JP7130416B2 - 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 - Google Patents
振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7130416B2 JP7130416B2 JP2018079885A JP2018079885A JP7130416B2 JP 7130416 B2 JP7130416 B2 JP 7130416B2 JP 2018079885 A JP2018079885 A JP 2018079885A JP 2018079885 A JP2018079885 A JP 2018079885A JP 7130416 B2 JP7130416 B2 JP 7130416B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- piezoelectric element
- elastic body
- region
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、上記実施形態では、略矩形平板状の圧電セラミックス1に第1電極2及び第2電極3a,3bを形成した圧電素子101を取り上げたが、上述した圧電セラミックスを用いた圧電素子の構成は、これに限定されるものではない。つまり、圧電セラミックスの形状は、略矩形に限定されるものではなく、また、平板状に限定されるものでもなく、所望の振動を得ることが可能な形状に設計することができる。更に、略矩形平板状の圧電セラミックス1に対して、図1(b),(c)の構成とは異なる構成で電極を形成することによって、所望の振動を励起することが可能な圧電素子を実現することもできる。
2 第1電極
3a,3b 第2電極
4 接着層
5 弾性体
8 被駆動体
100 振動子
101,101A 圧電素子
200 光学機器
Claims (9)
- 圧電セラミックスと電極を備えた圧電素子と弾性体とが接着層を介して接着されてなる振動子であって、
前記接着層は、前記接着層の厚さ方向に投影して前記圧電素子と前記弾性体とが重なる領域における、前記振動子に一次の面外曲げ振動モードの振動が励起された際の前記振動の節線の近傍領域に、前記圧電素子と前記弾性体とを接着しない非接着領域を有することを特徴とする振動子。 - 前記弾性体に対する前記圧電素子の接着面の全面積に対する前記非接着領域の面積の比率は40%未満であることを特徴とする請求項1に記載の振動子。
- 前記弾性体の20℃におけるヤング率は前記圧電セラミックスの20℃におけるヤング率よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の振動子。
- 前記節線の近傍領域は、前記一次の面外曲げモードの振動の腹線よりも前記節線に近い領域であって、前記節線を含む領域であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記非接着領域は、一次の面外曲げ振動波長λに対して、2つの節線それぞれに関し、前記節線と交差する方向に関して0.073λ以内の領域であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動子。
- 2本の前記節線の長さ方向における非接着領域の長さ割合Nn(%)は、前記2本の節線の中間に位置する腹線の長さ方向における非接着領域の長さ割合Na(%)より大きいことを特徴とする請求項4に記載の振動子。
- 前記圧電素子と前記弾性体はそれぞれ、略矩形で平板状の形状を有し、
前記振動子に前記一次の面外曲げ振動モードの振動が励起された際に、前記振動の節線は前記圧電素子の長辺に略平行に現れることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動子。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動子と、
前記振動子と接触する被駆動体と、を備えることを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 請求項8に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータと接した部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/961,122 US11038440B2 (en) | 2017-04-26 | 2018-04-24 | Vibrator with low power consumption, vibration type actuator, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017087153 | 2017-04-26 | ||
JP2017087153 | 2017-04-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018186501A JP2018186501A (ja) | 2018-11-22 |
JP7130416B2 true JP7130416B2 (ja) | 2022-09-05 |
Family
ID=64355147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018079885A Active JP7130416B2 (ja) | 2017-04-26 | 2018-04-18 | 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7130416B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020153287A1 (ja) * | 2019-01-24 | 2020-07-30 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193048A (ja) | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Canon Inc | 振動装置、該振動装置を有する駆動装置、及び光学機器 |
JP2013201887A (ja) | 2012-02-23 | 2013-10-03 | Canon Inc | 振動型駆動装置及び撮像装置 |
JP2016086619A (ja) | 2014-10-29 | 2016-05-19 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 |
JP2016140180A (ja) | 2015-01-27 | 2016-08-04 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置およびこれを駆動源とする装置 |
JP2017022846A (ja) | 2015-07-09 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | 振動子、振動型アクチュエータおよび超音波モータ |
JP2017070115A (ja) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ、振動型アクチュエータの駆動方法、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07308086A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-21 | Ceratec:Kk | 圧電アクチュエータ |
-
2018
- 2018-04-18 JP JP2018079885A patent/JP7130416B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013201887A (ja) | 2012-02-23 | 2013-10-03 | Canon Inc | 振動型駆動装置及び撮像装置 |
JP2013193048A (ja) | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Canon Inc | 振動装置、該振動装置を有する駆動装置、及び光学機器 |
JP2016086619A (ja) | 2014-10-29 | 2016-05-19 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 |
JP2016140180A (ja) | 2015-01-27 | 2016-08-04 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置およびこれを駆動源とする装置 |
JP2017022846A (ja) | 2015-07-09 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | 振動子、振動型アクチュエータおよび超音波モータ |
JP2017070115A (ja) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ、振動型アクチュエータの駆動方法、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018186501A (ja) | 2018-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6901886B2 (ja) | 振動子の製造方法、振動波駆動装置の製造方法および光学機器の製造方法 | |
US9095882B2 (en) | Piezoelectric device, dust removing apparatus, and imaging apparatus | |
JP7302059B2 (ja) | 振動子、振動波駆動装置、振動波モータおよび電子機器 | |
US9813596B2 (en) | Vibration-type actuator, interchangeable lens, image pickup apparatus, and automatic stage | |
JP2013192013A (ja) | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 | |
US10658950B2 (en) | Piezoelectric actuator, piezoelectric motor, robot, and electronic component conveyance apparatus | |
JP7130416B2 (ja) | 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
US11038440B2 (en) | Vibrator with low power consumption, vibration type actuator, and electronic apparatus | |
JP6071320B2 (ja) | 圧電デバイス、塵埃除去装置、撮像装置、及び電子機器 | |
JP2011223371A (ja) | 振動片、振動デバイスおよび電子機器 | |
US20180041141A1 (en) | Vibration actuator and electronic apparatus using vibration actuator | |
JP7000036B2 (ja) | 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 | |
WO2022230712A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、光学機器および電子機器 | |
WO2024090171A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、光学機器および電子機器 | |
JP2012060264A (ja) | 振動片、振動子、振動デバイスおよび電子機器 | |
US20140159543A1 (en) | Vibrator and production method thereof, and vibration wave driving device | |
WO2022230713A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、電子機器および光学機器 | |
US20220252869A1 (en) | Light control system and optical reflection element | |
JP2023170944A (ja) | 振動型アクチュエータ、電子機器、光学機器 | |
JP2007143248A (ja) | 圧電アクチュエータおよび機器 | |
JP2006296042A (ja) | 圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法、及び電子機器 | |
JP2018037507A (ja) | 振動子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220221 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220617 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220617 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220628 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220726 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220824 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7130416 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |