JP7134684B2 - 乾燥系対物レンズ - Google Patents
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Description
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
-2 ≦ Δz1 /DOFe≦ 2 (2)
30 ≦ νd 1 ≦ 43 (4)
0.55 ≦ θgF 1 ≦0.57 (5)
30 ≦ νd 2 ≦ 43 (6)
0.55 ≦ θgF 2 ≦0.57 (7)
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
9mm ≦ Yreso ×|β|≦20mm (3)
30 ≦ νd 1 ≦ 43 (4)
0.55 ≦ θgF 1 ≦0.57 (5)
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30 ≦ νd1≦ 43 (4)
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0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
-2 ≦ Δz1 /DOFe≦ 2 (2)
9mm ≦ Yreso ×|β|≦ 20mm (3)
30 ≦ νd1 ≦43 (4)
0.55 ≦ θgF1 ≦0.57 (5)
-1.5 ≦ Δz1 /DOFe≦ 1.5 (2-1)
-1 ≦ Δz1 /DOFe≦ 1 (2-2)
9.5mm ≦ Yreso ×|β|≦ 17mm (3-1)
10mm ≦ Yreso ×|β|≦ 15mm (3-2)
35 ≦ νd1≦43 (4-1)
0.555 ≦ θgF1≦0.565 (5-1)
対物レンズは、第1負レンズを含む場合、さらに、第2負レンズを含み、以下の条件式(6)及び条件式(7)を満たすことが望ましい。なお、第2負レンズは、第1負レンズとは異なる負の屈折力を有するレンズである。
30 ≦ νd2 ≦43 (6)
0.55 ≦ θgF2 ≦0.57 (7)
35 ≦ νd2≦43 (6-1)
0.555 ≦ θgF2≦0.565 (7-1)
1.4 ≦neo ≦ 1.55 (8)
60 ≦νdo≦ 80 (9)
1.46 ≦neo ≦ 1.51 (8-1)
65 ≦νdo≦ 75 (9-1)
0.005 ≦DGM1/DGM2≦ 0.5 (10)
0.005 ≦DGM1/DGM2≦ 0.45 (10-1)
-3 ≦Rcem/DGo≦ -0.5 (11)
-2.5 ≦Rcem/DGo≦ -0.7 (11-1)
-3 ≦D1/R12≦ -0.75 (12)
-2.5 ≦D1/R12≦ -0.8 (12-1)
-2 ≦D1/R12≦ -0.95 (12-2)
0.5 ≦ MUC ≦ 2 (13)
-0.3 ≦ f/fUC≦ 0.3 (14)
0.7 ≦ MUC ≦ 1.3 (13-1)
-0.2 ≦ f/fUC ≦ 0.2 (14-1)
-0.1 ≦ f/fUC ≦ 0.1 (14-2)
図3は、本実施例に係る対物レンズ1の断面図である。対物レンズ1は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、第1レンズ群G1よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群G2からなる。なお、対物レンズ1は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
NAob=0.95、Δz1=-0.04μm、 DOFe=0.30μm、Yreso=0.29mm、|β|=40、νd1=42.41、θgF1=0.561、neo=1.48915、νdo=70.23、DGM1=0.873mm、DGM2=4.633mm、Rcemo=-6.1667mm、DGo=5.787mm、D1=3.681mm、R12=-3.3487mm、MUC=1.18、f=4.500mm、fUC=259.55mm、fG1=7.131mm、fG2=-125.177mm
対物レンズ1
s r d ne nh νd
0 INF
1 INF t 1.52626 1.54042 54.41
2 INF D2
3 -3.0339 3.681 1.77621 1.79917 49.6
4 -3.3487 0.200
5 -7.2937 2.241 1.57098 1.58258 71.3
6 -5.5255 D6
7 -45.764 1.200 1.64132 1.66385 42.41
8 12.7782 3.875 1.43986 1.44647 94.66
9 -14.198 D9
10 71.1197 1.500 1.61664 1.63723 44.49
11 15.0477 6.788 1.43986 1.44647 94.66
12 -10.4578 0.300
13 11.6236 6.847 1.43986 1.44647 94.66
14 -10.3782 1.550 1.48915 1.49898 70.23
15 6.6859 4.219 1.43986 1.44647 94.66
16 -32.513 0.300
17 13.9497 4.787 1.49846 1.5072 81.54
18 -6.1667 1.000 1.88815 1.92092 40.76
19 7.744 3.857
20 -4.5391 1.541 1.51825 1.52977 64.14
21 -9.3597 0.873
22 -12.8369 2.219 1.7434 1.77943 32.33
23 -7.2219
t(カバーガラス厚) 0.17 0.11 0.23
D2 0.411 0.441 0.382
D6 0.766 1.178 0.330
D9 0.742 0.330 1.178
(1)NAob=0.95
(2)Δz1 /DOFe=-0.13
(3)Yreso ×|β|=11.6mm
(4)νd1=42.41
(5)θgF1=0.561
(6)条件式(6)を満たす第2負レンズがない
(7)条件式(7)を満たす第2負レンズがない
(8)neo=1.48915
(9)νdo=70.23
(10)DGM1/DGM2=0.19
(11)Rcem/DGo=-1.07
(12)D1/R12=-1.10
(13)MUC=1.18
(14)f/fUC=0.017
図5は、本実施例に係る対物レンズ2の断面図である。対物レンズ2は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、第1レンズ群G1よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群G2からなる。なお、対物レンズ2は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
NAob=0.93、Δz1=0.03μm、 DOFe=0.32μm、Yreso=0.29mm、|β|=40、νd1=42.41、θgF1=0.561、neo=1.48915、νdo=70.23、DGM1=0.893mm、DGM2=4.184mm、Rcemo=-6.494mm、DGo=5.859mm、D1=3.470mm、R12=-3.173mm、MUC=1.17、f=4.500mm、fUC=278.085mm、fG1=7.184mm、fG2=-168.383mm
対物レンズ2
s r d ne nh νd
0 INF
1 INF t 1.52626 1.54042 54.41
2 INF D2
3 -2.9851 3.470 1.77621 1.79917 49.6
4 -3.173 0.200
5 -6.7497 2.453 1.57098 1.58258 71.3
6 -5.4784 D6
7 -45.6337 1.200 1.64132 1.66385 42.41
8 12.9024 3.819 1.43986 1.44647 94.66
9 -14.336 D9
10 85.7763 1.500 1.61664 1.63723 44.49
11 15.5448 6.717 1.43986 1.44647 94.66
12 -10.4133 0.300
13 11.828 6.821 1.43986 1.44647 94.66
14 -10.5608 1.550 1.48915 1.49898 70.23
15 7.3633 4.019 1.43986 1.44647 94.66
16 -29.839 0.300
17 12.5725 4.859 1.43986 1.44647 94.66
18 -6.494 1.000 1.83945 1.86892 42.74
19 7.4458 4.570
20 -4.6923 1.139 1.48915 1.49898 70.23
21 -8.5 0.893
22 -11.0502 2.152 1.7434 1.77943 32.33
23 -7.0354
t(カバーガラス厚) 0.17 0.11 0.23
D2 0.412 0.441 0.383
D6 0.771 1.190 0.330
D9 0.749 0.330 1.190
(1)NAob=0.93
(2)Δz1 /DOFe=0.10
(3)Yreso ×|β|=11.6mm
(4)νd1=42.41
(5)θgF1=0.561
(6)条件式(6)を満たす第2負レンズがない
(7)条件式(7)を満たす第2負レンズがない
(8)neo=1.48915
(9)νdo=70.23
(10)DGM1/DGM2=0.21
(11)Rcem/DGo=-1.11
(12)D1/R12=-1.09
(13)MUC=1.17
(14)f/fUC=0.016
図7は、本実施例に係る対物レンズ3の断面図である。対物レンズ3は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、第1レンズ群G1よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群G2からなる。なお、対物レンズ3は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
NAob=0.93、Δz1=0.03μm、 DOFe=0.32μm、Yreso=0.29mm、|β|=40、νd1=42.41、θgF1=0.561、νd2=42.41、θgF2=0.561、neo=(該当なし)、νdo=(該当なし)、DGM1=1.985mm、DGM2=5.465mm、Rcemo=-9.8031mm、DGo=6.380mm、D1=3.049mm、R12=-2.7056mm、MUC=1.13、f=4.500mm、fUC=172.704mm、fG1=7.173mm、fG2=-39.987mm
対物レンズ3
s r d ne nh νd
0 INF
1 INF t 1.52626 1.54042 54.41
2 INF D2
3 -2.5241 3.049 1.77621 1.79917 49.6
4 -2.7056 0.200
5 -23.066 1.991 1.43985 1.44645 94.93
6 -10.6072 D6
7 -698.7307 1.200 1.64132 1.66385 42.41
8 12.9772 3.010 1.43985 1.44645 94.93
9 -20.4682 D9
10 -1734.7605 1.500 1.64132 1.66385 42.41
11 17.2319 6.133 1.43985 1.44645 94.93
12 -9.6242 0.196
13 34.1927 2.402 1.43985 1.44645 94.93
14 -39.0636 0.196
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17 -18.1577 3.648
18 10.0874 5.380 1.57098 1.58258 71.3
19 -9.8031 1.000 1.64132 1.66385 42.41
20 5.6909 2.985
21 -4.8862 1.129 1.75844 1.77954 52.32
22 -28.3272 1.985
23 -12.2198 2.351 1.74341 1.77951 32.26
24 -6.6782
t(カバーガラス厚) 0.17 0.11 0.23
D2 0.470 0.496 0.445
D6 0.940 1.466 0.341
D9 0.867 0.341 1.466
(1)NAob=0.93
(2)Δz1 /DOFe=0.10
(3)Yreso ×|β|=11.6mm
(4)νd1=42.41
(5)θgF1=0.561
(6)νd2=42.41
(7)θgF2=0.561
(8)neo=(該当なし)
(9)νdo=(該当なし)
(10)DGM1/DGM2=0.36
(11)Rcem/DGo=-1.54
(12)D1/R12=-1.12692
(13)MUC=1.13
(14)f/fUC=0.026
図9は、本実施例に係る対物レンズ4の断面図である。対物レンズ4は、物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、第1レンズ群G1よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群G2からなる。なお、対物レンズ4は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。
NAob=0.93、Δz1=0.04μm、 DOFe=0.32μm、Yreso=0.32mm、|β|=40、νd1=42.41、θgF1=0.561、νd2=42.41、θgF2=0.561、neo=1.48915、νdo=70.23、DGM1=(該当なし)、DGM2=(該当なし)、Rcemo=-11.5mm、DGo=6.551mm、D1=3.421mm、R12=-3.2763mm、MUC=1.01、f=4.500mm、fUC=-236.500mm、fG1=7.7mm、fG2=-17.4mm
対物レンズ4
s r d ne nh νd
0 INF
1 INF t 1.52626 1.54042 54.41
2 INF D2
3 -2.9988 3.421 1.77621 1.79917 49.6
4 -3.2763 0.200
5 -8.1942 2.347 1.57098 1.58258 71.3
6 -5.4671 D6
7 -40.3151 1.200 1.64132 1.66385 42.41
8 13.572 3.454 1.43986 1.44647 94.66
9 -17.8903 D9
10 -140.6354 1.500 1.61664 1.63723 44.49
11 19.8789 6.023 1.43986 1.44647 94.66
12 -9.9326 0.300
13 12.6709 6.101 1.43986 1.44647 94.66
14 -12.0308 1.550 1.48915 1.49898 70.23
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16 -25.4706 0.406
17 12.674 4.515 1.49846 1.5072 81.54
18 -11.5061 2.037 1.64132 1.66385 42.41
19 8.1177 2.818
20 -4.5196 2.201 1.72407 1.75033 41.98
21 14.1964 3.264 1.7434 1.77943 32.33
22 -8.7132
t(カバーガラス厚) 0.17 0.11 0.23
D2 0.414 0.453 0.375
D6 0.843 1.318 0.330
D9 0.805 0.330 1.318
(1)NAob=0.93
(2)Δz1 /DOFe=0.13
(3)Yreso ×|β|=12.8mm
(4)νd1=42.41
(5)θgF1=0.561
(6)νd2=42.41
(7)θgF2=0.561
(8)neo=1.48915
(9)νdo=70.23
(10)DGM1/DGM2=(該当なし)
(11)Rcem/DGo=-1.76
(12)D1/R12=-1.04
(13)MUC=1.01
(14)f/fUC=-0.019
100 領域
AX 光軸
CG カバーガラス
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
IP 像点
MC 移動レンズ成分
OP 物点
Claims (15)
- 乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群と、
前記第1レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群からなり、
前記第1レンズ群のうち最も像側のレンズ成分は、前記物点からの発散光束を収斂光束に変換する最も物体側にあるレンズ成分であり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
第1負レンズと、
前記第1負レンズとは異なる第2負レンズを含み、
NAobを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Δz1をh線に対するRMS波面収差が最小となる軸上位置とe線に対するRMS波面収差が最小となる軸上位置の差とし、DOFeを前記e線に対する焦点深度とし、νd 1 を前記第1負レンズのアッベ数とし、θgF 1 を前記第1負レンズの部分分散比とし、νd 2 を前記第2負レンズのアッベ数とし、θgF 2 を前記第2負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
-2 ≦ Δz1 /DOFe≦ 2 (2)
30 ≦ νd 1 ≦ 43 (4)
0.55 ≦ θgF 1 ≦0.57 (5)
30 ≦ νd 2 ≦ 43 (6)
0.55 ≦ θgF 2 ≦0.57 (7)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群と、
前記第1レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群からなり、
前記第1レンズ群のうち最も像側のレンズ成分は、前記物点からの発散光束を収斂光束に変換する最も物体側にあるレンズ成分であり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
第1負レンズと、
前記第1負レンズとは異なる第2負レンズと、を含み、
NAobを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、Yreso をe線に対するRMS波面収差が最小となる軸上位置と交わる前記光軸と直交する平面上の領域であって前記e線に対するRMS波面収差を前記e線の波長で割った値が0.2以下となる領域の最大物体高とし、βを前記乾燥系対物レンズの倍率とし、νd 1 を前記第1負レンズのアッベ数とし、θgF 1 を前記第1負レンズの部分分散比とし、νd 2 を前記第2負レンズのアッベ数とし、θgF 2 を前記第2負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
9mm ≦ Yreso ×|β|≦20mm (3)
30 ≦ νd 1 ≦ 43 (4)
0.55 ≦ θgF 1 ≦0.57 (5)
30 ≦ νd 2 ≦ 43 (6)
0.55 ≦ θgF 2 ≦0.57 (7)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群と、
前記第1レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群からなり、
前記第1レンズ群のうち最も像側のレンズ成分は、前記物点からの発散光束を収斂光束に変換する最も物体側にあるレンズ成分であり、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
第1負レンズを含み、
NAobを前記乾燥系対物レンズの開口数とし、νd1を前記第1負レンズのアッベ数とし、θgF1を前記第1負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
30 ≦ νd1≦ 43 (4)
0.55 ≦ θgF1≦0.57 (5)
を満たし、
前記移動レンズ成分は、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項3に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第1負レンズとは異なる第2負レンズを含み、
νd2を前記第2負レンズのアッベ数とし、θgF2を前記第2負レンズの部分分散比とするとき、以下の条件式
30 ≦ νd2≦ 43 (6)
0.55 ≦ θgF2≦0.57 (7)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項3又は請求項4に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第2レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分と、前記像側に凸面を向けた前記レンズ成分と、の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、さらに、3枚接合レンズと、を含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 乾燥系対物レンズであって、
物点からの発散光線束を収斂光線束に変換する、正の屈折力を有する第1レンズ群と、
前記第1レンズ群よりも像側に配置された、負の屈折力を有する第2レンズ群からなり、
前記第1レンズ群のうち最も像側のレンズ成分は、前記物点からの発散光束を収斂光束に変換する最も物体側にあるレンズ成分であり、
前記第2レンズ群は、
前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と、を含み、
又は、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分よりも前記像側に配置された、前記像側に凸面を向けたレンズ成分と、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分と、前記像側に凸面を向けた前記レンズ成分と、の間に配置された、前記物体側に凹面を向けたレンズ成分と、を含み、
前記乾燥系対物レンズは、
光軸に沿って移動する移動レンズ成分と、
負レンズと、前記負レンズの両側に配置された2枚の正レンズと、を含む、3枚接合レンズと、を含み、
NAobを前記乾燥系対物レンズの開口数とするとき、以下の条件式
0.85 ≦ NAob < 1.0 (1)
を満たし、
前記移動レンズ成分は、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項6に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、neoを前記3枚接合レンズに含まれる前記負レンズのe線に対する屈折率とするとき、以下の条件式
1.4 ≦neo ≦ 1.55 (8)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項6又は請求項7に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、νdoを前記3枚接合レンズに含まれる前記負レンズのアッベ数とするとき、以下の条件式
60 ≦νdo≦ 80 (9)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項5乃至請求項8のいずれか1項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第2レンズ群に含まれる前記像側に凸面を向けた前記レンズ成分と前記物体側に凹面を向けた前記レンズ成分は、空気を隔てて隣り合って配置される
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項9記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
DGM1を前記像側に凸面を向けた前記レンズ成分の前記物体側のレンズ面と前記記物体側に凹面を向けた前記レンズ成分の前記像側のレンズ面との間の前記光軸上の距離とし、DGM2を前記像側に凸面を向けた前記レンズ成分の前記像側のレンズ面と前記記物体側に凹面を向けた前記レンズ成分の前記物体側のレンズ面との間の前記光軸上の距離とするとき、以下の条件式
0.005 ≦DGM1/DGM2≦ 0.5 (10)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項5乃至請求項10のいずれか1項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記像側に凹面を向けた前記メニスカスレンズ成分は、2枚接合レンズであり、
前記乾燥系対物レンズは、Rcemを前記2枚接合レンズの接合面の曲率半径とし、DGoを前記2枚接合レンズの前記光軸上の厚さとするとき、以下の条件式
-3 ≦Rcem/DGo≦ -0.5 (11)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項3乃至請求項11のいずれか1項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
最も物体側に配置された、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ形状を有する第1レンズ成分を含み、
D1を前記第1レンズ成分の前記光軸上の厚さとし、R12を前記第1レンズ成分の最も像側のレンズ面の曲率半径とするとき、以下の条件式
-3 ≦D1/R12≦ -0.75 (12)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項12に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、
前記第1レンズ成分の前記像側に、正の屈折力を有し、前記物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する第2レンズ成分を含む
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項3乃至請求項13のいずれか1項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記乾燥系対物レンズは、MUCを前記移動レンズ成分の倍率とするとき、以下の条件式
0.5 ≦ MUC≦ 2 (13)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。 - 請求項3乃至請求項14のいずれか1項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記移動レンズ成分は、fを前記乾燥系対物レンズの焦点距離とし、fUCを前記移動レンズ成分の焦点距離とするとき、以下の条件式
-0.3 ≦ f/fUC ≦ 0.3 (14)
を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
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