JP7141411B2 - フォトニック集積回路をテストするための装置、装置を含む検査システム、及びフォトニック集積回路をテストするための方法 - Google Patents
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Description
[当初請求項1]
フォトニック集積回路(12)をテストするための装置であって、
照明光ビーム(212)を生成するための光源(10;20)と、
前記照明光ビームをフォトニック集積回路(29)上に導くための照明経路であって、照明場所(14)を選択するための走査デバイス(11;25)を含む照明経路と、
前記フォトニック集積回路(12)から来る光(63)を照明光ビーム(212)に対する反応として検出するための検出経路を有する検出デバイス(13)と
を含む、装置。
[当初請求項2]
前記照明経路の瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めるための瞳選択デバイス(22,31)を更に含む、当初請求項1に記載の装置。
[当初請求項3]
前記瞳選択デバイス(22)が第1の調整可能ミラーデバイス(23)と第2の調整可能ミラーデバイス(24)とを含む、当初請求項2に記載の装置。
[当初請求項4]
前記瞳選択デバイス(22,31)が空間光モジュレータ(31)を含む、当初請求項2又は3に記載の装置。
[当初請求項5]
前記空間光モジュレータ(31)は少なくとも2つの照明光ビーム(212A,212B)を生成するようにセットアップされる、当初請求項4に記載の装置。
[当初請求項6]
前記検出デバイスが2D検出器(62)を含む、当初請求項1乃至5のいずれか一項に記載の装置。
[当初請求項7]
前記2D検出器(62)はイメージセンサを含む、当初請求項6に記載の装置。
[当初請求項8]
前記検出デバイス(13)はポイント検出器(73)を含む、当初請求項1乃至7のいずれか一項に記載の装置。
[当初請求項9]
前記検出デバイス(13)は時間ドメインで動作する光学反射率計及び/又は分光計(80)を含む、当初請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
[当初請求項10]
前記検出経路は前記走査デバイスを含む、当初請求項1乃至9のいずれか一項に記載の装置。
[当初請求項11]
前記検出経路は更なる走査デバイス(93)を含む、当初請求項1乃至10のいずれか一項に記載の装置。
[当初請求項12]
当初請求項1乃至11のいずれか一項に記載の装置のためのサンプルホルダ(111)であって、前記フォトニック集積回路(29)のためのレセプタクルと、該レセプタクルのまわりに配置された、該装置へ、又は該装置から光ビームをディフレクトするためのビームディフレクションデバイスとを含む、サンプルホルダ(111)。
[当初請求項13]
前記ビームディフレクションデバイスはプリズム又はミラーを含む、当初請求項12に記載のサンプルホルダ(111)。
[当初請求項14]
当初請求項1乃至11のいずれか一項に記載の装置とともに用いるためのフォトニック集積回路(29)であって、少なくとも1つの導波路平面と、該導波路平面に関して平行な該フォトニック集積回路(29)の表面に配置される少なくとも1つのカップリング格子(100,101)とを含む、フォトニック集積回路(29)。
[当初請求項15]
フォトニック集積回路をテストするための方法であって、
走査デバイスを用いて前記フォトニック集積回路(29)を照明するための照明光ビーム(212)の照明場所を選択することと、
前記フォトニック集積回路から来る検出光を検出することと
を含む方法。
[当初請求項16]
前記照明光ビーム(212)に対する照明経路の瞳平面(211)内で前記照明光ビーム(212)の位置をセットすることにより前記光ビームの入力カップリング角度を選択することを更に含む、当初請求項15に記載の方法。
[当初請求項17]
前記検出光(63)に対する検出場所を選択することを更に含む、当初請求項15又は16に記載の方法。
照明光ビームを生成するための光源と、
照明光ビームをフォトニック集積回路上に導く(steer)ための照明経路(illumination path)であって、照明場所を選択するための走査デバイス(scanning device)を含む照明経路と、
フォトニック集積回路から来る検出光(特に、カップルアウトされる(coupled out)、反射される、及び/又は散乱される)を照明光ビームに対する反応(すなわち、フォトニック集積回路から来る検出光)として検出するための検出経路を有する検出デバイスと
を含む。
走査デバイスを用いてフォトニック集積回路を照明するための照明光ビームの照明場所を選択することと、
フォトニック集積回路から来る検出光を検出することと
を含む。
Claims (16)
- フォトニック集積回路(12;29)をテストするための装置であって、
照明光ビーム(212)を生成するための光源(10;20)と、
前記照明光ビームをフォトニック集積回路(12;29)上に導くための照明経路であって、照明場所(14)を選択するための走査デバイス(11;25)を含む照明経路と、
前記フォトニック集積回路(12;29)から来る光(63)を照明光ビーム(212)に対する反応として検出するための検出経路を有する検出デバイス(13)と
を含み、
前記走査デバイス(11;25)は、前記光源(10;20)から前記フォトニック集積回路(12;29)までの前記照明経路内に与えられ、
前記装置は、前記照明経路の瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めるための瞳選択デバイス(22,31)を更に含み、前記瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めることにより、前記フォトニック集積回路(12;29)を照明するための照明角度が調整される、
装置。 - 前記瞳選択デバイス(22,31)が第1の調整可能ミラーデバイス(23)と第2の調整可能ミラーデバイス(24)とを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記瞳選択デバイス(22,31)が空間光モジュレータ(31)を含む、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記空間光モジュレータ(31)は少なくとも2つの照明光ビーム(212A,212B)を生成するようにセットアップされる、請求項3に記載の装置。
- 前記検出デバイスが2D検出器(62)を含む、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記2D検出器(62)はイメージセンサを含む、請求項5に記載の装置。
- 前記検出デバイス(13)はポイント検出器(73)を含む、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出デバイス(13)は時間ドメインで動作する光学反射率計及び/又は分光計(80)を含む、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出経路は前記走査デバイスを含む、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出経路は更なる走査デバイス(93)を含む、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の装置。
- サンプルホルダ(111)であって、前記フォトニック集積回路(12;29)のためのレセプタクルと、該レセプタクルのまわりに配置された、前記装置へ、又は該装置から光ビームをディフレクトするためのビームディフレクションデバイスとを含む、サンプルホルダ(111)を更に備えた、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ビームディフレクションデバイスはプリズム又はミラーを含む、請求項11に記載の装置。
- 請求項1乃至12のいずれか一項に記載の装置と、
フォトニック集積回路(12;29)であって、少なくとも1つの導波路平面と、該導波路平面に関して平行な該フォトニック集積回路(12;29)の表面に配置される少なくとも1つのカップリング格子(100,101)とを含む、フォトニック集積回路(12;29)と
を含む、検査システム。 - フォトニック集積回路(12;29)をテストするための方法であって、
光源(10;20)から前記フォトニック集積回路(12;29)までの照明経路内に与えられる走査デバイスを用いて、前記フォトニック集積回路(12;29)を照明するための、該光源(10;20)によって生成される照明光ビーム(212)の照明場所を選択することと、
前記フォトニック集積回路(12;29)から来る検出光(63)を検出することと
を含み、
前記方法は、瞳選択デバイス(22,31)を用いて、前記照明経路の瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めることを更に含み、前記瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めることにより、前記フォトニック集積回路(12;29)を照明するための照明角度が調整される、
方法。 - 前記照明光ビーム(212)に対する前記照明経路の前記瞳平面(211)内で前記照明光ビーム(212)の位置をセットすることにより前記照明光ビーム(212)の入力カップリング角度を選択することを更に含む、請求項14に記載の方法。
- 前記検出光(63)に対する検出場所を選択することを更に含む、請求項14又は15に記載の方法。
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