JP7092630B2 - 光学素子及び投射型画像表示装置 - Google Patents
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Description
1.光学素子
2.光学素子の製造方法
3.投射型画像表示装置
4.実施例
本実施の形態に係る光学素子は、使用波長帯域の光に対して透明である基板と、酸化ハフニウムを主成分とする斜方蒸着膜からなる複屈折層とを備える。これにより、レーザー光源などからの高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を得ることができる。これは、高い融点を有する酸化ハフニウムが、斜方蒸着膜の柱状組織の熱崩壊を防ぐためであると考えられる。
次に、本実施形態に係る光学素子の製造方法について説明する。本実施形態に係る光学素子の製造方法は、蒸着対象面の法線に対して傾斜する方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、酸化ハフニウムを主成分とする斜方蒸着膜からなる複屈折層を形成する。また、本実施形態に係る光学素子の製造方法は、蒸着対象面の法線に対して傾斜する第1の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第1の斜方蒸着膜を成膜する工程と、蒸着対象面の法線に対して傾斜する第2の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第2の斜方蒸着膜を成膜する工程とを繰り返し、斜方蒸着膜が交互に成膜された膜からなる複屈折層を形成する。これにより、レーザー光源などからの高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を有する光学素子を得ることができる。
前述した光学素子は、高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を有するため、液晶プロジェクタ、DLP(登録商標)(Digital Light Processing)プロジェクタ、LCOS(Liquid Crystal On Silicon)プロジェクタ、GLV(登録商標)(Grating Light Valve)プロジェクタなどのプロジェクタ用途として好適に用いられる。すなわち、本実施の形態に係る投射型画像表示装置は、前述した光学素子と、光変調装置と、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系とを備え、光変調装置及び光学素子が、光源と投射光学系との間の光路上に配置されてなるものである。光変調装置としては、透過型液晶パネルなどを有する液晶表示装置、DMD(Digital Micro-mirror Device)などを有するマイクロミラー表示装置、反射型液晶パネルなどを有する反射型液晶表示装置、1次元回析型光変調素子(GLV)などを有する1次元回析型表示装置などが挙げられる。
以下、本技術の実施例について説明する。ここでは、斜方蒸着膜を有する位相差素子を作製し、レーザー照射試験を行った。なお、本技術はこれらの実施例に限定されるものではない。
先ず、ガラス基板(平均厚み0.7mm)の一方の面上に、SiO2/Nb2O5/SiO2の3層をスパッタ法により積層することによって、マッチング層を形成した。
蒸着材料をTa2O5とした以外は、実施例1と同様のプ口セスで位相差素子を作製した。
実施例及び比較例の方法で作成した各30個の位相差素子に対して、以下の条件にてレーザー照射を行ない、損傷の個数をカウントした。損傷の基準は、透明な位相差素子のレーザーが照射された部位が白濁することとし、これを目視にて確認した。表1に、レーザー照射による位相差素子の損傷個数の結果を示す。
波長:455nm CW(連続波)半導体レーザー
レーザー出力:61W
パワー密度:10.2W/mm2
照射時間:3分間
Claims (3)
- 使用波長帯域の光に対して透明である基板上に屈折率の異なる2種類以上の誘電体膜が積層されてなるマッチング層を形成し、
前記マッチング層の蒸着対象面の法線に対して傾斜した位置に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着源を配置し、第1の蒸着方向を0度、第2の蒸着方向を180度とし、交互に斜方蒸着を行い、前記基板の法線に対する傾斜角度を60°以上80°以下とする第1の傾斜方向を有する第1の斜方蒸着膜と、前記基板面における前記第1の傾斜方向に対して反対方向であって、前記基板の法線に対する傾斜角度を60°以上80°以下とする第2の傾斜方向を有する第2の斜方蒸着膜とが交互に成膜されてなる複屈折層を形成し、前記複屈折層を形成後に300℃以上600℃以下の温度でアニール処理を行い、
屈折率の異なる2種類以上の誘電体膜が積層されてなる少なくとも1層の反射防止層を形成する光学素子の製造方法。 - 前記基板が、ガラスである請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 前記複屈折層を形成後に400℃以上600℃以下の温度でアニール処理を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の光学素子の製造方法。
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R.B. Tokas et al.,Spectroscopic ellipsometry investigations of optical anisotropy in obliquely deposited hafnia thin films,AIP Conference Proceedings,米国,2016年05月,vol.1731, No.1,p.60007-1~60007-3,ISSN 0094-243, 特に抄録, p.60007-1左欄18-21行,右欄9-13,18-22行, p.60007-3左欄28-30行,表1 |
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