JP7120843B2 - 加速度計 - Google Patents
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Description
サポート及びサポートに可撓性脚により検知方向に沿って加わる加速度に応じて面内移動するように装着されるプルーフマスを備え、
このプルーフマスは、検知方向に対して実質的に垂直に延び、かつ検知方向に離間する複数の可動電極フィンガを備え、更に、
少なくとも4つの固定コンデンサ電極であって、それぞれが検知方向に対して実質的に垂直に延びかつ検知方向に離間する固定コンデンサ電極フィンガのセットを備える、少なくとも4つの固定コンデンサ電極を備え、
固定コンデンサ電極フィンガのそれぞれのセットは、可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、
プルーフマスは、プルーフマスの中心線上に位置決めされるプルーフマスアンカーにより、サポートに装着され、
プルーフマスは、少なくとも4つの固定コンデンサ電極を囲む外フレームの形態を取り、可撓性脚はプルーフマスからプルーフマスアンカーに向けて横方向内方に延び、
少なくとも4つの固定コンデンサ電極は、プルーフマスの中心線のそれぞれの側に1つずつ2つの内側固定コンデンサ電極、及びプルーフマスの中心線のそれぞれの側に1つずつ2つの外側固定コンデンサ電極を備え、
2つの内側固定コンデンサ電極のそれぞれは、基板に固着された固着部、及び中心線から離隔して固着部から延びかつこれに装着された固定コンデンサ電極フィンガを有する片持ちアームを備え、更に、
2つの外側固定コンデンサ電極は、内側固定コンデンサ電極の片持ちアームと検知方向で重なる位置で基板に固着された固着部、及び中心線から離隔して固着部から延びかつこれに装着された固定コンデンサ電極フィンガを有する片持ちアームを備える。
Claims (14)
- サポート及び前記サポートに可撓性脚により検知方向に沿って加わる加速度に応じて面内移動するように装着されるプルーフマスを備え、
前記プルーフマスは、前記検知方向に対して実質的に垂直に延び、かつ前記検知方向に離間する複数の可動電極フィンガを備え、更に、
少なくとも4つの固定コンデンサ電極であって、それぞれが前記検知方向に対して実質的に垂直に延びかつ前記検知方向に離間する固定コンデンサ電極フィンガのセットを備える、前記少なくとも4つの固定コンデンサ電極を備え、固定コンデンサ電極フィンガのそれぞれのセットは、前記可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、
前記プルーフマスは、前記プルーフマスの中心線上に位置決めされるプルーフマスアンカーにより、前記サポートに装着され、
前記プルーフマスは、前記少なくとも4つの固定コンデンサ電極を囲む外フレームの形態を取り、前記可撓性脚は前記プルーフマスから前記プルーフマスアンカーに向けて横方向内方に延び、
前記少なくとも4つの固定コンデンサ電極は、前記プルーフマスの前記中心線のそれぞれの側に1つずつ2つの内側固定コンデンサ電極、及び前記プルーフマスの前記中心線のそれぞれの側に1つずつ2つの外側固定コンデンサ電極を備え、
前記2つの内側固定コンデンサ電極のそれぞれは、基板に固着された固着部、及び前記中心線から離隔して前記固着部から延びかつこれに装着された固定コンデンサ電極フィンガを有する片持ちアームを備え、更に、
前記2つの外側固定コンデンサ電極は、内側固定コンデンサ電極の前記片持ちアームと前記検知方向で重なる位置で前記基板に固着された固着部、及び前記中心線から離隔して前記固着部から延びかつこれに装着された固定コンデンサ電極フィンガを有する片持ちアームを備える、加速度計用検知構造。 - 前記プルーフマスアンカーは、第1プルーフマスアンカー及び第2プルーフマスアンカーを備え、前記第1プルーフマスアンカー及び前記第2プルーフマスアンカーの双方が、前記プルーフマスの前記中心線上に位置決めされ、その間に間隙が形成され、前記2つの内側固定コンデンサ電極のそれぞれが少なくとも部分的に前記間隙内に位置決めされるその固着部を有する、請求項1に記載の検知構造。
- 前記第1プルーフマスアンカー及び前記第2プルーフマスアンカーは、前記中心線に沿う細い接続構造により一緒に接続される、請求項2に記載の検知構造。
- 前記第1プルーフマスアンカー及び前記第2プルーフマスアンカーは、別箇の構造として形成され、別箇の電気接続により電気的に接続される、請求項2に記載の検知構造。
- 前記可撓性脚は、前記第1プルーフマスアンカー及び前記第2プルーフマスアンカーにその内側で取り付けられる、請求項2、3または4に記載の検知構造。
- 固定コンデンサ電極フィンガのそれぞれのセットは、内側固定電極または外側固定電極の一方の片持ちアームに片持ち状態で装着される、請求項1~5のいずれかに記載の検知構造。
- それぞれの内側固定コンデンサ電極は、固着部から離隔して延びる2つの実質的に平行な片持ちアームを備えるC字状形状として形成される、請求項1~6のいずれかに記載の検知構造。
- 前記プルーフマスは、可撓性脚の2以上の別箇の対により、前記プルーフマスアンカーに接続される、請求項1~7のいずれかに記載の検知構造。
- 前記検知構造は、MEMSである、請求項1~8のいずれかに記載の検知構造。
- 前記サポートは、ガラスで形成される、請求項1~9のいずれかに記載の検知構造。
- 請求項1~10のいずれかに記載の検知構造を備える加速度計。
- 請求項9に記載の加速度計であって、前記検知構造は、前記中心線の一側の第1内側固定電極及び第1外側固定電極と、前記中心線の反対側の第2内側固定電極及び第2外側固定電極を備え、
前記第1内側固定電極の前記固定電極フィンガは、その間の中線から一方向にオフセットして前記可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、前記第2内側固定電極の前記固定電極フィンガは、その間の中線から反対方向に対称にオフセットして前記可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、
前記第1外側固定電極の前記固定電極フィンガは、その間の中線から一方向にオフセットして前記可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、前記第2外側固定電極の前記固定電極フィンガは、その間の中線から反対方向に対称にオフセットして前記可動電極フィンガと互いに噛み合うように配置され、
前記加速度計は、前記第2内側固定電極と同相で前記第1外側固定電極を駆動するように配置され、前記第1内側固定電極を前記第2外側固定電極と同相で駆動するように配置される、前記加速度計。 - 開ループ電子回路が、前記第1内側固定電極及び前記第1外側固定電極を逆位相で駆動するように配置され、前記第2内側固定電極及び前記第2外側固定電極を逆位相で駆動するように配置される、請求項11または12に記載の加速度計。
- 閉ループ電子回路が、前記第1内側固定電極及び前記第1外側固定電極を逆位相で駆動するように配置され、前記第2内側固定電極及び前記第2外側固定電極を逆位相で駆動するように配置される、請求項11または12に記載の加速度計。
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