JP7112607B2 - 立方晶窒化硼素焼結体、およびそれを含む切削工具 - Google Patents
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Description
近年、機械部品の急速な高機能化に伴い、機械部品となる被削材の難削化が加速している。これに伴い、切削工具の短寿命化によるコスト増という問題が顕在化している。このため、High-cBN焼結体のさらなる改良が望まれる。この点に鑑み、本開示は、長寿命化を可能とする立方晶窒化硼素焼結体、およびそれを含む切削工具を提供することを目的とする。
本開示によれば、長寿命化を可能とする立方晶窒化硼素焼結体、およびそれを含む切削工具を提供することができる。
本発明者らは上記課題を解決すべく、High-cBN焼結体においてcBN粒子同士の結合力を高めることにより長寿命化を実現することを着想した。次いで、High-cBN焼結体においてcBN粒子同士の結合力を弱化させている原因を鋭意検討した結果、cBN粒子の表面に存在する酸素の層(酸化被膜)が、cBN粒子同士、およびcBN粒子と結合材との間の焼結を阻害していることを知見した。
以下、本発明の一実施形態(以下、「本実施形態」とも記す)について説明する。ただし、本実施形態はこれらに限定されるものではない。なお、本明細書において「A~B」という形式の表記は、範囲の上限下限(すなわちA以上B以下)を意味し、Aにおいて単位の記載がなく、Bにおいてのみ単位が記載されている場合、Aの単位とBの単位とは同じである。さらに、本明細書において化合物などを化学式で表す場合、原子比を特に限定しないときは従来公知のあらゆる原子比を含むものとし、必ずしも化学量論的範囲のもののみに限定されるべきではない。
本実施形態に係る立方晶窒化硼素焼結体(cBN焼結体)は、70体積%以上100体積%未満の立方晶窒化硼素粒子(cBN粒子)と、結合材とを備えるcBN焼結体である。上記結合材は、アルミニウム化合物(Al化合物)を含み、かつ構成元素としてコバルト(Co)を含む。上記cBN焼結体は、隣接する上記cBN粒子間の間隔が0.1nm以上10nm以下となる第1領域を有する。上記第1領域を透過型電子顕微鏡付帯のエネルギー分散型X線分析装置(以下、「TEM-EDX」とも記す)を用いて分析した場合、上記第1領域におけるアルミニウム(Al)の原子%は、0.1以上である。このような特徴を有するcBN焼結体は、切削工具に適用した場合に、該切削工具の長寿命化を実現することができる。
本実施形態に係るcBN焼結体は、上述のように70体積%以上100体積%未満のcBN粒子を備える。上記cBN焼結体は、上記cBN粒子を70体積%以上99体積%以下含むことが好ましく、80体積%以上95体積%以下含むことがさらに好ましい。すなわち上記cBN焼結体は、いわゆるHigh-cBN焼結体である。上記cBN粒子は、硬度、強度、靱性が高く、cBN焼結体中の骨格としての役割を果たす。cBN焼結体におけるcBN粒子の含有量(体積%)は、後述する混合粉末に用いられるcBN原料粉末(被覆cBN粉末)の含有量(体積%)と実質的に同一の量となる。なぜなら、混合粉末を挿入するカプセル内の物質が超高圧焼結時に溶融することがあるが、当該溶融物の量は微量であるので、cBN焼結体におけるcBN粒子の含有量と混合粉末におけるcBN粒子の含有量とは実質的に同一とみなすことができるからである。このように混合粉末に用いられるcBN原料粉末の含有量を制御することにより、cBN焼結体中のcBN粒子の含有量を、所望の範囲に調製することができる。
本実施形態に係るcBN焼結体は、上述のように結合材を備える。さらにcBN焼結体は、使用する原材料、製造条件等に起因する不可避不純物を含み得る。この場合、cBN焼結体は、cBN粒子と結合材と不可避不純物とからなる。上記結合材の含有量(体積%)としては、0体積%超過30体積%以下が好ましく、5~20体積%であることがより好ましい。結合材は、難焼結性材料であるcBN粒子を工業レベルの圧力温度で焼結可能とする役割を果たす。
本実施形態に係るcBN焼結体は、隣接する上記cBN粒子間の間隔が0.1nm以上10nm以下となる第1領域を有する。上記第1領域を透過型電子顕微鏡付帯のエネルギー分散型X線分析装置(TEM-EDX)を用いて分析した場合、上記第1領域におけるAlの原子%は、0.1以上である。第1領域は、cBN焼結体中で結合材が存在する領域に形成される領域である。
第1領域は、上記cBN焼結体中においてcBN粒子同士が隣接することにより“cBN粒子/結合材層/cBN粒子”の構造(以下、「第1構造」とも記す)が形成された領域をTEM-EDXを用いて分析することにより特定することができる。以下、TEM-EDXによる第1領域の特定方法を説明する。
本実施形態に係るcBN焼結体において、上記第1領域をTEM-EDXを用いて分析した場合、上記第1領域におけるAlの原子%は、0.1以上である。上記Alの原子%の値は、上述した第2画像に対する元素ライン分析の結果から求めることができる。具体的には、上記Alの原子%の値としては、上記元素ライン分析の結果から得られるバックグラウンドの値を除いたAlピークの最大値を採用する。その理由は、上記Alの原子%として元素ライン分析から得られるAlピークの面積を採用した場合、分析誤差が大きくなるからである。また上記第1領域におけるAlの原子%は、上記元素ライン分析にて測定される全元素を100原子%として求められるものとする。
第1領域は、構成元素としてクロム(Cr)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、レニウム(Re)、ケイ素(Si)およびモリブデン(Mo)からなる群より選ばれる少なくとも1種以上の第1元素と、Alとを含むことが好ましい。この場合において上記第1領域を上記透過型電子顕微鏡付帯のエネルギー分散型X線分析装置(TEM-EDX)を用いて分析した場合、上記Alの原子%をMとし、上記第1元素のうち最も高濃度で存在する元素の原子%をM1とするとき、比M1/(M+M1)は、0.50以下であることが好ましい。上記比M1/(M+M1)は、0.010以上0.30以下であることがより好ましい。このような特徴を有するcBN焼結体を切削工具に適用した場合、該切削工具の長寿命化をより十分に実現することができる。
本実施形態に係るcBN焼結体は、上述のように上記第1領域におけるAlの原子%が0.1以上である。この場合においてcBN焼結体は、詳細なメカニズムは不明ながら、以下の理由によりcBN粒子同士の結合力が高まり、もって長寿命化が可能となることが推察される。すなわち上記第1領域におけるAlの原子%が0.1以上であることは、上記第1領域(隣接するcBN粒子間)においてAlが多く含まれている(高濃度である)ことを意味する。上記第1領域においてAlが高濃度に存在する場合、cBN粒子との反応性が高いAlが、より多く焼結時にcBN粒子と反応することができる。これにより、隣接するcBN粒子間に数多くの“cBN粒子/Al層(密着層)/cBN粒子”の構造を生成することができ、もってcBN粒子同士の結合力を高められると考えられる。
本実施形態に係る切削工具は、上記cBN焼結体を含む。具体的には、上記切削工具は、上記cBN焼結体を基材として含むことが好ましい。基材となるcBN焼結体の表面の一部または全部に対しては、被膜が被覆されていてもよい。
本実施形態に係るcBN焼結体の製造方法については、切削工具に適用した場合に長寿命化を可能とする上述したようなcBN焼結体が得られる限り、特に制限されるべきではない。しかしながら歩留まり等の観点から、たとえば次の製造方法によりcBN焼結体を得ることが好ましい。本発明者らは、cBN焼結体を製造するプロセスにおいて、後述するようにAlの配合量を高めた結合材の原料粉末を準備すること、cBN粒子の原料粉末表面に従来とは異なる被覆技術を適用すること等によって、長寿命化が可能となるcBN焼結体が製造し得ることを知見した。
第1工程は、Alの配合量を高めた結合材原料粉末を準備する工程である。上記結合材原料粉末は、次のように調製することによって準備することができる。まず、たとえばWC粉末、Co粉末およびAl粉末を従来公知の方法で製造し、または市場から入手することにより準備する。さらに上記結合材原料粉末は、WC、CoおよびAlの他に、他の元素を含んでいてもよいので、他の元素としてCr、Ti、V、Zr、Nb、Hf、Ta、Re、SiおよびMoからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の元素が含まれる粉末も準備することが好ましい。次に上述した各粉末を所定の比率となるように混合し、引き続き湿式のボールミル、湿式のビーズミル等で粉砕することにより、上記結合材原料粉末を調製することができる。
第2工程は、cBN原料粉末の表面に金属を被覆することにより被覆cBN粉末を得る工程である。cBN原料粉末としては、市販のcBN粒子を用いることができ、あるいは従来公知の超高圧合成法によってBとNとから得られるcBNの粉末を用いることができる。ここでcBN原料粉末の表面を金属で被覆する前に、前処理として上記cBN原料粉末に対して熱処理を行うことが好ましい。具体的には、清浄化を目的にcBN原料粉末に対して低酸素分圧である窒素雰囲気下で加熱し、還元処理を行う。このとき熱処理温度は900~1600℃であることが好ましい。熱処理時間は、cBN原料粉末の表面が十分に清浄化されるまで継続すれば特に制限はなく、たとえば1~20時間とすればよい。還元処理時の酸素分圧は、1×10-29atm以下の低酸素分圧とすることが好ましい。このような低酸素分圧下で熱処理することにより、cBN原料粉末の清浄化を十分にかつ効率よく進めることができる。これにより、焼結を阻害する要因となるcBN表面の酸化を抑制して清浄なcBN粒子の表面を露出させることができ、もってcBN原料粉末の表面を被覆する金属とcBN粒子との密着性を向上させることができる。
第3工程は、上記結合材原料粉末および上記被覆cBN粉末を混合することにより、70体積%以上100体積%未満のcBN粉末と、残部の結合材原料粉末とからなる混合粉末を調製する工程である。具体的には、第3工程では、結合材原料粉末および被覆cBN粉末に対し、エタノール、アセトン等を溶媒に用いた湿式ボールミル混合を実行することにより上記の混合粉末を調製することが好ましい。混合粉末の調製後は自然乾燥によって溶媒が除去される。さらに混合粉末に対しては、熱処理(たとえば、真空下で850℃以上)を実行することが、表面に吸着された水分等の不純物を除去することができるので好ましい。
第4工程は、上記混合粉末を焼結することによりcBN焼結体を得る工程である。本工程においては、上記混合粉末が高温高圧条件下に曝されて焼結されることにより、cBN焼結体が製造される。具体的には、第4工程では、真空シールされた上記混合粉末を、超高温高圧装置を用いることによって焼結処理する。焼結処理する温度条件は、1500℃以上2000℃未満が好ましく、1600~1900℃がより好ましい。保持時間は、10~50分とすることが好ましい。焼結圧力条件は特に制限されないが、5.5~8GPaであることが好ましい。以上により、cBN焼結体を製造することができる。
本実施形態に係るcBN焼結体の製造方法は、上記の各工程を経ることにより、長寿命化が可能なcBN焼結体を製造することができる。
以下の手順に従って、試料1~試料35のcBN焼結体を作製した。
(第1工程)
まず市販のWC粉末、Co粉末およびAl粉末を準備した。次に、上述した各粉末を質量比率でWC:Co:Alが32:38:30となるように配合した。なお、各粉末の平均粒径は5μmであった。さらに上記の質量比率で配合した粉末を、ビーズミル混合で粉砕することにより、結合材原料粉末を調製した。
まずcBN原料粉末として、市販のcBN粉末(平均粒径2μm)を準備した。上記cBN原料粉末に対し熱処理を行った。上記熱処理は、1×10-29atm以下の極低酸素条件とし、1200℃の熱処理温度および10時間の熱処理時間で実行した。
被覆装置:ナノ粒子形成装置(「APD-P」、アドバンス理工株式会社製)
ターゲット:純Al(純度99.999%)を2本使用
導入ガス:10-4Paの真空引き後、アルゴンガスを導入し装置内圧力を10-1Paに設定
放電電圧:150V
放電周波数:5Hz
コンデンサ容量:1080μF
shot数:10000
処理粉末量:25g
粉末容器の回転数:50rpm。
上記被覆cBN粉末と上記結合材原料粉末とを、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が60:40となるように配合し、エタノールを用いた湿式ボールミル法により均一に混合した。その後、自然乾燥により溶媒を除去するとともに、上記混合粉末に対して900℃の真空下で熱処理した。以上により、混合粉末を調製した。
上記混合粉末を焼結することにより、cBN焼結体を作製した。具体的には、上記混合粉末をTa(タンタル)製の容器に充填し真空シールした。次いで、これをベルト型超高圧高温発生装置を用い、6.5GPaおよび1700℃の条件で15分間焼結した。以上より、試料1のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が70:30となるように配合したこと以外、試料1と同じ要領により、試料2のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が75:25となるように配合したこと、ならびに第2工程においてcBN原料粉末に対する上記熱処理温度を1000℃とし、熱処理時間を12時間とし、かつ上記被覆条件のshot数を5000としたこと以外、試料1と同じ要領により、試料3のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が80:20となるように配合したこと以外、試料1と同じ要領により、試料4のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が89:11となるように配合したこと以外、試料1と同じ要領により、試料5のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が95:5となるように配合したこと以外、試料1と同じ要領により、試料6のcBN焼結体を作製した。
第3工程において、体積比率で被覆cBN粉末:結合材原料粉末が99:1となるように配合したこと以外、試料1と同じ要領により、試料7のcBN焼結体を作製した。
試料1においてcBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末に対し、1×10-29atm以下、1200℃および10時間の条件で熱処理を実行した。この熱処理を行ったcBN原料粉末をTa(タンタル)製の容器に充填して真空シールし、これを、ベルト型超高圧高温発生装置を用いて6.5GPaおよび1700℃の条件で15分間焼結した。以上より、試料8のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末に対する熱処理およびAlの被覆を行わなかったこと以外、試料2と同じ要領により、試料9のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対するAlの被覆を行わなかったこと以外、試料5と同じ要領により、試料10のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末に対する熱処理条件を、1400℃および20時間とし、かつ熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を1000としてAlを被覆したこと以外、試料6と同じ要領により、試料11のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末(に対する熱処理条件を、1200℃および10時間とし、かつ熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を5000としてAlを被覆したこと以外、試料5と同じ要領により、試料12のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を25000としてAlを被覆したこと以外、試料12と同じ要領により、試料13のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末に対する熱処理条件を、1400℃および20時間とし、かつ熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を50000としてAlを被覆したこと以外、試料5と同じ要領により、試料14のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末に対する熱処理条件を、1200℃および6時間とし、かつ熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を20000としてAlを被覆したこと以外、試料5と同じ要領により、試料15のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を35000としてAlを被覆したこと以外、試料15と同じ要領により、試料16のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を50000としてAlを被覆したこと以外、試料15と同じ要領により、試料17のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、cBN原料粉末として準備した市販の上記cBN粉末に対する熱処理条件を、1100℃および9時間とし、かつ熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対し、被覆条件のshot数を80000としてAlを被覆したこと以外、試料5と同じ要領により、試料18のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCr(純度99.999%)に変更し、かつ当該2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を499:1(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料5と同じ要領により、試料19のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を99:1(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料20のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を9:1(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料21のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を7:3(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料22のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を6:4(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料23のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を5:5(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料24のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、上記2本のターゲットのshot比率(Al:Cr)を4:6(shot数は5000)に変更することによりcBN原料粉末の表面に金属を被覆したこと以外、試料19と同じ要領により、試料25のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからV(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料26のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからCo(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料27のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからZr(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料28のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからW(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料29のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからNb(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料30のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからHf(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料31のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからTa(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料32のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからRe(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料33のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからSi(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料34のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからMo(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料35のcBN焼結体を作製した。
第2工程において、熱処理を行ったcBN原料粉末の表面に対して金属を被覆する被覆条件に関し、2本あるターゲットの一方をCrからTi(純度99.999%)に変更したこと以外、試料21と同じ要領により、試料36のcBN焼結体を作製した。
<粒子間距離D、Alの原子%および比M1/(M+M1)の測定、ならびに第1領域の有無の判定>
上記試料1~試料18の各cBN焼結体に関し、任意の位置で切断した後、露出した面を研磨して平滑面を作製した。その後、アルゴンイオンスライサーを用いて、50nmの厚みに薄片化して切片を作製した。次いで、上述の方法に従って第2画像(100nm×100nm)に対し、TEM-EDXによる元素ライン分析を実施した。TEM-EDXにおけるビーム径は0.2nmとし、スキャン間隔は0.6nmとした。得られた測定値から上述した方法に沿って粒子間距離DおよびAlの原子%を求め、かつ第1領域の有無を判定した。具体的には、第1領域の有無の判定は、上記試料1~試料18において任意の第2画像を10個観察し、6個以上の第1領域が観察されたものは「第1領域あり」とし、5個以下のものは「第1領域なし」とした。また「第1領域あり」の試料において、第1領域であると特定された上記6個以上の第1領域を対象とした元素ライン分析から得られた粒子間距離Dの平均値を求めた。さらに上記元素ライン分析から得られたAlのピークの最大値の平均値からAlの原子%を求めた。結果を表1に示す。試料2~試料7および試料11~試料18が実施例であり、試料1および試料8~試料10が比較例である。
上記試料1~試料18の各cBN焼結体から各試料の切削工具(基材形状:SNGN090308、刃先処理T01225)を作製した。これを用いて、以下の切削条件の下で切削試験(第1切削試験)を実施した。
切削速度:1500m/min.
送り速度:0.2mm/rev.
切込み:0.8mm
クーラント:WET
クーラント液:エマルション96(水で20倍に希釈)
カッター:RM3080R(住友電気工業株式会社製)
切削方法:断続切削
旋盤:NEXUS 530-II HS(ヤマザキマザック株式会社製)
被削材:FC250。
上記試料5および試料10、ならびに試料19~試料35の各cBN焼結体から、各試料の切削工具(基材形状:TNGA160404、刃先処理T01225)を作製した。これを用いて、以下の切削条件の下で切削試験(第2切削試験)を実施した。
切削速度:250m/min.
送り速度:0.15mm/rev.
切込み:0.1mm
クーラント:DRY
切削方法:連続切削
旋盤:LB400(オークマ株式会社製)
被削材:焼結部品(住友電気工業社製の焼入焼結合金D40、焼入れされた切削部の硬度:HRB75)。
表1によれば、実施例となる試料2~試料7および試料11~試料18の各cBN焼結体から得た切削工具は、比較例となる試料1および試料8~試料10のcBN焼結体から得た切削工具に比べ、長寿命化していることが理解される。
Claims (6)
- 70体積%以上100体積%未満の立方晶窒化硼素粒子と、結合材とを備える立方晶窒化硼素焼結体であって、
前記結合材は、アルミニウム化合物を含み、かつ構成元素としてコバルトを含み、
前記立方晶窒化硼素焼結体は、隣接する前記立方晶窒化硼素粒子間の間隔が0.1nm以上10nm以下となる第1領域を有し、
前記第1領域を透過型電子顕微鏡付帯のエネルギー分散型X線分析装置を用いて分析した場合、前記第1領域におけるアルミニウムの原子%は、0.1以上であり、
前記第1領域は、前記立方晶窒化硼素焼結体において、前記隣接する前記立方晶窒化硼素粒子間の界面様の構造が形成された領域が200万倍の倍率にて撮像された100nm×100nmサイズの画像10枚から、6個以上観察される、立方晶窒化硼素焼結体。 - 前記第1領域の隣接する前記立方晶窒化硼素粒子間の間隔が0.1nm以上7.0nm以下である場合、前記第1領域におけるアルミニウムの原子%は、0.5以上である、請求項1に記載の立方晶窒化硼素焼結体。
- 前記第1領域は、構成元素としてクロム、チタン、バナジウム、コバルト、ジルコニウム、タングステン、ニオブ、ハフニウム、タンタル、レニウム、ケイ素およびモリブデンからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の第1元素と、アルミニウムとを含み、
前記第1領域を前記透過型電子顕微鏡付帯のエネルギー分散型X線分析装置を用いて分析した場合、前記アルミニウムの原子%をMとし、前記第1元素のうち最も高濃度で存在する元素の原子%をM1とするとき、比M1/(M+M1)は、0.50以下である、請求項1または請求項2に記載の立方晶窒化硼素焼結体。 - 前記比M1/(M+M1)は、0.010以上0.30以下である、請求項3に記載の立方晶窒化硼素焼結体。
- 前記立方晶窒化硼素焼結体は、前記立方晶窒化硼素粒子を80体積%以上95体積%以下含む、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の立方晶窒化硼素焼結体。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の立方晶窒化硼素焼結体を含む、切削工具。
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