JP7140905B2 - 光学素子の表面形状を評価する方法及び装置 - Google Patents
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Description
φ1=0.5・(φ1+φ2)-0.5・(φ1,k+φ2,k)+φ1,k (5)
に従って、用いられた2つの入力偏光の対応する平均値への変換に利用され得る。この場合、φ1及びφ2は2つの相互に直交する入力偏光を示し、添字kは事前較正を表す。
Claims (13)
- 光学素子の表面形状を評価する方法であって、干渉試験装置により実行される少なくとも1回のインターフェログラム測定で、前記光学素子で反射した試験波を前記光学素子で反射しない参照波と重畳させる方法において、
それぞれ直線入力偏光又はそれぞれ円入力偏光を有する電磁放射を用いた少なくとも2回のインターフェログラム測定に基づいて、前記光学素子の面形状を判定し、前記2回のインターフェログラム測定の前記入力偏光は相互に異なり、且つ
前記2回のインターフェログラム測定に用いられる前記入力偏光は、参照波及び試験波が共通して通過する前記干渉試験装置の領域における前記干渉試験装置の偏光効果を記述するジョーンズ行列の固有ベクトルの方向に偏光方向が対応する方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定の前記入力偏光は、異なる偏光方向を有する直線入力偏光であることを特徴とする方法。
- 請求項1又は2に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定の前記入力偏光は相互に直交することを特徴とする方法。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定中にそれぞれ得られたインターフェログラム位相の平均に基づいて、前記光学素子の前記面形状を判定することを特徴とする方法。
- 光学素子の表面形状を評価する方法であって、干渉試験装置により実行される少なくとも1回のインターフェログラム測定で、前記光学素子で反射した試験波を前記光学素子で反射しない参照波と重畳させる方法において、
2回のインターフェログラム測定中にそれぞれ得られたインターフェログラム位相の平均に基づいて、前記光学素子の面形状を判定し、前記2回のインターフェログラム測定の入力偏光は相互に直交し、且つ
前記2回のインターフェログラム測定に用いられる前記入力偏光は、参照波及び試験波が共通して通過する前記干渉試験装置の領域における前記干渉試験装置の偏光効果を記述するジョーンズ行列の固有ベクトルの方向に偏光方向が対応する方法。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定を、前記表面形状に関して評価すべき前記光学素子で実行することを特徴とする方法。
- 請求項1~6のいずれか1項に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定を、前記表面形状に関して評価すべき前記光学素子とは異なる任意の較正試験体での事前較正で実行することを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法において、前記2回のインターフェログラム測定で用いられた前記入力偏光の偏光誘起インターフェログラム位相間の差に基づいて、前記光学素子の前記面形状を判定し、前記差は前記事前較正に基づいて確認されることを特徴とする方法。
- 請求項7又は8に記載の方法において、前記事前較正は、円入力偏光を有する電磁放射を用いた少なくとも1回のインターフェログラム測定を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1~9のいずれか1項に記載の方法において、前記光学素子はミラーであることを特徴とする方法。
- 請求項1~10のいずれか1項に記載の方法において、前記光学素子は、30nm未満、特に15nm未満の作動波長用に設計されることを特徴とする方法。
- 請求項1~11のいずれか1項に記載の方法において、前記光学素子はマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学素子であることを特徴とする方法。
- 光学素子、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学素子の表面形状を評価する干渉試験装置であって、
少なくとも1回のインターフェログラム測定で、光学素子で反射した試験波を前記光学素子で反射しない参照波と重畳させる回折構造と、
それぞれ直線入力偏光又はそれぞれ円入力偏光を有する電磁放射を用いた少なくとも2回のインターフェログラム測定に基づいて、前記光学素子の面形状を判定する評価装置であって、前記2回のインターフェログラム測定の前記入力偏光は相互に異なる、前記評価装置と、を備え、
前記2回のインターフェログラム測定に用いられる前記入力偏光は、参照波及び試験波が共通して通過する前記干渉試験装置の領域における前記干渉試験装置の偏光効果を記述するジョーンズ行列の固有ベクトルの方向に偏光方向が対応する、干渉試験装置。
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