JP7139363B2 - 導波管の内外に光を選択的に結合するための統合memsスイッチ - Google Patents
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Description
本願は、2017年6月7日に出願され“Integrated MEMS Switches for Selectively Coupling Light In and Out of a Waveguide”と題された米国仮特許出願第62/516,602号の利益を主張するものであり、その全体の内容は、あらゆる目的のために参照により本明細書中に援用される。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
パーティション化された光学スイッチであって、
複数の光学スイッチアレイであって、前記複数の光学スイッチアレイの各光学スイッチアレイは、個別の共通ポートと、前記複数の光学スイッチアレイの他の光学スイッチアレイの他のポートから明確に異なる個別の複数の他のポートとを有し、前記複数の光学スイッチアレイの各光学スイッチアレイは、
前記個別の共通ポートに光学的に結合される個別の導波管と、
前記個別の導波管に沿って配置される個別の複数の光学スイッチであって、前記複数の光学スイッチの各光学スイッチは、前記個別の導波管と前記個別の複数の他のポートの個別のポートとの間に光学的に結合され、前記複数の光学スイッチの各光学スイッチは、
少なくとも2つの位置の間で平行移動するように構成される個別の平行移動可能な光学格子であって、前記少なくとも2つの位置の第1の位置は、少なくとも約25%の結合効率を伴って前記個別の導波管と光学的に結合するように、前記個別の導波管に十分に近接し、前記少なくとも2つの位置の第2の位置は、最大で約5%の結合効率を伴って前記個別の導波管と光学的に結合するように、前記個別の導波管から十分に離れている、個別の平行移動可能な光学格子と、
前記個別の平行移動可能な光学格子を前記第1の位置および前記第2の位置で選択的に平行移動させるように構成される個別のMEMS構造と
を備える、個別の複数の光学スイッチと
を備える、複数の光学スイッチアレイ
を備える、パーティション化された光学スイッチ。
(項目2)
集合的に、前記複数の光学スイッチアレイの複数の他のポートは、長方形アレイ内に配列される、項目1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目3)
各複数の他のポートは、長方形アレイ内に配列される、項目1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目4)
各複数の他のポートは、単一の個別の行内に配列される、項目1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目5)
各共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機をさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目6)
各共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機をさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目7)
各共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、各共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目8)
少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機をさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目9)
少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機をさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目10)
少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目11)
共通ポートの第1のセットの各ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、共通ポートの第2のセットの各ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目12)
各個別の複数の他のポートの各他のポートは、自由空間に光学的に結合される、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目13)
前記複数の光学スイッチアレイは、平面状の表面を画定し、前記複数の他のポートは、前記平面状の表面上に配置される、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目14)
前記複数の光学スイッチアレイは、表面を画定し、各個別の複数の光学スイッチの各光学スイッチは、前記個別の光学スイッチが前記第1の位置にあるとき、前記個別の導波管と前記複数の光学スイッチアレイの表面を越えた空間との間で光学的に結合するように構成される、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目15)
前記複数の光学スイッチアレイを自由空間に光学的に結合させるレンズをさらに備える、任意の前述の項目に記載のパーティション化された光学スイッチ。
(項目16)
前記複数の他のポートを前記レンズに光学的に結合させる複数の光ファイバをさらに備える、項目15に記載のパーティション化された光学スイッチ。
Claims (13)
- パーティション化された光学スイッチであって、
レンズと、
複数の光学スイッチアレイであって、前記複数の光学スイッチアレイの各光学スイッチアレイは、個別の共通ポートと、前記複数の光学スイッチアレイの他の光学スイッチアレイの他のポートとは別個の個別の複数の他のポートとを有し、前記複数の光学スイッチアレイの各光学スイッチアレイは、
前記個別の共通ポートに光学的に結合される個別の導波管と、
前記個別の導波管に沿って配置される個別の複数の光学スイッチであって、前記複数の光学スイッチの各光学スイッチは、前記個別の導波管と前記個別の複数の他のポートの個別のポートとの間に光学的に結合され、前記複数の光学スイッチの各光学スイッチは、
少なくとも2つの位置の間で平行移動するように構成される個別の平行移動可能な光学格子であって、前記少なくとも2つの位置のうちの第1の位置は、少なくとも20%の結合効率を伴って前記個別の導波管と光学的に結合するように、前記個別の導波管に十分に近接し、前記少なくとも2つの位置のうちの第2の位置は、最大で6%の結合効率を伴って前記個別の導波管と光学的に結合するように、前記個別の導波管から十分に離れている、個別の平行移動可能な光学格子と、
前記個別の平行移動可能な光学格子を前記第1の位置および前記第2の位置で選択的に平行移動させるように構成される個別のMEMS構造と
を備え、前記複数の光学スイッチアレイは、表面を画定し、各個別の複数の光学スイッチの各光学スイッチは、前記個別の光学スイッチが前記第1の位置にあるときに、前記複数の光学スイッチアレイの前記表面を越えた自由空間と前記個別の導波管との間に前記レンズを介して光学的に結合するように構成されている、個別の複数の光学スイッチと
を備える、複数の光学スイッチアレイと
を備える、パーティション化された光学スイッチ。 - 集合的に、前記複数の光学スイッチアレイの複数の他のポートは、長方形アレイ内に配列される、請求項1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 各複数の他のポートは、長方形アレイ内に配列される、請求項1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 各複数の他のポートは、単一の個別の行内に配列される、請求項1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 各共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機をさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 各共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機をさらに備える、請求項1~5のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 各共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、各共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機をさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機をさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、少なくとも1つの共通ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 共通ポートの第1のセットの各ポートに光学的に結合される個別の光学受信機と、共通ポートの第2のセットの各ポートに光学的に結合される個別の光学伝送機とをさらに備える、請求項1~4のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 前記複数の光学スイッチアレイは、平面状の表面を画定し、前記複数の他のポートは、前記平面状の表面上に配置される、請求項1~11のいずれか一項に記載のパーティション化された光学スイッチ。
- 前記複数の他のポートを前記レンズに光学的に結合させる複数の光ファイバをさらに備える、請求項1に記載のパーティション化された光学スイッチ。
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