JP7098819B2 - フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 - Google Patents
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Description
[0002]フォトリソグラフィは、半導体デバイス及び表示デバイス(液晶ディスプレイ(LCD)など)の製造において、広範に使用されている。LCDの製造では、大面積基板がよく利用される。LCD又はフラットパネルは、コンピュータ、タッチパネルデバイス、携帯情報端末(PDA)、携帯電話、テレビのモニタなどといった、アクティブマトリクスディスプレイで一般的に使用される。フラットパネルは一般に、2つのプレートの間に挟持されたピクセルを形成する、液晶材料の層を含む。電力供給源からの電力が液晶材料全体に印加されると、ピクセル箇所において液晶材料を通過する光量が制御され、画像の生成が可能になる。
Claims (20)
- 第1トレイと第2トレイを個別に支持するよう構成されたリフトピンローダベースフレームと、
前記リフトピンローダベースフレームに連結された、複数のリフトピンを備えるリフトピンローダであって、第1の方向及び前記第1の方向とは逆の第2の方向に動くよう構成されている、リフトピンローダとを備える、処理システムであって、
前記第1トレイは、前記リフトピンローダに平行に配置されており、かつ第1基板を支持するよう構成され、前記リフトピンローダは、前記第1トレイが前記リフトピンローダベースフレームと接触しており、かつ前記リフトピンローダベースフレームによって支持されている時に前記第1基板を前記第1トレイ上に配置するために、前記第1の方向に動くよう構成されており、
前記第2トレイは、前記第1トレイから離間して、前記リフトピンローダに平行に配置されており、かつ第2基板を支持するよう構成され、前記リフトピンローダは、前記第2トレイが前記リフトピンローダベースフレームと接触しており、かつ前記リフトピンローダベースフレームによって支持されている時に前記第2基板を前記第2トレイ上に配置するために、前記第1の方向に動くよう構成されており、前記処理システムは更に、
前記リフトピンローダベースフレームの上方に配置された上側トレイ交換モジュールの対であって、前記リフトピンローダベースフレームから前記第1トレイと前記第2トレイを個別に上昇させるために、第1の距離だけ前記第1の方向及び前記第2の方向に動くよう構成されている、上側トレイ交換モジュールの対と、
前記リフトピンローダベースフレームと前記上側トレイ交換モジュールの対との間に配置された下側トレイ交換モジュールの対であって、前記リフトピンローダベースフレーム上に前記第1トレイと前記第2トレイを個別に配置するために、前記第1の距離を下回る第2の距離だけ、前記第1の方向及び前記第2の方向に動くよう構成されている、下側トレイ交換モジュールの対とを備える、
処理システム。 - 前記リフトピンローダは、前記第1トレイから前記第1基板を取り除き、かつ前記第2トレイから前記第2基板を取り除くために、前記第2の方向に動くよう構成されている、請求項1に記載の処理システム。
- 前記第1トレイと前記第2トレイは各々、一又は複数のツーリングボールを備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記第1トレイと前記第2トレイは各々、一又は複数の円形リングを備える、請求項1に記載の処理システム。
- 前記リフトピンローダの前記複数のリフトピンは、前記第1トレイの一又は複数の穴、及び前記第2トレイの一又は複数の穴の中に適合するよう構成されている、請求項1に記載の処理システム。
- 前記第1トレイと前記第2トレイは各々、前記第1トレイ及び前記第2トレイの周縁に配置された一又は複数のインターフェースタブを備える、請求項1に記載の処理システム。
- 第1の高さに配置された第1の平行軌道のセットと、
第2の高さに、前記第1の平行軌道のセットに平行に配置された第2の平行軌道のセットであって、前記第1の高さは前記第2の高さよりも高い、第2の平行軌道のセットと、
前記第1の平行軌道のセット上に配置された上側トレイ交換モジュールの対であって、リフトピンローダからチャックへと一又は複数のトレイを移送するために、前記第1の平行軌道のセットに沿って、第1の方向及び前記第1の方向とは逆の第2の方向に動くよう構成されている、上側トレイ交換モジュールの対と、
前記第2の平行軌道のセット上に配置された下側トレイ交換モジュールの対であって、前記チャックから前記リフトピンローダへと前記一又は複数のトレイを移送するために、前記第2の平行軌道のセットに沿って前記第1の方向及び前記第2の方向に動くよう構成されている、下側トレイ交換モジュールの対とを備える、処理システムであって、
前記上側トレイ交換モジュールの対は、第3の方向及び前記第3の方向とは逆の第4の方向に、第1の距離だけ動くよう更に構成され、前記下側トレイ交換モジュールの対は、前記第3の方向及び前記第4の方向に第2の距離だけ動くよう更に構成され、前記第1の距離は前記第2の距離よりも長い、
処理システム。 - 前記上側トレイ交換モジュールの対が、第1トレイの周縁に配置された一又は複数のインターフェースタブを介して前記第1トレイを移送し、前記下側トレイ交換モジュールの対が、第2トレイの周縁に配置された一又は複数のインターフェースタブを介して前記第2トレイを移送する、請求項7に記載の処理システム。
- 第1の軌道のセットが第1の幅を有し、かつ第2の軌道のセットが、前記第1の幅よりも大きな第2の幅を有する、請求項7に記載の処理システム。
- 基板を処理する方法であって、
リフトピンローダの複数のリフトピン上に第1基板を配置することと、
前記第1基板を第1トレイ上に配置するために、前記リフトピンローダを第1の方向に動かすことと、
上側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第1トレイ及び前記第1基板を、第1の平行軌道のセットに沿って、前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に動かすことと、
前記上側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第1トレイ及び前記第1基板をチャック上に配置するために前記第1トレイ及び前記第1基板を前記第1の方向に動かすことと、
前記第1基板を処理することと、
下側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第1トレイ及び前記第1基板を前記チャックから上昇させるために前記第1トレイ及び前記第1基板を前記第1の方向とは逆の第3の方向に動かすことと、
前記下側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第1トレイ及び前記第1基板を、第2の平行軌道のセットに沿って、前記第2の方向とは逆の第4の方向に動かすこととを含む、
方法。 - 前記第1基板を処理している間に、前記リフトピンローダの前記複数のリフトピン上に第2基板を配置することと、
前記第1基板を処理している間に、前記第2基板を第2トレイ上に配置するために前記リフトピンローダを前記第1の方向に動かすことと、
前記第1基板を処理している間に、前記上側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第2トレイ及び前記第2基板を、前記第1の平行軌道のセットに沿って前記第2の方向に動かすことと、
前記第1トレイ及び前記第1基板を前記第2の平行軌道のセットに沿って前記第4の方向に動かしている間に、前記上側トレイ交換モジュールの対を使用して、前記第2トレイ及び前記第2基板を前記チャック上に配置するために前記第2トレイ及び前記第2基板を前記第1の方向に動かすこととを更に含む、請求項10に記載の方法。 - 前記第2トレイ及び前記第2基板を前記チャック上に配置するために前記第2トレイ及び前記第2基板を前記第1の方向に動かしている間に、前記複数のリフトピンを使用して、前記第1基板を前記第1トレイから上昇させるために前記リフトピンローダを前記第3の方向に動かすことを更に含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第1の平行軌道のセットが第1の高さに配置され、前記第2の平行軌道のセットが第2の高さに配置され、前記第1の高さが前記第2の高さよりも高い、請求項10に記載の方法。
- 前記第1の平行軌道のセット及び前記上側トレイ交換モジュールの対は第1の幅だけ離間しており、前記第2の平行軌道のセット及び前記下側トレイ交換モジュールの対は第2の幅だけ離間しており、前記第2の幅は前記第1の幅よりも大きい、請求項10に記載の方法。
- 前記上側トレイ交換モジュールの対と前記下側トレイ交換モジュールの対とが同時に動くよう構成されている、請求項7に記載の処理システム。
- 前記上側トレイ交換モジュールの対が前記一又は複数のトレイのうちの第1トレイを前記チャックに移送するよう構成されている一方、前記下側トレイ交換モジュールの対は前記一又は複数のトレイのうちの第2トレイを前記リフトピンローダへと動かすよう構成されている、請求項7に記載の処理システム。
- 前記第2基板を処理している間に、前記第1基板が前記第1トレイから上昇した後に前記リフトピンローダの前記複数のリフトピン上に第3基板を配置することと、
前記第2基板を処理している間に、前記第3基板を前記第1トレイ上に配置するために前記リフトピンローダを前記第1の方向に動かすこととを更に含む、請求項12に記載の方法。 - 前記第1の平行軌道のセットが前記第2の平行軌道のセットに平行に配置されている、請求項13に載の方法。
- 前記上側トレイ交換モジュールの対と前記下側トレイ交換モジュールの対が両方とも、一又は複数のエンドエフェクタを個別に備える、請求項7に記載の処理システム。
- 第1トレイと第2トレイを個別に支持するよう構成されたリフトピンローダベースフレームと、
前記リフトピンローダベースフレームに連結された、複数のリフトピンを備えるリフトピンローダであって、第1の方向及び前記第1の方向とは逆の第2の方向に動くよう構成されている、リフトピンローダと、
前記リフトピンローダに平行に配置された第1トレイであって、第1基板を支持するよう構成されている、第1トレイと、
前記第1トレイから離間して、前記リフトピンローダに平行に配置された第2トレイであって、第2基板を支持するよう構成されている、第2トレイとを備える、処理システムであって、前記リフトピンローダは、前記第1基板を前記第1トレイ上に配置し、かつ前記第2基板を前記第2トレイ上に配置するために、前記第1の方向に動くよう構成されており、処理システムは更に、
前記リフトピンローダベースフレームの上方に配置されたトレイ交換モジュールベースフレームと、
トレイ交換モジュールベースフレーム上の、前記リフトピンローダの上方に配置された上側トレイ交換モジュールの対であって、前記第1の方向、前記第2の方向、第3の方向、及び第4の方向に動くことが可能な、上側トレイ交換モジュールの対と、
前記トレイ交換モジュールベースフレーム上の、前記リフトピンローダベースフレームと前記上側トレイ交換モジュールの対との間に配置された下側トレイ交換モジュールの対であって、前記第1の方向、前記第2の方向、前記第3の方向、及び前記第4の方向に動くことが可能な、下側トレイ交換モジュールの対とを備える、
処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022104383A JP2022160402A (ja) | 2018-09-28 | 2022-06-29 | フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/146,054 | 2018-09-28 | ||
US16/146,054 US10901328B2 (en) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | Method for fast loading substrates in a flat panel tool |
PCT/US2019/037086 WO2020068193A1 (en) | 2018-09-28 | 2019-06-13 | Method for fast loading substrates in a flat panel tool |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022104383A Division JP2022160402A (ja) | 2018-09-28 | 2022-06-29 | フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022501801A JP2022501801A (ja) | 2022-01-06 |
JP7098819B2 true JP7098819B2 (ja) | 2022-07-11 |
Family
ID=69947362
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021504239A Active JP7098819B2 (ja) | 2018-09-28 | 2019-06-13 | フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 |
JP2022104383A Pending JP2022160402A (ja) | 2018-09-28 | 2022-06-29 | フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022104383A Pending JP2022160402A (ja) | 2018-09-28 | 2022-06-29 | フラットパネルツールにおいて基板を迅速にローディングするための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10901328B2 (ja) |
JP (2) | JP7098819B2 (ja) |
KR (2) | KR20230005439A (ja) |
CN (1) | CN112534343B (ja) |
TW (2) | TW202129706A (ja) |
WO (1) | WO2020068193A1 (ja) |
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- 2019-06-13 KR KR1020227045726A patent/KR20230005439A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-06-13 KR KR1020217002916A patent/KR102482946B1/ko active IP Right Grant
- 2019-06-13 JP JP2021504239A patent/JP7098819B2/ja active Active
- 2019-06-13 WO PCT/US2019/037086 patent/WO2020068193A1/en active Application Filing
- 2019-06-13 CN CN201980050092.5A patent/CN112534343B/zh active Active
- 2019-07-01 TW TW110111854A patent/TW202129706A/zh unknown
- 2019-07-01 TW TW108123181A patent/TWI727355B/zh active
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JP2022160402A (ja) | 2022-10-19 |
US20200103760A1 (en) | 2020-04-02 |
KR102482946B1 (ko) | 2022-12-28 |
TWI727355B (zh) | 2021-05-11 |
WO2020068193A1 (en) | 2020-04-02 |
US10901328B2 (en) | 2021-01-26 |
JP2022501801A (ja) | 2022-01-06 |
TW202129706A (zh) | 2021-08-01 |
US20210149308A1 (en) | 2021-05-20 |
KR20210014215A (ko) | 2021-02-08 |
KR20230005439A (ko) | 2023-01-09 |
TW202029278A (zh) | 2020-08-01 |
CN112534343A (zh) | 2021-03-19 |
CN112534343B (zh) | 2024-02-23 |
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