JP7138452B2 - Flange mechanism - Google Patents

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Description

本発明は、切削ブレードを切削装置のスピンドルに装着するフランジ機構に関する。 The present invention relates to a flange mechanism for mounting a cutting blade on a spindle of a cutting device.

半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板など板状の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置及び切削加工が広く使われている（例えば、特許文献１参照）。切削ブレードは、砥粒にボンドが固定された切削砥石が薄い環状に形成されたワッシャーブレードと、ハンドリング性を良くするため把持部となる円形基台にワッシャーブレードが固定されたハブブレードと、があり、用途によって選択的に用いられている。 2. Description of the Related Art A cutting apparatus and a cutting process for cutting a plate-like workpiece such as a semiconductor wafer, a resin package substrate, a ceramic substrate, or a glass substrate with a cutting blade are widely used (see, for example, Patent Document 1). The cutting blade consists of a washer blade in which a cutting wheel with a bond fixed to abrasive grains is formed in a thin annular shape, and a hub blade in which the washer blade is fixed to a circular base that serves as a grip for improved handling. It is used selectively depending on the application.

例えば、極薄刃を用いる半導体ウェーハの切削などではハブブレードが用いられ、切削砥石が厚いワッシャーブレードは樹脂パッケージ基板などの切削に用いられる。各種デバイスチップを製造する工場では、１つの切削装置で両方のブレードを使う場合があり、その場合、ワッシャーブレード、ハブブレードそれぞれ専用のフランジ機構を用いている。 For example, hub blades are used for cutting semiconductor wafers using ultra-thin blades, and washer blades with thick cutting wheels are used for cutting resin package substrates and the like. In a factory that manufactures various device chips, there are cases where both blades are used in one cutting device, in which case a dedicated flange mechanism is used for each of the washer blade and hub blade.

そこで、ワッシャーブレードを円形基台に装着してからハブブレード用のフランジ機構に装着する、というアイディアも考案された（例えば、特許文献２参照）。また、軸方向でボス部の直径が変化する形状に形成されて、装着されるハブブレードのかじりを防止するフランジ機構も、提案された（例えば、特許文献３参照）。 Therefore, an idea has been devised to mount the washer blade on the circular base and then mount it on the flange mechanism for the hub blade (see, for example, Patent Document 2). A flange mechanism has also been proposed in which the diameter of the boss portion is changed in the axial direction to prevent galling of the attached hub blade (see, for example, Patent Document 3).

特開２０１２－１３５８３３号公報JP 2012-135833 A 特開平８－３３９９７７号公報JP-A-8-339977 特許第４９１３３４６号公報Japanese Patent No. 4913346

特許文献１に示された切削装置は、一度、スピンドルに装着したフランジ機構を出来るだけ着脱しないで両方のブレードを使用したいという要望があった。また、特許文献２に示された発明は、円形基台に装着する工程が余分に必要になるという課題が残されていた。 In the cutting device disclosed in Patent Document 1, there was a demand to use both blades without detaching the flange mechanism once attached to the spindle as much as possible. In addition, the invention disclosed in Patent Document 2 still has the problem of requiring an extra step of attaching to the circular base.

また、特許文献３に示された発明は、フランジ機構のボス部が、装着されるハブブレードのかじり防止のために軸方向で直径が変化する形状になっているために、両方のブレードを安定して装着することが困難であった。 Further, in the invention disclosed in Patent Document 3, the boss portion of the flange mechanism has a shape in which the diameter changes in the axial direction to prevent galling of the attached hub blades, so both blades are stabilized. It was difficult to put it on.

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、ワッシャーブレードとハブブレードとを交換する際のフランジ機構の着脱を極力抑制することを可能とするフランジ機構を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a flange mechanism capable of minimizing attachment and detachment of the flange mechanism when replacing washer blades and hub blades. do.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のフランジ機構は、挿入孔を有し環状に形成された円形基台と該円形基台の外周から突出する環状の切り刃とを有するハブブレードを切削装置のスピンドルに固定し、中央に開口を有する環状のワッシャーブレードも固定可能なフランジ機構であって、先端部の外周に雄ねじを有する円柱状のボス部と、該ボス部の軸方向後端から半径方向外側に突出し該円形基台の側面を支持するフランジ部と、を備えた受けフランジと、該ボス部の該雄ねじに螺合し、該ハブブレードの該円形基台を該フランジ部と挟持して該受けフランジに固定するナットと、該ワッシャーブレードの直径より小さく該フランジ部の直径より大きい直径で該ボス部が挿通する開口をそれぞれ有する第１の環状部材と第２の環状部材とを備え、該第１の環状部材と該第２の環状部材とで該ワッシャーブレードを両面から挟持した状態で該開口に該ボス部を挿通し、該ナットで該受けフランジに固定するワッシャーブレード挟持ユニットと、を有し、一方の該環状部材は、該ワッシャーブレードの内周を支持する段差部を有し、他方の該環状部材は、該段差部が嵌合する凹部を備えていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the flange mechanism of the present invention comprises a circular base having an insertion hole and an annular cutting edge protruding from the outer periphery of the circular base. A flange mechanism that can fix a hub blade having a hub blade to a spindle of a cutting device and can also fix an annular washer blade having an opening in the center, comprising a cylindrical boss portion having a male thread on the outer periphery of the tip portion, and the boss portion a receiving flange that protrudes radially outward from the axial rear end and supports the side surface of the circular base; A nut sandwiched between the flange portion and fixed to the receiving flange; a first annular member and a second annular member each having an opening with a diameter smaller than the diameter of the washer blade and larger than the diameter of the flange portion through which the boss portion is inserted; The boss portion is inserted into the opening while the washer blade is sandwiched from both sides by the first annular member and the second annular member, and fixed to the receiving flange with the nut. and a washer blade clamping unit , one of which has a stepped portion for supporting the inner circumference of the washer blade, and the other of the annular members has a recessed portion into which the stepped portion is fitted. It is characterized by

前記フランジ機構において、一方の該環状部材は、該ボス部が挿通する筒状部と、該筒状部の後端から半径方向外側に突出する後ろフランジ部、を備え、他方の該環状部材は中央の開口に該筒状部が嵌合し、該ワッシャーブレード挟持ユニットは該筒状部の内周で該ボス部に支持されても良い。 In the flange mechanism, one of the annular members has a tubular portion through which the boss portion is inserted, and a rear flange portion that protrudes radially outward from the rear end of the tubular portion. The tubular portion may be fitted into the central opening, and the washer blade clamping unit may be supported by the boss portion on the inner periphery of the tubular portion.

前記フランジ機構において、一方の該環状部材の該受けフランジ側の面に、該受けフランジの該フランジ部が収容される円形凹部を有し、固定した該ワッシャーブレードの軸方向での位置を該ハブブレードを固定した際の該切り刃の位置に設定しても良い。 In the flange mechanism, one of the annular members has a circular concave portion on the side of the receiving flange to receive the flange portion of the receiving flange. It may be set to the position of the cutting edge when the blade is fixed.

本願発明のフランジ機構は、ワッシャーブレードとハブブレードとを交換する際のフランジ機構の着脱を極力抑制することを可能とできるという効果を奏する。 The flange mechanism of the present invention has the effect of making it possible to minimize attachment and detachment of the flange mechanism when replacing the washer blade and the hub blade.

図１は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device having a flange mechanism according to Embodiment 1. FIG. 図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットの要部の斜視図である。2 is a perspective view of a main part of a cutting unit of the cutting device shown in FIG. 1. FIG. 図３は、図２に示された切削ユニットのフランジ機構を分解して示す斜視図である。3 is an exploded perspective view showing the flange mechanism of the cutting unit shown in FIG. 2. FIG. 図４は、図２に示された切削ユニットのフランジ機構の断面図である。4 is a cross-sectional view of the flange mechanism of the cutting unit shown in FIG. 2; FIG. 図５は、実施形態１に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。5 is a cross-sectional view of a state in which the washer blade is fixed by the flange mechanism according to the first embodiment. FIG. 図６は、図５に示すフランジ機構を分解して示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing the disassembled flange mechanism shown in FIG. 図７は、実施形態１の変形例に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。7 is a cross-sectional view of a state in which a washer blade is fixed by a flange mechanism according to a modification of Embodiment 1. FIG. 図８は、実施形態２に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a state in which the washer blade is fixed by the flange mechanism according to the second embodiment. 図９は、実施形態２に係るフランジ機構が他のワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a state in which another washer blade is fixed by the flange mechanism according to the second embodiment. 図１０は、実施形態２の変形例に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of a state in which a washer blade is fixed by a flange mechanism according to a modification of the second embodiment.

本発明を実施するための形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 Modes for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
実施形態１に係るフランジ機構を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットの要部の斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットのフランジ機構を分解して示す斜視図である。図４は、図２に示された切削ユニットのフランジ機構の断面図である。 [Embodiment 1]
A flange mechanism according to Embodiment 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device having a flange mechanism according to Embodiment 1. FIG. 2 is a perspective view of a main part of a cutting unit of the cutting device shown in FIG. 1. FIG. 3 is an exploded perspective view showing the flange mechanism of the cutting unit shown in FIG. 2. FIG. 4 is a cross-sectional view of the flange mechanism of the cutting unit shown in FIG. 2; FIG.

実施形態１に係るフランジ機構１は、図１に示す切削装置１００を構成する。切削装置１００は、被加工物２００を切削する装置である。実施形態１において、切削装置１００が切削する被加工物２００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。被加工物２００は、平坦な表面２０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン２０２によって区画された領域にデバイス２０３が形成されている。被加工物２００は、表面２０１の裏側の裏面２０４に粘着テープ２１０が貼着され、粘着テープ２１０の外縁部に環状フレーム２１１が装着されている。また、本発明では、被加工物２００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。 A flange mechanism 1 according to Embodiment 1 constitutes a cutting device 100 shown in FIG. A cutting device 100 is a device that cuts a workpiece 200 . In the first embodiment, the workpiece 200 to be cut by the cutting apparatus 100 is, for example, a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer made of silicon, sapphire, gallium, or the like. A workpiece 200 has devices 203 formed in regions partitioned by a plurality of planned division lines 202 formed in a grid pattern on a flat surface 201 . The workpiece 200 has an adhesive tape 210 adhered to the back surface 204 on the back side of the front surface 201 , and an annular frame 211 is attached to the outer edge of the adhesive tape 210 . In the present invention, the workpiece 200 may be a rectangular package substrate having a plurality of resin-sealed devices, a ceramic plate, a glass plate, or the like.

切削装置１００は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持するとともに回転駆動源により軸心回りに回転可能なチャックテーブル１１０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削加工する切削ユニット１２０と、チャックテーブル１１０をＸ軸方向に移動させる図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット１２０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動ユニット１３０と、切削ユニット１２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動ユニット１４０とを備える。また、切削装置１００は、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット１５０と、切削前後の被加工物２００を収容するカセット１６０と、被加工物をカセット１６０とチャックテーブル１１０と洗浄ユニット１５０との間で搬送する図示しない搬送ユニットと、各構成要素を制御するコンピュータである制御ユニット１７０とを備える。 As shown in FIG. 1 , the cutting apparatus 100 includes a chuck table 110 that sucks and holds a workpiece 200 on a holding surface 111 and is rotatable about an axis by a rotation drive source; A cutting unit 120 for cutting the object 200, an X-axis moving unit (not shown) for moving the chuck table 110 in the X-axis direction, a Y-axis moving unit 130 for moving the cutting unit 120 in the Y-axis direction, and the cutting unit 120 and a Z-axis moving unit 140 that moves in the Z-axis direction. The cutting apparatus 100 also includes a cleaning unit 150 that cleans the workpiece 200 after cutting, a cassette 160 that stores the workpiece 200 before and after cutting, and the cassette 160, the chuck table 110, and the cleaning unit 150 that store the workpiece 200 before and after cutting. and a control unit 170 that is a computer that controls each component.

切削装置１００は、搬送ユニットがカセット１６０内から被加工物２００を１枚取り出してチャックテーブル１１０の保持面１１１に載置する。切削装置１００は、チャックテーブル１１０の保持面１１１に被加工物２００を吸引保持して、切削ユニット１２０から被加工物２００に切削水を供給しながら、Ｘ軸移動ユニット、回転駆動源、Ｙ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０にチャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを分割予定ライン２０２に沿って相対的に移動させて、切削ユニット１２０で被加工物２００の分割予定ライン２０２を切削する。切削装置１００は、被加工物２００の全ての分割予定ライン２０２を切削すると、被加工物２００を洗浄ユニット１５０で洗浄した後にカセット１６０内に収容する。 In the cutting apparatus 100 , the transfer unit takes out one workpiece 200 from the cassette 160 and places it on the holding surface 111 of the chuck table 110 . The cutting apparatus 100 suction-holds the workpiece 200 on the holding surface 111 of the chuck table 110, supplies cutting water to the workpiece 200 from the cutting unit 120, and rotates the X-axis movement unit, the rotation drive source, and the Y-axis. The moving unit 130 and the Z-axis moving unit 140 relatively move the chuck table 110 and the cutting unit 120 along the dividing line 202 , and the cutting unit 120 cuts the dividing line 202 of the workpiece 200 . After cutting all the dividing lines 202 of the workpiece 200 , the cutting device 100 cleans the workpiece 200 with the cleaning unit 150 and stores the workpiece 200 in the cassette 160 .

切削装置１００の切削ユニット１２０は、図２に示すように、筒状に形成されかつＹ軸移動ユニット１３０及びＺ軸移動ユニット１４０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１２１と、スピンドルハウジング１２１内にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル１２２とを備える。また、切削ユニット１２０は、図３及び図４に示すように、スピンドル１２２の先端１２３に固定されるハブブレード１２４と、ブレードカバー１２５と、ハブブレード１２４をスピンドル１２２の先端１２３に固定するフランジ機構１とを備える。 As shown in FIG. 2, the cutting unit 120 of the cutting apparatus 100 is formed in a cylindrical shape and is provided with a spindle housing that is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction by a Y-axis moving unit 130 and a Z-axis moving unit 140. 121 and a spindle 122 rotatably provided in the spindle housing 121 around an axis parallel to the Y-axis direction. 3 and 4, the cutting unit 120 includes a hub blade 124 fixed to the tip 123 of the spindle 122, a blade cover 125, and a flange mechanism fixing the hub blade 124 to the tip 123 of the spindle 122. 1.

スピンドル１２２は、スピンドルハウジング１２１に回転可能に支持されている。スピンドル１２２の先端１２３は、スピンドルハウジング１２１の一端部から外部に突出している。スピンドル１２２の基端部には、スピンドル１２２を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。スピンドル１２２の先端１２３は、先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル１２２は、先端１２３を露出させた状態でスピンドルハウジング１２１内に軸心回りに回転自在に収容されている。 The spindle 122 is rotatably supported by the spindle housing 121 . A tip 123 of the spindle 122 protrudes outward from one end of the spindle housing 121 . A motor (not shown) for rotating the spindle 122 is connected to the base end of the spindle 122 . A tip 123 of the spindle 122 is tapered so that the outer diameter gradually decreases toward the tip. The spindle 122 is housed in the spindle housing 121 so as to be rotatable around the axis with the tip 123 exposed.

ハブブレード１２４は、フランジ機構１を介してスピンドル１２２の先端１２３に固定されて、スピンドル１２２により回転されることで被加工物２００を切削する。ハブブレード１２４は、アルミニウム合金などの金属から構成されかつ挿入孔１２６を有し環状に形成された円形基台１２７と、円形基台１２７の外周から突出する環状の切り刃１２４－１とを有している。 The hub blade 124 is fixed to the tip 123 of the spindle 122 via the flange mechanism 1 and is rotated by the spindle 122 to cut the workpiece 200 . The hub blade 124 has a circular base 127 made of a metal such as an aluminum alloy and having an insertion hole 126 and formed in an annular shape, and an annular cutting edge 124-1 protruding from the outer periphery of the circular base 127. is doing.

挿入孔１２６は、ハブブレード１２４をフランジ機構１に固定するための孔である。切り刃１２４－１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切り刃１２４－１は、図４に示すように、円形基台１２７の平坦な一方の側面１２７－１の外周縁に固定されて、円形基台１２７の外縁より外周方向に突出している。 The insertion hole 126 is a hole for fixing the hub blade 124 to the flange mechanism 1 . The cutting edge 124-1 is made of abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride) and a bonding material such as metal or resin and has a predetermined thickness. As shown in FIG. 4, the cutting edge 124-1 is fixed to the outer peripheral edge of one flat side surface 127-1 of the circular base 127 and protrudes from the outer edge of the circular base 127 in the outer peripheral direction.

ブレードカバー１２５は、スピンドルハウジング１２１に固定され、ハブブレード１２４の上方及びＸ軸方向の少なくとも一方側を覆って、切削加工中に加工液である切削水をハブブレード１２４及び被加工物２００に供給するものである。ブレードカバー１２５は、下端に切削水ノズル１２５－１を一対装着している。切削水ノズル１２５－１は、水平方向に沿ってＸ軸方向に直線状に延びているとともに、互いに平行に配置されている。一対の切削水ノズル１２５－１は、互いの間にハブブレード１２４の下端部を位置付けており、切削加工中にハブブレード１２４及びハブブレード１２４が切削する被加工物２００の切削箇所に切削水を供給する切削水供給孔（図示せず）を複数設けている。 The blade cover 125 is fixed to the spindle housing 121, covers the upper side of the hub blade 124 and at least one side in the X-axis direction, and supplies cutting water, which is a working fluid, to the hub blade 124 and the workpiece 200 during cutting. It is something to do. The blade cover 125 has a pair of cutting water nozzles 125-1 attached to its lower end. The cutting water nozzles 125-1 extend linearly in the X-axis direction along the horizontal direction and are arranged parallel to each other. A pair of cutting water nozzles 125-1 are positioned between the lower ends of the hub blades 124 and apply cutting water to the hub blades 124 and the cutting portion of the workpiece 200 that the hub blades 124 cut during cutting. A plurality of cutting water supply holes (not shown) are provided.

フランジ機構１は、ハブブレード１２４をスピンドル１２２に固定するものである。フランジ機構１は、図３及び図４に示すように、受けフランジ２と、ナット３とを有する。 The flange mechanism 1 fixes the hub blade 124 to the spindle 122 . The flange mechanism 1 has a receiving flange 2 and a nut 3, as shown in FIGS.

受けフランジ２は、スピンドル１２２の先端１２３に固定されるとともに、ハブブレード１２４を支持するものであり、金属製である。受けフランジ２は、先端部である一端部の外周に雄ねじ２１を有するボス部２２と、ボス部２２の軸方向後端である他端部から半径方向外側に突出し円形基台１２７の一方の側面１２７－１を支持するフランジ部２３と、フランジ部２３の後方であるスピンドルハウジング１２１側に形成された円筒部２４とを一体に備える。 The receiving flange 2 is fixed to the tip 123 of the spindle 122 and supports the hub blade 124, and is made of metal. The receiving flange 2 has a boss portion 22 having a male thread 21 on the outer circumference of one end portion, which is a tip portion, and a circular base 127 projecting radially outward from the other end portion, which is an axial rear end portion of the boss portion 22 . 127-1, and a cylindrical portion 24 formed behind the flange portion 23 on the spindle housing 121 side.

また、受けフランジ２は、図３に示すように、フランジ部２３と円筒部２４とに亘ってスピンドル１２２の先端１２３が内側に挿入される挿入孔２５が設けられている。挿入孔２５は、円筒部２４からフランジ部２３に向かうにしたがって徐々に内径が縮小する。挿入孔２５の内周面は、挿入孔２５内に挿入されたスピンドル１２２の先端１２３の外周面に全長に亘って密に重なるように先端１２３の外周面と同じ傾斜のテーパ状に形成されている。 Further, as shown in FIG. 3, the receiving flange 2 is provided with an insertion hole 25 extending over the flange portion 23 and the cylindrical portion 24 and into which the tip end 123 of the spindle 122 is inserted. The inner diameter of the insertion hole 25 gradually decreases from the cylindrical portion 24 toward the flange portion 23 . The inner peripheral surface of the insertion hole 25 is tapered at the same inclination as the outer peripheral surface of the tip 123 of the spindle 122 inserted into the insertion hole 25 so as to tightly overlap the outer peripheral surface of the tip 123 over the entire length. there is

ボス部２２は、外観が円柱状に形成され、かつ内側が挿入孔２５に連通する円筒状に形成されている。ボス部２２は、フランジ部２３寄りの他端部に内径を段階的に縮小させる段差面２６が形成されている。ボス部２２は、軸心方向の全長に亘って外径が一定に形成され、フランジ部２３から離れた側の一端部の外周面に雄ねじ２１が設けられている。 The boss portion 22 has a cylindrical outer appearance and a cylindrical inner side communicating with the insertion hole 25 . The boss portion 22 has a step surface 26 formed at the other end near the flange portion 23 to gradually reduce the inner diameter. The boss portion 22 has a constant outer diameter over the entire length in the axial direction, and a male thread 21 is provided on the outer peripheral surface of one end portion away from the flange portion 23 .

フランジ部２３は、円環状に形成され、ボス部２２に近付くのにしたがって徐々に外径が大きく形成されている。フランジ部２３の大径側の外径２３－１は、ボス部２２の外径よりも大きく形成されている。円筒部２４の外径は、ボス部２２の外径よりも大きく形成されている。フランジ部２３は、外縁部にボス部２２に向かって凸のフランジ受け部２７を備えている。フランジ受け部２７の端面２７－１は、フランジ部２３即ちスピンドル１２２の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。受けフランジ２は、ボス部２２とフランジ部２３と円筒部２４とが同軸に配置されている。 The flange portion 23 is formed in an annular shape and has an outer diameter that gradually increases as it approaches the boss portion 22 . An outer diameter 23 - 1 on the large diameter side of the flange portion 23 is formed larger than the outer diameter of the boss portion 22 . The outer diameter of the cylindrical portion 24 is formed larger than the outer diameter of the boss portion 22 . The flange portion 23 has a flange receiving portion 27 projecting toward the boss portion 22 on its outer edge. An end surface 27 - 1 of the flange receiving portion 27 is formed flat along a direction perpendicular to the axis of the flange portion 23 , that is, the spindle 122 . The receiving flange 2 has a boss portion 22, a flange portion 23, and a cylindrical portion 24 coaxially arranged.

受けフランジ２は、挿入孔２５内にスピンドル１２２の先端１２３が嵌め込まれ、段差面２６に重ねられたワッシャ４内を通ったボルト５がスピンドル１２２の先端１２３にねじ込まれることにより、スピンドル１２２の先端１２３に固定される。スピンドル１２２の先端１２３に固定された受けフランジ２は、ボス部２２がハブブレード１２４の挿入孔１２６内に通されて、外周面上にハブブレード１２４を支持する。 The tip 123 of the spindle 122 is fitted in the insertion hole 25 of the receiving flange 2 , and the bolt 5 passed through the washer 4 superimposed on the step surface 26 is screwed into the tip 123 of the spindle 122 . 123. The receiving flange 2 fixed to the tip 123 of the spindle 122 supports the hub blade 124 on the outer peripheral surface with the boss portion 22 passing through the insertion hole 126 of the hub blade 124 .

ナット３は、円環状に形成され、金属製であるとともに内周面に受けフランジ２のボス部２２の一端部の外周面に設けられた雄ねじ２１と螺合する雌ねじ３１が形成されている。ナット３の外径は、ハブブレード１２４の円形基台１２７の内径よりも大きい。ナット３は、雌ねじ３１が雄ねじ２１に螺合して、ハブブレード１２４の円形基台１２７を受けフランジ２のフランジ部２３と挟持して、ハブブレード１２４を受けフランジ２に固定する。 The nut 3 is formed in an annular shape, is made of metal, and has a female thread 31 formed on its inner peripheral surface to engage with a male thread 21 provided on the outer peripheral surface of one end of the boss portion 22 of the receiving flange 2 . The outer diameter of the nut 3 is larger than the inner diameter of the circular base 127 of the hub blade 124 . The female thread 31 of the nut 3 is screwed into the male thread 21 , and the circular base 127 of the hub blade 124 is held between the flange portion 23 of the receiving flange 2 to fix the hub blade 124 to the receiving flange 2 .

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、図５及び図６に示すように、ワッシャーブレード１２８もスピンドル１２２の先端１２３に固定可能である。図５は、実施形態１に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。図６は、図５に示すフランジ機構を分解して示す断面図である。 Further, in the flange mechanism 1 according to Embodiment 1, the washer blade 128 can also be fixed to the tip 123 of the spindle 122 as shown in FIGS. 5 is a cross-sectional view of a state in which the washer blade is fixed by the flange mechanism according to the first embodiment. FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the disassembled flange mechanism shown in FIG.

ワッシャーブレード１２８は、中央に開口１２９を有して、円環状に形成された切り刃１２８－１を有するとともに、ハブブレード１２４の円形基台１２７に相当する部材を有しないものである。ハブブレード１２４の切り刃１２８－１は、ハブブレード１２４の切り刃１２４－１と同様に、砥粒と、ボンド材とからなり所定厚みに形成されている。 The washer blade 128 has an opening 129 in the center and an annular cutting edge 128 - 1 , and does not have a member corresponding to the circular base 127 of the hub blade 124 . Like the cutting edge 124-1 of the hub blade 124, the cutting edge 128-1 of the hub blade 124 is made of abrasive grains and a bond material and is formed to have a predetermined thickness.

フランジ機構１は、図５及び図６に示すように、ワッシャーブレード挟持ユニット６を備える。ワッシャーブレード挟持ユニット６は、受けフランジ２とナット３とを用いながらもワッシャーブレード１２８をスピンドル１２２の先端１２３に固定するためのものである。ワッシャーブレード挟持ユニット６は、第１の環状部材７と第２の環状部材８とを備える。 The flange mechanism 1 comprises a washer blade clamping unit 6, as shown in FIGS. The washer blade clamping unit 6 is for fixing the washer blade 128 to the tip 123 of the spindle 122 while using the receiving flange 2 and the nut 3 . The washer blade clamping unit 6 comprises a first annular member 7 and a second annular member 8 .

第１の環状部材７及び第２の環状部材８は、それぞれ、円環状に形成され、一方の側面７１，８１から他方の側面７２，８２に向かうにしたがって徐々に外径が大きく形成されている。第１の環状部材７及び第２の環状部材８は、直径である大径側の外径７－１，８－１が、ワッシャーブレード１２８の直径である外径１２８－５よりも小さくかつフランジ部２３の直径である大径側の外径２３－１より大きく形成されている。第１の環状部材７の外径７－１と第２の環状部材８の外径８－１とは、同じである。第１の環状部材７及び第２の環状部材８は、ボス部２２が挿通する開口７３，８３をそれぞれ有する。第１の環状部材７及び第２の環状部材８の中央の開口７３，８３の内径７－２，８－２は、ボス部２２の外径と等しく形成されている。 The first annular member 7 and the second annular member 8 are each formed in an annular shape, and the outer diameter is gradually increased from one side surface 71, 81 to the other side surface 72, 82. . The first annular member 7 and the second annular member 8 have outer diameters 7-1 and 8-1 on the large diameter side that are smaller than the outer diameter 128-5 that is the diameter of the washer blade 128 and are flanged. It is formed to be larger than the outer diameter 23-1 on the large diameter side, which is the diameter of the portion 23. As shown in FIG. The outer diameter 7-1 of the first annular member 7 and the outer diameter 8-1 of the second annular member 8 are the same. The first annular member 7 and the second annular member 8 respectively have openings 73, 83 through which the boss portion 22 is inserted. The inner diameters 7-2, 8-2 of the central openings 73, 83 of the first annular member 7 and the second annular member 8 are formed equal to the outer diameter of the boss portion 22. As shown in FIG.

ワッシャーブレード挟持ユニット６は、第１の環状部材７と第２の環状部材８とを他方の側面７２，８２同士が対向する位置に配置させて、第１の環状部材７と第２の環状部材８とでワッシャーブレード１２８の両面１２８－２，１２８－３を挟持した状態で、第１の環状部材７と第２の環状部材８の双方の開口７３，８３内にスピンドル１２２の先端１２３に固定された受けフランジ２のボス部２２を挿通する。そして、ワッシャーブレード挟持ユニット６は、ボス部２２の外周面に形成された雄ねじ２１に雌ねじ３１が螺合したナット３で第１の環状部材７、第２の環状部材８及びワッシャーブレード１２８を受けフランジ２に固定する。 The washer blade clamping unit 6 arranges the first annular member 7 and the second annular member 8 so that the other side surfaces 72 and 82 face each other, and the first annular member 7 and the second annular member 7 are arranged. 8, both sides 128-2 and 128-3 of the washer blade 128 are fixed to the tip 123 of the spindle 122 in the openings 73 and 83 of both the first annular member 7 and the second annular member 8. The boss portion 22 of the received flange 2 is inserted. The washer blade clamping unit 6 receives the first annular member 7, the second annular member 8 and the washer blade 128 with the nut 3 in which the female thread 31 is screwed to the male thread 21 formed on the outer peripheral surface of the boss portion 22. Fix to flange 2.

なお、実施形態１では、第１の環状部材７は、第２の環状部材８よりも受けフランジ２寄りに配置されて、特許請求の範囲に記載された一方の環状部材に相当する。また、第２の環状部材８は、他方の環状部材に相当する。 In the first embodiment, the first annular member 7 is arranged closer to the receiving flange 2 than the second annular member 8, and corresponds to one of the annular members described in the claims. Also, the second annular member 8 corresponds to the other annular member.

第１の環状部材７は、他方の側面７２から第２の環状部材８に向って凸の段差部７４を有する。段差部７４は、円環状に形成され第１の環状部材７の他方の側面７２と同軸に配置され、かつ、外周面がスピンドル１２２の軸心と平行であるとともに、端面７４－１がスピンドル１２２の軸心に対して直交している。段差部７４の外径は、ワッシャーブレード１２８の内径と等しい。段差部７４は、ワッシャーブレード１２８の内側に通されて、外周面上にワッシャーブレード１２８の内周を支持する。 The first annular member 7 has a stepped portion 74 projecting from the other side surface 72 toward the second annular member 8 . The stepped portion 74 is formed in an annular shape and arranged coaxially with the other side surface 72 of the first annular member 7, has an outer peripheral surface parallel to the axis of the spindle 122, and has an end surface 74-1 aligned with the spindle 122. perpendicular to the axis of The outer diameter of stepped portion 74 is equal to the inner diameter of washer blade 128 . The stepped portion 74 passes through the inside of the washer blade 128 and supports the inner periphery of the washer blade 128 on the outer peripheral surface.

また、第１の環状部材７は、受けフランジ２側の面である一方の側面７１に、一方の側面７１から凹に形成されて受けフランジ２のフランジ部２３のフランジ受け部２７が収容される円形凹部７５を有している。円形凹部７５は、平面形状が円形に形成され第１の環状部材７の一方の側面７１と同軸に配置されている。円形凹部７５の内径は、フランジ部２３の大径側の外径２３－１と等しく形成され、軸心方向に一定に形成されている。また、円形凹部７５の底面７５－１は、スピンドル１２２の軸心に対して直交する方向に平坦に形成されている。 Further, the first annular member 7 is formed concavely from the one side surface 71 on one side surface 71, which is the surface on the side of the receiving flange 2, so that the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 of the receiving flange 2 is accommodated. It has a circular recess 75 . The circular recess 75 is circular in plan view and arranged coaxially with one side surface 71 of the first annular member 7 . The inner diameter of the circular concave portion 75 is formed to be equal to the outer diameter 23-1 on the large diameter side of the flange portion 23, and is formed uniformly in the axial direction. A bottom surface 75 - 1 of the circular recess 75 is formed flat in a direction perpendicular to the axis of the spindle 122 .

第２の環状部材８は、他方の側面８２から凹に形成され、段差部７４が嵌合する凹部８４を備える。凹部８４は、平面形状が円形に形成され第２の環状部材８の他方の側面８２と同軸に配置されている。凹部８４の内径は、段差部７４の外周面の外径と等しく形成され、軸心方向に一定に形成されている。また、凹部８４の底面８４－１は、スピンドル１２２の軸心に対して直交する方向に平坦に形成されている。 The second annular member 8 is recessed from the other side surface 82 and has a recess 84 into which the stepped portion 74 is fitted. The recess 84 has a circular planar shape and is arranged coaxially with the other side surface 82 of the second annular member 8 . The inner diameter of the recessed portion 84 is formed to be equal to the outer diameter of the outer peripheral surface of the stepped portion 74, and is formed uniformly in the axial direction. A bottom surface 84 - 1 of the recess 84 is formed flat in a direction perpendicular to the axis of the spindle 122 .

ワッシャーブレード挟持ユニット６は、ボス部２２の外周面に形成された雄ねじ２１に雌ねじ３１が螺合したナット３で第１の環状部材７、第２の環状部材８及びワッシャーブレード１２８を受けフランジ２に固定すると、段差部７４の外周面上にワッシャーブレード１２８の開口１２９の内周を支持し、段差部７４が凹部８４に嵌合するとともに、円形凹部７５内にフランジ部２３のフランジ受け部２７を収容する。図６に示す場合では、ワッシャーブレード挟持ユニット６は、凹部８４の底面８４－１に段差部７４の端面７４－１が密に重なり、円形凹部７５の底面７５－１にフランジ受け部２７の端面２７－１が密に重なる。 The washer blade clamping unit 6 receives the first annular member 7 , the second annular member 8 and the washer blade 128 with the nut 3 in which the female thread 31 is screwed to the male thread 21 formed on the outer peripheral surface of the boss 22 . , the inner periphery of the opening 129 of the washer blade 128 is supported on the outer peripheral surface of the stepped portion 74 , the stepped portion 74 is fitted into the recessed portion 84 , and the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 is placed in the circular recessed portion 75 . accommodate the In the case shown in FIG. 6, the washer blade clamping unit 6 closely overlaps the bottom surface 84-1 of the recess 84 with the end surface 74-1 of the stepped portion 74, and the bottom surface 75-1 of the circular recess 75 overlaps the end surface of the flange receiving portion 27. 27-1 are closely overlapped.

前述した実施形態１に係るフランジ機構１は、ワッシャーブレード１２８の両面１２８－２，１２８－３を挟持した状態で開口７３，８３内にボス部２２を挿通する第１の環状部材７と第２の環状部材８とを備えるワッシャーブレード挟持ユニット６を有する。このために、フランジ機構１は、ハブブレード１２４を装着するものであっても、ワッシャーブレード挟持ユニット６を受けフランジ２とナット３との間に挟んで装着することで、ハブブレード１２４に加え、ワッシャーブレード１２８も装着することができる。 The flange mechanism 1 according to the first embodiment described above includes the first annular member 7 and the second annular member 7 through which the boss portion 22 is inserted into the openings 73 and 83 while both surfaces 128-2 and 128-3 of the washer blade 128 are sandwiched. a washer blade clamping unit 6 comprising an annular member 8 of For this reason, even if the flange mechanism 1 is equipped with the hub blade 124, the washer blade clamping unit 6 is sandwiched between the receiving flange 2 and the nut 3, so that in addition to the hub blade 124, A washer blade 128 may also be installed.

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、ワッシャーブレード挟持ユニット６を受けフランジ２とナット３とで挟んで固定するので、受けフランジ２をスピンドル１２２の先端１２３に固定したままで、ナット３の着脱と、ハブブレード１２４とワッシャーブレード１２８を挟持したワッシャーブレード挟持ユニット６とを交換することで、ワッシャーブレード１２８とハブブレード１２４とを交換することができる。その結果、実施形態１に係るフランジ機構１は、ワッシャーブレード１２８とハブブレード１２４とを交換する際のフランジ機構１の着脱を極力抑制することを可能とすることができる。 Further, in the flange mechanism 1 according to the first embodiment, the washer blade clamping unit 6 is sandwiched and fixed between the receiving flange 2 and the nut 3. The washer blade 128 and the hub blade 124 can be replaced by attaching and detaching the hub blade 124 and the washer blade clamping unit 6 that clamps the washer blade 128 . As a result, the flange mechanism 1 according to the first embodiment can minimize attachment and detachment of the flange mechanism 1 when the washer blade 128 and the hub blade 124 are replaced.

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、第１の環状部材７がワッシャーブレード１２８の開口１２９の内周を支持する段差部７４を有し、第２の環状部材８が段差部７４が嵌合する凹部８４を備えるので、ワッシャーブレード挟持ユニット６がワッシャーブレード１２８の開口１２９の内周を固定しながらも環状部材７，８間にワッシャーブレード１２８を挟持することができる。 Further, in the flange mechanism 1 according to the first embodiment, the first annular member 7 has the stepped portion 74 that supports the inner periphery of the opening 129 of the washer blade 128, and the second annular member 8 is fitted with the stepped portion 74. Since the recesses 84 are provided, the washer blade clamping unit 6 can clamp the washer blade 128 between the annular members 7 and 8 while fixing the inner circumference of the opening 129 of the washer blade 128 .

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、第１の環状部材７の一方の側面７１に、受けフランジ２のフランジ部２３のフランジ受け部２７が収容される円形凹部７５を有しているので、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４（図５に示す）をハブブレード１２４装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２（図４に示す）に近付けることができる。その結果、フランジ機構１は、ハブブレード１２４を用いた切削動作と同様の動作でワッシャーブレード１２８を用いて切削装置１００に切削させることを可能とすることができる。 Moreover, since the flange mechanism 1 according to the first embodiment has the circular concave portion 75 in which the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 of the receiving flange 2 is accommodated on one side surface 71 of the first annular member 7, , the distance 128-4 (shown in FIG. 5) from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is the distance 128-4 (shown in FIG. 5) of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 when the hub blade 124 is attached. The distance 124-2 (shown in FIG. 4) from the tip of boss 22 can be approached. As a result, the flange mechanism 1 can allow the cutting device 100 to cut with the washer blade 128 in a similar cutting action with the hub blade 124 .

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、第１の環状部材７の一方の側面７１に、受けフランジ２のフランジ部２３のフランジ受け部２７が収容される円形凹部７５を有して、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２に近付けることができるので、切削水ノズル１２５－１の位置を大きく変更することなく被加工物２００に切削加工を施すことができる。 Further, the flange mechanism 1 according to the first embodiment has a circular concave portion 75 in which the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 of the receiving flange 2 is accommodated on one side surface 71 of the first annular member 7, and a washer The distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the blade 128 is attached is the distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 when the hub blade 124 is attached. Since the distance 124-2 can be approached, the workpiece 200 can be cut without significantly changing the position of the cutting water nozzle 125-1.

〔変形例〕
実施形態１の変形例に係るフランジ機構を図面に基いて説明する。図７は、実施形態１の変形例に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。なお、変形例は、図７において、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification]
A flange mechanism according to a modification of the first embodiment will be described with reference to the drawings. 7 is a cross-sectional view of a state in which a washer blade is fixed by a flange mechanism according to a modification of Embodiment 1. FIG. In addition, in FIG. 7, the modified example attaches|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description.

実施形態１の変形例に係るフランジ機構１－１は、図７に示すように、受けフランジ２のフランジ部２３のフランジ受け部２７の端面２７－１とワッシャーブレード１２８のナット３寄りの面１２８－３とが同一平面上に位置するように、円形凹部７５の深さ等が形成されている。このために、実施形態１の変形例に係るフランジ機構１－１は、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２と等しくすることができる。実施形態１の変形例に係るフランジ機構１－１は、固定したワッシャーブレード１２８のスピンドル１２２の軸方向での位置を、ハブブレード１２４を固定した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１の位置に設定することとなる。 As shown in FIG. 7, the flange mechanism 1-1 according to the modification of the first embodiment includes an end surface 27-1 of the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 of the receiving flange 2 and a surface 128 of the washer blade 128 near the nut 3. -3 are positioned on the same plane. For this reason, in the flange mechanism 1-1 according to the modification of the first embodiment, the distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is set to the hub blade 124. It can be made equal to the distance 124-2 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 at the time of cutting. In the flange mechanism 1-1 according to the modification of the first embodiment, the position of the fixed washer blade 128 in the axial direction of the spindle 122 is the position of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 when the hub blade 124 is fixed. will be set to

実施形態１の変形例に係るフランジ機構１－１は、実施形態１と同様に、ワッシャーブレード挟持ユニット６を有するので、ハブブレード１２４に加え、ワッシャーブレード１２８も装着することができるとともに、ワッシャーブレード１２８とハブブレード１２４とを交換する際のフランジ機構１－１の着脱を極力抑制することができる。 Since the flange mechanism 1-1 according to the modification of the first embodiment has the washer blade clamping unit 6 as in the first embodiment, the washer blade 128 can be attached in addition to the hub blade 124, and the washer blade Detachment of the flange mechanism 1-1 when replacing the hub blade 124 with the hub blade 128 can be suppressed as much as possible.

また、実施形態１の変形例に係るフランジ機構１－１は、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２と等しくすることができるので、ハブブレード１２４を用いた切削動作と同じ動作でワッシャーブレード１２８を用いて切削装置１００に切削させることを可能とすることができる。 Further, in the flange mechanism 1-1 according to the modification of the first embodiment, the distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is set to 128-4 when the hub blade 124 is attached. can be equal to the distance 124-2 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124, the cutting device using the washer blade 128 in the same cutting operation using the hub blade 124 100 can be made to cut.

また、実施形態１の変形例に係るフランジ機構１は、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２と等しくすることができるので、切削水ノズル１２５－１の位置を変更することなく切削加工を行うことができる。 Further, in the flange mechanism 1 according to the modification of the first embodiment, the distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is equal to the distance 128-4 when the hub blade 124 is attached. Since the distance 124-2 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the blade 124 can be made equal, cutting can be performed without changing the position of the cutting water nozzle 125-1.

〔実施形態２〕
実施形態２に係るフランジ機構を図面に基いて説明する。図８は、実施形態２に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。図９は、実施形態２に係るフランジ機構が他のワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。なお、実施形態２は、図８及び図９において、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。なお、図９は、ワッシャーブレード挟持ユニット６が、図８よりも厚いワッシャーブレード１２８を挟持した状態を示している。 [Embodiment 2]
A flange mechanism according to Embodiment 2 will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a cross-sectional view of a state in which the washer blade is fixed by the flange mechanism according to the second embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view of a state in which another washer blade is fixed by the flange mechanism according to the second embodiment. In addition, in FIG.8 and FIG.9, Embodiment 2 attaches|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 1, and abbreviate|omits description. 9 shows a state in which the washer blade clamping unit 6 clamps a washer blade 128 thicker than that shown in FIG.

実施形態２に係るフランジ機構１－２では、図８及び図９に示すように、第１の環状部材７は、ボス部２２が挿通する円筒状の筒状部７６と、筒状部７６の受けフランジ２寄りの後端から半径方向の外側に突出する円環状の後ろフランジ部７７とを備える。筒状部７６と後ろフランジ部７７とは、互いに同軸に配置されている。 In the flange mechanism 1-2 according to the second embodiment, as shown in FIGS. 8 and 9, the first annular member 7 includes a cylindrical portion 76 through which the boss portion 22 is inserted, and An annular rear flange portion 77 projecting radially outward from the rear end near the receiving flange 2 is provided. The cylindrical portion 76 and the rear flange portion 77 are arranged coaxially with each other.

また、実施形態２では、図８及び図９に示すように、第２の環状部材８は、中央の開口８３内に筒状部７６を通す。実施形態２では、開口８３に筒状部７６が嵌合して、ワッシャーブレード挟持ユニット６－２は、筒状部７６内にボス部２２を通して、筒状部７６の内周でボス部２２に支持される。 Moreover, in the second embodiment, as shown in FIGS. 8 and 9, the second annular member 8 has the tubular portion 76 passed through the central opening 83 . In the second embodiment, the tubular portion 76 is fitted into the opening 83, and the washer blade clamping unit 6-2 passes the boss portion 22 through the tubular portion 76 and is attached to the boss portion 22 on the inner periphery of the tubular portion 76. Supported.

また、実施形態２に係るフランジ機構１－２は、図８及び図９に示すように、ボス部２２のフランジ部２３寄りの端部に外周面から外周方向に凸のかじり防止突起２８を備える。かじり防止突起２８は、軸心方向断面において、円弧状に形成されている。かじり防止突起２８は、軸心方向の断面において、円弧状に形成されることで、軸方向でボス部２２の直径が変化する形状となっている。かじり防止突起２８は、ハブブレード１２４の円形基台１２７及び第１の環状部材７の筒状部７６との接触面積を抑制して、軸心が傾いた状態であってもボス部２２に対するかじりを発生させることなく、ハブブレード１２４及び第１の環状部材７を装着することを可能とするものである。 In addition, as shown in FIGS. 8 and 9, the flange mechanism 1-2 according to the second embodiment includes an anti-galling projection 28 projecting outward from the outer peripheral surface at the end of the boss 22 near the flange 23. . The anti-galling projection 28 is formed in an arc shape in an axial cross section. The anti-galling protrusion 28 is formed in an arc shape in a cross section in the axial direction, so that the diameter of the boss portion 22 changes in the axial direction. The anti-galling protrusion 28 suppresses the contact area between the circular base 127 of the hub blade 124 and the cylindrical portion 76 of the first annular member 7 to prevent galling against the boss 22 even when the axis is tilted. The hub blades 124 and the first annular member 7 can be installed without causing a .

実施形態２に係るフランジ機構１－２は、ワッシャーブレード挟持ユニット６－２が筒状部７６の内周でボス部２２に支持され、筒状部７６が第２の環状部材８の開口８３に嵌合して、第１の環状部材７と第２の環状部材８との間にワッシャーブレード１２８を挟持して固定する。 In the flange mechanism 1-2 according to the second embodiment, the washer blade clamping unit 6-2 is supported by the boss portion 22 on the inner periphery of the tubular portion 76, and the tubular portion 76 is positioned in the opening 83 of the second annular member 8. By fitting, the washer blade 128 is clamped and fixed between the first annular member 7 and the second annular member 8 .

実施形態２に係るフランジ機構１－２は、実施形態１と同様に、ワッシャーブレード挟持ユニット６－２を有するので、ハブブレード１２４に加え、ワッシャーブレード１２８も装着することができるとともに、ワッシャーブレード１２８とハブブレード１２４とを交換する際のフランジ機構１－２の着脱を極力抑制することができる。 Since the flange mechanism 1-2 according to the second embodiment has the washer blade clamping unit 6-2 as in the first embodiment, the washer blade 128 can be attached in addition to the hub blade 124, and the washer blade 128 The attachment and detachment of the flange mechanism 1-2 when exchanging the hub blade 124 with the hub blade 124 can be minimized.

実施形態２に係るフランジ機構１－２は、フランジ機構１の受けフランジ２のボス部２２が、装着されるハブブレード１２４のかじり防止のための軸方向で直径が変化する形状になるかじり防止突起２８を備えても、第１の環状部材７がボス部２２を通す筒状部７６を有し、筒状部７６が第２の環状部材８の開口８３に嵌合するので、ボス部２２にワッシャーブレード挟持ユニット６－２を安定させて固定できる。その結果、実施形態２に係るフランジ機構１は、安定してワッシャーブレード１２８を固定することができる。 In the flange mechanism 1-2 according to the second embodiment, the boss portion 22 of the receiving flange 2 of the flange mechanism 1 is an anti-galling projection having a shape whose diameter changes in the axial direction to prevent galling of the hub blade 124 to be mounted. 28 , the first annular member 7 has a tubular portion 76 through which the boss portion 22 passes, and the tubular portion 76 fits into the opening 83 of the second annular member 8 . The washer blade clamping unit 6-2 can be stably fixed. As a result, the flange mechanism 1 according to the second embodiment can stably fix the washer blade 128 .

〔変形例〕
実施形態２の変形例に係るフランジ機構を図面に基いて説明する。図１０は、実施形態２の変形例に係るフランジ機構がワッシャーブレードを固定した状態の断面図である。なお、変形例は、図１０において、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification]
A flange mechanism according to a modification of the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a cross-sectional view of a state in which a washer blade is fixed by a flange mechanism according to a modification of the second embodiment. In addition, in FIG. 10, the modified example attaches|subjects the same code|symbol to the same part as Embodiment 2, and abbreviate|omits description.

実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、図１０に示すように、受けフランジ２のフランジ部２３のフランジ受け部２７の端面２７－１とワッシャーブレード１２８のナット３寄りの面１２８－３とが同一平面上に位置するように、円形凹部７５の深さ等が形成されている。このために、実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２と等しくすることができる。実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、固定したワッシャーブレード１２８のスピンドル１２２の軸方向での位置をハブブレード１２４を固定した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１の位置に設定することとなる。 As shown in FIG. 10, the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment includes an end surface 27-1 of the flange receiving portion 27 of the flange portion 23 of the receiving flange 2 and a surface 128 of the washer blade 128 near the nut 3. -3 are positioned on the same plane. For this reason, in the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment, the distance 128-4 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is set to the hub blade 124. It can be made equal to the distance 124-2 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 at the time of cutting. In the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment, the position of the fixed washer blade 128 in the axial direction of the spindle 122 is the position of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 when the hub blade 124 is fixed. to be set.

実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、実施形態１と同様に、ワッシャーブレード挟持ユニット６－２を有するので、ハブブレード１２４に加え、ワッシャーブレード１２８も装着することができるとともに、ワッシャーブレード１２８とハブブレード１２４とを交換する際のフランジ機構１－３の着脱を極力抑制することができる。 Since the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment has the washer blade clamping unit 6-2 as in the first embodiment, the washer blade 128 can be attached in addition to the hub blade 124. Detachment of the flange mechanism 1-3 when replacing the washer blade 128 and the hub blade 124 can be suppressed as much as possible.

また、実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、実施形態１の変形例と同様に、ワッシャーブレード１２８を装着した際の切り刃１２８－１のボス部２２の先端からの距離１２８－４をハブブレード１２４を装着した際のハブブレード１２４の切り刃１２４－１のボス部２２の先端からの距離１２４－２と等しくすることができる。その結果、実施形態２の変形例に係るフランジ機構１－３は、実施形態１の変形例と同様に、ハブブレード１２４を用いた切削動作と同じ動作でワッシャーブレード１２８を用いて切削装置１００に切削させることを可能とすることができるとともに、切削水ノズル１２５－１の位置を変更することなく切削加工を行うことができる。 Further, in the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment, as in the modification of the first embodiment, the distance 128 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 128-1 when the washer blade 128 is attached is −4 can be made equal to the distance 124-2 from the tip of the boss portion 22 of the cutting edge 124-1 of the hub blade 124 when the hub blade 124 is attached. As a result, as in the modification of the first embodiment, the flange mechanism 1-3 according to the modification of the second embodiment uses the washer blade 128 in the same manner as the cutting operation using the hub blade 124. Cutting can be performed, and cutting can be performed without changing the position of the cutting water nozzle 125-1.

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments and modifications. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

１，１－１，１－２，１－３ フランジ機構
２ 受けフランジ
３ ナット
６，６－２ ワッシャーブレード挟持ユニット
７ 第１の環状部材（一方の環状部材）
７－１ 外径（直径）
８ 第２の環状部材（他方の環状部材）
８－１ 外径（直径）
２１ 雄ねじ
２２ ボス部
２３ フランジ部
２３－１ 外径（直径）
７１ 一方の側面（受けフランジ側の面）
７３，８３ 開口
７４ 段差部
７５ 円形凹部
７６ 筒状部
７７ 後ろフランジ部
８４ 凹部
１００ 切削装置
１２２ スピンドル
１２４ ハブブレード
１２４－１ 切り刃
１２６ 挿入孔
１２７ 円形基台
１２７－１ 一方の側面（側面）
１２８ ワッシャーブレード
１２８－２，１２８－３ 両面
１２８－５ 外径（直径）
１２９ 開口 1, 1-1, 1-2, 1-3 flange mechanism 2 receiving flange 3 nut 6, 6-2 washer blade clamping unit 7 first annular member (one annular member)
7-1 Outer diameter (diameter)
8 second annular member (other annular member)
8-1 Outer diameter (diameter)
21 Male screw 22 Boss part 23 Flange part 23-1 Outer diameter (diameter)
71 One side (surface on the receiving flange side)
73, 83 opening 74 stepped portion 75 circular concave portion 76 cylindrical portion 77 rear flange portion 84 concave portion 100 cutting device 122 spindle 124 hub blade 124-1 cutting edge 126 insertion hole 127 circular base 127-1 one side (side)
128 washer blade 128-2, 128-3 both sides 128-5 outer diameter (diameter)
129 opening

Claims (3)

挿入孔を有し環状に形成された円形基台と該円形基台の外周から突出する環状の切り刃とを有するハブブレードを切削装置のスピンドルに固定し、中央に開口を有する環状のワッシャーブレードも固定可能なフランジ機構であって、
先端部の外周に雄ねじを有する円柱状のボス部と、該ボス部の軸方向後端から半径方向外側に突出し該円形基台の側面を支持するフランジ部と、を備えた受けフランジと、
該ボス部の該雄ねじに螺合し、該ハブブレードの該円形基台を該フランジ部と挟持して該受けフランジに固定するナットと、
該ワッシャーブレードの直径より小さく該フランジ部の直径より大きい直径で該ボス部が挿通する開口をそれぞれ有する第１の環状部材と第２の環状部材とを備え、該第１の環状部材と該第２の環状部材とで該ワッシャーブレードを両面から挟持した状態で該開口に該ボス部を挿通し、該ナットで該受けフランジに固定するワッシャーブレード挟持ユニットと、を有し、
一方の該環状部材は、該ワッシャーブレードの内周を支持する段差部を有し、他方の該環状部材は、該段差部が嵌合する凹部を備えるフランジ機構。 A hub blade having an annular base with an insertion hole and an annular cutting edge protruding from the outer periphery of the circular base is fixed to a spindle of a cutting device, and an annular washer blade having an opening in the center. is a flange mechanism that can also be fixed,
a receiving flange comprising a cylindrical boss portion having a male thread on the outer periphery of the tip portion, and a flange portion protruding radially outward from the axial rear end of the boss portion and supporting the side surface of the circular base;
a nut that is screwed onto the male thread of the boss portion and fixes the circular base of the hub blade to the receiving flange by sandwiching the circular base of the hub blade with the flange portion;
a first annular member and a second annular member each having an opening with a diameter smaller than the diameter of the washer blade and larger than the diameter of the flange and through which the boss extends; a washer blade clamping unit that inserts the boss portion into the opening while clamping the washer blade from both sides with the annular member of 2 and fixes it to the receiving flange with the nut ;
One of the annular members has a stepped portion that supports the inner periphery of the washer blade, and the other of the annular members has a recessed portion into which the stepped portion fits. 一方の該環状部材は、該ボス部が挿通する筒状部と、該筒状部の後端から半径方向外側に突出する後ろフランジ部、を備え、他方の該環状部材は中央の開口に該筒状部が嵌合し、該ワッシャーブレード挟持ユニットは該筒状部の内周で該ボス部に支持される請求項１に記載のフランジ機構。 One of the annular members has a tubular portion through which the boss portion is inserted, and a rear flange portion that protrudes radially outward from the rear end of the tubular portion. 2. A flange mechanism according to claim 1 , wherein a tubular portion is fitted and said washer blade clamping unit is supported on said boss portion on an inner circumference of said tubular portion. 一方の該環状部材の該受けフランジ側の面に、該受けフランジの該フランジ部が収容される円形凹部を有し、固定した該ワッシャーブレードの軸方向での位置を該ハブブレードを固定した際の該切り刃の位置に設定する請求項１または請求項２に記載のフランジ機構。 One of the annular members has a circular recess in which the flange portion of the receiving flange is accommodated on the surface on the side of the receiving flange, and the position of the fixed washer blade in the axial direction is changed when the hub blade is fixed. 3. The flange mechanism according to claim 1 or 2, wherein the flange mechanism is set at the position of the cutting edge.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022001396A (en) 2020-06-22 2022-01-06 株式会社ディスコ Cutting device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005014198A (en) 2003-06-30 2005-01-20 Tdk Corp Cutting device, cutting method and electronic part
JP2006212748A (en) 2005-02-04 2006-08-17 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting tool mounting mechanism and cutting device
JP2009045674A (en) 2007-08-13 2009-03-05 Disco Abrasive Syst Ltd Cutter
JP2012135833A (en) 2010-12-27 2012-07-19 Disco Corp Cutting blade
US20160218023A1 (en) 2015-01-27 2016-07-28 Disco Corporation Cutting blade having cutting edge containing photocatalyst particles

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4913346B1 (en) 1970-10-08 1974-03-30
AU595604B2 (en) * 1986-04-03 1990-04-05 Joseph Hartley Mackay Jr. Disposable grinding apparatus having an integral mounting hub
JPH0256557U (en) * 1988-10-14 1990-04-24
JP3472390B2 (en) * 1995-06-09 2003-12-02 株式会社ディスコ Flange end face correction jig
JP4765790B2 (en) * 2006-06-30 2011-09-07 株式会社ジェイテクト Grinding wheel attachment / detachment structure
CN100534720C (en) 2008-05-07 2009-09-02 常熟市中恒数控设备制造有限公司 Grinding machine spindle end mechanism
CN201257629Y (en) * 2008-08-19 2009-06-17 上海市安装工程有限公司 Connecting apparatus for mounting grinding wheel of numerically controlled machine
TWM431426U (en) * 2012-01-13 2012-06-11 Zhi-Hao Chen Wafer processing apparatus
JP6069122B2 (en) 2013-07-22 2017-02-01 株式会社ディスコ Cutting equipment
JP2015085466A (en) * 2013-10-31 2015-05-07 株式会社ディスコ Flange mechanism
JP6223239B2 (en) * 2014-03-07 2017-11-01 株式会社ディスコ Cutting equipment
CN203738533U (en) * 2014-03-24 2014-07-30 吉林大学 Integrated tool system used for grinding and polishing blisk blade air inlet and exhaust edges and blade roots
JP6430329B2 (en) * 2015-05-13 2018-11-28 Ｔｏｗａ株式会社 Cutting apparatus and cutting method
CN205928309U (en) * 2016-08-12 2017-02-08 富耐克超硬材料股份有限公司 Piece of polishing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005014198A (en) 2003-06-30 2005-01-20 Tdk Corp Cutting device, cutting method and electronic part
JP2006212748A (en) 2005-02-04 2006-08-17 Disco Abrasive Syst Ltd Cutting tool mounting mechanism and cutting device
JP2009045674A (en) 2007-08-13 2009-03-05 Disco Abrasive Syst Ltd Cutter
JP2012135833A (en) 2010-12-27 2012-07-19 Disco Corp Cutting blade
US20160218023A1 (en) 2015-01-27 2016-07-28 Disco Corporation Cutting blade having cutting edge containing photocatalyst particles

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