JP7081372B2 - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
磁気抵抗効果素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7081372B2 JP7081372B2 JP2018140548A JP2018140548A JP7081372B2 JP 7081372 B2 JP7081372 B2 JP 7081372B2 JP 2018140548 A JP2018140548 A JP 2018140548A JP 2018140548 A JP2018140548 A JP 2018140548A JP 7081372 B2 JP7081372 B2 JP 7081372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- barrier height
- magnetoresistive
- high barrier
- tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/098—Magnetoresistive devices comprising tunnel junctions, e.g. tunnel magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3909—Arrangements using a magnetic tunnel junction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3254—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0052—Manufacturing aspects; Manufacturing of single devices, i.e. of semiconductor magnetic sensor chips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/18—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being compounds
- H01F10/20—Ferrites
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる磁気抵抗効果素子の断面模式図である。図1に示す磁気抵抗効果素子10は、第1強磁性層1と第2強磁性層2とトンネルバリア層3とを備える。また磁気抵抗効果素子10は、これらの層以外にキャップ層、下地層等を有していてもよい。
第1強磁性層1及び第2強磁性層2は磁化を有する。磁気抵抗効果素子10は、これらの磁化の相対角変化を抵抗値変化として出力する。例えば、第2強磁性層2の磁化の向きを固定し、第1強磁性層1の磁化の向きを第2強磁性層2の磁化の向きに対して可変とすると、第1強磁性層1の磁化の向きが変化することで、磁気抵抗効果素子10の抵抗値が変化する。磁化の向きが固定された層を一般に固定層と呼び、磁化の向きが可変な層を一般に自由層と呼ぶ。抵抗値変化は磁化の相対角の変化に応じて生じるため、第1強磁性層1及び第2強磁性層2の磁化がいずれも固定されていない構成でもよい。
トンネルバリア層3は、相対的にバリアハイト(バリア障壁)が高い高バリアハイト層3aと、高バリアハイト層3aの一方の表面(図1では上面)に積層された相対的にバリアハイトが低い低バリアハイト層3bとからなる2層構造の積層体とされている。高バリアハイト層3aと低バリアハイト層3bとのバリアハイトの差は0.5eV以上であり、好ましくは1.0eV以上5.0eV以下の範囲内、特に好ましくは2.0eV以上5.0eV以下の範囲内である。なお、高バリアハイト層3a及び低バリアハイト層3bのバリアハイトは、バルクの状態での値である。
磁気抵抗効果素子10を構成する第1強磁性層1、トンネルバリア層3及び第2強磁性層2からなる積層体は柱状の形状である。積層体を平面視した形状は、円形、四角形、三角形、多角形等の種々の形状をとることができるが、対称性の面から円形であることが好ましい。すなわち、積層体は円柱状であることが好ましい。
次いで、磁気抵抗効果素子の製造方法について説明する。
本実施形態にかかる磁気抵抗効果素子の製造方法は、第1強磁性層と、トンネルバリア層と、第2強磁性層とを積層する工程を有する。これらの層の成膜方法としては、スパッタリング法、蒸着法、レーザアブレーション法、分子線エピタキシャル(MBE)法など公知の方法を用いることができる。
図4は、本発明の第2実施形態にかかる磁気抵抗効果素子の断面模式図である。なお、第2実施形態にかかる磁気抵抗効果素子20において、第1実施形態にかかる磁気抵抗効果素子10と同一の構成については同一の符号を付して、説明を省略する。
磁気抵抗効果素子10は、磁化固定層が磁化自由層より基板から遠い側にあるトップピン構造、磁化固定層が磁化自由層より基板に近い側にあるボトムピン構造、のいずれでもよい。
図1に示す磁気抵抗効果素子10を作製した。まず、基板としてMgO(001)単結晶基板を用意し、この基板の上に下地層(後述する第1配線31を兼ねる)としてCrを40nm積層し、第1強磁性層1としてFeを30nm積層した。
トンネルバリア層を、次のようにして形成したこと以外は、実施例1と同様にして、図4に示す磁気抵抗効果素子20を作製した。
酸化処理及び熱処理の条件は、実施例1と同じとした。
以上のようにして、トンネルバリア層23がMgAlO層/MgAlGaO層/MgAlO層の3層構造である磁気抵抗効果素子20を作製した。磁気抵抗効果素子20の各層の材料と膜厚を下記の表1に示す。
トンネルバリア層を、次のようにして形成したこと以外は、実施例1と同様にして、図4に示す磁気抵抗効果素子20を作製した。
酸化処理及び熱処理の条件は、実施例1と同じとした。
以上のようにして、トンネルバリア層23がMgAlO層/MgAlGaO層/MgAlO層の3層構造である磁気抵抗効果素子20を作製した。磁気抵抗効果素子20の各層の材料と膜厚を下記の表1に示す。
トンネルバリア層を、次のようにして形成したこと以外は、実施例1と同様にして、図4に示す磁気抵抗効果素子20を作製した。
以上のようにして、トンネルバリア層23がMgAlO層/ZnAlO層/MgAlO層の3層構造である磁気抵抗効果素子20を作製した。磁気抵抗効果素子20の各層の材料と膜厚を下記の表1に示す。
トンネルバリア層を、MgAlGaO薄膜(低バリアハイト層3b)を形成しなかったこと、MgAlO薄膜(高バリアハイト層3a)を、膜厚が1.0~3.5nmとなるように形成したこと以外は実施例1と同様にして、トンネルバリア層がMgAlO層の単層構造である磁気抵抗効果素子を作製した。磁気抵抗効果素子の各層の材料と膜厚を下記の表1に示す。
トンネルバリア層を、次のようにして形成したこと以外は、実施例1と同様にして下記の表1に示す磁気抵抗効果素子を作製した。第1強磁性層の上に、MgGa2O4薄膜を、膜厚が1.2~3.2nmとなるように調整しながら製膜し、熱処理を行ってトンネルバリア層を形成した。なお、熱処理の条件は、実施例1と同じとした。こうして、トンネルバリア層がMgGa2O4層の単層構造である磁気抵抗効果素子を作製した。磁気抵抗効果素子の各層の材料と膜厚を下記の表1に示す。
磁気抵抗効果素子を積層方向に沿う面に沿って集束イオンビームで切断し、トンネルバリア層の薄片試料を作製した。そしてこの薄片試料を透過型電子顕微鏡(TEM)におけるエネルギー分散型X線分析(EDS)によって組成分析した。なお、分析法はこれに限定されず、2次イオン質量分析法(SIMS)、アトムプローブ法、電子エネルギー損失分光法(EELS)を用いて行うこともできる。
上記のようにして作製したトンネルバリア層の薄片試料に、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて1nm径程度に絞った電子線を照射して、得られたナノ電子回折(NBD)パターンにより結晶構造を特定して、不規則化したスピネル構造であることを確認した。
図7は、MR比の測定に用いた磁気抵抗効果デバイス30を積層方向から平面視した模式図である。磁気抵抗効果素子10、20は、第1配線31と第2配線32の交差する位置に配置した。磁気抵抗効果素子10、20は、直径80nmの円柱状とした。そして第1配線31には電極33が設けられ、電極33は電源34と電圧計35に接続されている。電源34により電圧を印加することにより、磁気抵抗効果素子10の積層方向に電流が流れる。この際の磁気抵抗効果素子10、20の電位差は電圧計35でモニターされる。そして磁気抵抗効果素子10、20に、外部から磁場を掃引しながら、電流又は電圧を磁気抵抗効果素子10、20に印加することによって、磁気抵抗効果素子10、20の抵抗変化が観測される。
MR比(%)=(RAP-RP)/RP×100
RPは第1強磁性層1と第2強磁性層2の磁化の向きが平行の場合の抵抗であり、RAPは第1強磁性層1と第2強磁性層2の磁化の向きが反平行の場合の抵抗である。
Claims (12)
- 第1強磁性層と、第2強磁性層と、前記第1強磁性層及び前記第2強磁性層の間に挟持されたトンネルバリア層と、を備え、
前記トンネルバリア層は、相対的にバリアハイトが高い高バリアハイト層と相対的にバリアハイトが低い低バリアハイト層と、をそれぞれ1層以上含む積層体であって、
前記高バリアハイト層と前記低バリアハイト層とのバリアハイトの差が0.5eV以上であり、
前記低バリアハイト層が、Mg又はZnであるC元素と、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属であるD元素と、Al、Ga及びInからなる群より選ばれる少なくとも一種の金属であるE元素を含む酸化物であって、スピネル構造を有する低バリアハイト酸化物からなる、磁気抵抗効果素子。 - 前記高バリアハイト層のバリアハイトが6.0eV以上である、請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記高バリアハイト層と前記低バリアハイト層とのバリアハイトの差が1.0eV以上5.0eV以下の範囲内にある、請求項1または2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記高バリアハイト層が、Mg又はZnであるA元素と、Al、Ga及びInからなる群より選択される一種の金属であるB元素とを含む酸化物であって、スピネル構造を有する高バリアハイト酸化物からなる、請求項1~3のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記高バリアハイト酸化物がMgとAlとを含む酸化物である、請求項4に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記MgとAlとを含む酸化物が不規則化したスピネル構造を有する、請求項5に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記低バリアハイト酸化物がMgとAlとGaを含む酸化物である、請求項1~6のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記MgとAlとGaを含む酸化物が不規則化したスピネル構造を有する、請求項7に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層が、前記高バリアハイト層と、前記高バリアハイト層の一方の表面に積層された前記低バリアハイト層とを有する積層体である、請求項1~8のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層が、前記高バリアハイト層を2層含み、前記低バリアハイト層が、前記2層の前記高バリアハイト層の間に挟持されている積層体である、請求項1~9のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記トンネルバリア層の膜厚が3nm以上である、請求項1~10のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記高バリアハイト層の膜厚が1nm以下である、請求項1~11のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018140548A JP7081372B2 (ja) | 2018-07-26 | 2018-07-26 | 磁気抵抗効果素子 |
US16/504,388 US11069852B2 (en) | 2018-07-26 | 2019-07-08 | Magnetoresistance effect element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018140548A JP7081372B2 (ja) | 2018-07-26 | 2018-07-26 | 磁気抵抗効果素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020017670A JP2020017670A (ja) | 2020-01-30 |
JP7081372B2 true JP7081372B2 (ja) | 2022-06-07 |
Family
ID=69178776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018140548A Active JP7081372B2 (ja) | 2018-07-26 | 2018-07-26 | 磁気抵抗効果素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11069852B2 (ja) |
JP (1) | JP7081372B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020107835A (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
JP7434962B2 (ja) * | 2020-02-05 | 2024-02-21 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
WO2021199233A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007038971A1 (en) | 2005-09-20 | 2007-04-12 | Freescale Semiconductor, Inc. | Spin-dependent tunnelling cell and method of formation thereof |
US20110063758A1 (en) | 2005-09-13 | 2011-03-17 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Spin filter junction and method of fabricating the same |
US20110141606A1 (en) | 2009-12-10 | 2011-06-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Tunneling junction magnetoresistive effect element and manufacturing method thereof |
US20130221461A1 (en) | 2012-02-27 | 2013-08-29 | National Institute For Materials Science | Ferromagnetic Tunnel Junction Structure and Magnetoresistive Effect Device and Spintronics Device Utilizing Same |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3576111B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2004-10-13 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
US7894854B2 (en) * | 2004-10-26 | 2011-02-22 | Pantech & Curitel Communications, Inc. | Image/audio playback device of mobile communication terminal |
US8575674B2 (en) | 2009-04-16 | 2013-11-05 | National Institute For Materials Science | Ferromagnetic tunnel junction structure, and magneto-resistive element and spintronics device each using same |
JP5665711B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2015-02-04 | 株式会社東芝 | スピントランジスタおよびメモリ |
JP2017108067A (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
JP6365901B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2018-08-01 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗素子及び磁気記憶装置 |
-
2018
- 2018-07-26 JP JP2018140548A patent/JP7081372B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-08 US US16/504,388 patent/US11069852B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110063758A1 (en) | 2005-09-13 | 2011-03-17 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Spin filter junction and method of fabricating the same |
WO2007038971A1 (en) | 2005-09-20 | 2007-04-12 | Freescale Semiconductor, Inc. | Spin-dependent tunnelling cell and method of formation thereof |
JP2009509346A (ja) | 2005-09-20 | 2009-03-05 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | スピン依存トンネルセルおよびその形成方法 |
US20090243007A1 (en) | 2005-09-20 | 2009-10-01 | Freescale Seminconductor, Inc. | Spin-dependent tunnelling cell and method of formation thereof |
US20110141606A1 (en) | 2009-12-10 | 2011-06-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Tunneling junction magnetoresistive effect element and manufacturing method thereof |
JP2011124372A (ja) | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | トンネル接合型磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
US20130221461A1 (en) | 2012-02-27 | 2013-08-29 | National Institute For Materials Science | Ferromagnetic Tunnel Junction Structure and Magnetoresistive Effect Device and Spintronics Device Utilizing Same |
JP2013175615A (ja) | 2012-02-27 | 2013-09-05 | National Institute For Materials Science | 強磁性トンネル接合体とそれを用いた磁気抵抗効果素子及びスピントロニクスデバイス |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
SUKEGAWA,Hiroaki, et al.,MgGa2O4 spinel barrier for magnetic tunnel junctions:Coherent tunneling and low barrier height,Applied Physics Letters,2017年03月20日,Vol.110, No.12,p.122404-1-122404-5 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020017670A (ja) | 2020-01-30 |
US20200035913A1 (en) | 2020-01-30 |
US11069852B2 (en) | 2021-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11105867B2 (en) | Magnetic tunnel junction, magnetoresistive element and spintronics device in which said magnetic tunnel junction is used, and method of manufacturing magnetic tunnel junction | |
CN107408626B (zh) | 磁阻效应元件 | |
EP2421063A1 (en) | Ferromagnetic tunnel junction structure, and magnetoresistive effect element and spintronics device each comprising same | |
CN107408625B (zh) | 磁阻效应元件 | |
US11183630B2 (en) | Magnetoresistance effect element | |
US11056639B2 (en) | Magnetoresistance effect element | |
WO2016158865A1 (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP7081372B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP2019021751A (ja) | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 | |
JP2020107835A (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
US20220278272A1 (en) | Magnetoresistance effect element | |
CN111725393B (zh) | 隧道势垒层及其制造方法、磁阻效应元件和绝缘层 | |
WO2016158910A1 (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
CN111525026A (zh) | 磁阻效应元件 | |
US10665776B2 (en) | Magnetoresistance effect element and method for manufacturing the same | |
JP7400560B2 (ja) | トンネルバリア層、磁気抵抗効果素子、トンネルバリア層の製造方法及び絶縁層 | |
WO2021029148A1 (ja) | 磁気抵抗効果素子 | |
JP7226710B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 | |
JP6586872B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
JP2020127005A (ja) | 磁気抵抗効果素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7081372 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |