００に当接させ、第１把持部材３１の間に基板１００が有ることをセンサ３２で検知した状態で、第１把持部材３１が閉じられて基板１００が把持される。第１把持部３０によれば、基板１００を基板当接部３５に当接させた状態で把持するため、第１ハンド本体２１の第１取付部２２の中心に対して常に一定の距離Ｈで基板１００を適切に把持することができる。

第１ハンド本体２１のＬ字状形状を形成する２つの直線状部分の他方には、下面に第３把持部４０が備えられている。第３把持部４０は、基板１００を幅方向から把持する一対の第３把持部材４１を有している。第３把持部材４１はＬ字状に形成されている。第３把持部材４１は、それぞれに対して内向きに突出する突出部４１ａを下方部分に含む。Ｌ字状の第３把持部材４１の下方部分を内向きに突出させることで、第３把持部材４１は突出部４１ａによって基板１００を下方から支持できるようにしている。第３把持部材４１は、樹脂材料で形成することができる。一方の第３把持部材４１（図４における右側）は、他方の第３把持部材４１（図４における左側）に向けてシリンダ４２で進退するようになっている。シリンダ４２で一方の第３把持部材４１を進退させることで、基板１００を幅方向から把持することができる。基板１００の幅方向は、第３方向の一例である。

また、第１ハンド本体２１の第３把持部４０と対向する上面には、所定長さの支持部３８が備えられている。支持部３８は、樹脂材料で形成され、基板１００を第１基板格納部１１０などに水平状態で格納するためにスライドさせるときに基板１００を下方から支持して撓みを抑える。

このような第１ハンド２０によれば、後述するように、矩形状の基板１００が第１基板格納部１１０に水平状態で保持されている場合、Ｌ字状の第１ハンド本体２１を第１基板格納部１１０の２辺と平行にして基板当接部３５を基板１００に当接させる。これにより、第１ハンド本体２１に対する基板１００のＹ軸方向の位置決めができ、基板１００を適切な状態で把持して第１基板格納部１１０から引き出すことができる。また、第１ハンド本体２１を第１面内で９０度回転させることで、基板１００の１辺に対して第１把持部３０又は第３把持部４０が向くように姿勢変更できる。よって、簡単な制御で第１把持部３０と第３把持部４０とを使い分けることができる。

（第２ハンドの構成）
図６は、図１に示す第２ハンド５０を示す平面図である。図７は、図６に示す第２ハンド５０の側面図である。図８は、図６に示す第４把持部７０の動作を示すVIII矢視の側面図である。

本実施の形態の第２ハンド５０は、平面視がＬ字状に形成された第２ハンド本体５１を有している。第２ハンド本体５１のＬ字状形状を形成する２つの直線状部分の一方には、第２アーム４の第４リンク８に取り付けられる第２取付部５２が設けられている（図では円形部で示す）。第２取付部５２は、第４リンク８に取り付けられて第５軸Ｓ５を中心に回動させられる（図１）。

第２ハンド本体５１のＬ字状形状を形成する２つの直線状部分の他方には、下面に第２把持部６０が備えられている。第２把持部６０は、基板１００を幅方向から把持する一対の第２把持部材６１を有している。第２把持部材６１はＬ字状に形成されている。第２把持部材６１は、それぞれに対して内向きに突出する突出部６１ａを下方部分に含む。Ｌ字状の第２把持部材６１の下方部分を内向きに突出させることで、突出部６１ａが基板１００を下方から支持する支持部となっている。第２把持部材６１は、樹脂材料で形成することができる。一方の第２把持部材６１（図７における左側）は、他方の第２把持部材６１（図７における右側）に向けてシリンダ６２で進退するようになっている。シリンダ６２で一方の第２把持部材６１を進退させることで、基板１００を幅方向から把持することができる。

また、第２ハンド本体５１の第２取付部５２の近傍には、基板１００を板厚方向から把持し、基板１００の姿勢を第１面と直交する第２面に変更する第４把持部７０が備えられている。第４把持部７０は、図８に示すように、第２ハンド本体５１に設けられた固定部７２に対して旋回部７３が４５度の角度、つまり、水平面に対する４５度の傾斜面内で回転するように構成されている。旋回部７３には、近接又は離間して開閉可能な一対の第４把持部材７１が設けられている。一対の第４把持部材７１の間には、基板１００が有ることを検知するセンサ７４が設けられている。一対の第４把持部材７１としては、エアチャック及び電磁チャック等を用いることができる。第４把持部７０としては、例えばロータリーチャックを用いることができる。また、第４把持部材７１では、基板１００を把持する先端部分が幅方向に広くなっており（図６）、基板１００の周囲端部を広い面で把持するようになっている。一方の第４把持部材７１には、後述するように基板１００を把持するときに基板１００の中央方向を下方から支持して撓みを抑える支持部材７５が設けられている。この第４把持部７０によれば、固定部７２に対して旋回部７３を１８０度旋回させることで、第４把持部材７１で横向きに把持した基板１００を縦向きに姿勢変更することができる（二点鎖線）。

このような第２ハンド５０によれば、後述するように、第１基板格納部１１０に格納されている基板１００を第１ハンド２０で引き出し、第２把持部６０の第２把持部材６１で幅方向から把持することでＸ軸方向の位置決めができる。このように、第１ハンド２０と協動して基板１００を適切に搬送することができる。また、第２ハンド本体５１を第１面内で９０度回転させることで、基板１００に対する第２把持部６０と第４把持部７０との向きを変更することができ、簡単な制御で第２把持部６０と第４把持部７０とを使い分けることができる。

さらに、第４把持部７０によって、第１面で搬送する基板１００の向きを直交する第２面に姿勢変更できる。これにより、例えば、検査前の基板１００と検査後の基板１００とを向きを異ならせる必要がある場合など、適切に対応することができる。

（基板の第１基板格納部からの引き出し例）
図９は、図２に示す第１ハンド２０と図６に示す第２ハンド５０とを用いて第１基板格納部１１０から基板１００を搬送する前の状態を示す平面図である。図１０は、図９に示す状態から基板１００を引き出すために把持した状態を示す平面図である。図１１は、図１０に示す状態から基板１００を所定位置まで引き出した状態を示す平面図である。図１２は、図１１に示すXII－XII矢視の断面図である。図１３は、図１１に示す第２ハンド５０で基板１００を幅方向から把持した状態を示す平面図である。

図９に示すように、第２ハンド５０によって第２把持部６０が第１基板格納部１１０の所定位置に配置される。この所定位置は、第１基板格納部１１０から引き出す基板１００を第２把持部６０に設けられた第２把持部材６１の内向きの突出部６１ａで支持し、突出部６１ａ上を滑らせることができる位置である。また、第１ハンド２０の第１把持部３０が第１基板格納部１１０の所定位置に配置される。この所定位置は、第２ハンド５０の下方であって、第１把持部３０で第１基板格納部１１０から引き出す基板１００を把持できる位置である。しかも、当該所定位置は、基板当接部３５が基板１００の幅寸法内であって第２把持部材６１の間に位置し、第１基板格納部１１０から引き出す基板１００に当接させることができる位置である。

次に、図１０に示すように、第１ハンド２０が基板１００に向けて進出させられる。これにより、一対の第１把持部材３１の間に基板１００が位置した状態で、基板当接部３５が基板１００に当接する。基板１００に対して離間した基板当接部３５を当接させることで、第１ハンド本体２１に対する基板１００の向き及び位置を決めることができる。この状態では、第１把持部材３１に設けられたセンサ３２によって基板１００が検知される。そして、第１把持部材３１が閉じられて基板１００が板厚方向から把持される。

次に、図１１及び図１２に示すように、第１把持部３０で基板１００を把持した第１ハンド２０により、基板１００が第１基板格納部１１０から引き出される。基板１００は、第２把持部材６１による把持位置まで引き出される。このとき、基板１００は、第２ハンド５０の第２把持部材６１の内向きに突出する突出部６１ａによって両側部が下方から支持された状態で滑りながら引き出される。

次に、図１３に示すように、基板１００が第１基板格納部１１０から所定量（例えば、基板１００の中央部分が第２把持部材６１の位置となる量）引き出されると、第１把持部材３１が開かれ、第２把持部材６１が閉じられて基板１００がその幅方向における両側部から把持される。このように、第１ハンド２０と第２ハンド５０とを用いれば、第１基板格納部１１０に水平方向に保持されている基板１００を安定して引き出すことができる。

（基板の試験装置への搬送）
図１４は、第２ハンド５０で基板１００を把持した状態の搬送ロボット１を示す平面図である。図１５は、図１４に示す搬送ロボット１で試験装置２００に基板１００を搬送する動作を示す平面図である。図１６は、図１５に示す搬送ロボット１で試験装置２００の基板１００を入れ替える状態を示す平面図である。図１７は、図１６に示す搬送ロボット１で試験装置２００から外した基板１００を第２基板格納部１２０に格納する前の状態を示す平面図である。

図１４に示すように、第２ハンド５０で第１基板格納部１１０から基板１００を引き出した搬送ロボット１は、図１５に示すように、第１アーム３及び第２アーム４を試験装置２００の方向に向ける。そして、第１ハンド２０の第３把持部４０によって、試験装置２００に配置されている他の基板１００（試験終了した基板１００）が把持される。その後、図１６に示すように、第１ハンド２０の第３把持部４０で把持された基板１００が試験装置２００から退避させられる。そして、第２ハンド５０の第２把持部６０で把持されている基板１００が、試験装置２００の基板載置部２０１に配置される。

その後、図１７に示すように、第１アーム３及び第２アーム４が第２基板格納部１２０の方向に向けられる。これにより、第２ハンド５０が試験装置２００から退避させられて、試験装置２００によって新たな基板１００の試験動作が開始される。また、試験動作と並行して、第１ハンド２０の第３把持部４０で把持されている基板１００を、第２ハンド５０と協動して第２基板格納部１２０に格納することができる。

（基板の第２基板格納部への格納例）
図１８は、図１７に示す基板１００を第２ハンド５０に持ち替える状態を示す平面図である。図１９は、図１８に示す第２ハンド５０で基板１００の向きを変更した状態を示す平面図である。図２０は、図１９に示すXX矢視の側面図である。図２１は、図１９に示す状態の基板１００を第２基板格納部１２０に格納する状態と、格納した基板１００を取り出す状態とを示す側面図である。

図１８に示すように、第１ハンド２０の第３把持部４０で把持されている基板１００（図１７）の周囲端部が、第２ハンド５０に設けられた第４把持部７０の第４把持部材７１によって把持される。その後、第３把持部４０の第３把持部材４１による基板１００の把持が開放される。そして、図１９に示すように、第４把持部７０の旋回部７３（図８）が１８０度旋回させられて、基板１００の向きが第１平面から第２平面に変更させられる。これにより、図２０に示すように、基板１００は第２ハンド本体５１から下方に向けて垂れ下がった状態となる。

その後、基板１００は第２ハンド５０によって第２基板格納部１２０の所定位置まで搬送されて、図２１に示すように、所定の格納スペースに挿入されて格納される。第２基板格納部１２０に格納された基板１００は、上部が第２基板格納部１２０から突出した状態となる。その後、第４把持部７０の第４把持部材７１による基板１００の把持が開放される。

このように、第１ハンド２０と第２ハンド５０とを用いることで、試験装置２００から取り外した水平状態の基板１００を、第２基板格納部１２０に垂直状態で格納することができる。なお、第４把持部７０によれば、第２基板格納部１２０に垂直状態で格納した基板１００を取り出すこともできる。

（基板の第２基板格納部から第１基板格納部への移動例）
図２２は、搬送ロボット１の第２ハンド５０で基板１００を引き出し、基板１００の向きを変更して第１基板格納部１１０に格納する前の状態を示す平面図である。図２３は、図２２に示す第２ハンド５０で第１基板格納部１１０に基板１００を格納する前の状態を示す平面図である。図２４は、図２３に示す第２ハンド５０で第１基板格納部１１０に基板１００を格納する状態を示す平面図である。

上記図２１に示すように、基板１００の上部を第２ハンド５０に設けられた第４把持部７０の第４把持部材７１で把持して基板１００を第２基板格納部１２０から上方に取り出した後、図２２に示すように、第４把持部７０の旋回部７３が１８０度旋回させられて基板１００は水平状態にされる。また、第１ハンド２０が第１基板格納部１１０の前方に配置される。そして、第１ハンド本体２１に設けられた支持部３８が、基板１００を支持溝１１３に向けて挿入するときに下面を支持できる所定位置に配置される。

そして、図２３に示すように、第２ハンド５０の第４把持部７０で把持された基板１００の端部が第１ハンド２０の支持部３８に載せられる。その後、図２４に示すように、第２ハンド５０が第１基板格納部１１０に向けて移動させられて、基板１００は支持部３８の上を滑りながら第１基板格納部１１０に格納される。基板１００を所定位置まで格納した後、第４把持部７０の第４把持部材７１による基板１００の把持が開放される。

このように第１ハンド２０と第２ハンド５０とを用いることで、第２基板格納部１２０に垂直方向で格納されている基板１００を、第１基板格納部１１０に水平方向で格納することができる。

（第１ハンドの変形例）
図２５は、図２に示す第１ハンド２０の基板当接部３５と第３把持部４０との位置調節を可能とした例の平面図である。図２６は、図２５の側面図である。上記基板当接部３５は、第１把持部３０の両側方における基板当接部３５の配置間隔を調節できるように構成することができる。このように構成すれば、基板１００の大きさが変更されても、基板当接部３５の配置間隔を基板１００の大きさに応じて調節して適切に対応することができる。また、第３把持部４０（第２把持部６０も同様）も、基板１００の大きさに応じて幅方向の把持間隔を調節できるように構成することができる。このように構成すれば、基板１００の大きさが変更されても、基板１００に応じた把持間隔に変更して適切に把持するようにできる。これらの間隔調節は、例えば、固定ボルト等（図示略）で本体側に固定する位置を変更できるようにすることで対応できる。

（実施の形態１の総括）
以上のように、上記第１ハンド２０及び第２ハンド５０によれば、水平状態で格納された基板１００を第１ハンド２０によって位置決めをし、第１ハンド２０で取り出す基板１００を第２ハンド５０によって下方から支持して水平方向に取り出すことができる。これにより、コンパクトな構成で基板１００などの物品を試験装置２００などの所定位置へ適切に搬送することが可能となる。

また、上記実施の形態１の搬送ロボット１によれば、第１ハンド２０を備えた第１アーム３と第２ハンド５０を備えた第２アーム４とを１つの基台２に備えた１台のロボットであるため、小さな設置スペースで基板１００を適切に搬送することが可能となる。

＜実施の形態２＞
実施の形態２を図面に基づいて説明する。実施の形態２に係る搬送ロボット１Ａでは、搬送ハンドの構成が実施の形態１と異なる。以下、実施の形態２について、実施の形態１と異なる点を中心に説明し、実施の形態１と同様の点の説明を適宜省略する。

（搬送ロボットの構成）
図２７は、実施の形態２に係る搬送ロボット１Ａを示す斜視図である。図２８は、実施の形態２に係る搬送ロボット１Ａを示す平面図である。図２７及び図２８に示すように、実施の形態２に係る搬送ロボット１Ａの構成は、搬送ハンド１０Ａを除き、実施の形態１に係る搬送ロボット１と同様である。搬送ロボット１Ａは、第１アーム３と、第２アーム４と、制御装置９とを備える。第１アーム３及び第２アーム４は、第１軸Ｓ１を中心に水平面内で回動する、つまり同軸上で回動する。さらに、搬送ロボット１Ａは、搬送ハンド１０Ａを、第１アーム３及び第２アーム４それぞれに備える。搬送ハンド１０Ａは、第１アーム３及び第２アーム４それぞれの第４リンク８の先端部に、第５軸Ｓ５（図１参照）を中心に水平方向の第１面内で回動可能に設けられている。

また、本実施の形態では、試験装置２００が、搬送ロボット１Ａの基台２の前方に配置されている。さらに、第１基板格納部１１０Ａ及び１１０Ｂが、試験装置２００の両側に配置されている。第１基板格納部１１０Ａ及び１１０Ｂは、水平方向に延びる桟等で構成される１つ以上の受け部を有し、基板１００を当該受け部上に水平状態で格納する。第１基板格納部１１０Ａは試験前の基板１００を格納し、第１基板格納部１１０Ｂは試験に合格した基板１００を格納する。また、第３基板格納部１３０が、試験装置２００と第１基板格納部１１０Ｂとの間に配置され、試験に不合格であった基板１００を受け入れる。第３基板格納部１３０は、基板１００を収容できればいかなる構成であってもよい。

第１基板格納部１１０Ａは、背部に押出シリンダ１１０Ａａを備える。押出シリンダ１１０Ａａは、格納されている基板１００を搬送ロボット１Ａに向かって押し出す。押出シリンダ１１０Ａａは、１つの基板１００を押し出してもよく、複数の基板１００を一緒に押し出してもよい。また、押出シリンダ１１０Ａａを上下に移動させる移動装置１１０Ａｂが設けられてもよい。これに限定されないが、押出シリンダ１１０Ａａ及び移動装置１１０Ａｂは、制御装置９によって制御される。制御装置９は、第１アーム３、第２アーム４及び搬送ハンド１０Ａの動作とリンクさせて、押出シリンダ１１０Ａａ及び移動装置１１０Ａｂの動作を制御する。

本実施の形態に係る搬送ハンド１０Ａは単独で、第１基板格納部１１０Ａに格納された基板１００を水平状態で引き出し把持することができる。さらに、搬送ハンド１０Ａは単独で、把持している基板１００を水平状態で第１基板格納部１１０Ｂ内に挿入し載置することができる。また、搬送ハンド１０Ａは単独で、把持している基板１００を、試験装置２００及び第３基板格納部１３０に配置することができる。

（搬送ハンドの構成）
図２９は、実施の形態２に係る搬送ハンド１０Ａを示す斜視図である。図２９に示すように、搬送ハンド１０Ａは、ハンド本体１１Ａと、取付部１２Ａと、接続部１３Ａとを備える。ハンド本体１１Ａは、ベース１１Ａａと、第１把持部３０Ａと、第２把持部６０Ａとを有する。ベース１１Ａａは、アーム３又は４の第４リンク８（図２８参照）から搬送ハンド１０Ａの長手方向Ｄ１ａに延びる部材である。方向Ｄ１ｂは方向Ｄ１ａと反対方向である。第２把持部６０Ａは、ベース１１Ａａの先端部に配置され、第１把持部３０Ａは、第２把持部６０Ａよりもベース１１Ａａの基部つまり第４リンク８に近い位置に配置されている。

取付部１２Ａは、ハンド本体１１Ａを取り付け対象である第４リンク８に取り付ける。具体的には、取付部１２Ａは、接続部１３Ａを第４リンク８に、第５軸Ｓ５を中心に回動可能に取り付ける。取付部１２Ａは、図示しないアクチュエータを備えてもよく、制御装置９によって当該アクチュエータが制御を受けることで、接続部１３Ａを第４リンク８に対して回動させてもよい。

接続部１３Ａは、ハンド本体１１Ａと取付部１２Ａとを接続する。接続部１３Ａは、取付部１２と接続され且つ方向Ｄ１ａに延びる第１接続部材１３Ａａと、第１接続部材１３Ａａの先端部とベース１１Ａａとを接続する第２接続部材１３Ａｂとを有する。第１接続部材１３Ａａに対して、取付部１２Ａは方向Ｄ２ａに配置され、第２接続部材１３Ａｂは方向Ｄ２ｂに配置されている。方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂは、互いに反対方向であり、方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂに対して交差する方向であり、本実施の形態では直交する。本実施の形態では、ベース１１Ａａは、第２接続部材１３Ａｂに対して下方である方向Ｄ２ｂに位置し、第２接続部材１３Ａｂから垂下する。

第２接続部材１３Ａｂは、フローティング機構を含む。フローティング機構は、ばね、ダンパ及び空気圧又は液圧シリンダ等の緩衝部材（図示せず）を含み、当該緩衝部材を介して第１接続部材１３Ａａとベース１１Ａａとを接続する。さらに、フローティング機構は、緩衝部材の動作を制止する制止装置（図示せず）を含む。制止装置は、電流の印加等によりＯＮ又はＯＦＦ動作し、それにより制止動作又は制止解除動作を行う。そして、制止装置の動作は、制御装置９によって制御される。本実施の形態では、ＯＮ状態のフローティング機構は、方向Ｄ２ｂに垂直な方向での第１接続部材１３Ａａに対するベース１１Ａａの揺動を可能にし、ＯＦＦ状態のフローティング機構は、上記揺動を不可能にする。なお、上述のようなフローティング機構は、既知の技術であるため、その詳細な説明を省略する。

第１把持部３０Ａは、一対の第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂと、第１アクチュエータ３２Ａと、第２アクチュエータ３３Ａとを備えている。第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂは第１アクチュエータ３２Ａに取り付けられ、第１アクチュエータ３２Ａは第２アクチュエータ３３Ａに取り付けられ、第２アクチュエータ３３Ａはベース１１Ａａに取り付けられている。

第２アクチュエータ３３Ａは、第２接続部材１３Ａｂと反対側でベース１１Ａａに固定されている。第２アクチュエータ３３Ａは、方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂに伸縮可能であり、第１アクチュエータ３２Ａを、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂと共に方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂにスライド移動させることができる。本実施の形態では、第２アクチュエータ３３Ａは、空気圧シリンダ、液圧シリンダ又は電気式リニアアクチュエータ等であるが、これに限定されず、第１アクチュエータ３２Ａを方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂにスライド移動させる構成であればよい。例えば、第２アクチュエータ３３Ａは、電気モータと電気モータの回転運動を直線運動に変換する変換機構とを備えた装置等であってもよい。第２アクチュエータ３３Ａは、スライドアクチュエータの一例である。

さらに、本実施の形態では、第２アクチュエータ３３Ａは、複数段のシリンダであり、具体的には、第１シリンダ３３Ａａと第２シリンダ３３Ａｂとを有する。第１シリンダ３３Ａａはベース１１Ａａに固定して取り付けられ、方向Ｄ１ａに伸長し且つ方向Ｄ１ｂに収縮するシリンダロッド３３Ａａａを有する。第２シリンダ３３Ａｂは、シリンダロッド３３Ａａａの先端部に固定して取り付けられ、方向Ｄ１ａに伸長し且つ方向Ｄ１ｂに収縮するシリンダロッド３３Ａｂａを有する。第２シリンダ３３Ａｂは、第１シリンダ３３Ａａよりも方向Ｄ１ａつまり第２把持部６０Ａの近くに位置する。シリンダ３３Ａａ及び３３Ａｂの動作は、制御装置９によって制御される。シリンダ３３Ａａ及び３３Ａｂの作動方式は同じであってもよく異なっていてもよい。

第１アクチュエータ３２Ａは、第２シリンダ３３Ａｂのシリンダロッド３３Ａｂａの先端部に固定して取り付けられている。第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂは、シリンダロッド３３Ａｂａと反対側である方向Ｄ１ａ側で第１アクチュエータ３２Ａに取り付けられている。第１把持部材３１Ａａは、第１把持部材３１Ａｂに対して方向Ｄ２ａに位置し、第１把持部材３１Ａｂと対向している。第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂは、方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂに互いに近接又は離間する開閉動作をするように移動可能であり、基板１００を厚み方向で把持することができる。第１アクチュエータ３２Ａは、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂの少なくとも一方を方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂに動作させる。第１アクチュエータ３２Ａは、エアチャック及び電磁チャック等であるが、これに限定されず、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂの少なくとも一方を方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂに移動させる構成であればよい。第１アクチュエータ３２Ａの動作は、制御装置９によって制御される。基板１００が有することを検知するセンサ３４Ａが、第１把持部材３１Ａａ、第１把持部材３１Ａｂ、又は第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂの間に設けられてもよい。センサ３４Ａは検知信号を制御装置９に出力する。

上述のような第１把持部３０Ａは、第１方向の一例である方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂで基板１００を把持し且つ方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂにスライド移動可能である第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂを有する。第１アクチュエータ３２Ａは、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂに把持動作をさせ、第２アクチュエータ３３Ａは、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂを第１アクチュエータ３２Ａと共にスライド移動させる。

第２把持部６０Ａは、一対の第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂと、支持部材６２Ａと、第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂとを備えている。支持部材６２Ａは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂを、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂで互いに対向させた状態で方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動可能に支持する。方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂは互いに反対方向であり、方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂと異なる方向である。本実施の形態では、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂは、方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂ並びに方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂと垂直であるが、斜めに交差してもよい。方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂは、第２方向の一例である。

支持部材６２Ａは、ベース１１Ａａに固定して取り付けられ、ベース１１Ａａから両側に方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに延びる。本実施の形態では、２つの棒状の支持部材６２Ａが方向Ｄ１ａに離れて配置され、互いに平行に延びる。支持部材６２Ａは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの両方を移動可能に支持するが、一方を固定して支持し、他方を移動可能に支持してもよい。

第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂは、板状の部材であり、ベース１１Ａａを挟んで方向Ｄ３ｂ及びＤ３ａに互いに反対側に配置されている。２つの支持部材６２Ａは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂを貫通する。第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂはそれぞれ、支持部材６２Ａに沿って方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動可能である。２つの離間した支持部材６２Ａは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが支持部材６２Ａを中心として回転することを抑制する。

第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂはそれぞれ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂと接続され、２つの支持部材６２Ａに固定して配置されている。第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂはいずれも、２つの支持部材６２Ａに固定される固定部材６３Ｂａと、固定部材６３Ｂａに固定して配置されるアクチュエータ本体６３Ｂｂとを有する。第３アクチュエータ６３Ａａの固定部材６３Ｂａは、第２把持部材６１Ａａとベース１１Ａａとの間に配置され、アクチュエータ本体６３Ｂｂは、当該固定部材６３Ｂａと第２把持部材６１Ａａとの間に配置され、第２把持部材６１Ａａと接続されている。第３アクチュエータ６３Ａｂの固定部材６３Ｂａは、第２把持部材６１Ａｂとベース１１Ａａとの間に配置され、アクチュエータ本体６３Ｂｂは、当該固定部材６３Ｂａと第２把持部材６１Ａｂとの間に配置され、第２把持部材６１Ａｂと接続されている。第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂは、把持アクチュエータの一例である。

アクチュエータ本体６３Ｂｂは、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに伸縮可能であり、第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂを方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動させる。本実施の形態では、アクチュエータ本体６３Ｂｂは、空気圧シリンダ、液圧シリンダ又は電気式リニアアクチュエータ等であるが、これに限定されず、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂを移動させる構成であればよい。例えば、アクチュエータ本体６３Ｂｂは、電気モータと電気モータの回転運動を直線運動に変換する変換機構とを備えた装置等であってもよい。例えば、変換機構はボールねじ機構であってもよい。この場合、支持部材６２Ａに形成されたねじ溝と、第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂに配置されたナットのねじ溝とがボールを介して螺合し、アクチュエータ本体６３Ｂｂが支持部材６２Ａ又はナットを回転させることで、第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂが移動してもよい。アクチュエータ本体６３Ｂｂの動作は、制御装置９によって制御される。

第３アクチュエータ６３Ａａは、第２把持部材６１Ａａを方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動させ、第３アクチュエータ６３Ａｂは、第２把持部材６１Ａｂを方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動させることができる。第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの少なくとも一方が、互いに接近するように方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動することで、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂは、これらの間で基板１００を把持することができる。

また、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂはそれぞれ、切欠部６４Ａａ及び６４Ａｂを有している。切欠部６４Ａａ及び６４Ａｂはそれぞれ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの方向Ｄ１ａでの中央付近で、２つの支持部材６２Ａの間に位置する。切欠部６４Ａａは、方向Ｄ３ａに向かって窪み且つ方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂに延びるＵ字状断面の溝を形成する。切欠部６４Ａｂは、方向Ｄ３ｂに向かって窪み且つ方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂに延びるＵ字状断面の溝を形成する。

また、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂはそれぞれ、ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂを有している。ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂは、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂのスライド移動方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂに延び且つ互いに対向する。ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間での基板１００の方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂの移動を案内し、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂによって把持される基板１００を位置決めする。ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂはそれぞれ、基板１００の周縁が係合する溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂを有している。ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂ並びに溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂは、方向Ｄ１ａに延びる。ガイド部６５Ａａは第２把持部材６１Ａａから方向Ｄ３ａに突出し、溝６５Ｂａは方向Ｄ３ｂに窪むＵ字状断面の溝を形成する。ガイド部６５Ａｂは第２把持部材６１Ａｂから方向Ｄ３ｂに突出し、溝６５Ｂｂは方向Ｄ３ａに窪むＵ字状断面の溝を形成する。ガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂはそれぞれ、切欠部６４Ａａ及び６４Ａｂには設けられず分断されている。

溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂは、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂで互いに対向し互いに略平行である。溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂは、基板１００の周縁が嵌まることができる形状及び寸法を有し、方向Ｄ２ａ及びＤ２ｂ並びに方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂで基板１００を保持し、方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂで基板１００のスライド移動を許容する。上述のようなガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂの断面形状は横向きのＵ字状であるが、これに限定されず、例えば、上方へ開放されたＬ字状であってもよい。

第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂは、方向Ｄ３ａ及びＤ３ｂに移動し溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂに基板１００の周縁を嵌合させることで、基板１００を所定の位置に保持し且つ両側から把持する。第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂは、溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂに基板１００の周縁を遊嵌させることで、基板１００の方向Ｄ１ａ及びＤ１ｂのスライド移動を可能にする。

（搬送ロボットの動作）
搬送ロボット１Ａの動作を説明する。図２７～図２９に示すように、搬送ロボット１Ａは、制御装置９の制御に従って、以下に説明するように基板１００の試験を行う。まず、制御装置９は、搬送ロボット１Ａの右のアーム４を制御して、第１基板格納部１１０Ａに格納される搬送対象の基板１００に対する所定の位置に、アーム４の搬送ハンド１０Ａを移動させる。次いで、制御装置９は、押出シリンダ１１０Ａａに搬送対象の基板１００を押圧させることで、搬送ハンド１０Ａの第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間に、当該基板１００を押し出させる。

次いで、制御装置９は、搬送ハンド１０Ａに、押し出された基板１００を第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間に水平方向に引き出させ把持させる。次いで、制御装置９は、アーム４及びその搬送ハンド１０Ａに、把持している基板１００を試験装置２００の基板載置部２０１に載置させる。

制御装置９は、当該基板１００の試験の完了後、試験装置２００から試験結果を取得する。制御装置９は、試験結果の取得後、搬送ロボット１Ａの左のアーム３及びその搬送ハンド１０Ａを制御して、基板載置部２０１の基板１００を当該搬送ハンド１０Ａに把持させる。試験結果が不合格である場合、制御装置９は、アーム３及び搬送ハンド１０Ａに、把持している基板１００を第３基板格納部１３０内に配置させる。試験結果が合格である場合、制御装置９は、アーム３及び搬送ハンド１０Ａに、把持している基板１００を第１基板格納部１１０Ｂの前に移動させる。

次いで、制御装置９は、搬送ハンド１０Ａに、把持している基板１００を水平方向にスライド移動させて、第１基板格納部１１０内に挿入させた後、把持を解除する。これにより、試験に合格した基板１００が第１基板格納部１１０Ｂに収容される。

このように、搬送ロボット１Ａは、右のアーム４のみを用いて第１基板格納部１１０Ａから試験装置２００へ基板１００を搬送し、左のアーム３のみを用いて試験装置２００から第３基板格納部１３０又は第１基板格納部１１０Ｂへ基板１００を搬送する。さらに、搬送ロボット１Ａは、アーム３及び４による搬送作業を並行して行うことができる。

（基板の第１基板格納部からの引き出し例）
搬送ハンド１０Ａによる基板１００の第１基板格納部１１０Ａからの引き出し動作の一例を図３０～図４３を参照しつつ説明する。

図３０及び図３１はそれぞれ、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａが、第１基板格納部１１０Ａの搬送対象の基板１００に対して位置決めされた状態を示す平面図及び側面図である。図３１では、第２把持部材６１Ａｂが省略されている。

図３２及び図３３はそれぞれ、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａに対して、第１基板格納部１１０Ａの搬送対象の基板１００が押し出された状態を示す平面図及び側面図である。図３３では、第２把持部材６１Ａｂが省略されている。

図３４及び図３５はそれぞれ、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａの第１把持部３０Ａが、押し出された基板１００を把持する状態を示す平面図及び側面図である。図３４では、第２把持部材６１Ａｂが省略されている。図３６は、図３４及び図３５での第１把持部３０Ａの第１アクチュエータ３２Ａの状態を示す平面図である。

図３７及び図３８はそれぞれ、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａの第１把持部３０Ａが、把持した基板１００を第１基板格納部１１０Ａから引き出す状態を示す平面図及び側面図である。図３８では、第２把持部材６１Ａｂが省略されている。図３９は、図３７及び図３８での第１把持部３０Ａの第２アクチュエータ３３Ａの状態を示す側面図である。図４０は、図３９の第１把持部３０Ａが、引き出された基板１００の把持を解除する状態を示す側面図である。

図４１及び図４２はそれぞれ、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａの第２把持部６０Ａが、引き出された基板１００を把持する状態を示す平面図及び側面図である。図４２では、第２把持部材６１Ａｂが省略されている。

まず、図３０及び図３１に示すように、制御装置９は、搬送ロボット１Ａの右のアーム４を動作させることで、アーム４の搬送ハンド１０Ａを、第１基板格納部１１０Ａの搬送対象の基板１００に対する所定の位置に移動させる。所定の位置は、搬送ハンド１０Ａの第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂのガイド部６５Ａａ及び６５Ａｂの溝６５Ｂａ及び６５Ｂｂと、搬送対象の基板１００とが、水平方向つまり第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂのスライド方向に並び、且つ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが当該基板１００に接近した位置である。なお、基板１００は、第１基板格納部１１０Ａに設けられた、水平方向に延びる桟等で構成される受け部１１０Ａｃ上に載置されている。１つの受け部１１０Ａｃには、２つの基板１００が水平方向であるＹ軸方向に一列に配置されている。

ここで、本実施の形態において、第１基板格納部１１０Ａに対してＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向を定義する。具体的には、押出シリンダ１１０Ａａの伸長方向であり且つ水平方向をＹ軸負方向とし、Ｙ軸負方向の反対方向をＹ軸正方向とする。さらに、鉛直上方向をＺ軸正方向とし、鉛直下方向をＺ軸負方向とする。また、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に垂直である１つの水平方向をＸ軸正方向とし、Ｘ軸正方向の反対方向をＸ軸負方向とする。

上記所定の位置において、制御装置９は、以下のように搬送ハンド１０Ａの姿勢を制御する。具体的には、当該姿勢では、搬送ハンド１０Ａの方向Ｄ３ａはＸ軸正方向と略平行であり、方向Ｄ３ｂはＸ軸負方向と略平行である。方向Ｄ１ａはＹ軸正方向と略平行であり、方向Ｄ１ｂはＹ軸負方向と略平行である。方向Ｄ２ａはＺ軸正方向と略平行であり、方向Ｄ２ｂはＺ軸負方向と略平行である。

次いで、図３２及び図３３に示すように、制御装置９は、押出シリンダ１１０Ａａに搬送対象の基板１００を押圧させることで、当該基板１００をＹ軸負方向に所定量押し出させる。例えば、制御装置９は、基板１００の端部がＹ軸方向の基準位置である基準面ＰＹに到達するまで押出シリンダ１１０Ａａに押圧させる。基準面ＰＹはＸＺ平面に平行な面である。

制御装置９は、基準面ＰＹへの到達を、押出シリンダ１１０Ａａのストローク量、又は、第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂに配置された基板１００を検出するセンサ（図示せず）の検出信号に基づき、判定してもよい。当該センサは、センサ３４Ａと同様のセンサであってもよくカメラ等であってもよい。制御装置９は、カメラで撮像された画像を処理し解析することで、基板１００の位置を検出してもよい。これにより、基板１００の一部は、ガイド部６５Ａａ又は６５Ａｂの溝６５Ｂａ又は６５Ｂｂに周縁が嵌まった状態で、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間に位置する。本例では、第２把持部材６１Ａａが基準の把持部材とされ、基板１００の周縁は、溝６５Ｂａに嵌まり第２把持部材６１Ａａに隣接する。

次いで、図３４及び図３５に示すように、制御装置９は、第１把持部３０Ａの第２アクチュエータ３３Ａを伸長させることで、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂの間に基板１００の周縁を嵌め込む。このとき、図３６に示すように、制御装置９は、シリンダ３３Ａａ及び３３Ａｂを伸長させる。例えば、制御装置９は、第２シリンダ３３Ａｂを最大限に伸長させ、第１シリンダ３３Ａａを、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂの間に基板１００の周縁が入り込むまで伸長させる。制御装置９は、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂに対する基板１００の位置を、シリンダ３３Ａａ及び３３Ａｂのストローク量、又は、センサ３４Ａの検出信号に基づき、検出してもよい。

さらに、制御装置９は、第１アクチュエータ３２Ａを動作させることで、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂに閉動作させ、基板１００を把持させる。本例では、第１把持部材３１Ａａは、第１把持部材３１Ａｂの上方であるＺ軸正方向に位置し、制御装置９は、第１把持部材３１Ａａのみを第１把持部材３１Ａｂに向かって移動させるが、これに限定されない。移動しない第１把持部材３１Ａｂは、把持の有無に関わらず、基板１００の上下方向の位置を保持することができる。

次いで、図３７及び図３８に示すように、制御装置９は、第１シリンダ３３Ａａを収縮させることで、基板１００をガイド部６５Ａａによって案内されつつ方向Ｄ１ｂへスライド移動させる。このとき、図３９に示すように、制御装置９は、第２シリンダ３３Ａｂの伸長状態を維持したまま、第１シリンダ３３Ａａのみを収縮させる。上記スライド移動により、基板１００の略全体が、受け部１１０Ａｃから引き出され第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間に位置するが、図３７及び図３８に示すように基板１００の端部が受け部１１０Ａｃの上に載っていてもよい。制御装置９は、第１シリンダ３３Ａａのストローク量、又は、第２把持部材６１Ａａ又は６１Ａｂに配置された基板１００を検出するセンサ（図示せず）の検出信号に基づき、基板１００の方向Ｄ１ｂでの位置を検出してもよい。

次いで、図４０に示すように、制御装置９は、第１把持部材３１Ａａを第１把持部材３１Ａｂから離すように方向Ｄ２ａに移動させることで、基板１００の把持を解除する。このとき、基板１００は、不動の第１把持部材３１Ａｂによって下方から支持されるため、上下方向の位置を維持することができる。

次いで、図４１及び図４２に示すように、制御装置９は、第２把持部材６１Ａｂの第３アクチュエータ６３Ａｂを収縮させることで、第２把持部材６１Ａｂを基板１００及び第２把持部材６１Ａａに向かって方向Ｄ３ｂに移動させる。制御装置９は、基板１００の方向Ｄ３ｂの周縁がガイド部６５Ａａの溝６５Ｂａに当接し、基板１００の方向Ｄ３ａの周縁がガイド部６５Ａｂの溝６５Ｂｂに嵌まり当接するまで、第２把持部材６１Ａｂを移動させる。これにより、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが基板１００の両側の周縁を把持する。第２把持部材６１Ａａは移動されないため、基板１００は、方向Ｄ３ａにおいて、第２把持部材６１Ａａを基準とする基準位置である基準面ＰＸに位置決めされる。基準面ＰＸはＹＺ平面に平行な面である。このとき、制御装置９は、シリンダ３３Ａａ及び３３Ａｂの伸長状態を図４０の状態に維持したまま、第３アクチュエータ６３Ａｂのみを収縮させる。

制御装置９は、第２把持部材６１Ａｂに対する基板１００の位置を、第３アクチュエータ６３Ａｂのストローク量、又は、第２把持部材６１Ａｂに配置された基板１００を検出するセンサ（図示せず）の検出信号に基づき、検出してもよい。

このように、搬送ハンド１０Ａは、第１基板格納部１１０Ａから引きだした基板１００を、搬送ハンド１０Ａにおける所定の位置に位置決めして把持することができる。なお、制御装置９は、第１基板格納部１１０Ａからの基板１００の引き出し動作の間、第２接続部材１３Ａｂのフローティング機構をＯＦＦ状態、つまり固定状態に維持する。

（基板の試験装置への搬送）
まず、試験装置２００の基板載置部２０１の構成を説明する。図４３及び図４４はそれぞれ、実施の形態２に係る試験装置２００の基板載置部２０１を示す側面図及び平面図である。図４５は、基板載置部２０１に基板１００を載置する際の第１把持部３０Ａの第２シリンダ３３Ａｂの状態を示す平面図である。

図４３及び図４４に示すように、基板載置部２０１の上面には、基板１００が載置される所定の領域である載置領域２０１ａが画定されている。載置領域２０１ａは、基板１００と同様に矩形状であり、載置領域２０１ａの形状及び寸法は、基板１００の形状及び寸法に対応する。さらに、基板載置部２０１の上面において、４つのガイド２０２が、載置領域２０１ａの４つの周縁にそれぞれ設けられている。各ガイド２０２は、基板載置部２０１の上面から上方に向かって延びる。各ガイド２０２は、基板載置部２０１の上面から垂直に延びる位置決め部２０２ａと、位置決め部２０２ａから屈曲して載置領域２０１ａの外方に向かって延びる導入部２０２ｂとを含む。４つのガイド２０２は、上方から降ろされる基板１００をテーパ状の導入部２０２ｂを介して受け入れた後に位置決め部２０２ａによって案内することで、基板１００を載置領域２０１ａに対して位置決めする。

搬送ロボット１Ａは、右のアーム４の搬送ハンド１０Ａで把持している基板１００を、以下に説明するように、基板載置部２０１の載置領域２０１ａに載置する。図４３及び図４４に示すように、制御装置９は搬送ハンド１０Ａを、基板載置部２０１の上方に移動させる。具体的には、制御装置９は、搬送ハンド１０Ａが把持している基板１００が、載置領域２０１ａの上方に位置するように、搬送ハンド１０Ａを移動させる。さらに、制御装置９は搬送ハンド１０Ａを下降させる。このとき、制御装置９は、第２接続部材１３Ａｂのフローティング機構をＯＮ状態、つまり揺動状態にする。これにより、搬送ハンド１０Ａは、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの揺動を可能にしつつ、基板１００を下降させる。

第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂによって把持された基板１００は、ガイド２０２の導入部２０２ｂの内側を通って位置決め部２０２ａの内側に降ろされる。例えば、基板１００と位置決め部２０２ａとの間に位置のずれがある場合でも、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが揺動することによって、基板１００は導入部２０２ｂによって案内され、位置決め部２０２ａの内側に至る。よって、基板１００とガイド２０２との干渉が抑制され、基板１００のスムーズな下降が可能になる。

また、基板１００の下降時、対向する２つのガイド２０２が、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの間に位置し、対向する他の２つのガイド２０２が、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが下降する位置に位置する。しかしながら、図４５に示すように、後者のガイド２０２は、下降する第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの切欠部６４Ａａ及び６４Ａｂの内側に入り込み、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂと干渉しない。なお、切欠部６４Ａａ及び６４Ａｂは、ガイド２０２に対して第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂを位置決めするために、用いられてもよい。

また、基板１００の下降時、制御装置９は、第２シリンダ３３Ａｂを収縮させ、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂをガイド２０２から退避させる。これにより、搬送ハンド１０Ａの移動時、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂが基板１００を保持し、ガイド２０２への基板１００の配置時、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂとガイド２０２との干渉が防がれる。

また、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが基板載置部２０１の上面に接触する又は当該上面の近傍に到達すると、制御装置９は、第３アクチュエータ６３Ａａ及び／又は６３Ａｂに伸長動作させることで、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂによる基板１００の把持を解除する。これにより、基板１００が載置領域２０１ａに載置される。

また、基板１００の試験後、搬送ロボット１Ａは、左のアーム３及びその搬送ハンド１０Ａを用いて、載置領域２０１ａに載置された基板１００を第１基板格納部１１０Ｂ又は第３基板格納部１３０に搬送する。搬送ハンド１０Ａが載置領域２０１ａの基板１００を把持する動作は、上記と逆の順序で行われる動作である。このとき、制御装置９は、第２接続部材１３Ａｂのフローティング機構をＯＮ状態としてもよく、ＯＦＦ状態としてもよい。

（基板の第１基板格納部への格納例）
搬送ハンド１０Ａによる基板１００の第１基板格納部１１０Ｂへの格納動作の一例を説明する。搬送ハンド１０Ａによる基板１００の格納動作は、第１基板格納部１１０Ａからの基板１００の引き出し動作の逆の順序の動作と同様である。なお、制御装置９は、第１基板格納部１１０Ｂへの基板１００の格納動作の間、第２接続部材１３Ａｂのフローティング機構をＯＦＦ状態に維持する。

具体的には、制御装置９は、左のアーム３を動作させることで、アーム３の搬送ハンド１０Ａを、第１基板格納部１１０Ｂに対する所定の位置に移動させる。所定の位置は、搬送ハンド１０Ａが把持する基板１００と、基板１００が挿入される第１基板格納部１１０Ｂの受け部とが水平方向に並び、且つ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂが第１基板格納部１１０Ｂに接近した位置である。

次いで、制御装置９は、第１把持部３０の第２アクチュエータ３３Ａに伸長させ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂによって把持されている基板１００の周囲端部を、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂに把持させる。次いで、制御装置９は、第２把持部６０の第３アクチュエータ６３Ａａ及び／又は６３Ａｂに伸長させ、第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂによる基板１００の把持を解除させる。

次いで、制御装置９は、第２アクチュエータ３３Ａに伸長させ、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂによって把持されている基板１００を第１基板格納部１１０Ｂの所定の受け部の上にスライド移動させる。制御装置９は、基板１００を所定量スライド移動させた後、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂに開動作させて、基板１００の把持を解除させる。これにより、基板１００は、第１基板格納部１１０Ｂ内の所定の位置に配置される。その後、制御装置９は、第２アクチュエータ３３Ａを収縮させ、第１把持部材３１Ａａ及び３１Ａｂを所定の位置まで後退させる。

（実施の形態２の総括）
以上のように、上記搬送ハンド１０Ａによれば、第１把持部３０Ａ及び第２把持部６０Ａを備える１つのハンド本体１１Ａによって、水平状態で格納された基板１００を、第１把持部３０Ａを用いてスライド移動させて引き出した後、第２把持部６０Ａを用いて基板１００を把持し搬送することができる。これにより、コンパクトな構成で基板１００等の物品を試験装置２００等の所定位置へ適切に搬送することが可能となる。

また、上記実施の形態２の搬送ロボット１Ａは、搬送ハンド１０Ａを備えたアーム３及び４を１つの基台２に備えた１台のロボットである。よって、小さな設置スペースで基板１００を適切に且つ効率的に搬送することが可能となる。

（その他の実施の形態）
以上、本発明の実施の形態の例について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されない。すなわち、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。例えば、各種変形を実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

例えば、上記した実施の形態１では、１台の搬送ロボット１に第１ハンド２０と第２ハンド５０とを備えさせているが、第１ハンド２０と第２ハンド５０とを異なる多関節ロボットなどに備えさせることもできる。

また、上記した実施の形態１では、第１ハンド２０の第１ハンド本体２１をＬ字状に形成し、第２ハンド５０の第２ハンド本体５１をＬ字状に形成しているが、第１ハンド本体２１及び第２ハンド本体５１の形状はＬ字状に限定されるものではない。

また、上記した実施の形態１における基板当接部３５は、基板１００の周囲に当接させる構成であるが、センサを設けて基板１００を検知するようにしてもよい。

また、上記した実施の形態２では、搬送ロボット１Ａは、２つのアーム３及び４を備えていたが、１つのアームのみを備えてもよく、３つ以上のアームを備えてもよい。例えば、２つのアーム３及び４が異なるロボットに備えさせてもよい。

また、上記した実施の形態２では、アーム３及び４の搬送ハンド１０Ａの両方が、第２接続部材１３Ａｂにフローティング機構を備えていたが、これに限定されない。例えば、試験装置２００の基板載置部２０１に基板１００を載置する動作を行わない左のアーム３の搬送ハンド１０Ａは第２接続部材１３Ａｂにフローティング機構を備えなくてもよい。

また、上記した実施の形態２では、第１把持部３０Ａの第２アクチュエータ３３Ａは、２段のシリンダを備えていたが、これに限定されない。第２アクチュエータ３３Ａは、１段のシリンダを備えてもよく、３段以上のシリンダを備えてもよい。複数段のシリンダを備えることによって、各シリンダを単に伸長又は収縮させるだけで、第２アクチュエータ３３Ａのストローク量を複数段に調整することができる。なお、第２把持部６０Ａの第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂも、複数段のシリンダを備えてもよい。

また、上記した実施の形態２では、第２把持部６０Ａの第２把持部材６１Ａａ及び６１Ａｂの両方が、第３アクチュエータ６３Ａａ及び６３Ａｂによって移動されるように構成されていたが、これに限定されず、一方が固定されていてもよい。

１，１Ａ 搬送ロボット
３ 第１アーム
４ 第２アーム
９ 制御装置
１０，１０Ａ 搬送ハンド
１１Ａ ハンド本体
１２Ａ 取付部
１３Ａ 接続部
２０ 第１ハンド
２１ 第１ハンド本体
２２ 第１取付部
３０，３０Ａ 第１把持部
３１，３１Ａａ，３１Ａｂ 第１把持部材
３３Ａ 第２アクチュエータ（スライドアクチュエータ）
３３Ａａ 第１シリンダ
３３Ａｂ 第２シリンダ
３５ 基板当接部
３８ 支持部
４０ 第３把持部
５０ 第２ハンド
５１ 第２ハンド本体
５２ 第２取付部
６０，６０Ａ 第２把持部
６１，６１Ａａ，６１Ａｂ 第２把持部材
６１ａ 突出部（支持部）
６３Ａａ，６３Ａｂ 第３アクチュエータ６３（把持アクチュエータ）
６５Ａａ，６５Ａｂ ガイド部
７０ 第４把持部
１００ 基板（物品）

Claims (11)

1. 物品を把持して搬送する搬送ハンドのセットであって、
   第１アームに取り付けられる第１取付部を有し、第１面内で回動可能な第１ハンド本体と、前記第１ハンド本体に備えられ、前記物品の端部を厚さ方向である第１方向で把持する第１把持部と、前記第１把持部の両側方における前記物品の幅寸法内で側面の少なくとも２箇所に当接させる当接部と、前記物品を第３方向で両側部から把持する第３把持部と、を有する第１ハンドと、
   第２アームに取り付けられる第２取付部を有し、前記第１面内で回動可能な第２ハンド本体と、前記第２ハンド本体に備えられ、前記物品を幅方向である第２方向で両側部から把持する第２把持部と、を有する第２ハンドと、を備える
   搬送ハンドのセット。
2. 前記第２把持部は、前記第１ハンドの前記第１把持部で把持した前記物品を両側部から把持するように構成されている、
   請求項１に記載の搬送ハンドのセット。
3. 前記第２把持部は、前記第１ハンドの前記第１把持部で把持して前記第１面内で移動させる前記物品を下方から支持する支持部を有している、
   請求項１又は２に記載の搬送ハンドのセット。
4. 前記第２ハンドは、前記物品を厚さ方向である第４方向で把持し、前記物品の姿勢を前記第１面内と直交する第２面内に変更する第４把持部をさらに備えている、
   請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送ハンドのセット。
5. 前記第１ハンド本体はＬ字状に形成され、Ｌ字状の一方に前記当接部と前記第１把持部とが備えられ、Ｌ字状の他方に前記第３把持部が備えられている、
   請求項１～４のいずれか１項に記載の搬送ハンドのセット。
6. 前記第１ハンド本体は、下面に前記第３把持部が配置され、上面に前記物品を下方から支持する支持部が配置されている、
   請求項５に記載の搬送ハンドのセット。
7. 前記第２ハンド本体はＬ字状に形成され、Ｌ字状の一方に前記第２把持部が備えられ、Ｌ字状の他方に前記第４把持部が備えられている、
   請求項４に記載の搬送ハンドのセット。
8. 前記当接部は、前記第１把持部の両側方における配置間隔を調節できるように構成されている、
   請求項１～７のいずれか１項に記載の搬送ハンドのセット。
9. 前記第２把持部及び前記第３把持部は、前記物品の把持間隔を調節できるように構成されている、
   請求項１～８のいずれか１項に記載の搬送ハンドのセット。
10. 請求項１～９のいずれか１項に記載の搬送ハンドのセットと、
    前記第１ハンドが取り付けられた前記第１アームと、
    前記第２ハンドが取り付けられた前記第２アームと、
    前記第１アームの動作と前記第２アームの動作とを制御する制御装置とを備えている、
    搬送ロボット。
11. 前記第１アーム及び前記第２アームは、同軸上で回動するように構成される、
    請求項１０に記載の搬送ロボット。
    

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