JP7115688B2 - 成膜装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
12 :加熱炉
13 :基板ステージ
14 :ヒータ
20 :ミスト供給装置
22 :貯留槽
28 :超音波振動子
30 :ヒータ
40 :ミスト供給路
42 :搬送ガス供給路
44 :希釈ガス供給路
60 :溶液
62 :ミスト
64 :搬送ガス
66 :希釈ガス
70 :基板
80 :排出管
Claims (4)
- 基体の表面に溶液のミストを供給して前記基体の前記表面に膜をエピタキシャル成長させる成膜装置であって、
前記基体を収容して加熱する加熱炉と、
前記溶液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱するヒータと、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって、前記貯留槽内に前記溶液の前記ミストを発生させる超音波振動子と、
前記貯留槽から前記加熱炉に前記ミストを搬送するミスト供給路、
を備え、
前記膜をエピタキシャル成長させる工程中に、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の温度が、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の水面よりも上側に位置する前記貯留槽の外壁の内面の温度よりも高い温度に制御される、
成膜装置。 - 基体の表面に溶液のミストを供給して前記基体の前記表面に膜をエピタキシャル成長させる成膜装置であって、
前記基体を収容して加熱する加熱炉と、
前記溶液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱するヒータと、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって、前記貯留槽内に前記溶液の前記ミストを発生させる超音波振動子と、
前記貯留槽から前記加熱炉に前記ミストを搬送するミスト供給路と、
前記貯留槽に搬送ガスを供給する搬送ガス供給路、
を備え、
前記膜をエピタキシャル成長させる工程中に、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の温度が、前記貯留槽内の前記搬送ガスの温度よりも高い温度に制御される、
成膜装置。 - 成膜装置を用いて半導体装置を製造する製造方法であって、
前記成膜装置が、
基体を収容して加熱する加熱炉と、
溶液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱するヒータと、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって、前記貯留槽内に前記溶液のミストを発生させる超音波振動子と、
前記貯留槽から前記加熱炉に前記ミストを搬送するミスト供給路、
を備えており、
前記製造方法が、
前記ヒータによって前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱しながら前記超音波振動子によって前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって前記ミストを発生させ、発生させた前記ミストを前記加熱炉内に収容された前記基体の表面に供給して前記基体の前記表面に膜をエピタキシャル成長させる工程、
を有し、
前記膜をエピタキシャル成長させる工程中に、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の温度を、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の水面よりも上側に位置する前記貯留槽の外壁の内面の温度よりも高い温度に制御する、
製造方法。 - 成膜装置を用いて半導体装置を製造する製造方法であって、
前記成膜装置が、
基体を収容して加熱する加熱炉と、
溶液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱するヒータと、
前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって、前記貯留槽内に前記溶液のミストを発生させる超音波振動子と、
前記貯留槽から前記加熱炉に前記ミストを搬送するミスト供給路と、
前記貯留槽に搬送ガスを供給する搬送ガス供給路、
を備えており、
前記製造方法が、
前記ヒータによって前記貯留槽内に貯留されている前記溶液を加熱しながら前記超音波振動子によって前記貯留槽内に貯留されている前記溶液に超音波を印加することによって前記ミストを発生させ、発生させた前記ミストを前記加熱炉内に収容された前記基体の表面に供給して前記基体の前記表面に膜をエピタキシャル成長させる工程、
を有し、
前記膜をエピタキシャル成長させる工程中に、前記貯留槽内に貯留されている前記溶液の温度を、前記貯留槽内の前記搬送ガスの温度よりも高い温度に制御する、
製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019011144A JP7115688B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 成膜装置及び半導体装置の製造方法 |
US16/741,060 US11270882B2 (en) | 2019-01-25 | 2020-01-13 | Film formation apparatus configured to supply mist of a solution to surface of a substrate and method of manufacturing semiconductor device using the film formation apparatus |
CN202010079373.8A CN111485288A (zh) | 2019-01-25 | 2020-02-03 | 成膜装置及半导体装置的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019011144A JP7115688B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 成膜装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020120032A JP2020120032A (ja) | 2020-08-06 |
JP7115688B2 true JP7115688B2 (ja) | 2022-08-09 |
Family
ID=71731574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019011144A Active JP7115688B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 成膜装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11270882B2 (ja) |
JP (1) | JP7115688B2 (ja) |
CN (1) | CN111485288A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112836853A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 杭州富加镓业科技有限公司 | 一种基于深度学习和热交换法的氧化镓制备方法及*** |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003117307A (ja) | 2001-10-16 | 2003-04-22 | Kuboyama Kazuko | アロマの抽出方法とこれにより抽出されたアロマ。 |
JP2015070248A (ja) | 2013-10-01 | 2015-04-13 | 株式会社Flosfia | 酸化物薄膜及びその製造方法 |
WO2018235773A1 (ja) | 2017-06-20 | 2018-12-27 | シャープ株式会社 | 調湿装置および調湿方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04111400U (ja) * | 1991-03-18 | 1992-09-28 | 株式会社フジタ | 模擬湯煙発生装置 |
JPH07310185A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-28 | Hitachi Ltd | Cvdガス供給装置 |
JP5627984B2 (ja) * | 2010-10-15 | 2014-11-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法、成膜装置及び半導体装置の製造方法 |
JP6234860B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2017-11-22 | 株式会社Screenホールディングス | 成膜装置および成膜方法 |
US10090388B2 (en) * | 2014-03-31 | 2018-10-02 | Flosfia Inc. | Crystalline multilayer structure and semiconductor device |
JP2019007048A (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-17 | トヨタ自動車株式会社 | 成膜装置 |
JP7228160B2 (ja) * | 2019-06-03 | 2023-02-24 | 株式会社デンソー | ミスト生成装置、成膜装置、及び成膜装置を用いた成膜方法 |
-
2019
- 2019-01-25 JP JP2019011144A patent/JP7115688B2/ja active Active
-
2020
- 2020-01-13 US US16/741,060 patent/US11270882B2/en active Active
- 2020-02-03 CN CN202010079373.8A patent/CN111485288A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020120032A (ja) | 2020-08-06 |
CN111485288A (zh) | 2020-08-04 |
US11270882B2 (en) | 2022-03-08 |
US20200243333A1 (en) | 2020-07-30 |
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