JP7120688B1

JP7120688B1 - cleaning head

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Publication number: JP7120688B1
Application number: JP2021181802A
Authority: JP
Inventors: 義彦片岡; 智博白根
Original assignee: Hugle Development Co Ltd
Current assignee: Hugle Development Co Ltd
Priority date: 2021-11-08
Filing date: 2021-11-08
Publication date: 2022-08-17
Anticipated expiration: 2041-11-08
Also published as: JP2023069722A

Abstract

【課題】対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することのできるクリーニングヘッドを提供することである。【解決手段】対象物Ｗの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物Ｗの縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口２１と、対象物Ｗの前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口２２と、を有する構成となる。【選択図】図１４An object of the present invention is to provide a cleaning head capable of reliably removing dust adhering to the edge of an object. A cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object W, the cleaning head being arranged to face the surface of the edge portion of the object W and facing outward from the edge portion of the object. and a suction port 22 that is arranged outside the edge line of the edge portion of the object W and opens toward the edge portion side to suck the gas. . [Selection drawing] Fig. 14

Description

本発明は、クリーニングヘッドに関する。 The present invention relates to cleaning heads.

従来、特許文献１に記載された除塵ヘッド（クリーニングヘッド）が知られている。この除塵ヘッドは、シート状のワークＷ（対象物）の縁部分に付着した塵埃を除去するものであって、気体を噴出する３つの吐出孔と気体を吸引する６つの吸引孔とを有している。具体的には、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口とが移動するワークＷの縁部分の表面に対向するように配置され、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口がワークＷの縁部分の裏面に対向するように配置され、更に、２つの吸引孔とその間に位置する１つの吐出口がワークＷの縁部分の縁線に対向するように配置されている。 Conventionally, a dust removal head (cleaning head) described in Patent Document 1 is known. This dust removal head removes dust adhering to the edges of a sheet-like work W (object), and has three discharge holes for ejecting gas and six suction holes for sucking gas. ing. Specifically, two suction holes and one ejection port located therebetween are arranged so as to face the surface of the edge portion of the moving work W, and two suction holes and one ejection port located therebetween are arranged. are arranged so as to face the back surface of the edge portion of the work W, and two suction holes and one discharge port located between them are arranged so as to face the edge line of the edge portion of the work W.

このような構造の除塵装置では、シート状のワークＷが移動する状況において、３つの吐出孔から気体が噴出するとともに６つの吸引孔から気体が吸引される。これにより、移動するワークＷの表面、裏面、縁線に付着した塵埃が３つの吐出孔の３方向から噴出される気体によって吹き飛ばされ、それら吹き飛ばされた塵埃が気体とともに６つの吸引孔から３方向に吸引される。その結果、シート状のワークＷの縁部分の表面、裏面、及び縁線に付着した塵埃が除去される。 In the dust remover having such a structure, gas is ejected from the three discharge holes and sucked from the six suction holes while the sheet-like work W is moving. As a result, the dust adhering to the front surface, back surface, and edge line of the moving work W is blown away by the gas jetted from three directions of the three discharge holes, and the blown dust is blown off together with the gas from the six suction holes in three directions. is attracted to As a result, dust adhering to the front surface, back surface, and edge line of the edge portion of the sheet-like work W is removed.

特開２０１８－８３１９６号公報JP 2018-83196 A

上述したような除塵ヘッドでは、ワークＷの縁部分の表面（裏面）に対して垂直に吐出孔から気体が噴出する（例えば、特許文献１の図９参照）ので、ワークＷの縁部分の縁線の内方に吹き飛ばされる塵埃が発生し得る。このような塵埃を、ワークＷの縁線に沿って並ぶ２つの吸引孔によって気体とともに有効に吸引することができない。このため、ワークＷの縁部分より内側の表面に塵埃が残ってしまう可能性がある。このようなことは、ワークＷの裏面側においても同様に生じ得る。 In the dust removal head as described above, gas is ejected from the discharge holes perpendicularly to the surface (rear surface) of the edge portion of the work W (see, for example, FIG. 9 of Patent Document 1). Dust can be generated that is blown inside the line. Such dust cannot be effectively sucked together with gas by the two suction holes arranged along the edge line of the work W. For this reason, there is a possibility that dust will remain on the inner surface of the workpiece W from the edge portion. Such a situation can occur on the back side of the workpiece W as well.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することのできるクリーニングヘッドを提供するものである。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a cleaning head capable of reliably removing dust adhering to the edges of an object.

本発明に係るクリーニングヘッドは、対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object, is arranged to face the surface of the edge portion of the object, and is arranged outwardly from the edge portion of the object. and a suction port that is arranged outside the edge line of the edge portion of the object and opens to the edge portion side to suck the gas , wherein the The ejection port and the suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the object, and the width of the suction port in the direction is greater than the width of the ejection port in the direction. configuration.

このような構成により、対象物の縁部分の面に付着した塵埃は、吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得る。 With such a configuration, dust adhering to the surface of the edge portion of the object is blown outward from the edge portion by the gas ejected from the ejection port. The blown dust can be sucked together with gas by a suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object.

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、給気機構に結合される気体噴射室と、吸気機構に結合される気体吸引室と、前記気体噴射室と前記吐出口とをつなぐ給気経路と、前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、前記給気経路は、前記気体噴射室からの気体が前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに噴出するように誘導する傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。 In the cleaning head according to the present invention, a gas injection chamber coupled to an air supply mechanism, a gas suction chamber coupled to an intake mechanism, an air supply path connecting the gas injection chamber and the ejection port, and the gas suction a suction path connecting the chamber and the suction port, wherein the gas from the gas ejection chamber is jetted obliquely from the discharge port to the surface of the edge portion of the object in the air supply path. It can be configured to include a tilt guide portion that guides the

このような構成により、給気機構からの気体が気体噴射室から給気経路を通り吐出口に至る。給気経路を通る気体は、傾斜誘導部によって誘導されて吐出口から対象物の縁部分の面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、吸引口により気体とともに吸引され、吸気経路を通って気体吸引室に至る。 With such a configuration, the gas from the air supply mechanism passes through the air supply path from the gas injection chamber and reaches the discharge port. The gas passing through the air supply path is guided by the slanted guide portion and ejected obliquely from the surface of the edge portion of the object from the outlet toward the outside from the edge portion of the object. The dust blown outward from the edge portion of the object by the gas ejected from the discharge port is sucked together with the gas by the suction port by the suction action of the suction mechanism, passes through the suction path, and enters the gas suction chamber. reach.

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記吐出口はスリット状に形成され、前記給気経路は、前記スリット状の前記吐出口に続く２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を含む、構成とすることができる。 In the cleaning head according to the present invention, the ejection port is formed in a slit shape, and the air supply path includes a portion formed as a gap sandwiched between two surfaces following the slit-shaped ejection port. can be

このような構成により、給気機構からの気体が気体噴射室から、給気経路における２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を通ってスリット状の吐出口から噴出される。 With such a configuration, the gas from the air supply mechanism is ejected from the gas ejection chamber through the slit-shaped ejection port through the gap formed between the two surfaces of the air supply path.

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記２つの面の少なくとも一方の面には、前記気体の流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部が形成された、構成とすることができる。 In the cleaning head according to the present invention, at least one of the two surfaces may be formed with an uneven streak extending in a direction crossing the flow direction of the gas.

このような構成により、給気経路における２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を気体が通過する際に、凹凸条部によってその通過する気体が振動するようになり、スリット状の吐出口から振動する状態の気体が噴出される。このような振動する状態の気体によって対象物の縁部分に付着した塵埃が除去され易くなり得る。 With such a configuration, when the gas passes through the portion formed as a gap sandwiched between two surfaces in the air supply path, the passing gas vibrates due to the uneven streaks, resulting in a slit-like discharge. A vibrating gas is ejected from the outlet. Dust adhering to the edges of the object can be easily removed by the vibrating gas.

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記傾斜誘導部は、前記２つの面の間に形成された壁であって、前記給気経路を流動する気体を前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに吐出するように誘導する傾斜誘導壁を含む、構成とすることができる。 In the cleaning head according to the present invention, the inclined guiding portion is a wall formed between the two surfaces, and directs the gas flowing in the air supply path from the discharge port to the edge portion of the object. The configuration may include an inclined guide wall that guides the liquid to be discharged obliquely to the surface.

このような構成により、給気経路を通る気体は、２つの面の間に形成された傾斜誘導壁によって誘導されて吐出口から対象物の縁部分の面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。 With such a configuration, the gas passing through the air supply path is guided by the inclined guide wall formed between the two surfaces, and flows from the discharge port obliquely to the surface of the edge portion of the object. It is jetted outwardly from the edge portion.

本発明に係るクリーニングヘッドは、表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の表面に対して設けられる第１ヘッド部と、前記対象物の裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、前記第１ヘッド部は、前記対象物の前記縁部分の前記表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第１吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、前記第２ヘッド部は、前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、前記対象物の前記縁部分の前記縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第２吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object having a front surface and a back surface, the cleaning head comprising: a first head unit provided for the surface of the object; a second head portion provided against a back surface, the first head portion being disposed opposite the front surface of the edge portion of the object and extending outwardly from the edge portion of the object; and a first suction port that is arranged outside the edge line of the edge portion of the object and that opens toward the edge portion to suck the gas. and the first ejection port and the first suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the object, and the width of the first suction port in the direction is , the second head portion is arranged to face the back surface of the edge portion of the object, and is obliquely directed outward from the edge portion of the object. and a second suction port that is arranged outside the edge line of the edge portion of the object and opens toward the edge portion side to suck gas , The second ejection port and the second suction port are arranged to overlap each other in the direction along the edge line of the object, and the width of the second suction port in the direction is the width of the second suction port in the direction. 2, the width of which is larger than that of the ejection port .

このような構成により、対象物の縁部分の表面に付着した塵埃は、第１ヘッド部の第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、第１ヘッド部の前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口により気体とともに吸引され得る。また、対象物の縁部分の裏面に付着した塵埃は、第２ヘッド部の第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃は、第２ヘッド部の前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された第２吸引口により気体とともに吸引される。 With such a configuration, dust adhering to the surface of the edge portion of the object is blown outward from the edge portion by the gas ejected from the first ejection port of the first head section. The blown dust can be sucked together with gas by the first suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object of the first head section. Further, the dust adhering to the rear surface of the edge portion of the object is blown outward from the edge portion by the gas ejected from the second ejection port of the second head section. The blown dust is sucked together with gas by the second suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object of the second head portion.

本発明に係るクリーニングヘッドにおいて、前記第１ヘッド部は、給気機構に結合される第１気体噴射室と、吸気機構に結合される第１気体吸引室と、前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、前記第１気体吸引室と前記第１吸引口とをつなぐ第１吸気経路と、を有し、前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、前記第２ヘッド部は、給気機構に結合される第２気体噴射室と、吸気機構に結合される第２気体吸引室と、前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、前記第２気体吸引室と前記第２吸引口とをつなぐ第２吸気経路と、を有し、前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。 In the cleaning head according to the present invention, the first head section includes a first gas injection chamber coupled to an air supply mechanism, a first gas suction chamber coupled to an intake mechanism, the first gas injection chamber and the a first air supply path connecting with a first discharge port; and a first air intake path connecting the first gas suction chamber and the first suction port, wherein the first air supply path The second head includes a first tilt guide section that guides the gas from the gas jetting chamber to discharge obliquely from the first discharge port to the surface of the edge portion of the object, and a second gas injection chamber coupled to an air mechanism; a second gas suction chamber coupled to an intake mechanism; a second air supply path connecting the second gas injection chamber and the second discharge port; 2 a second intake path connecting the gas suction chamber and the second suction port, wherein the second air supply path allows the gas from the second gas injection chamber to flow from the second discharge port to the target object; may be configured to include a second inclined guiding portion that guides the ink to be discharged obliquely with respect to the back surface of the edge portion of the .

このような構成により、第１ヘッド部において、給気機構からの気体が第１気体噴射室から第１給気経路を通り第１吐出口に至る。第１給気経路を通る気体は、第１傾斜誘導部によって誘導されて第１吐出口から対象物の縁部分の表面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第１吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、第１吸引口により気体とともに吸引され、第１吸気経路を通って第１気体吸引室に至る。また、第２ヘッド部において、給気機構からの気体が第２気体噴射室から第２給気経路を通り第２吐出口に至る。第２給気経路を通る気体は、第２傾斜誘導部によって誘導されて第２吐出口から対象物の縁部分の裏面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第２吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、第２吸引口により気体とともに吸引され、第２吸気経路を通って第２気体吸引室に至る。 With such a configuration, in the first head portion, the gas from the air supply mechanism passes through the first air supply path from the first gas injection chamber and reaches the first ejection port. The gas passing through the first air supply path is guided by the first slant guide portion and is directed from the first discharge port obliquely to the surface of the edge portion of the object toward the outside from the edge portion of the object. to, it is erupted. Dust blown outward from the surface of the edge portion of the object by the gas ejected from the first discharge port is sucked together with the gas by the first suction port due to the suction action of the suction mechanism. It reaches the first gas suction chamber through the path. Also, in the second head portion, the gas from the air supply mechanism passes through the second air supply path from the second gas injection chamber and reaches the second ejection port. The gas passing through the second air supply path is guided by the second slant guide portion and is directed from the second discharge port obliquely to the back surface of the edge portion of the object toward the outside from the edge portion of the object. to, it is erupted. Dust blown outward from the rear surface of the edge portion of the object by the gas ejected from the second discharge port is sucked together with the gas by the second suction port by the suction action of the suction mechanism. It reaches the second gas suction chamber through the path.

本発明に係るクリーニングヘッドは、表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、対象物の縁部分の表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、前記対象物の前記縁部分の裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object having a front surface and a back surface, the cleaning head being arranged so as to face the surface of the edge portion of the object. a first ejection port for ejecting gas obliquely outward from the edge portion; and a suction port that is arranged outside the edge line of the edge portion of the object and opens toward the edge portion to suck the gas , wherein the object is The first ejection port, the second ejection port, and the suction port are arranged so as to overlap in the direction along the edge line, and the width of the suction port in the direction is equal to the width of the first ejection port in the direction. It is configured to be larger than the width of each of the outlet and the second outlet .

このような構成により、対象物の縁部分の表面に付着した塵埃は、第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。また、前記対象物の前記縁部分の裏面に付着した塵埃は、第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。前記対象物の縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされる塵埃は、前記対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得る。 With such a configuration, dust adhering to the surface of the edge portion of the object is blown outward from the edge portion by the gas ejected from the first ejection port. Further, the dust adhering to the rear surface of the edge portion of the object is blown outward from the edge portion by the gas ejected from the second ejection port. The dust blown outward from each of the front surface and the back surface of the edge portion of the object can be sucked together with gas by the suction ports arranged outside the edge line of the edge portion of the object.

本発明に係るクリーニングヘッドは、それぞれ給気機構に結合される第１気体噴射室及び第２気体噴射室と、吸気機構に結合される気体吸引室と、前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、構成とすることができる。 A cleaning head according to the present invention includes a first gas ejection chamber and a second gas ejection chamber coupled to an air supply mechanism, a gas suction chamber coupled to an intake mechanism, and the first gas ejection chamber and the first gas ejection chamber. a first air supply path connecting the ejection port; a second air supply path connecting the second gas ejection chamber and the second ejection port; and an intake path connecting the gas suction chamber and the suction port. and the first air supply path guides the gas from the first gas injection chamber to be discharged obliquely from the first discharge port to the surface of the edge portion of the object. The second gas supply path includes an inclined guide portion, and the second air supply path guides the gas from the second gas injection chamber to be discharged obliquely from the second discharge port to the back surface of the edge portion of the object. It can be configured to include a second tilt guide portion that

このような構成により、給気機構からの気体が第１気体噴射室から第１給気経路を通り第１吐出口に至る。第１給気経路を通る気体は、第１傾斜誘導部によって誘導されて第１吐出口から対象物の縁部分の表面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。また、給気機構からの気体が第２気体噴射室から第２給気経路を通り第２吐出口に至る。第２給気経路を通る気体は、第２傾斜誘導部によって誘導されて第２吐出口から対象物の縁部分の裏面に対して斜めに、当該対象物の前記縁部分から外方に向かう側に、噴出される。そして、第１吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃、及び第２吐出口から噴出される気体により前記対象物の前記縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、吸気機構の吸気作用によって、吸引口により気体とともに吸引され、吸気経路を通って気体吸引室に至る。 With such a configuration, the gas from the air supply mechanism reaches the first discharge port from the first gas injection chamber through the first air supply path. The gas passing through the first air supply path is guided by the first slant guide portion and is directed from the first discharge port obliquely to the surface of the edge portion of the object toward the outside from the edge portion of the object. to, it is erupted. Also, the gas from the air supply mechanism passes through the second air supply path from the second gas injection chamber and reaches the second discharge port. The gas passing through the second air supply path is guided by the second slant guide portion and is directed from the second discharge port obliquely to the back surface of the edge portion of the object toward the outside from the edge portion of the object. to, it is erupted. Dust is blown outward from the surface of the edge portion of the object by the gas ejected from the first ejection port, and dust is blown away from the back surface of the edge portion of the object by the gas ejected from the second ejection port. The dust blown outward is sucked together with gas by the suction port by the suction action of the suction mechanism, and reaches the gas suction chamber through the suction path.

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２面と、を有し、前記第１面に、前記第２面に向う側に斜めに気体を噴出するように吐出口が形成され、前記第２面に気体を吸引する吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of a sheet, comprising: a first surface arranged to face the surface of the edge portion of the sheet; and the edge portion of the sheet. a second surface arranged toward the edge portion side outside the edge line of the first surface, and a discharge port is provided on the first surface so as to obliquely eject gas toward the second surface. a suction port for sucking gas is formed on the second surface, and the discharge port and the suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the sheet; The width of the suction port is larger than the width of the discharge port in that direction .

このような構成により、クリーニングヘッドは、シートに対して、第１面がシートの縁部分の表面に対向するとともに、第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置される。この状態で、第１面の吐出口から第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第２面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。 With such a configuration, the cleaning head has the first surface facing the surface of the edge portion of the sheet and the second surface facing the edge line of the edge portion of the sheet. Placed facing sideways. In this state, gas is jetted obliquely toward the second side from the discharge port of the first surface, so that the dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet is removed by the gas jetted from the discharge port. It can be blown outward from the part. The blown dust can be sucked together with gas into a suction port formed on the second surface arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet.

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、シートの表面に対して設けられる第１ヘッド部と、前記シートの裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、前記第１ヘッド部は、前記シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１ヘッド側第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第１ヘッド側第２面と、を有し、前記第１ヘッド側第１面に、前記第１ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、前記第１ヘッド側第２面に、気体を吸引する第１吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、前記第２ヘッド部は、前記シートの前記縁部分の裏面に対向するように配置される第２ヘッド側第１面と、前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２ヘッド側第２面と、を有し、前記第２ヘッド側第１面に、前記第２ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、前記第２ヘッド側第２面に、気体を吸引する第２吸引口が形成され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of a sheet, and includes a first head portion provided on the front surface of the sheet and a second head portion provided on the back surface of the sheet. a head portion, wherein the first head portion has a first head-side first surface arranged to face the surface of the edge portion of the sheet; and the outside of the edge line of the edge portion of the sheet. and a first head-side second surface arranged toward the edge portion side, and a gas is obliquely supplied to the first head-side first surface toward the first head-side second surface. A first ejection port for ejecting gas is formed, and a first suction port for sucking gas is formed on the second surface on the first head side. The first suction port is arranged so as to overlap with the first suction port, and the width of the first suction port in the direction is larger than the width of the first ejection port in the direction, and the second head section is arranged to cover the sheet. a second head-side first surface arranged to face the back surface of the edge portion; and a second head-side first surface arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet toward the edge portion side. a second ejection port is formed on the first surface on the second head side to eject gas obliquely toward the second surface on the second head side; A second suction port for sucking gas is formed on the surface, and the second ejection port and the second suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the sheet, and The width of the second suction port is larger than the width of the second ejection port in the direction .

このような構成により、第１ヘッド部は、シートに対して、第１ヘッド部側第１面がシートの縁部分の表面に対向するとともに、第１ヘッド側第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置されるとともに、第２ヘッドは、シートに対して、第２ヘッド部側第１面がシートの縁部分の裏面に対向するとともに、第２ヘッド側第２面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けた状態で配置される。第１ヘッド部及び第２ヘッド部がこのようにシートに対して配置された状態のクリーニングヘッドにおいて、第１ヘッド側第１面の第１吐出口から第１ヘッド側第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第１ヘッド側第２面に形成された第１吸引口に気体とともに吸引され得る。また、第２ヘッド側第１面の第２吐出口から第２ヘッド側第２面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の裏面に付着した塵埃は、前記第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第２ヘッド側第２面に形成された第２吸引口に気体とともに吸引され得る。 With this configuration, the first head side first surface of the first head portion faces the surface of the edge portion of the sheet, and the first head side second surface of the sheet faces the edge portion of the sheet. The second head is arranged outside the edge line of the sheet so as to face the edge portion, and the second head faces the back surface of the edge portion of the sheet. In addition, the second head-side second surface is arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet in a state facing the edge portion side. In the cleaning head in which the first head portion and the second head portion are arranged with respect to the sheet in this way, the side from the first ejection port on the first side first surface of the first head toward the second side of the first head side By jetting the gas obliquely, the dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet can be blown outward from the edge portion by the gas jetted from the first ejection port. The blown dust can be sucked together with gas into the first suction port formed on the second surface of the first head located outside the edge line of the edge portion of the sheet. Further, the gas is jetted obliquely from the second discharge port on the first surface on the second head side toward the second surface on the second head side. It can be blown outward from its edges by the gas ejected from the two outlets. The blown dust can be sucked together with gas into a second suction port formed on the second surface of the second head located outside the edge line of the edge portion of the sheet.

本発明に係るクリーニングヘッドは、シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、溝部を構成する、相互に対向する第１面及び第２面と底面としての第３面とを有し、前記第１面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、前記第２面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、前記第３面に、気体を吸引する吸引口が形成され、前記第１面が前記シートの前記縁部分の前記表面に対向し、前記第２面が前記シートの縁部分の前記裏面に対向し、前記第３面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に配置され、前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、構成となる。
A cleaning head according to the present invention is a cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of a sheet, and comprises a first surface and a second surface facing each other, and a third surface as a bottom surface, which form a groove. the first surface is formed with a first discharge port that obliquely discharges gas toward the third surface; and the second surface is formed with a first discharge port that obliquely discharges gas toward the third surface. 2 ejection ports are formed, a suction port for sucking gas is formed on the third surface, the first surface faces the surface of the edge portion of the sheet, and the second surface is the edge of the sheet. The third surface faces the back surface of the portion, the third surface is arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet, and the first ejection port and the second ejection port are arranged in a direction along the edge line of the sheet. and the suction port are arranged so as to overlap each other, and the width of the suction port in the direction is larger than the width of each of the first ejection port and the second ejection port in the direction .

このような構成により、シートの縁部分の表面が第１面に対向し、当該シートの縁部分の裏面が第２面に対向し、シートの前記縁部分の縁線の外側に第３面が配置されるように、前記シートが前記第１面、前記第２面及び前記第３面（底面）で構成された溝部に対して配置される。この状態で、第１面の第１吐出口から第３面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の表面に付着した塵埃は、前記第１吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第３面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。また、第２面の第２吐出口から第３面に向かう側に斜めに気体が噴出することにより、前記シートの縁部分の裏面に付着した塵埃は、前記第２吐出口から噴出する気体によりその縁部分から外方に吹き飛ばされ得る。その吹き飛ばされる塵埃は、前記シートの縁部分の縁線の外側に配置される第３面に形成された吸引口に気体とともに吸引され得る。 With such a configuration, the front surface of the edge portion of the sheet faces the first surface, the back surface of the edge portion of the sheet faces the second surface, and the third surface is outside the edge line of the edge portion of the sheet. The sheet is placed against the groove formed by the first surface, the second surface and the third surface (bottom surface). In this state, gas is jetted obliquely from the first ejection port of the first surface toward the third surface, so that the dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet is ejected from the first ejection port. It can be blown outward from its edge portion by gas. The blown dust can be sucked together with gas into a suction port formed on the third surface arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet. In addition, since the gas is jetted obliquely toward the third side from the second ejection port of the second surface, the dust adhering to the back surface of the edge portion of the sheet is removed by the gas ejected from the second ejection port. It can be blown outward from its edge portion. The blown dust can be sucked together with gas into a suction port formed on the third surface arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet.

本発明に係るクリーニングヘッドによれば、吐出口から噴出する気体により対象物の縁部分から外方に吹き飛ばされた塵埃が、その対象物の縁部分の縁線より外側に配置された吸引口により気体とともに吸引され得るので、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することができる。 According to the cleaning head of the present invention, the dust blown outward from the edge portion of the object by the gas ejected from the ejection port is removed by the suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object. Since it can be sucked together with gas, the dust adhering to the edge portion of the object can be reliably removed.

図１は、スリッタによって切断されるシートの縁部分に配置された本発明の実施の一形態に係るクリーニングヘッドを示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a cleaning head according to one embodiment of the present invention arranged at the edge of a sheet to be cut by a slitter. 図２は、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの外観を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the appearance of the cleaning head according to the first embodiment of the invention. 図３は、本発明の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing the cleaning head according to the embodiment of the invention. 図４は、クリーニングヘッドの図３におけるＡ１－Ａ１断面を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the A1-A1 cross section in FIG. 3 of the cleaning head. 図５は、クリーニングヘッドの図４におけるＢ１－Ｂ１断面を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the B1-B1 cross section in FIG. 4 of the cleaning head. 図６は、クリーニングヘッドの図３におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing the C1-C1 section in FIG. 3 of the cleaning head. 図７は、本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す図（側面図）である。FIG. 7 is a diagram (side view) showing a modification of the cleaning head according to the first embodiment of the present invention. 図８は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの外観を示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing the appearance of the cleaning head according to the second embodiment of the invention. 図９は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing a cleaning head according to a second embodiment of the invention. 図１０は、クリーニングヘッドの図９におけるＡ２－Ａ２断面を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing the A2-A2 cross section in FIG. 9 of the cleaning head. 図１１は、クリーニングヘッドの図１０におけるＢ２－Ｂ２断面を示す断面図である。11 is a cross-sectional view showing the B2-B2 cross section in FIG. 10 of the cleaning head. 図１２は、クリーニングヘッドの図９におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing the C1-C1 cross section in FIG. 9 of the cleaning head. 図１３は、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す図（側面図）である。FIG. 13 is a diagram (side view) showing a modification of the cleaning head according to the second embodiment of the invention. 図１４は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing a cleaning head according to a third embodiment of the invention. 図１５は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す平面図である。FIG. 15 is a plan view showing a cleaning head according to the third embodiment of the invention. 図１６Ａは、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドの対象物に対する他の配置例を示す図（側面図）である。FIG. 16A is a diagram (side view) showing another arrangement example of the cleaning head with respect to the object according to the third embodiment of the present invention. 図１６Ｂは、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドの対象物に対する更に他の配置例を示す図（側面図）である。FIG. 16B is a diagram (side view) showing still another arrangement example of the cleaning head with respect to the object according to the third embodiment of the present invention;

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、例えば、図１に示すように使用することができる。 The cleaning head according to the first embodiment of the invention can be used, for example, as shown in FIG.

図１において、クリーニングヘッド１０は、長尺のシート（例えば、光学フィルムやプリント基板材料、二次電池材料）をある幅でその長手方向に切断するスリッタ―において使用される。スリッターにおいて、ローラ２００に対向するように円盤状のスリッター刃１００が設けられている。ロール（不図示）から繰り出されるシートがローラ２００と回転するスリッタ―刃１００との間を通過する過程で、スリッター刃１００によって長手方向に切断されて所定幅の２つのシート材Ｓ１、Ｓ２に分かれて送られていく。２つのシート材Ｓ１、Ｓ２の切断線Ｓ１ｃ、Ｓ２ｃのそれぞれをカバーするようにクリーニングヘッド１０が設けられている。クリーニングヘッド１０は、切断により発生してシート材Ｓ１、Ｓ２（対象物）それぞれの切断線Ｓ１ｃ、Ｓ２ｃ（縁線）からある幅の縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃を除去する。 In FIG. 1, the cleaning head 10 is used in a slitter that cuts a long sheet (for example, optical film, printed circuit board material, secondary battery material) to a certain width in its longitudinal direction. In the slitter, a disk-shaped slitter blade 100 is provided so as to face the roller 200 . A sheet delivered from a roll (not shown) is cut in the longitudinal direction by the slitter blade 100 in the process of passing between the roller 200 and the rotating slitter blade 100 to be divided into two sheet materials S1 and S2 having a predetermined width. is sent. A cleaning head 10 is provided so as to cover the cutting lines S1c and S2c of the two sheet materials S1 and S2. The cleaning head 10 removes dust generated by cutting and adhering to the front and rear surfaces of edge portions of a certain width from the cutting lines S1c and S2c (edge lines) of the sheet materials S1 and S2 (objects).

本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、図２乃至図６に示すように構成される。なお、図２はクリーニングヘッド１０の外観を示す側面図、図３はクリーニングヘッド１０を示す正面図、図４はクリーニングヘッド１０の図３におけるＡ１－Ａ１断面を示す断面図、図５はクリーニングヘッド１０の図４におけるＢ１－Ｂ１断面を示す断面図、また、図６はクリーニングヘッド１０の図３におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。 A cleaning head 10 according to the first embodiment of the present invention is constructed as shown in FIGS. 2 is a side view showing the appearance of the cleaning head 10, FIG. 3 is a front view showing the cleaning head 10, FIG. 4 is a sectional view showing the A1-A1 section of the cleaning head 10 in FIG. 3, and FIG. 5 is the cleaning head. 10 is a sectional view showing the B1-B1 section in FIG. 4, and FIG. 6 is a sectional view showing the C1-C1 section of the cleaning head 10 in FIG.

図２乃至図６において、このクリーニングヘッド１０は、それぞれ金属（例えば、アルミニウム）製のブロック体で構成される第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとを有する。第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、同じ構造であって、相互に対向し、対称的に配置される。なお、第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、連結プレート等（図示略）により結合されることにより一体化されている。 2 to 6, the cleaning head 10 has a first head portion 10a and a second head portion 10b, each of which is a block made of metal (for example, aluminum). The first head portion 10a and the second head portion 10b have the same structure, are opposed to each other, and are arranged symmetrically. The first head portion 10a and the second head portion 10b are integrated by being connected by a connecting plate or the like (not shown).

第１ヘッド部１０ａの背面には給気ポート１１ａと排気ポート１２ａが設けられ、第２ヘッド部１０ｂの背面にも給気ポート１１ｂと排気ポート１２ｂが設けられている（図２参照）。給気ポート１１ａ、１１ｂのそれぞれは、コンプレッサー等の高圧エア（気体）を送り出す給気機構（図示略）に接続される。排気ポート１２ａ、１２ｂのそれぞれは、エアを吸引するバキューム装置等の吸気機構（図示略）に接続される。第１ヘッド部１０ａの第２ヘッド部１０ｂに対向する側に、第１ヘッド側第１面１３ａと、第１ヘッド側第１面１３ａの端縁から第２ヘッド部１０ｂ側に直角に立ち上がる第１ヘッド側第２面１４ａとが形成されている。また、第２ヘッド部１０ｂの第１ヘッド部１０ａに対向する側に、第２ヘッド側第１面１３ｂと、第２ヘッド側第１面１３ｂの縁端から第１ヘッド部１０ａ側に直角に立ち上がる第２ヘッド側第２面１４ｂとが形成されている。 An air supply port 11a and an exhaust port 12a are provided on the rear surface of the first head portion 10a, and an air supply port 11b and an exhaust port 12b are also provided on the rear surface of the second head portion 10b (see FIG. 2). Each of the air supply ports 11a and 11b is connected to an air supply mechanism (not shown) such as a compressor that delivers high pressure air (gas). Each of the exhaust ports 12a and 12b is connected to an intake mechanism (not shown) such as a vacuum device for sucking air. On the side of the first head portion 10a facing the second head portion 10b, there is provided a first head-side first surface 13a, and a second head portion 13b rising at right angles from the edge of the first head-side first surface 13a toward the second head portion 10b. 1 head side second surface 14a is formed. Further, on the side of the second head portion 10b facing the first head portion 10a, a second head-side first surface 13b and a second head-side first surface 13b perpendicular to the first head portion 10a side from the edge of the second head-side first surface 13b. A rising second head side second surface 14b is formed.

第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとは、第１ヘッド側第１面１３ａと第２ヘッド側第１面１３ｂとが所定の間隔をもって対向するとともに、第１ヘッド側第２面１４ａと第２ヘッド側第２面１４ｂとが同じ方向（前方）を向いて僅かな隙間をもって並ぶように、配置されている。そして、相互に対向する第１ヘッド側第１面１３ａ及び第２ヘッド側第１面１３ｂと、同じ方向を向いて僅かな隙間をもって並んで配置される第１ヘッド側第２面１４ａ及び第２ヘッド側第２面１４ｂとによって形成される溝部１５に、除塵の対象物であるシートＳの縁部分が通るように、シートＳに対してクリーニングヘッド１０がセットされる（図１、図２参照）。 The first head portion 10a and the second head portion 10b are configured such that the first head side first surface 13a and the second head side first surface 13b face each other with a predetermined gap, and the first head side second surface 14a It is arranged so that the second head-side second surface 14b faces the same direction (forward) and is aligned with a slight gap. Then, the first head-side first surface 13a and the second head-side first surface 13b, which face each other, and the first head-side second surface 14a and the second head-side first surface 14a and the second head-side first surface 14a and the second head-side first surface 14a, which face the same direction and are arranged side by side with a slight gap, are arranged. The cleaning head 10 is set on the sheet S so that the edge portion of the sheet S, which is an object to be dust-removed, passes through the groove 15 formed by the head-side second surface 14b (see FIGS. 1 and 2). ).

第１ヘッド側第１面１３ａには、第１ヘッド側第２面１４ａに向かう方向（例えば、第１ヘッド側第２面１４ａに対して垂直な方向、図５における紙面に垂直な方向、図６における左右方向）に延びるスリット状の第１吐出口２１ａが形成されている（図５、図６参照）。第１吐出口２１ａは、溝部１５を通るシートＳ（対象物）の縁部分の一方の面（表面）に対向するようになる（図４参照）。第２ヘッド側第１面１３ｂにも、第２ヘッド側第２面１４ｂに向かう方向（例えば、第２ヘッド側第２面１４ｂに対して垂直な方向）に延びるスリット状の第２吐出口２１ｂが形成されている。第２吐出口２１ｂは、溝部１５を通るシートＳ（対象物）の縁部分の他方の面（裏面）に対向するようになる（図４参照）。
The first head-side first surface 13a has a direction toward the first head-side second surface 14a (for example, a direction perpendicular to the first head-side second surface 14a, a direction perpendicular to the plane of FIG. 6) is formed (see FIGS. 5 and 6). The first ejection port 21a faces one surface (surface) of the edge portion of the sheet S (object) passing through the groove portion 15 (see FIG. 4). Also on the second head side first surface 13b is a slit-shaped second ejection opening 21b extending in a direction toward the second head side second surface 14b (for example, a direction perpendicular to the second head side second surface 14b). is formed. The second ejection port 21b faces the other surface (back surface) of the edge portion of the sheet S (object) passing through the groove portion 15 (see FIG. 4).

また、シートＳの縁部分の縁線より外側に配置される第１ヘッド側第２面１４ａにはシートＳの移動方向（図３、図５において横方向）側に長い長方形状の第１吸引口２２ａが形成されている（図３、図５参照）。また、シートＳの縁部分の縁線より外側に配置される第２ヘッド側第２面１４ｂにも、シートＳの移動方向側に長い長方形状の第２吸引口２２ｂが形成されている（図３、図５参照）。 Further, on the first head side second surface 14a arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet S, there is a rectangular first suction that is elongated in the moving direction of the sheet S (horizontal direction in FIGS. 3 and 5). A mouth 22a is formed (see FIGS. 3 and 5). In addition, a rectangular second suction port 22b long in the moving direction of the sheet S is also formed on the second head side second surface 14b arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet S (FIG. 3, see Figure 5).

特に、図４を参照するに、第１ヘッド部１０ａには、給気ポート１１ａからつながる第１気体噴射室２３ａが形成され、更に、第１気体噴射室２３ａと第１ヘッド側第１面１３ａに形成された第１吐出口２１ａとをつなぐ第１給気経路２５ａが形成されている。給気機構から給気ポート１１ａを介して第１ヘッド部１０ａに導入される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に向けて噴出するようになる。 In particular, referring to FIG. 4, the first head portion 10a is formed with a first gas injection chamber 23a connected to the air supply port 11a, and the first gas injection chamber 23a and the first head side first surface 13a are formed. A first air supply path 25a is formed to connect with the first discharge port 21a formed in . The high-pressure air introduced from the air supply mechanism to the first head portion 10a through the air supply port 11a passes through the first gas injection chamber 23a and the first air supply path 25a, and reaches the edge of the sheet S from the first ejection port 21a. It will erupt toward the surface of the part.

また、第１ヘッド部１０ａには、排気ポート１２ａにつながる第１気体吸引室２４ａが形成され、更に、第１気体吸引室２４ａと第１ヘッド側第２面１４ａに形成された第１吸引口２２ａとをつなぐ第１吸気経路２７ａが形成されている。吸気機構の吸気作用により、第１吸引口２２ａを通して吸引されるエアは、第１吸気経路２７ａ及び第１気体吸引室２４ａを通り、排気ポート１２ａから吸気機構に向けて排出されるようになる。 A first gas suction chamber 24a connected to the exhaust port 12a is formed in the first head portion 10a, and a first suction port is formed in the first gas suction chamber 24a and the first head side second surface 14a. 22a is formed. Due to the suction action of the suction mechanism, air sucked through the first suction port 22a passes through the first suction path 27a and the first gas suction chamber 24a and is discharged from the exhaust port 12a toward the suction mechanism.

第２ヘッド部１０ｂには、第１ヘッド部１０ｂと同じように、給気ポート１１ｂからつながる第２気体噴射室２３ｂが形成され、更に、第２気体噴射室２３ｂと第２ヘッド側第１面１３ｂに形成された第２吐出口２１ｂとつなぐ第２給気経路２５ｂが形成されている。給気機構から給気ポート１１ｂを介して第２ヘッド部１０ｂに導入される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に向けて噴出するようになる。 In the second head portion 10b, as in the first head portion 10b, a second gas injection chamber 23b connected from the air supply port 11b is formed. A second air supply path 25b is formed to connect with the second outlet 21b formed in 13b. The high-pressure air introduced from the air supply mechanism to the second head portion 10b through the air supply port 11b passes through the second gas injection chamber 23b and the second air supply path 25b, and reaches the edge of the sheet S from the second discharge port 21b. It comes to blow out toward the back side of the part.

また、第２ヘッド部１０ｂには、第１ヘッド部１０ａと同じように、排気ポート１２ｂにつながる第２気体吸引室２４ｂが形成され、更に、第２気体吸引室２４ｂと第２ヘッド側第２面１４ｂに形成された第２吸引口２２ｂとをつなぐ第２吸気経路２７ｂが形成されている。吸気機構の吸気作用により、第２吸引口２２ｂを通して吸引されるエアは、第２吸気経路２７ｂ及び第２気体吸引室２４ｂを通り、排気ポート１２ｂから吸気機構に向けて排出されるようになる。 Further, in the second head portion 10b, a second gas suction chamber 24b connected to the exhaust port 12b is formed in the same way as in the first head portion 10a. A second intake path 27b is formed to connect with the second suction port 22b formed in the surface 14b. Due to the suction action of the suction mechanism, the air sucked through the second suction port 22b passes through the second suction path 27b and the second gas suction chamber 24b and is discharged from the exhaust port 12b toward the suction mechanism.

第１ヘッド部１０ａにおいて、第１給気経路２５ａは、第１ヘッド側第１面１３ａにスリット状に形成された第１吐出口２１ａに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され（図５、図６参照）、第１吐出口２１ａにおいて開放される。第１給気経路２５ａの第１吐出口２１ａに至る直前の部分には、当該第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する前記２つの面の間に形成され、第１吐出口２１ａから噴出するエアを第１ヘッド側第２面１４ａ側に誘導する第１傾斜誘導壁２６ａ（第１傾斜誘導部）が形成されている。この第１傾斜誘導壁２６ａにより、第１給気経路２５ａを通るエアは、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図４参照）。 In the first head portion 10a, the first air supply path 25a is formed as a gap sandwiched between two surfaces following the slit-shaped first ejection port 21a formed in the first head-side first surface 13a (Fig. 5, see FIG. 6), and is opened at the first outlet 21a. The portion of the first air supply path 25a immediately before reaching the first outlet 21a is formed between the two surfaces forming the first air supply path 25a (gap), and the air is ejected from the first outlet 21a. A first tilt guide wall 26a (first tilt guide portion) is formed to guide the air to the first head side second surface 14a side. Due to this first inclined guide wall 26a, the air passing through the first air supply path 25a is directed outward from the edge portion of the sheet S from the first discharge port 21a obliquely with respect to the surface of the edge portion of the sheet S. It will be ejected in the direction side (see FIG. 4).

第２ヘッド部１０ｂにおいて、第２給気経路２５ｂは、第２ヘッド側第１面１３ｂにスリット状に形成された第２吐出口２１ｂに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され、第２吐出口２１ｂにおいて開放される。第２給気経路２５ｂの第２吐出口２１ｂに至る直前の部分には、当該第２吸気経路２５ｂを形成する前記２つの面の間に形成され、第２吐出口２１ｂから噴出するエアを第２ヘッド側第２面１４ｂ側に誘導する第２傾斜誘導壁２６ｂ（第２傾斜誘導部）が形成されている。この第２傾斜誘導壁２６ｂにより、第２吸気経路２５ｂを通るエアは、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図４参照）。 In the second head portion 10b, the second air supply path 25b is formed as a gap sandwiched between two surfaces following the slit-shaped second ejection port 21b formed in the second head side first surface 13b. It is opened at the second outlet 21b. A portion of the second air supply path 25b immediately before reaching the second outlet 21b is formed between the two surfaces forming the second air intake path 25b, and the air ejected from the second outlet 21b A second tilt guide wall 26b (second tilt guide portion) is formed to guide the second head side second surface 14b. Due to this second inclined guide wall 26b, the air passing through the second air intake path 25b is directed from the second discharge port 21b obliquely to the back surface of the edge portion of the sheet S in a direction outward from the edge portion of the sheet S. to the side, it will be ejected (see Figure 4).

第１ヘッド部１０ａにおいて、第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する２つの面の一方には、図４とともに図５に示すように、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。第２ヘッド部１０ｂにおいても、第２給気経路２５ｂ（隙間）を形成する２つの面の一方には、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。なお、第１給気経路２５ａ（隙間）及び第２吸気経路２５ｂ（隙間）のそれぞれを形成する２つの面の双方に凹凸条部ＳＴを形成するようにしてもよい。また、凹凸条溝ＳＴに代えて、複数の突起を設けるようにしてもよい。 In the first head portion 10a, on one of the two surfaces forming the first air supply path 25a (gap), as shown in FIG. 5 together with FIG. is formed. Also in the second head portion 10b, one of the two surfaces forming the second air supply path 25b (gap) is formed with an uneven streak portion ST extending in a direction crossing the air flow direction. Note that the uneven streaks ST may be formed on both of the two surfaces forming the first air supply path 25a (gap) and the second air intake path 25b (gap). Also, instead of the uneven grooves ST, a plurality of projections may be provided.

上述したようなクリーニングヘッド１０は、前述したように第１ヘッド部１０ａと第２ヘッド部１０ｂとの間に形成される溝部１５に長手方向に移動するシートＳの縁部分が通るように（図１、図２参照）、当該シートＳに対してセットされた状態で、次のように動作する。 The cleaning head 10 as described above is configured such that the edge portion of the sheet S moving in the longitudinal direction passes through the groove portion 15 formed between the first head portion 10a and the second head portion 10b as described above (Fig. 1, see FIG. 2), and in a state where the sheet S is set, the operation is performed as follows.

第１ヘッド部１０ａにおいて、給気ポート１１ａを介して給気機構に結合する第１気体噴射室２３ａは、当該給気機構から高圧エアが供給されている状態に維持される。このような状態で、第１気体噴射室２３ａからの高圧エアが第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａに至る。第１給気経路２５ａを通る高圧エアは、第１傾斜誘導壁２６ａによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図４参照）。そして、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。 In the first head portion 10a, the first gas injection chamber 23a coupled to the air supply mechanism through the air supply port 11a is maintained in a state where high pressure air is supplied from the air supply mechanism. In this state, the high-pressure air from the first gas injection chamber 23a reaches the first discharge port 21a through the first air supply path 25a. The high-pressure air passing through the first air supply path 25a is guided by the first inclined guide wall 26a, and is directed outward from the edge portion of the sheet S from the first discharge port 21a obliquely to the surface of the edge portion of the sheet S. (see FIG. 4). The high-pressure air ejected from the first ejection port 21a blows dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S outward from the edge portion.

排気ポート１２ａを介して吸気機構に結合する第１気体吸引室２４ａは、当該吸気機構の吸気作用によりエアが引かれている状態にある。このようにエアが引かれている状態の第１気体吸引室２４ａを介した前記吸気作用が、更に、第１吸気経路２７ａを通して第１吸引口２２ａに至り、その吸気作用によって、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされる前記塵埃がエアとともに第１吸引口２２ａから吸引される。そして、第１吸引口２２ａから吸引されるエア及び塵埃が第１吸気経路２７ａ及び第１気体吸引室２４ａを通して排気ポート１２ａから排出される。排気ポート１２ａからエアとともに排出される塵埃は、吸気機構に至る前にフィルタ等（図示略）により除去される。 The first gas suction chamber 24a, which is connected to the intake mechanism through the exhaust port 12a, is in a state where air is drawn by the intake action of the intake mechanism. The suction action through the first gas suction chamber 24a in which air is being drawn in this way reaches the first suction port 22a through the first suction path 27a, and the suction action causes the first discharge port The dust blown off by the high-pressure air jetted from 21a is sucked together with the air from the first suction port 22a. Air and dust sucked from the first suction port 22a are discharged from the exhaust port 12a through the first suction path 27a and the first gas suction chamber 24a. Dust discharged with air from the exhaust port 12a is removed by a filter or the like (not shown) before reaching the intake mechanism.

このようにして、移動するシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃が第１ヘッド部１０ａにより除去されていく。 In this manner, the dust adhering to the surface of the edge portion of the moving sheet S is removed by the first head portion 10a.

第２ヘッド部１０ｂにおいても、第１ヘッド部１０ａと同様に、給気ポート１１ｂを介して給気機構に結合する第２気体噴射室２３ｂからの高圧エアが第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂに至る。第２給気経路２５ｂを通る高圧エアが、第２傾斜誘導壁２６ｂによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図４参照）。そして、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。このように第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面から外方に吹き飛ばされる塵埃は、第１ヘッド部１０ａの場合と同様に、吸気機構の吸気作用によって、第２吸引口２２ｂからエアとともに吸引され、第２吸気経路２７ｂを通って第２気体吸引室２４ｂに至り、排気ポート１１ｂから排出される。 In the second head portion 10b, similarly to the first head portion 10a, high-pressure air from the second gas injection chamber 23b coupled to the air supply mechanism through the air supply port 11b passes through the second air supply path 25b. It reaches the second outlet 21b. The high-pressure air passing through the second air supply path 25b is guided by the second inclined guide wall 26b, and is directed outward from the edge portion of the sheet S from the first discharge port 21a obliquely to the back surface of the edge portion of the sheet S. (see FIG. 4). The high-pressure air ejected from the second ejection port 21b blows dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S outward from the edge portion. The dust blown outward from the rear surface of the edge portion of the sheet S by the high-pressure air ejected from the second ejection port 21b is blown away by the suction action of the suction mechanism, as in the case of the first head portion 10a. Air is sucked from the second suction port 22b, passes through the second suction path 27b, reaches the second gas suction chamber 24b, and is discharged from the exhaust port 11b.

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１ヘッド部１０ａにおける第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、その吹き飛ばされる塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａによりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の表面に付着した塵埃を確実に除去することができる。また、第２ヘッド部１０ｂにおける第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、その吹き飛ばされた塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された第２吸引口２２ｂよりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃を確実に除去することができる。このように、シートＳの縁部分の表面及び裏面の両面に付着した塵埃を確実に除去することができる。 According to such a cleaning head 10, the dust attached to the surface of the edge portion of the sheet S is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a of the first head portion 10a. Since the blown dust is sucked together with air by the first suction port 22a arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet S, the dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S can be reliably removed. . Also, the dust adhering to the back surface of the edge portion of the sheet S is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the second ejection port 21b of the second head portion 10b, and the blown dust is blown off the sheet S. Since the sheet S is sucked together with the air from the second suction port 22b arranged outside the edge line of the edge portion, the dust adhering to the back surface of the edge portion of the sheet S can be reliably removed. In this manner, dust adhering to both the front surface and the back surface of the edge portion of the sheet S can be reliably removed.

また、第１ヘッド部１０ａにおいて、２つの面で挟まれた隙間として構成される第１給気経路２５ａの一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されているので、第１給気経路２５ａを通過してスリット状の第１吐出口２１ａから高圧エアが振動（例えば、超音波振動）する状態で噴出し得る。このため、そのような振動する状態の高圧エアによってシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃をより確実に除去することができる。このようなことは、２つの面で挟まれた隙間として形成された第２給気経路２５ｂの一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されている第２ヘッド部１０ｂにおいても同様に得ることができる。 Further, in the first head portion 10a, the first air supply path 25a, which is formed as a gap sandwiched between two surfaces, is formed with an uneven streak portion ST on one side, so that the first air supply path 25a is formed on one side. High-pressure air can be ejected from the slit-shaped first ejection port 21a while vibrating (for example, ultrasonic vibration). Therefore, the dust attached to the surface of the edge portion of the sheet S can be more reliably removed by the vibrating high-pressure air. This can also be obtained in the second head portion 10b in which the uneven streak portion ST is formed on one surface of the second air supply path 25b formed as a gap sandwiched between two surfaces. can.

なお、第１傾斜誘導壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの傾斜の度合いは、特に限定されない。また、第１誘導傾斜壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの形状も特に限定されず、平面形状であっても曲面形状であってもよい。 The degree of inclination of each of the first inclination guide wall 26a and the second inclination guide wall 26b is not particularly limited. Further, the shape of each of the first inclined guide wall 26a and the second inclined guide wall 26b is not particularly limited, and may be planar or curved.

また、スリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの長さ（シートＳの幅方向の長さ、図６における横方向の長さ）は、特に限定されない。また、そのスリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの延びる方向も特に限定されない。 Further, the length of each of the slit-shaped first ejection port 21a and the second ejection port 21b (the length in the width direction of the sheet S, the length in the horizontal direction in FIG. 6) is not particularly limited. Further, the extending directions of the slit-shaped first ejection port 21a and the second ejection port 21b are not particularly limited.

図７は、前述した本発明の第１の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す。 FIG. 7 shows a modification of the cleaning head according to the first embodiment of the invention described above.

このクリーニングヘッド１０は、例えば、所定の厚さを有する板状の対象物Ｗ（物体）の縁部分の表面及び裏面のそれぞれに付着した塵埃Ｄを除去する。 The cleaning head 10 removes, for example, dust D adhering to each of the front and rear surfaces of the edge portion of a plate-shaped object W (object) having a predetermined thickness.

図７において、このクリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの表面に対して設けられる第１ヘッド部１０ａと、対象物Ｗの裏面に対して設けられる第２ヘッド部１０ｂとを有する。第１ヘッド部１０ａは、対象物Ｗの縁部分の表面に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、給気ポート１１ａを介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する第１吐出口２１ａを有している。また、第１ヘッド部１０ａは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁部分側に開口し、排気ポート１２ａを介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する第１吸引口２２ａを有している。 7, the cleaning head 10 has a first head portion 10a provided for the front surface of the object W and a second head portion 10b provided for the back surface of the object W. As shown in FIG. The first head portion 10a is arranged to face the surface of the edge portion of the object W, and is supplied from the air supply mechanism through the air supply port 11a obliquely outward from the edge portion of the object W. It has a first ejection port 21a for ejecting high-pressure air (gas). Further, the first head portion 10a is arranged outside the edge line (end surface) of the edge portion of the object W, is opened to the edge portion side, and sucks air by the suction action of the suction mechanism through the exhaust port 12a. It has a first suction port 22a for suction.

第２ヘッド部１０ｂは、対象物Ｗの縁部分の裏面に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、第２給気ポート１１ｂを介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する第１吐出口２１ｂを有している。また、第２ヘッド部１０ｂは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁部分側に開口し、第２排気ポート１２ｂを介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する第２吸引口２２ｂを有している。 The second head portion 10b is arranged to face the back surface of the edge portion of the object W, and is obliquely directed outward from the edge portion of the object W from the air supply mechanism through the second air supply port 11b. It has a first ejection port 21b for ejecting high-pressure air (gas) to be supplied. In addition, the second head portion 10b is arranged outside the edge line (end surface) of the edge portion of the object W, and is opened to the edge portion side. It has a second suction port 22b for sucking air.

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、第１ヘッド部１０ａの第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃Ｄは、第１ヘッド部１０ａの対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａによりエアとともに吸引される。また、対象物Ｗの縁部分の裏面に付着した塵埃Ｄは、第２ヘッド部１０ｂの第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。その吹き飛ばされる塵埃Ｄは、第２ヘッド部１０ｂの対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された第２吸引口２２ｂによりエアとともに吸引される。 In the cleaning head 10 configured as described above, the dust D adhering to the surface of the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a of the first head portion 10a. The blown dust D is sucked together with air by the first suction port 22a arranged outside the edge line of the edge portion of the object W of the first head portion 10a. Further, the dust D adhering to the rear surface of the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the second ejection port 21b of the second head portion 10b. The blown dust D is sucked together with air by the second suction port 22b arranged outside the edge line (end face) of the edge portion of the object W of the second head portion 10b.

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された第１吸引口２２ａ及び第２吸引口２２ｂによりエアとともに吸引されるので、対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。 According to the cleaning head 10, the dust D is blown outward from the front and back surfaces of the edge portion of the object W by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a and the second ejection port 21b. Since air is sucked together with the first suction port 22a and the second suction port 22b arranged outside the edge line of the edge portion of the object W, the dust D adhering to the front and back surfaces of the edge portion of the object W can be reliably removed.

次に、本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドについて説明する。第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、前述した第１ヘッド部１０ａの機能及び第２ヘッド部１０ｂの機能を単一のブロック体に収めたことを特徴としている。 Next, a cleaning head according to a second embodiment of the invention will be described. The cleaning head according to the second embodiment is characterized in that the functions of the first head portion 10a and the functions of the second head portion 10b are housed in a single block.

本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、図８乃至図１２に示される。なお、図８はクリーニングヘッド１０の外観を示す側面図であり、図９はクリーニングヘッド１０を示す正面図である。また、図１０はクリーニングヘッド１０の図９におけるＡ２－Ａ２断面を示す断面図であり、図１１はクリーニングヘッド１０の図１０におけるＢ２－Ｂ２断面を示す断面図であり、更に、図１２は、クリーニングヘッド１０の図９におけるＣ１－Ｃ１断面を示す断面図である。 A cleaning head 10 according to a second embodiment of the present invention is shown in FIGS. 8-12. 8 is a side view showing the appearance of the cleaning head 10, and FIG. 9 is a front view showing the cleaning head 10. As shown in FIG. 10 is a cross-sectional view of the cleaning head 10 taken along the line A2-A2 in FIG. 9, FIG. 11 is a cross-sectional view of the cleaning head 10 taken along the line B2-B2 in FIG. 10 is a cross-sectional view showing the C1-C1 cross section of FIG. 9 of the cleaning head 10. FIG.

例えば金属製の単一ブロック体で構成されるクリーニングヘッドの背面には、２つの給気ポート１１ａ、１１ｂと、それら２つの給気ポート１１ａ、１１ｂの間に配置された排気ポート１２とが設けられている（図８参照）。２つの給気ポート１１ａ、１１ｂは給気機構（図示略）に接続され、排気ポート１２は吸気機構に接続されている。 For example, the rear surface of the cleaning head, which is composed of a single block made of metal, is provided with two air supply ports 11a and 11b and an exhaust port 12 arranged between the two air supply ports 11a and 11b. (see FIG. 8). The two air supply ports 11a and 11b are connected to an air supply mechanism (not shown), and the exhaust port 12 is connected to an intake mechanism.

クリーニングヘッド１０の前面には前方に向けて開口し、当該クリーニングヘッド１０の幅方向（図８における紙面に垂直な方向、図９における横方向）、に延びる溝部１５が形成されている。溝部１５は、所定の間隔をもって対向する第１面１５ａと第２面１５ｂと、底面としての第３面１５ｃとによって構成される。そして、このクリーニングヘッド１０は、溝部１５に除塵の対象物であるシートＳの縁部分が通るように、シートＳに対してセットされる（図８参照）。クリーニングヘッド１０がシートＳに対してセットされた状態で、第１面１５ａがシートＳの縁部分の表面に対向し、第２面１５ｂがシートＳの縁部分の裏面に対向し、第３面１５ｃがシート１５の長手方向の縁線に対向する。 A front surface of the cleaning head 10 is formed with a groove 15 that opens forward and extends in the width direction of the cleaning head 10 (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 8 and the horizontal direction in FIG. 9). The groove portion 15 is composed of a first surface 15a, a second surface 15b, and a third surface 15c as a bottom surface. The cleaning head 10 is set with respect to the sheet S so that the edges of the sheet S to be dust-removed pass through the grooves 15 (see FIG. 8). In a state in which the cleaning head 10 is set on the sheet S, the first surface 15a faces the front surface of the edge portion of the sheet S, the second surface 15b faces the back surface of the edge portion of the sheet S, and the third surface. 15c faces the longitudinal edge line of the sheet 15;

溝部１５の第１面１５ａには、第３面１５ｃに向う方向（例えば、第３面１５ｃに対して垂直な方向：図１１における紙面に垂直な方向、図１２における横方向）に延びるスリット状の第１吐出口２１ａが形成されている（図１１、図１２）。第１吐出口２１ａは、溝部１５を通るシートＳの縁部分の一方の面（表面）に対向するようになる（図１０参照）。溝部１５の第２面１５ｂにも、第３面１５ｃに向う方向（例えば、第３面１５ｃに対して垂直な方向）に延びるスリット状の第２吐出口２１ｂが形成されている。第２吐出口２１ｂは、溝部１５を通るシートＳの縁部分の他方の面（裏面）に対向するようになる（図１０参照）。また、第３面１５ｃには、第３面１５ｃの幅（溝幅）を一辺とする正方形状の吸引口２２が形成されている（図９、図１１参照）。吸引口２２は、溝部１５を通るシートＳの縁部分の縁線に対向するようになる。 The first surface 15a of the groove 15 has a slit shape extending in the direction toward the third surface 15c (for example, the direction perpendicular to the third surface 15c: the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 11, the horizontal direction in FIG. 12). is formed (FIGS. 11 and 12). The first ejection port 21a faces one surface (front surface) of the edge portion of the sheet S passing through the groove portion 15 (see FIG. 10). The second surface 15b of the groove portion 15 is also formed with a slit-shaped second ejection port 21b extending in a direction toward the third surface 15c (for example, a direction perpendicular to the third surface 15c). The second ejection port 21b faces the other surface (back surface) of the edge portion of the sheet S passing through the groove portion 15 (see FIG. 10). The third surface 15c is formed with a square suction port 22 having a side equal to the width (groove width) of the third surface 15c (see FIGS. 9 and 11). The suction port 22 faces the edge line of the edge portion of the sheet S passing through the groove portion 15 .

特に、図１０を参照するに、溝部１５における第１面１５ａから上側部分には、給気ポート１１ａからつながる第１気体噴射室２３ａが形成され、更に、第１気体噴射室２３ａと溝部１５の第１面１５ａに形成された第１吐出口２１ａとをつなぐ第１給気経路２５ａが形成されている。給気機構から給気ポート１１ａを介してクリーニングヘッド１０に導入される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に向けて噴出するようになる。 In particular, referring to FIG. 10, a first gas injection chamber 23a connected to the air supply port 11a is formed in the upper portion of the groove portion 15 from the first surface 15a. A first air supply path 25a is formed to connect with the first ejection port 21a formed in the first surface 15a. The high-pressure air introduced from the air supply mechanism to the cleaning head 10 through the air supply port 11a passes through the first gas injection chamber 23a and the first air supply path 25a, and is discharged from the first ejection port 21a to the edge portion of the sheet S. It will erupt toward the surface.

溝部１５における第２面１５ｂから下側部分には、給気ポート１１ｂからつながる第２気体噴射室２３ｂが形成され、更に、第２気体噴射室２３ｂと溝部１５の第２面１５ｂに形成された第２吐出口２１ｂとをつなぐ第２給気経路２５ｂが形成されている。給気機構から給気ポート１１ｂを介してクリーニングヘッド１０に導入される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に向けて噴射するようになる。 A second gas injection chamber 23b connected to the air supply port 11b is formed in the portion below the second surface 15b of the groove 15. Further, the second gas injection chamber 23b and the second surface 15b of the groove 15 are formed. A second air supply path 25b is formed to connect with the second outlet 21b. High-pressure air introduced into the cleaning head 10 from the air supply mechanism through the air supply port 11b passes through the second gas injection chamber 23b and the second air supply path 25b, and is discharged from the second ejection port 21b to the edge portion of the sheet S. It will be sprayed toward the back side.

また、クリーニングヘッド１０の溝部１５の第３面１５ｃ（底面）より背面側の部分に、第１気体噴射室２３ａと第２気体噴射室２３ｂとに挟まれるように、排気ポート１２につながる気体吸引室２４が形成されている。更に、クリーニングヘッド１０には、気体吸引室２４と溝部１５の第３面１５ｃ（底面）に形成された吸引口２２とをつなぐ吸気経路２７が形成されている。吸気機構の吸気作用により、吸引口２２を通して吸引されるエアは、吸気経路２７及び気体吸引室２４を通り、排気ポート１２ａから吸気機構に向けて排出されるようになる。 In addition, a gas suction chamber connected to the exhaust port 12 is provided in a portion of the groove portion 15 of the cleaning head 10 on the rear side from the third surface 15c (bottom surface) so as to be sandwiched between the first gas injection chamber 23a and the second gas injection chamber 23b. A chamber 24 is formed. Furthermore, the cleaning head 10 is formed with a suction path 27 that connects the gas suction chamber 24 and a suction port 22 formed on the third surface 15 c (bottom surface) of the groove portion 15 . Due to the suction action of the suction mechanism, the air sucked through the suction port 22 passes through the suction path 27 and the gas suction chamber 24 and is discharged from the exhaust port 12a toward the suction mechanism.

第１給気経路２５ａは、溝部１５の第１面１５aにスリット状に形成された第１吐出口２１ａに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され（図１１、図１２参照）、第１吐出口２１ａにおいて開放される。第１給気経路２５ａの第１吐出口２１ａに至る直前の部分には、当該第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する前記２つの面の間に形成され、第１吐出口２１ａから噴出するエアを溝部１５の第３面１５ｃ（底面）側に誘導する第１傾斜誘導壁２６ａ（第１傾斜誘導部）が形成されている。この第１傾斜誘導壁２６ａにより、第１給気経路２５ａを通るエアは、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図１０参照）。 The first air supply path 25a is formed as a gap sandwiched between two surfaces following a slit-shaped first discharge port 21a formed in the first surface 15a of the groove portion 15 (see FIGS. 11 and 12). It is opened at one ejection port 21a. The portion of the first air supply path 25a immediately before reaching the first outlet 21a is formed between the two surfaces forming the first air supply path 25a (gap), and the air is ejected from the first outlet 21a. A first inclined guide wall 26a (first inclined guide portion) is formed to guide the air to the third surface 15c (bottom surface) side of the groove portion 15 . Due to this first inclined guide wall 26a, the air passing through the first air supply path 25a is directed outward from the edge portion of the sheet S from the first discharge port 21a obliquely with respect to the surface of the edge portion of the sheet S. It will be ejected in the direction side (see FIG. 10).

また、第２給気経路２５ｂは、溝部１５の第２面１５ｂにスリット状に形成された第２吐出口２１ｂに続く２つの面に挟まれた隙間として形成され、第２吐出口２１ｂにおいて開放される。第２給気経路２５ｂの第２吐出口２１ｂに至る直前の部分には、当該第２吸気経路２５ｂを形成する前記２つの面の間に形成され、第２吐出口２１ｂから噴出するエアを溝部１５の第３面１５ｃ（底面）側に誘導する第２傾斜誘導壁２６ｂ（第２傾斜誘導部）が形成されている。この第２傾斜誘導壁２６ｂにより、第２吸気経路２５ｂを通るエアは、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う方向側に、噴出されるようになる（図１０参照）。 The second air supply path 25b is formed as a gap sandwiched between two surfaces following the second discharge port 21b formed in a slit shape in the second surface 15b of the groove portion 15, and is opened at the second discharge port 21b. be done. A portion of the second air supply path 25b immediately before reaching the second outlet 21b is formed between the two surfaces forming the second air intake path 25b, and is a groove for air ejected from the second outlet 21b. A second tilt guide wall 26b (second tilt guide portion) is formed to guide the third surface 15c (bottom surface) of the second tilt guide wall 26b. Due to this second inclined guide wall 26b, the air passing through the second air intake path 25b is directed from the second discharge port 21b obliquely to the back surface of the edge portion of the sheet S in a direction outward from the edge portion of the sheet S. side, it will be ejected (see FIG. 10).

第１の実施の形態の場合（図４、図５参照）と同様に、第１給気経路２５ａ（隙間）を形成する２つの面の一方には、図１０とともに図１１に示すように、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。また、第２給気経路２５ｂ（隙間）を形成する２つの面の一方にも、エアの流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部ＳＴが形成されている。 As in the case of the first embodiment (see FIGS. 4 and 5), on one of the two surfaces forming the first air supply path 25a (gap), as shown in FIGS. A concave-convex streak portion ST is formed extending in a direction crossing the direction of air flow. Also, one of the two surfaces forming the second air supply path 25b (gap) is formed with an uneven streak ST extending in a direction crossing the air flow direction.

このようなクリーニングヘッド１０では、給気機構から給気ポート１１ａを介して供給される高圧エアは、第１気体噴射室２３ａ及び第１給気経路２５ａを通って第１吐出口２１ａに至る。第１給気経路２５ａを通る高圧エアは、第１傾斜誘導壁２６ａによって誘導され、第１吐出口２１ａからシートＳの縁部分の表面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図１０参照）。そして、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。 In such a cleaning head 10, high-pressure air supplied from the air supply mechanism through the air supply port 11a reaches the first ejection port 21a through the first gas injection chamber 23a and the first air supply path 25a. The high-pressure air passing through the first air supply path 25a is guided by the first inclined guide wall 26a, and is directed outward from the edge portion of the sheet S from the first discharge port 21a obliquely to the surface of the edge portion of the sheet S. (See FIG. 10). The high-pressure air ejected from the first ejection port 21a blows dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S outward from the edge portion.

また、給気機構から給気ポート１１ｂを介して供給される高圧エアは、第２気体噴射室２３ｂ及び第２給気経路２５ｂを通って第２吐出口２１ｂに至る。第２給気経路２５ｂを通る高圧エアは、第２傾斜誘導壁２６ｂによって誘導され、第２吐出口２１ｂからシートＳの縁部分の裏面に対して斜めに、当該シートＳの縁部分から外方に向う側に、噴出される（図１０参照）。そして、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより、シートＳの縁部分の表面に付着している塵埃は、その縁部分から外方に吹き飛ばされる。 High-pressure air supplied from the air supply mechanism through the air supply port 11b reaches the second discharge port 21b through the second gas injection chamber 23b and the second air supply path 25b. The high-pressure air passing through the second air supply path 25b is guided by the second inclined guide wall 26b, and is directed outward from the edge portion of the sheet S from the second discharge port 21b obliquely to the back surface of the edge portion of the sheet S. (See FIG. 10). The high-pressure air ejected from the second ejection port 21b blows dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S outward from the edge portion.

排気ポート１２を介して吸気機構に結合する気体吸引室２４は、当該吸気機構の吸気作用によりエアが引かれている状態にある。このようにエアが引かれている状態の気体吸引室２４を介した前記吸気作用が、更に、吸気経路２７を通して吸引口２２に至り、その吸気作用によって、第１吐出口２１ａから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされるシートＳの縁部分の表面に付着した前記塵埃が、また、第２吐出口２１ｂから噴出される高圧エアにより吹き飛ばされるシートＳの縁部分の裏面に付着した前記塵埃が、エアとともに吸引口２２から吸引される。そして、吸引口２２から吸引されるエア及び塵埃が吸気経路２７及び気体吸引室２４を通して排気ポート１２から排出される。排気ポート１２からエアとともに排出される塵埃は、吸気機構に至る前にフィルタ等（図示略）により除去される。 A gas suction chamber 24 connected to the intake mechanism through the exhaust port 12 is in a state where air is drawn by the intake action of the intake mechanism. The suction action through the gas suction chamber 24 in which air is being drawn in this manner further reaches the suction port 22 through the suction path 27, and the suction action causes a high-pressure gas to be ejected from the first discharge port 21a. The dust adhering to the surface of the edge portion of the sheet S blown off by the air, and the dust adhering to the back surface of the edge portion of the sheet S blown off by the high-pressure air ejected from the second discharge port 21b are dispersed together with the air. It is sucked from the suction port 22 . Air and dust sucked from the suction port 22 are discharged from the exhaust port 12 through the suction path 27 and the gas suction chamber 24 . Dust discharged with air from the exhaust port 12 is removed by a filter or the like (not shown) before reaching the intake mechanism.

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の表面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされ、また、第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりシートＳの縁部分の裏面に付着した塵埃がその縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、シートＳの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから吹き飛ばされる塵埃がシートＳの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、シートＳの縁部分の表面及び裏面に付着した塵埃を確実に除去することができる。 According to such a cleaning head 10, the dust attached to the surface of the edge portion of the sheet S is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a, and the second ejection port 21b is blown off. The dust adhering to the rear surface of the edge portion of the sheet S is blown outward from the edge portion by the high-pressure air jetted from. Dust blown off from the front surface and back surface of the edge portion of the sheet S is sucked together with air by the suction ports 22 arranged outside the edge line of the edge portion of the sheet S. And dust adhering to the back surface can be reliably removed.

なお、第１の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０の場合と同様に、第１給気経路２５ａ（第２給気経路２５ｂ）の一方の面に凹凸条部ＳＴが形成されているので、スリット状の第１吐出口２１ａ（第２吐出口２１ｂ）から高圧エアが振動（例えば、超音波振動）する状態で噴出し得る。このため、そのような振動する状態の高圧エアによってシートＳの縁部分の表面（裏面）に付着した塵埃をより確実に除去することができる。 As in the case of the cleaning head 10 according to the first embodiment, since the uneven streak ST is formed on one surface of the first air supply path 25a (second air supply path 25b), the slit The high-pressure air can be ejected from the shaped first ejection port 21a (second ejection port 21b) in a vibrating state (for example, ultrasonic vibration). Therefore, dust attached to the front surface (back surface) of the edge portion of the sheet S can be more reliably removed by the vibrating high-pressure air.

また、第１の実施の形態の場合と同様に、第１傾斜誘導壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの傾斜の度合いは、特に限定されず、第１誘導傾斜壁２６ａ及び第２傾斜誘導壁２６ｂそれぞれの形状も特に限定されない。更に、スリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの長さ（シートＳの幅方向の長さ、図１２における横方向の長さ）は、特に限定されず、そのスリット状の第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂそれぞれの延びる方向も特に限定されない。 Further, as in the case of the first embodiment, the degree of inclination of each of the first inclined guide wall 26a and the second inclined guide wall 26b is not particularly limited, and the first inclined guide wall 26a and the second inclined guide wall 26b The shape of each wall 26b is also not particularly limited. Further, the length of each of the slit-shaped first ejection openings 21a and the second ejection openings 21b (the length in the width direction of the sheet S, the length in the horizontal direction in FIG. 12) is not particularly limited. The direction in which the first ejection port 21a and the second ejection port 21b extend is also not particularly limited.

図１３は、前述した本発明の第２の実施の形態に係るクリーニングヘッドの変形例を示す。 FIG. 13 shows a modification of the cleaning head according to the second embodiment of the invention described above.

図１３において、このクリーニングヘッド１０は、相互に対向する第１面１５a及び第１面１５ｂと、底面としての第３面１５ｃとで構成される溝部１５を有し、対象物Ｗの縁部分が溝部１５ないを通過するようにセットされる。クリーニングヘッド１０は、溝部１５の第１面１５ａに形成されて、対象物Ｗの縁部分の表面に対向して配置される第１吐出口２１ａと、溝部１５の第２面１５ｂに形成されて、対象物Ｗの縁部分の裏面に対向して配置される第２吐出口２１ｂと、溝部１５の第３面１５ｃ（底面）に形成されて、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置されされる吸引口２２とを有している。第１吐出口２１ａは、給気ポート１１ａを介して給気機構から供給される高圧エアを、対象物Wの縁部分から外方に向う側に斜めに噴出する。第２吐出口２１ｂは、給気ポート１１ｂを介して給気機構から供給される高圧エアを、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに噴出する。吸引口２２は、対象物Ｗの縁部分側に開口して、排気ポート１２を介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する。 In FIG. 13, the cleaning head 10 has a groove portion 15 composed of a first surface 15a and a first surface 15b facing each other and a third surface 15c as a bottom surface. It is set so as to pass through the groove 15. The cleaning head 10 is formed on the first surface 15a of the groove portion 15 and has a first ejection port 21a arranged to face the surface of the edge portion of the object W, and the second surface 15b of the groove portion 15. , a second discharge port 21b arranged to face the back surface of the edge portion of the object W, and a third surface 15c (bottom surface) of the groove portion 15 formed on the edge line (end surface) of the edge portion of the object W. It has a suction port 22 arranged further outside. The first outlet 21a obliquely ejects high-pressure air, which is supplied from the air supply mechanism through the air supply port 11a, outward from the edge portion of the object W. As shown in FIG. The second outlet 21b obliquely ejects high-pressure air, which is supplied from the air supply mechanism through the air supply port 11b, outward from the edge portion of the object W. As shown in FIG. The suction port 22 is opened on the side of the edge portion of the object W and sucks air by the suction action of the suction mechanism through the exhaust port 12 .

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、第１吐出口２１ａから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。また、対象物Ｗの前記縁部分の裏面に付着した塵埃Ｄは、第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面のそれぞれから外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。 In the cleaning head 10 configured as described above, the dust D adhering to the surface of the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a. Further, the dust D adhering to the rear surface of the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the second discharge port 21b. The dust D blown outward from each of the front and back surfaces of the edge portion of the object W is sucked together with gas by the suction ports 22 arranged outside the edge line (end surface) of the edge portion of the object W.

このようなクリーニングヘッド１０によれば、第１吐出口２１ａ及び第２吐出口２１ｂから噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面及び裏面から外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。 According to the cleaning head 10, the dust D blown outward from the front surface and the back surface of the edge portion of the object W by the high-pressure air ejected from the first ejection port 21a and the second ejection port 21b is removed from the target. Since the suction port 22 arranged outside the edge line of the object W is sucked together with the air, the dust D adhering to the edge of the object W can be reliably removed.

次に、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドについて説明する。第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、板状の対象物Ｗの一方の面（表面）だけを対象として、塵埃を除去することを特徴としている。 Next, a cleaning head according to a third embodiment of the invention will be described. The cleaning head according to the third embodiment is characterized by removing dust from only one surface (front surface) of a plate-like object W. FIG.

本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドは、図１４及び図１５に示すように構成される。なお、図１４は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す側面図であり、図１５は、本発明の第３の実施の形態に係るクリーニングヘッドを示す平面図である。 A cleaning head according to the third embodiment of the present invention is constructed as shown in FIGS. 14 and 15. FIG. 14 is a side view showing the cleaning head according to the third embodiment of the invention, and FIG. 15 is a plan view showing the cleaning head according to the third embodiment of the invention.

図１４及び図１５において、このクリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの縁部分の一方の面（表面）に対向して配置され、対象物Ｗの縁部分から外方に向う側に斜めに、給気ポート１１を介して給気機構から供給される高圧エア（気体）を噴出する吐出口２１を有している。また、クリーニングヘッド１０は、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置され、その縁線部側に開口し、排気ポート１２を介した吸気機構の吸気作用により、エアを吸引する吸引口２２を有している。 In FIGS. 14 and 15, the cleaning head 10 is arranged to face one surface (surface) of the edge portion of the object W, and supplies air obliquely outward from the edge portion of the object W. It has a discharge port 21 for discharging high-pressure air (gas) supplied from the air supply mechanism through the port 11 . Further, the cleaning head 10 is arranged outside the edge line (end surface) of the edge portion of the object W, is opened on the edge line side, and sucks air by the suction action of the suction mechanism through the exhaust port 12 . It has a suction port 22 for

上記構成のクリーニングヘッド１０では、対象物Ｗの縁部分の表面に付着した塵埃Ｄは、吐出口２１から噴出する高圧エアによりその縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、対象物Ｗの縁部分の表面から外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの縁部分の縁線（端面）より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。このように、吐出口２１から噴出する高圧エアにより対象物Ｗの縁部分の表面から外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの縁部分の縁線より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。 In the cleaning head 10 configured as described above, the dust D adhering to the surface of the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the discharge port 21 . The dust D blown outward from the surface of the edge portion of the object W is sucked together with gas by the suction port 22 arranged outside the edge line (end surface) of the edge portion of the object W. In this way, the dust D blown outward from the surface of the edge portion of the object W by the high-pressure air ejected from the discharge port 21 is removed from the suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object W. Since it is sucked together with air by 22, the dust D adhering to the edge portion of the W object can be reliably removed.

なお、第３の実施の形態に係るクリーニングヘッド１０は、所定の厚さを有する板状の対象物Ｗ（物体）に対して、例えば、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すようにセットすることができる。これらの場合、クリーニングヘッド１０は対象物Ｗの端面に対向するように配置される。対象物Ｗの端面縁部分に付着した塵埃Ｄは、吐出口２１から噴出する高圧エアによりその端面縁部分から外方に吹き飛ばされる。そして、対象物Ｗの端面縁部分から外方に吹き飛ばされる塵埃Ｄは、対象物Ｗの端面縁部分より外側に配置された吸引口２２により気体とともに吸引される。このように、吐出口２１から噴出する高圧エアにより対象物Ｗの端面縁部分ら外方に吹き飛ばされた塵埃Ｄが、その対象物Ｗの端面縁部分より外側に配置された吸引口２２によりエアとともに吸引されるので、Ｗ対象物の端面縁部分に付着した塵埃Ｄを確実に除去することができる。 It should be noted that the cleaning head 10 according to the third embodiment can be set as shown in FIGS. 16A and 16B, for example, on a plate-shaped object W (object) having a predetermined thickness. . In these cases, the cleaning head 10 is arranged so as to face the end surface of the object W. FIG. The dust D adhering to the edge portion of the object W is blown outward from the edge portion by the high-pressure air ejected from the discharge port 21 . The dust D blown outward from the edge portion of the object W is sucked together with gas by the suction port 22 arranged outside the edge portion of the object W. As shown in FIG. In this way, the dust D blown outward from the edge of the object W by the high-pressure air ejected from the discharge port 21 is blown away by the suction port 22 arranged outside the edge of the object W. Therefore, the dust D adhering to the edge portion of the W object can be reliably removed.

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments and modifications of each part are presented as examples, and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments described above can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims.

本発明に係るクリーニングヘッドは、対象物の縁部分に付着した塵埃を確実に除去することができるという効果を有し、対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドとして有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The cleaning head according to the present invention has the effect of reliably removing dust adhering to the edge portion of an object, and is useful as a cleaning head for removing dust adhering to the edge portion of an object.

１０クリーニングヘッド
１０a 第１ヘッド部
１０ｂ第２ヘッド部
１１、１１ａ、１１ｂ給気ポート
１２、１２ａ、１２ｂ排気ポート
１３ａ第１ヘッド側第１面
１３ｂ第１ヘッド側第２面
１４a 第２ヘッド側第１面
１４ｂ第２ヘッド側第２面
１５溝部
２１吐出口
２１a 第１吐出口
２１ｂ第２吐出口
２２吸引口
２２a 第１吸引口
２２ｂ第２吸引口
２３a 第１気体噴射室
２３ｂ第２気体噴射室
２４a 第１気体吸引室
２４ｂ第２気体吸引室
２５a 第１給気経路
２５ｂ第２給気経路
２６a 第１傾斜誘導壁
２６ｂ第２傾斜誘導壁
２７a 第１吸気経路
２７ｂ第２給気経路
ＳＴ凹凸条部 10 cleaning head 10a first head section 10b second head section 11, 11a, 11b air supply port 12, 12a, 12b exhaust port 13a first head side first surface 13b first head side second surface 14a second head side second surface 1st surface 14b 2nd head-side second surface 15 groove 21 ejection port 21a first ejection port 21b second ejection port 22 suction port 22a first suction port 22b second suction port 23a first gas injection chamber 23b second gas injection chamber 24a First gas suction chamber 24b Second gas suction chamber 25a First air supply path 25b Second air supply path 26a First inclined guide wall 26b Second inclined guide wall 27a First intake path 27b Second air supply path ST Concavo-convex line Department

Claims

対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
対象物の縁部分の面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する吐出口と、
前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、
前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to the edge of an object,
a discharge port arranged to face a surface of an edge portion of an object and ejecting gas obliquely outward from the edge portion of the object;
a suction port disposed outside the edge line of the edge portion of the object and opening toward the edge portion side to suck gas ;
The discharge port and the suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the object, and the width of the suction port in the direction is larger than the width of the discharge port in the direction. , cleaning head.

給気機構に結合される気体噴射室と、
吸気機構に結合される気体吸引室と、
前記気体噴射室と前記吐出口とをつなぐ給気経路と、
前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、
前記給気経路は、前記気体噴射室からの気体が前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに噴出するように誘導する傾斜誘導部を含む、請求項１記載のクリーニングヘッド。 a gas injection chamber coupled to the air supply mechanism;
a gas suction chamber coupled to the suction mechanism;
an air supply path connecting the gas ejection chamber and the ejection port;
a suction path connecting the gas suction chamber and the suction port;
2. The cleaning method according to claim 1, wherein said air supply path includes an inclined guide portion for guiding the gas from said gas ejection chamber to be ejected obliquely from said ejection port toward said edge portion of said object. head.

前記吐出口はスリット状に形成され、
前記給気経路は、前記スリット状の前記吐出口に続く２つの面で挟まれた隙間として形成された部分を含む、請求項２記載のクリーニングヘッド。 The ejection port is formed in a slit shape,
3. The cleaning head according to claim 2, wherein said air supply path includes a portion formed as a gap sandwiched between two surfaces following said slit-shaped ejection port.

前記２つの面の少なくとも一方の面には、前記気体の流動方向を横切る方向に延びる凹凸条部が形成された、請求項３記載のクリーニングヘッド。 4. The cleaning head according to claim 3, wherein at least one of said two surfaces is formed with an uneven streak extending in a direction crossing the flow direction of said gas.

前記傾斜誘導部は、前記２つの面の間に形成された壁であって、前記給気経路を流動する気体を前記吐出口から前記対象物の前記縁部分の面に対して斜めに吐出するように誘導する傾斜誘導壁を含む、請求項３または４記載のクリーニングヘッド。 The inclined guiding portion is a wall formed between the two surfaces, and discharges the gas flowing in the air supply path obliquely from the discharge port to the surface of the edge portion of the object. 5. A cleaning head according to claim 3 or 4, including slanted guide walls for guiding the cleaning head.

表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
対象物の表面に対して設けられる第１ヘッド部と、
前記対象物の裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、
前記第１ヘッド部は、
前記対象物の前記縁部分の前記表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、
前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第１吸引口と、を有し、
前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、
前記第２ヘッド部は、
前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、
前記対象物の前記縁部分の前記縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する第２吸引口と、を有し、
前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object having a front surface and a back surface,
a first head provided for the surface of the object;
a second head portion provided against the back surface of the object;
The first head section
a first ejection port arranged to face the surface of the edge portion of the object and ejecting gas obliquely outward from the edge portion of the object;
a first suction port arranged outside the edge line of the edge portion of the object, opening toward the edge portion side and sucking gas;
The first ejection port and the first suction port are arranged to overlap each other in the direction along the edge line of the object, and the width of the first suction port in the direction is the width of the first suction port in the direction. Larger than the width of one ejection port,
The second head section
a second ejection port arranged to face the back surface of the edge portion of the object and ejecting gas obliquely outward from the edge portion of the object;
a second suction port disposed outside the edge line of the edge portion of the object, opening toward the edge portion side and sucking gas ;
The second ejection port and the second suction port are arranged to overlap each other in the direction along the edge line of the object, and the width of the second suction port in the direction is the width of the second suction port in the direction. 2 A cleaning head that is larger than the width of the ejection port .

前記第１ヘッド部は、
給気機構に結合される第１気体噴射室と、
吸気機構に結合される第１気体吸引室と、
前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、
前記第１気体吸引室と前記第１吸引口とをつなぐ第１吸気経路と、を有し、
前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、
前記第２ヘッド部は、
給気機構に結合される第２気体噴射室と、
吸気機構に結合される第２気体吸引室と、
前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、
前記第２気体吸引室と前記第２吸引口とをつなぐ第２吸気経路と、を有し、
前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、請求項６記載のクリーニングヘッド。 The first head section
a first gas injection chamber coupled to the air supply mechanism;
a first gas suction chamber coupled to the suction mechanism;
a first air supply path connecting the first gas injection chamber and the first discharge port;
a first suction path connecting the first gas suction chamber and the first suction port;
The first air supply path includes a first inclined guide portion that guides the gas from the first gas injection chamber to obliquely discharge from the first discharge port with respect to the surface of the edge portion of the object. including
The second head section
a second gas injection chamber coupled to the air supply mechanism;
a second gas suction chamber coupled to the suction mechanism;
a second air supply path connecting the second gas injection chamber and the second discharge port;
a second suction path connecting the second gas suction chamber and the second suction port;
The second air supply path includes a second inclined guide portion that guides the gas from the second gas injection chamber to be discharged obliquely from the second discharge port to the back surface of the edge portion of the object. 7. The cleaning head of claim 6, comprising:

表面及び裏面を有する対象物の縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
対象物の縁部分の表面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口と、
前記対象物の前記縁部分の裏面に対向して配置され、前記対象物の前記縁部分から外方に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口と、
前記対象物の前記縁部分の縁線より外側に配置され、前記縁部分側に開口して気体を吸引する吸引口と、を有し、
前記対象物の前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to an edge portion of an object having a front surface and a back surface,
a first discharge port arranged to face the surface of an edge portion of an object and ejecting gas obliquely outward from the edge portion of the object;
a second ejection port arranged to face the back surface of the edge portion of the object and ejecting gas obliquely outward from the edge portion of the object;
a suction port disposed outside the edge line of the edge portion of the object and opening toward the edge portion side to suck gas ;
The first ejection port, the second ejection port, and the suction port are arranged so as to overlap in the direction along the edge line of the object, and the width of the suction port in the direction is the same as the width of the suction port in the direction. A cleaning head that is larger than the width of each of the first outlet and the second outlet .

それぞれ給気機構に結合される第１気体噴射室及び第２気体噴射室と、
吸気機構に結合される気体吸引室と、
前記第１気体噴射室と前記第１吐出口とをつなぐ第１給気経路と、
前記第２気体噴射室と前記第２吐出口とをつなぐ第２給気経路と、
前記気体吸引室と前記吸引口とをつなぐ吸気経路と、を有し、
前記第１給気経路は、前記第１気体噴射室からの気体が前記第１吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記表面に対して斜めに吐出するように誘導する第１傾斜誘導部を含み、
前記第２給気経路は、前記第２気体噴射室からの気体が前記第２吐出口から前記対象物の前記縁部分の前記裏面に対して斜めに吐出するように誘導する第２傾斜誘導部を含む、請求項８記載のクリーニングヘッド。 a first gas injection chamber and a second gas injection chamber coupled to the air supply mechanism, respectively;
a gas suction chamber coupled to the suction mechanism;
a first air supply path connecting the first gas injection chamber and the first discharge port;
a second air supply path connecting the second gas injection chamber and the second discharge port;
a suction path connecting the gas suction chamber and the suction port;
The first air supply path includes a first inclined guide portion that guides the gas from the first gas injection chamber to obliquely discharge from the first discharge port with respect to the surface of the edge portion of the object. including
The second air supply path includes a second inclined guide portion that guides the gas from the second gas injection chamber to be discharged obliquely from the second discharge port to the back surface of the edge portion of the object. 9. The cleaning head of claim 8, comprising:

シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１面と、
前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２面と、を有し、
前記第１面に、前記第２面に向う側に斜めに気体を噴出するように吐出口が形成され、
前記第２面に気体を吸引する吸引口が形成され、
前記シートの前記縁線に沿った方向において前記吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to the edge of a sheet,
a first surface arranged to face the surface of the edge portion of the sheet;
a second surface disposed outside the edge line of the edge portion of the sheet and facing the edge portion side;
A discharge port is formed on the first surface so as to obliquely eject gas toward the second surface,
A suction port for sucking gas is formed on the second surface ,
The discharge port and the suction port are arranged so as to overlap in a direction along the edge line of the sheet, and the width of the suction port in the direction is greater than the width of the discharge port in the direction. cleaning head.

シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
シートの表面に対して設けられる第１ヘッド部と、
前記シートの裏面に対して設けられる第２ヘッド部と、を有し、
前記第１ヘッド部は、
前記シートの縁部分の表面に対向するように配置される第１ヘッド側第１面と、
前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第１ヘッド側第２面と、を有し、
前記第１ヘッド側第１面に、前記第１ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、
前記第１ヘッド側第２面に、気体を吸引する第１吸引口が形成され、
前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と前記第１吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第１吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口の幅よりも大きく、
前記第２ヘッド部は、
前記シートの前記縁部分の裏面に対向するように配置される第２ヘッド側第１面と、
前記シートの前記縁部分の縁線の外側に、前記縁部分側に向けて配置される第２ヘッド側第２面と、を有し、
前記第２ヘッド側第１面に、前記第２ヘッド側第２面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、
前記第２ヘッド側第２面に、気体を吸引する第２吸引口が形成され、
前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第２吐出口と前記第２吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記第２吸引口の幅は、当該方向における前記第２吐出口の幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to the edge of a sheet,
a first head provided against the surface of the sheet;
a second head portion provided against the back surface of the sheet,
The first head section
a first head side first surface arranged to face the surface of the edge portion of the sheet;
a first head-side second surface arranged toward the edge portion on the outer side of the edge line of the edge portion of the sheet;
A first discharge port is formed in the first head-side first surface to obliquely jet gas toward the first head-side second surface, and
A first suction port for sucking gas is formed on the second surface on the first head side,
The first ejection port and the first suction port are arranged to overlap in the direction along the edge line of the sheet, and the width of the first suction port in the direction is the width of the first suction port in the direction. Larger than the width of the outlet,
The second head section
a second head side first surface arranged to face the back surface of the edge portion of the sheet;
a second head-side second surface arranged toward the edge portion on the outer side of the edge line of the edge portion of the sheet;
a second ejection port is formed in the first surface on the second head side for ejecting gas obliquely toward the second surface on the second head side;
A second suction port for sucking gas is formed on the second surface on the second head side ,
The second ejection port and the second suction port are arranged so as to overlap in the direction along the edge line of the sheet, and the width of the second suction port in the direction is the same as the width of the second suction port in the direction. A cleaning head that is larger than the width of the ejection port .

シートの縁部分に付着した塵埃を除去するクリーニングヘッドであって、
溝部を構成する、相互に対向する第１面及び第２面と底面としての第３面とを有し、
前記第１面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第１吐出口が形成され、
前記第２面に、前記第３面に向う側に斜めに気体を噴出する第２吐出口が形成され、
前記第３面に、気体を吸引する吸引口が形成され、
前記第１面が前記シートの前記縁部分の前記表面に対向し、前記第２面が前記シートの縁部分の前記裏面に対向し、前記第３面が前記シートの前記縁部分の縁線の外側に配置され、
前記シートの前記縁線に沿った方向において前記第１吐出口と第２吐出口と前記吸引口とは重なるように配置されるともに、当該方向における前記吸引口の幅は、当該方向における前記第１吐出口及び第２吐出口のそれぞれの幅よりも大きい、クリーニングヘッド。 A cleaning head for removing dust adhering to the edge of a sheet,
Having a first surface and a second surface facing each other and a third surface as a bottom surface, which constitute the groove,
A first ejection port is formed on the first surface for ejecting gas obliquely toward the third surface,
A second ejection port is formed on the second surface for ejecting gas obliquely toward the third surface,
A suction port for sucking gas is formed on the third surface,
The first surface faces the front surface of the edge portion of the sheet, the second surface faces the back surface of the edge portion of the sheet, and the third surface faces the edge line of the edge portion of the sheet. placed outside the
The first ejection port, the second ejection port, and the suction port are arranged so as to overlap in the direction along the edge line of the sheet, and the width of the suction port in the direction is the width of the suction port in the direction. A cleaning head that is larger than the width of each of the first ejection port and the second ejection port .