JP7075029B2 - Lens drive device, camera module, and camera mount device - Google Patents

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Description

本発明は、レンズ駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置に関する。 The present invention relates to a lens driving device, a camera module, and a camera mounting device.

一般に、スマートフォン等の携帯端末には、小型のカメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うオートフォーカス機能(以下「AF機能」と称する、AF:Auto Focus)及び撮影時に生じる振れ(振動)を光学的に補正して画像の乱れを軽減する振れ補正機能(以下「OIS機能」と称する、OIS:Optical Image Stabilization)を有するレンズ駆動装置が適用される(例えば特許文献1)。 Generally, a mobile terminal such as a smartphone is equipped with a small camera module. Such a camera module optically has an autofocus function (hereinafter referred to as "AF function", AF: Auto Focus) that automatically focuses when shooting a subject, and shake (vibration) that occurs during shooting. A lens driving device having a shake correction function (hereinafter referred to as “OIS function”, OIS: Optical Image Stabilization) that corrects and reduces image distortion is applied (for example, Patent Document 1).

AF機能及びOIS機能を有するレンズ駆動装置は、レンズ部を光軸方向に移動させるためのオートフォーカス駆動部(以下「AF駆動部」と称する)と、レンズ部を光軸方向に直交する平面内で揺動させるための振れ補正駆動部(以下「OIS駆動部」と称する)と、を備える。特許文献1では、AF駆動部及びOIS駆動部に、ボイスコイルモーター(VCM)が適用されている。 A lens drive device having an AF function and an OIS function has an autofocus drive unit (hereinafter referred to as "AF drive unit") for moving the lens unit in the optical axis direction and a plane in which the lens unit is orthogonal to the optical axis direction. It is provided with a runout correction drive unit (hereinafter referred to as “OIS drive unit”) for swinging the lens. In Patent Document 1, a voice coil motor (VCM) is applied to the AF drive unit and the OIS drive unit.

また、近年では、複数(典型的には2つ)のレンズ駆動装置を有するカメラモジュールの実用化が進められている(いわゆるデュアルカメラ)。デュアルカメラは、焦点距離の異なる2枚の画像を同時に撮像できたり、静止画像と動画像を同時に撮像できたりするなど、利用シーンに応じて様々な可能性を有している。 Further, in recent years, a camera module having a plurality of (typically two) lens driving devices has been put into practical use (so-called dual camera). The dual camera has various possibilities depending on the usage scene, such as being able to simultaneously capture two images having different focal lengths and being able to simultaneously capture a still image and a moving image.

特開2013-210550号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-210550 国際公開第2015/123787号International Publication No. 2015/1238787

しかしながら、特許文献1のように、VCMを利用したレンズ駆動装置は、外部磁気の影響を受けるため、高精度の動作が損なわれる虞がある。特に、レンズ駆動装置が並置されるデュアルカメラにおいては、レンズ駆動装置間で磁気干渉が生じる可能性が高い。 However, as in Patent Document 1, a lens driving device using VCM is affected by external magnetism, so that high-precision operation may be impaired. In particular, in a dual camera in which lens driving devices are juxtaposed, there is a high possibility that magnetic interference will occur between the lens driving devices.

一方、特許文献2には、AF駆動部及びOIS駆動部に超音波モーターを適用したレンズ駆動装置が開示されている。特許文献2に開示のレンズ駆動装置は、マグネットレスであるため外部磁気の影響を低減できるが、構造が複雑であり、小型化及び低背化を図るのが困難である。 On the other hand, Patent Document 2 discloses a lens driving device in which an ultrasonic motor is applied to an AF driving unit and an OIS driving unit. Since the lens driving device disclosed in Patent Document 2 is magnetless, the influence of external magnetism can be reduced, but the structure is complicated and it is difficult to reduce the size and height.

本発明の目的は、小型化及び低背化を図ることができるとともに、駆動性能を向上できるレンズ駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a lens driving device, a camera module, and a camera-mounted device that can be miniaturized and reduced in height and can improve driving performance.

本発明に係るレンズ駆動装置の一態様は、
レンズを保持するレンズホルダーと、
前記レンズホルダーを光軸方向に移動可能に収容する固定部と、
前記レンズホルダーの外側に間隔をおいて配列された、夫々光軸に平行な一対のボール列と、
前記固定部に設けられ、前記一対のボール列の一方のボール列を光軸に直交する方向に付勢して、前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動可能に保持する付勢部と、
前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動させる超音波モーターと、を有する。
本発明に係るレンズ駆動装置の他の態様は、
レンズを保持するレンズホルダーと、
前記レンズホルダーを光軸方向に移動可能に収容する固定部と、
前記レンズホルダーの外側に間隔をおいて配列された、夫々光軸に平行な一対のボール列と、
前記固定部に設けられ、前記一対のボール列を光軸に直交する方向に付勢して、前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動可能に保持する付勢部と、
前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動させる超音波モーターと、を有し、
前記レンズホルダーは、前記超音波モーターの駆動力を伝達する動力伝達部を、前記一対のボール列の間に備える。
One aspect of the lens driving device according to the present invention is
A lens holder that holds the lens and
A fixed portion for accommodating the lens holder so as to be movable in the optical axis direction,
A pair of ball rows, each parallel to the optical axis, arranged at intervals on the outside of the lens holder.
An urging portion provided in the fixed portion, which urges one of the pair of ball rows in a direction orthogonal to the optical axis to hold the lens holder movably in the optical axis direction.
It has an ultrasonic motor that moves the lens holder in the optical axis direction.
Another aspect of the lens driving device according to the present invention is
A lens holder that holds the lens and
A fixed portion for accommodating the lens holder so as to be movable in the optical axis direction,
A pair of ball rows, each parallel to the optical axis, arranged at intervals on the outside of the lens holder.
An urging portion provided in the fixed portion, which urges the pair of ball trains in a direction orthogonal to the optical axis to hold the lens holder movably in the optical axis direction.
It has an ultrasonic motor that moves the lens holder in the optical axis direction, and has.
The lens holder includes a power transmission unit that transmits the driving force of the ultrasonic motor between the pair of ball trains.

本発明に係るカメラモジュールの一態様は、
上記のレンズ駆動装置と、
前記レンズと、
前記レンズ部により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える。
One aspect of the camera module according to the present invention is
With the above lens drive device,
With the lens
It includes an image pickup unit that captures an image of a subject imaged by the lens unit.

本発明に係るカメラ搭載装置の一態様は、
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
上記のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える。
One aspect of the camera-mounted device according to the present invention is
A camera-mounted device that is an information device or a transportation device.
With the above camera module,
It includes an image processing unit that processes the image information obtained by the camera module.

本発明によれば、レンズ駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置の小型化及び低背化を図ることができるとともに、駆動性能を向上することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce the size and height of the lens driving device, the camera module, and the camera mounting device, and to improve the driving performance.

図1A、図1Bは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す図である。1A and 1B are views showing a smartphone equipped with a camera module according to an embodiment of the present invention. 図2は、カメラモジュールの外観斜視図である。FIG. 2 is an external perspective view of the camera module. 図3A、図3Bは、実施の形態に係るレンズ駆動装置の外観斜視図である。3A and 3B are external perspective views of the lens driving device according to the embodiment. 図4は、レンズ駆動装置の分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of the lens driving device. 図5は、レンズ駆動装置の分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of the lens driving device. 図6は、ベースの配線構造を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing the wiring structure of the base. 図7A、図7Bは、OIS駆動部の斜視図である。7A and 7B are perspective views of the OIS drive unit. 図8は、OIS可動部の分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of the OIS movable portion. 図9は、OIS可動部の分解斜視図である。FIG. 9 is an exploded perspective view of the OIS movable portion. 図10は、OIS可動部の分解斜視図である。FIG. 10 is an exploded perspective view of the OIS movable portion. 図11A、図11Bは、AF駆動部の斜視図である。11A and 11B are perspective views of the AF drive unit. 図12は、AFユニットにおける配線構造及び支持構造を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing a wiring structure and a support structure in the AF unit. 図13は、AFユニットにおける支持構造を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a support structure in the AF unit. 図14は、AF駆動部の取付状態を示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing the mounting state of the AF drive unit. 図15A、図15Bは、車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す図である。15A and 15B are diagrams showing an automobile as a camera-mounted device for mounting an in-vehicle camera module.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1A、図1Bは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールAを搭載するスマートフォンM(カメラ搭載装置の一例)を示す図である。図1AはスマートフォンMの正面図であり、図1BはスマートフォンMの背面図である。 1A and 1B are diagrams showing a smartphone M (an example of a camera-mounted device) equipped with a camera module A according to an embodiment of the present invention. 1A is a front view of the smartphone M, and FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.

スマートフォンMは、2つの背面カメラOC1、OC2からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラOC1、OC2に、カメラモジュールAが適用されている。
カメラモジュールAは、AF機能及びOIS機能を備え、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うとともに、撮影時に生じる振れ(振動)を光学的に補正して像ぶれのない画像を撮影することができる。
The smartphone M has a dual camera including two rear cameras OC1 and OC2. In this embodiment, the camera module A is applied to the rear cameras OC1 and OC2.
The camera module A has an AF function and an OIS function, automatically adjusts the focus when shooting a subject, and optically corrects the shake (vibration) that occurs during shooting to shoot an image without blurring. be able to.

図2は、カメラモジュールAの外観斜視図である。図3A、図3Bは、実施の形態に係るレンズ駆動装置1の外観斜視図である。図3Bは、図3AをZ軸周りに180°回転した状態を示す。図2、図3A及び図3Bに示すように、実施の形態では、直交座標系(X,Y,Z)を使用して説明する。後述する図においても共通の直交座標系(X,Y,Z)で示している。 FIG. 2 is an external perspective view of the camera module A. 3A and 3B are external perspective views of the lens driving device 1 according to the embodiment. FIG. 3B shows a state in which FIG. 3A is rotated by 180 ° around the Z axis. As shown in FIGS. 2, 3A and 3B, an orthogonal coordinate system (X, Y, Z) will be used in the embodiments. Also in the figure described later, it is shown by a common Cartesian coordinate system (X, Y, Z).

カメラモジュールAは、例えば、スマートフォンMで実際に撮影が行われる場合に、X方向が上下方向(又は左右方向)、Y方向が左右方向(又は上下方向)、Z方向が前後方向となるように搭載される。すなわち、Z方向が光軸方向であり、図中上側(+Z側)が光軸方向受光側、下側(-Z側)が光軸方向結像側である。また、Z軸に直交するX方向及びY方向を「光軸直交方向」と称し、XY面を「光軸直交面」と称する。 In the camera module A, for example, when shooting is actually performed by the smartphone M, the X direction is the vertical direction (or the horizontal direction), the Y direction is the horizontal direction (or the vertical direction), and the Z direction is the front-back direction. It will be installed. That is, the Z direction is the optical axis direction, the upper side (+ Z side) in the figure is the optical axis direction light receiving side, and the lower side (−Z side) is the optical axis direction imaging side. Further, the X direction and the Y direction orthogonal to the Z axis are referred to as "optical axis orthogonal direction", and the XY plane is referred to as "optical axis orthogonal plane".

図2、図3A及び図3Bに示すように、カメラモジュールAは、AF機能及びOIS機能を実現するレンズ駆動装置1、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されてなるレンズ部2、及びレンズ部2により結像された被写体像を撮像する撮像部(図示略)等を備える。 As shown in FIGS. 2, 3A and 3B, the camera module A includes a lens driving device 1 that realizes an AF function and an OIS function, a lens unit 2 in which a lens is housed in a cylindrical lens barrel, and a lens unit. It is provided with an image pickup unit (not shown) or the like for capturing the subject image formed by 2.

撮像部(図示略)は、レンズ駆動装置1の光軸方向結像側に配置される。撮像部(図示略)は、例えば、イメージセンサー基板及びイメージセンサー基板に実装される撮像素子を有する。撮像素子は、例えば、CCD(charge-coupled device)型イメージセンサー、CMOS(complementary metal oxide semiconductor)型イメージセンサー等により構成される。撮像素子は、レンズ部2により結像された被写体像を撮像する。レンズ駆動装置1は、イメージセンサー基板(図示略)に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。レンズ駆動装置1の駆動制御を行う制御部は、イメージセンサー基板に設けられてもよいし、カメラモジュールAが搭載されるカメラ搭載機器(実施の形態では、スマートフォンM)に設けられてもよい。 The image pickup unit (not shown) is arranged on the optical axis direction imaging side of the lens driving device 1. The image pickup unit (not shown) has, for example, an image sensor substrate and an image pickup element mounted on the image sensor substrate. The image pickup device is composed of, for example, a CCD (charge-coupled device) type image sensor, a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) type image sensor, or the like. The image sensor captures a subject image imaged by the lens unit 2. The lens driving device 1 is mounted on an image sensor substrate (not shown) and is mechanically and electrically connected. The control unit that controls the drive of the lens drive device 1 may be provided on the image sensor substrate, or may be provided on the camera-mounted device (in the embodiment, the smartphone M) on which the camera module A is mounted.

レンズ駆動装置1は、外側をカバー24で覆われている。カバー24は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。実施の形態では、カバー24は、平面視で正方形状を有している。カバー24は、上面に概略円形の開口241を有する。レンズ部2は、カバー24の開口241から外部に臨み、光軸方向における移動に伴い、カバー24の開口面よりも受光側に突出するように構成される。カバー24は、レンズ駆動装置1のOIS固定部20のベース21(図4参照)に、例えば、接着により固定される。 The outside of the lens driving device 1 is covered with a cover 24. The cover 24 is a covered square cylinder having a rectangular shape in a plan view when viewed from the optical axis direction. In the embodiment, the cover 24 has a square shape in a plan view. The cover 24 has a substantially circular opening 241 on the upper surface. The lens unit 2 faces the outside from the opening 241 of the cover 24, and is configured to project toward the light receiving side from the opening surface of the cover 24 as it moves in the optical axis direction. The cover 24 is fixed to the base 21 (see FIG. 4) of the OIS fixing portion 20 of the lens driving device 1, for example, by adhesion.

図4、図5は、レンズ駆動装置1の分解斜視図である。図5は、図4をZ軸周りに180°回転した状態を示す。図4は、OIS駆動部30及びセンサー基板22を取り付けた状態を示し、図5は、OIS駆動部30及びセンサー基板22を取り外した状態を示している。
図4、図5に示すように、本実施の形態において、レンズ駆動装置1は、OIS可動部10(第2可動部)、OIS固定部20(第2固定部)、OIS駆動部30(XY方向駆動部)及びOIS支持部40(第2支持部)を備える。
4 and 5 are exploded perspective views of the lens driving device 1. FIG. 5 shows a state in which FIG. 4 is rotated by 180 ° around the Z axis. FIG. 4 shows a state in which the OIS drive unit 30 and the sensor board 22 are attached, and FIG. 5 shows a state in which the OIS drive unit 30 and the sensor board 22 are removed.
As shown in FIGS. 4 and 5, in the present embodiment, the lens driving device 1 includes an OIS movable portion 10 (second movable portion), an OIS fixing portion 20 (second fixed portion), and an OIS driving unit 30 (XY). A directional drive unit) and an OIS support unit 40 (second support unit) are provided.

OIS可動部10は、振れ補正時に光軸直交面内で揺動する部分である。OIS可動部10は、AFユニット、第2ステージ13及びボール42(図8等参照)を含む。AFユニットは、AF可動部11(第1可動部)、第1ステージ12(第1固定部)、AF駆動部14(Z方向駆動部)及びAF支持部15(第1支持部)を有する(図7~図9参照)。
OIS固定部20は、OIS支持部40を介してOIS可動部10が接続される部分である。OIS固定部20は、ベース21を含む。
OIS可動部10は、OIS固定部20に対して光軸方向に離間して配置され、OIS支持部40を介してOIS固定部20と連結される。また、OIS可動部10とOIS固定部20は、OIS用付勢部材50によって、互いに近づく方向に付勢されている。本実施の形態では、OIS用付勢部材50は、レンズ駆動装置1の平面視における四隅に配置されている。
The OIS movable portion 10 is a portion that swings in the plane orthogonal to the optical axis during runout correction. The OIS movable portion 10 includes an AF unit, a second stage 13, and a ball 42 (see FIG. 8 and the like). The AF unit has an AF movable portion 11 (first movable portion), a first stage 12 (first fixed portion), an AF drive unit 14 (Z-direction drive unit), and an AF support portion 15 (first support portion) ( See FIGS. 7-9).
The OIS fixing portion 20 is a portion to which the OIS movable portion 10 is connected via the OIS support portion 40. The OIS fixing portion 20 includes a base 21.
The OIS movable portion 10 is arranged apart from the OIS fixing portion 20 in the optical axis direction, and is connected to the OIS fixing portion 20 via the OIS support portion 40. Further, the OIS movable portion 10 and the OIS fixing portion 20 are urged in a direction approaching each other by the OIS urging member 50. In the present embodiment, the OIS urging members 50 are arranged at the four corners of the lens driving device 1 in a plan view.

なお、本実施の形態では、Y方向の移動に関しては、AFユニットを含むOIS可動部10の全体が可動体として移動する。一方、X方向の移動に関しては、AFユニットだけが可動体として移動する。つまり、X方向の移動に関しては、第2ステージ13は、ベース21とともにOIS固定部20を構成し、ボール42はOIS支持部40として機能する。 In the present embodiment, with respect to the movement in the Y direction, the entire OIS movable portion 10 including the AF unit moves as a movable body. On the other hand, regarding the movement in the X direction, only the AF unit moves as a movable body. That is, with respect to movement in the X direction, the second stage 13 constitutes the OIS fixing portion 20 together with the base 21, and the ball 42 functions as the OIS support portion 40.

ベース21は、例えば、ポリアリレート(PAR)、PARを含む複数の樹脂材料を混合したPARアロイ(例えば、PAR/PC)、又は液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース21は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口211を有する。 The base 21 is formed of, for example, a polyarylate (PAR), a PAR alloy (for example, PAR / PC) in which a plurality of resin materials including PAR are mixed, or a molding material made of a liquid crystal polymer. The base 21 is a rectangular member in a plan view and has a circular opening 211 in the center.

ベース21は、ベース21の主面を形成する第1ベース部212、及び、センサー基板22が配置される第2ベース部213を有する。第2ベース部213は、第1ベース部212に対して凹んで形成されている。第2ベース部213にセンサー基板22が配置され、第1ベース部212及びセンサー基板22により、面一のベース面が形成される。 The base 21 has a first base portion 212 forming the main surface of the base 21 and a second base portion 213 on which the sensor substrate 22 is arranged. The second base portion 213 is formed so as to be recessed with respect to the first base portion 212. The sensor substrate 22 is arranged on the second base portion 213, and the first base portion 212 and the sensor substrate 22 form a flush base surface.

本実施の形態では、第2ベース部213は、AF駆動部14及びOIS駆動部30が配置されていない領域、すなわち、ベース21の平面形状である矩形の一辺(第4の辺)に対応する領域に設けられている。この第2ベース部213にセンサー基板22を配置することにより、磁気センサー25X、25Y、25Z用の給電ライン及び信号ラインを集約することができ、ベース21における配線構造を簡略化することができる(図6参照)。 In the present embodiment, the second base unit 213 corresponds to a region where the AF drive unit 14 and the OIS drive unit 30 are not arranged, that is, one side (fourth side) of a rectangle which is a planar shape of the base 21. It is provided in the area. By arranging the sensor board 22 on the second base portion 213, the power supply lines and signal lines for the magnetic sensors 25X, 25Y, and 25Z can be integrated, and the wiring structure in the base 21 can be simplified (). See FIG. 6).

また、ベース21は、開口211の周縁に、AF可動部11の光軸方向結像側への移動を規制する第3ベース部214を有する。第3ベース部214は、第1ベース部212に対して凹んで形成されており、これにより、AF可動部11の光軸方向結像側への移動ストロークが確保されている。 Further, the base 21 has a third base portion 214 that restricts the movement of the AF movable portion 11 toward the optical axis direction imaging side on the peripheral edge of the opening 211. The third base portion 214 is formed so as to be recessed with respect to the first base portion 212, whereby the movement stroke of the AF movable portion 11 toward the optical axis direction imaging side is secured.

ベース21は、第2のOIS駆動部30Yが配置されるOISモーター固定部215を有する。OISモーター固定部215は、例えば、ベース21の角部に設けられ、第1ベース部212から光軸方向受光側に向けて突出して形成され、第2のOIS駆動部30Yを保持可能な形状を有している。 The base 21 has an OIS motor fixing portion 215 in which the second OIS driving portion 30Y is arranged. The OIS motor fixing portion 215 is provided, for example, at a corner portion of the base 21, is formed so as to project from the first base portion 212 toward the light receiving side in the optical axis direction, and has a shape capable of holding the second OIS drive portion 30Y. Have.

ベース21には、例えば、インサート成形により、端子金具23A~23Cが配置される。端子金具23Aは、AF駆動部14及び第1のOIS駆動部30Xへの給電ラインを含む。端子金具23Aは、例えば、ベース21の四隅に形成された開口216から露出し、OIS用付勢部材50と電気的に接続される。AF駆動部14及び第1のOIS駆動部30Xへの給電は、OIS用付勢部材50を介して行われる。端子金具23Bは、磁気センサー25X、25Y、25Zへの給電ライン(例えば、4本)及び信号ライン(例えば、6本)を含む。端子金具23Bは、センサー基板22に形成された配線(図示略)と電気的に接続される。端子金具23Cは、第2のOIS駆動部30Yへの給電ラインを含む。 Terminal fittings 23A to 23C are arranged on the base 21 by, for example, insert molding. The terminal fitting 23A includes a power supply line to the AF drive unit 14 and the first OIS drive unit 30X. The terminal fitting 23A is exposed from, for example, the openings 216 formed at the four corners of the base 21, and is electrically connected to the OIS urging member 50. The power supply to the AF drive unit 14 and the first OIS drive unit 30X is performed via the OIS urging member 50. The terminal fitting 23B includes a feeding line (for example, 4 lines) and a signal line (for example, 6 lines) to the magnetic sensors 25X, 25Y, and 25Z. The terminal fitting 23B is electrically connected to a wiring (not shown) formed on the sensor substrate 22. The terminal fitting 23C includes a power supply line to the second OIS drive unit 30Y.

また、ベース21は、OIS支持部40を構成するボール41が配置されるボール収容部217を有する。ボール収容部217は、例えば、ベース21の四隅の近傍に設けられる。ボール収容部217は、Y方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。ボール収容部217の側面は、例えば、底面側に向けて溝幅が狭くなるようにテーパー形状に形成される。 Further, the base 21 has a ball accommodating portion 217 in which the balls 41 constituting the OIS support portion 40 are arranged. The ball accommodating portion 217 is provided, for example, in the vicinity of the four corners of the base 21. The ball accommodating portion 217 is formed by being recessed in a rectangular shape extending in the Y direction. The side surface of the ball accommodating portion 217 is formed in a tapered shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface side, for example.

センサー基板22は、磁気センサー25X、25Y、25Z用の給電ライン及び信号ラインを含む配線(図示略)を有する。センサー基板22には、磁気センサー25X、25Y、25Zが実装される。磁気センサー25X、25Y、25Zは、例えば、ホール素子又はTMR(Tunnel Magneto Resistance)センサー等で構成され、センサー基板22に形成された配線(図示略)を介して、端子金具23Bと電気的に接続される。 The sensor substrate 22 has wiring (not shown) including a feeding line and a signal line for the magnetic sensors 25X, 25Y, and 25Z. Magnetic sensors 25X, 25Y, and 25Z are mounted on the sensor substrate 22. The magnetic sensors 25X, 25Y, and 25Z are composed of, for example, a Hall element or a TMR (Tunnel Magneto Resistance) sensor, and are electrically connected to the terminal fitting 23B via wiring (not shown) formed on the sensor substrate 22. Will be done.

OIS可動部10の第1ステージ12において、磁気センサー25X、25Yに対向する位置にはマグネット16X、16Yが配置される(図10参照)。磁気センサー25X、25Y及びマグネット16X、16Yからなる位置検出部により、OIS可動部10のX方向及びY方向の位置が検出される。
また、OIS可動部10のAF可動部11において、磁気センサー25Zに対向する位置にはマグネット16Zが配置される(図10参照)。磁気センサー25Z及びマグネット16Zからなる位置検出部により、AF可動部11のZ方向の位置が検出される。なお、マグネット16X、16Y、16Zと磁気センサー25X、25Y、25Zに代えて、フォトリフレクター等の光センサーによりOIS可動部10のX方向及びY方向の位置並びにAF可動部11のZ方向の位置を検出するようにしてもよい。
In the first stage 12 of the OIS movable portion 10, magnets 16X and 16Y are arranged at positions facing the magnetic sensors 25X and 25Y (see FIG. 10). The position detection unit including the magnetic sensors 25X and 25Y and the magnets 16X and 16Y detects the positions of the OIS movable portion 10 in the X and Y directions.
Further, in the AF movable portion 11 of the OIS movable portion 10, a magnet 16Z is arranged at a position facing the magnetic sensor 25Z (see FIG. 10). The position of the AF movable portion 11 in the Z direction is detected by the position detection unit including the magnetic sensor 25Z and the magnet 16Z. Instead of the magnets 16X, 16Y, 16Z and the magnetic sensors 25X, 25Y, 25Z, an optical sensor such as a photoreflector is used to determine the X-direction and Y-direction positions of the OIS movable portion 10 and the Z-direction position of the AF movable portion 11. It may be detected.

OIS用付勢部材50は、例えば、引張コイルばねで構成され、OIS可動部10とOIS固定部20を連結する。本実施の形態では、OIS用付勢部材50の一端は、ベース21の端子金具23Aに接続され、他端は、第1ステージ12の配線17A、17Bに接続されている。OIS用付勢部材50は、OIS可動部10とOIS固定部20を連結したときの引張荷重を受けて、OIS可動部10とOIS固定部20が互いに近づくように作用する。すなわち、OIS可動部10は、OIS用付勢部材50によって、光軸方向に付勢された状態(ベース21に押し付けられた状態)で、XY面内で揺動可能に保持されている。これにより、OIS可動部10をがたつきのない安定した状態で保持することができる。
また、本実施の形態では、OIS用付勢部材50は、AF駆動部14及び第1のOIS駆動部30Xへの給電ラインとして機能する。
The OIS urging member 50 is composed of, for example, a tension coil spring, and connects the OIS movable portion 10 and the OIS fixing portion 20. In the present embodiment, one end of the OIS urging member 50 is connected to the terminal fitting 23A of the base 21, and the other end is connected to the wirings 17A and 17B of the first stage 12. The OIS urging member 50 receives a tensile load when the OIS movable portion 10 and the OIS fixing portion 20 are connected, and acts so that the OIS movable portion 10 and the OIS fixing portion 20 approach each other. That is, the OIS movable portion 10 is oscillatedly held in the XY plane in a state of being urged in the optical axis direction (a state of being pressed against the base 21) by the OIS urging member 50. As a result, the OIS movable portion 10 can be held in a stable state without rattling.
Further, in the present embodiment, the OIS urging member 50 functions as a feeding line to the AF drive unit 14 and the first OIS drive unit 30X.

OIS支持部40は、OIS固定部20に対して、OIS可動部10を光軸方向に離間した状態で支持する。本実施の形態では、OIS支持部40は、OIS可動部10(第1ステージ12及び第2ステージ13)とベース21の間に介在する4個のボール41を含む。4個のボール41は、ベース21と第2ステージ13の間に介在する。
また、OIS支持部40は、OIS可動部10において、第1ステージ12と第2ステージ13の間に介在する4個のボール42を含む(図8等参照)。
本実施の形態では、OIS支持部40を構成するボール41、42(計8個)の転動可能な方向を規制することにより、OIS可動部10をXY面内で精度よく揺動できるようになっている。なお、OIS支持部40を構成するボール41、42の数は、適宜変更することができる。
The OIS support portion 40 supports the OIS movable portion 10 with respect to the OIS fixing portion 20 in a state of being separated in the optical axis direction. In the present embodiment, the OIS support portion 40 includes four balls 41 interposed between the OIS movable portion 10 (first stage 12 and the second stage 13) and the base 21. The four balls 41 are interposed between the base 21 and the second stage 13.
Further, the OIS support portion 40 includes four balls 42 interposed between the first stage 12 and the second stage 13 in the OIS movable portion 10 (see FIG. 8 and the like).
In the present embodiment, by restricting the rollable directions of the balls 41 and 42 (8 in total) constituting the OIS support portion 40, the OIS movable portion 10 can be swung accurately in the XY plane. It has become. The number of balls 41, 42 constituting the OIS support portion 40 can be appropriately changed.

OIS駆動部30は、OIS可動部10をX方向及びY方向に移動させるアクチュエーターである。具体的には、OIS駆動部30は、OIS可動部10(AFユニットのみ)をX方向に移動させる第1のOIS駆動部30X(第1のXY方向駆動部)と、OIS可動部10全体をY方向に移動させる第2のOIS駆動部30Y(第2のXY方向駆動部)とで構成される。
第1及び第2のOIS駆動部30X、30Yは、超音波モーターで構成される。第1のOIS駆動部30Xは、第1ステージ12のX方向に沿う切欠部122(OISモーター固定部)に固定される。第2のOIS駆動部30Yは、Y方向に沿って延在するように、ベース21のOISモーター固定部215に固定される。すなわち、第1のOIS駆動部30X及び第2のOIS駆動部30Yは、互いに直交する辺に沿って配置されている。
The OIS drive unit 30 is an actuator that moves the OIS movable unit 10 in the X direction and the Y direction. Specifically, the OIS drive unit 30 includes a first OIS drive unit 30X (first XY direction drive unit) that moves the OIS movable unit 10 (AF unit only) in the X direction, and the entire OIS movable unit 10. It is composed of a second OIS drive unit 30Y (second XY direction drive unit) that moves in the Y direction.
The first and second OIS drive units 30X and 30Y are composed of ultrasonic motors. The first OIS drive unit 30X is fixed to the notch portion 122 (OIS motor fixing portion) along the X direction of the first stage 12. The second OIS drive unit 30Y is fixed to the OIS motor fixing unit 215 of the base 21 so as to extend along the Y direction. That is, the first OIS drive unit 30X and the second OIS drive unit 30Y are arranged along the sides orthogonal to each other.

OIS駆動部30の構成を図7A、図7Bに示す。図7Aは、OIS駆動部30の各部材を組み付けた状態を示し、図7Bは、OIS駆動部30の各部材を分解した状態を示す。なお、図7A、図7Bは、第2のOIS駆動部30Yを示しているが、第1のOIS駆動部30Xの主要構成、具体的にはOIS電極33の形状を除く構成は同様であるので、OIS駆動部30を示す図として扱う。 The configuration of the OIS drive unit 30 is shown in FIGS. 7A and 7B. FIG. 7A shows a state in which each member of the OIS drive unit 30 is assembled, and FIG. 7B shows a state in which each member of the OIS drive unit 30 is disassembled. 7A and 7B show the second OIS drive unit 30Y, but the main configuration of the first OIS drive unit 30X, specifically, the configuration except for the shape of the OIS electrode 33 is the same. , OIS drive unit 30 is treated as a diagram.

図7A、図7Bに示すように、OIS駆動部30は、OIS共振部31、OIS圧電素子32及びOIS電極33を有する。OIS駆動部30の駆動力は、OIS動力伝達部34を介して第2ステージ13に伝達される。具体的には、第1のOIS駆動部30Xは第1のOIS動力伝達部34Xを介して第2ステージ13に接続され、第2のOIS駆動部30Yは第2のOIS動力伝達部34Yを介して第2ステージ13に接続されている。 As shown in FIGS. 7A and 7B, the OIS drive unit 30 includes an OIS resonance unit 31, an OIS piezoelectric element 32, and an OIS electrode 33. The driving force of the OIS drive unit 30 is transmitted to the second stage 13 via the OIS power transmission unit 34. Specifically, the first OIS drive unit 30X is connected to the second stage 13 via the first OIS power transmission unit 34X, and the second OIS drive unit 30Y is connected to the second stage 13 via the second OIS power transmission unit 34Y. Is connected to the second stage 13.

OIS圧電素子32は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。OIS共振部31の胴部311を挟み込むように、2枚のOIS圧電素子32が配置される。
OIS電極33は、OIS共振部31及びOIS圧電素子32を挟持し、OIS圧電素子32に電圧を印加する。第1のOIS駆動部30XのOIS電極33は、第1ステージ12の配線17Aと電気的に接続され、第2のOIS駆動部30YのOIS電極33は、ベース21の配線23Cと電気的に接続される。
The OIS piezoelectric element 32 is, for example, a plate-shaped element made of a ceramic material, and generates vibration by applying a high frequency voltage. Two OIS piezoelectric elements 32 are arranged so as to sandwich the body portion 311 of the OIS resonance portion 31.
The OIS electrode 33 sandwiches the OIS resonance portion 31 and the OIS piezoelectric element 32, and applies a voltage to the OIS piezoelectric element 32. The OIS electrode 33 of the first OIS drive unit 30X is electrically connected to the wiring 17A of the first stage 12, and the OIS electrode 33 of the second OIS drive unit 30Y is electrically connected to the wiring 23C of the base 21. Will be done.

OIS共振部31は、導電性材料で形成され、OIS圧電素子32の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。本実施の形態では、OIS共振部31は、OIS圧電素子32に挟持される略矩形状の胴部311、胴部311の上部及び下部からX方向又はY方向に延在する2つのアーム部312、胴部311の中央部からX方向又はY方向に延在する突出部313、及び、胴部311の中央部から突出部313とは反対側に延在する通電部314を有している。2つのアーム部312は対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がOIS動力伝達部34に当接し、OIS圧電素子32の振動に共振して対称的に変形する。第1のOIS駆動部30Xの通電部314は、第1ステージ12の配線17Aと電気的に接続され、第2のOIS駆動部30Yの通電部31dは、ベース21の配線23Cと電気的に接続される。 The OIS resonance portion 31 is formed of a conductive material and resonates with the vibration of the OIS piezoelectric element 32 to convert the vibration motion into a linear motion. In the present embodiment, the OIS resonance portion 31 has a substantially rectangular body portion 311 sandwiched between the OIS piezoelectric elements 32, and two arm portions 312 extending in the X direction or the Y direction from the upper and lower portions of the body portion 311. It has a protruding portion 313 extending from the central portion of the body portion 311 in the X direction or the Y direction, and an energizing portion 314 extending from the central portion of the body portion 311 to the side opposite to the protruding portion 313. The two arm portions 312 have a symmetrical shape, and their respective free ends abut on the OIS power transmission portion 34 and resonate with the vibration of the OIS piezoelectric element 32 to deform symmetrically. The energizing unit 314 of the first OIS drive unit 30X is electrically connected to the wiring 17A of the first stage 12, and the energizing unit 31d of the second OIS drive unit 30Y is electrically connected to the wiring 23C of the base 21. Will be done.

OIS共振部31の胴部311に、厚さ方向からOIS圧電素子32が貼り合わされ、OIS電極33により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。例えば、給電経路の一方がOIS電極33に接続され、他方がOIS共振部31の通電部314に接続されることで、OIS圧電素子32に電圧が印加され、振動が発生する。 The OIS piezoelectric element 32 is attached to the body portion 311 of the OIS resonance portion 31 from the thickness direction and is sandwiched by the OIS electrode 33, whereby these are electrically connected to each other. For example, when one of the feeding paths is connected to the OIS electrode 33 and the other is connected to the energized portion 314 of the OIS resonance portion 31, a voltage is applied to the OIS piezoelectric element 32 and vibration is generated.

OIS共振部31は、少なくとも2つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、OIS共振部31は、2つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、OIS動力伝達部34をX方向又はY方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。 The OIS resonance unit 31 has at least two resonance frequencies, and is deformed with different behaviors with respect to each resonance frequency. In other words, the overall shape of the OIS resonance unit 31 is set so as to be deformed with different behaviors with respect to the two resonance frequencies. The different behaviors are the behavior of moving the OIS power transmission unit 34 forward in the X direction or the Y direction and the behavior of moving it backward.

OIS動力伝達部34は、一方向に延在するチャッキングガイドであり、一端がOIS駆動部30に接続され、他端が第2ステージ13に接続される。OIS動力伝達部34は、OISモーター当接部341、ステージ固定部343、及び連結部342を有する。OISモーター当接部341は、OIS共振部31のアーム部312の自由端部と当接する。ステージ固定部343は、OIS動力伝達部34の端部に配置され、第2ステージ13のOISチャッキングガイド固定部135(図8等参照)に固定される。連結部342は、OISモーター当接部341とステージ固定部343を連結する部分であり、ステージ固定部343から2つに分岐して互いに平行に形成されている。 The OIS power transmission unit 34 is a chucking guide extending in one direction, one end of which is connected to the OIS drive unit 30 and the other end of which is connected to the second stage 13. The OIS power transmission unit 34 has an OIS motor contact portion 341, a stage fixing portion 343, and a connecting portion 342. The OIS motor contact portion 341 comes into contact with the free end portion of the arm portion 312 of the OIS resonance portion 31. The stage fixing portion 343 is arranged at the end of the OIS power transmission portion 34 and is fixed to the OIS chucking guide fixing portion 135 (see FIG. 8 and the like) of the second stage 13. The connecting portion 342 is a portion that connects the OIS motor contact portion 341 and the stage fixing portion 343, and is branched into two from the stage fixing portion 343 and is formed in parallel with each other.

OISモーター当接部341間の幅は、OIS共振部31のアーム部312の自由端部間の幅よりも広く設定される。例えば、連結部342とステージ固定部343との接続部分において、2つの連結部342の間に、接続端部の幅よりも大きい離隔部材344を介在させることで、OISモーター当接部341間の幅を拡げることができる。これにより、OIS駆動部30にOIS動力伝達部34を取り付けたときに、OIS動力伝達部34が板バネとして機能し、OIS共振部31のアーム部312を押し広げる方向に付勢力が作用する。この付勢力により、OIS共振部31のアーム部312の自由端部間にOIS動力伝達部34が保持され、OIS共振部31からの駆動力がOIS動力伝達部34に効率よく伝達される。 The width between the OIS motor contact portions 341 is set wider than the width between the free ends of the arm portions 312 of the OIS resonance portion 31. For example, in the connecting portion between the connecting portion 342 and the stage fixing portion 343, the separating member 344, which is larger than the width of the connecting end portion, is interposed between the two connecting portions 342, thereby between the OIS motor contact portions 341. The width can be expanded. As a result, when the OIS power transmission unit 34 is attached to the OIS drive unit 30, the OIS power transmission unit 34 functions as a leaf spring, and an urging force acts in the direction of expanding the arm unit 312 of the OIS resonance unit 31. By this urging force, the OIS power transmission unit 34 is held between the free ends of the arm unit 312 of the OIS resonance unit 31, and the driving force from the OIS resonance unit 31 is efficiently transmitted to the OIS power transmission unit 34.

OIS駆動部30とOIS動力伝達部34は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をX方向又はY方向に大きくするだけで、レンズ駆動装置1の外形を大きくすることなく、OIS可動部10の移動距離(ストローク)を長くすることができる。 Since the OIS drive unit 30 and the OIS power transmission unit 34 are only in contact with each other in an urged state, the outer shape of the lens drive device 1 can be increased simply by increasing the contact portion in the X direction or the Y direction. Instead, the moving distance (stroke) of the OIS movable portion 10 can be lengthened.

第1のOIS駆動部30Xは、OIS可動部10(第1ステージ12)に固定され、OIS動力伝達部34Xを介して第2ステージ13と接続されており、第2のOIS駆動部30YによるY方向の振れ補正時は、OIS可動部10とともに移動する。一方、第2のOIS駆動部30Yは、OIS固定部20(ベース21)に固定され、OIS動力伝達部34Yを介して第2ステージ13と接続されており、第1のOIS駆動部30XによるX方向の振れ補正に影響を受けない。すなわち、一方のOIS駆動部30によるOIS可動部10の移動は、他方のOIS駆動部30の構造によって妨げられない。したがって、OIS可動部10のZ軸周りの回転を防止することができ、OIS可動部10をXY平面内で精度よく揺動させることができる。 The first OIS drive unit 30X is fixed to the OIS movable unit 10 (first stage 12), is connected to the second stage 13 via the OIS power transmission unit 34X, and is Y by the second OIS drive unit 30Y. At the time of runout correction in the direction, it moves together with the OIS movable portion 10. On the other hand, the second OIS drive unit 30Y is fixed to the OIS fixing unit 20 (base 21), connected to the second stage 13 via the OIS power transmission unit 34Y, and X by the first OIS drive unit 30X. Not affected by directional runout correction. That is, the movement of the OIS movable portion 10 by one OIS drive unit 30 is not hindered by the structure of the other OIS drive unit 30. Therefore, it is possible to prevent the OIS movable portion 10 from rotating around the Z axis, and the OIS movable portion 10 can be swung accurately in the XY plane.

図8~図10は、OIS可動部10の分解斜視図である。図9は、図8をZ軸周りに180°回転させた状態を示す。図10は、図8をZ軸周りに180°回転させた状態を示す下方斜視図である。なお、図9では、AF駆動部14及び第1のOIS駆動部30Xが第1ステージ12から取り外した状態となっている。
以下において、レンズ駆動装置1の平面形状である矩形において、AF駆動部14が配置される辺を「第1の辺」、第1のOIS駆動部30Xが配置される辺を「第2の辺」、第2のOIS駆動部30Xが配置される辺を「第3の辺」、残りの一辺を「第4の辺」と称する。
8 to 10 are exploded perspective views of the OIS movable portion 10. FIG. 9 shows a state in which FIG. 8 is rotated by 180 ° around the Z axis. FIG. 10 is a downward perspective view showing a state in which FIG. 8 is rotated by 180 ° around the Z axis. In FIG. 9, the AF drive unit 14 and the first OIS drive unit 30X are in a state of being removed from the first stage 12.
In the following, in a rectangle having a planar shape of the lens drive device 1, the side on which the AF drive unit 14 is arranged is the “first side”, and the side on which the first OIS drive unit 30X is arranged is the “second side”. , The side on which the second OIS drive unit 30X is arranged is referred to as a "third side", and the remaining one side is referred to as a "fourth side".

図8~図10に示すように、本実施の形態において、OIS可動部10は、AF可動部11、第1ステージ12、第2ステージ13、AF駆動部14及びAF支持部15等を有する。Y方向の移動に関しては、第1ステージ12及び第2ステージ13を含むOIS可動部10全体が可動体となるのに対して、X方向の移動に関しては、第2ステージ13はOIS固定部20として機能し、AFユニットだけがOIS可動部10として機能する。また、第1ステージ12は、AF固定部として機能する。 As shown in FIGS. 8 to 10, in the present embodiment, the OIS movable portion 10 includes an AF movable portion 11, a first stage 12, a second stage 13, an AF drive portion 14, an AF support portion 15, and the like. Regarding the movement in the Y direction, the entire OIS movable portion 10 including the first stage 12 and the second stage 13 is a movable body, whereas the second stage 13 is the OIS fixed portion 20 for the movement in the X direction. It functions, and only the AF unit functions as the OIS movable portion 10. Further, the first stage 12 functions as an AF fixing portion.

AF可動部11は、ピント合わせ時に光軸方向に移動する部分である。AF可動部11は、第1ステージ12(AF固定部)に対して径方向内側に離間して配置され、AF支持部15を介して第1ステージ12に付勢された状態で支持される。 The AF movable portion 11 is a portion that moves in the optical axis direction during focusing. The AF movable portion 11 is arranged radially inward with respect to the first stage 12 (AF fixing portion), and is supported in a state of being urged to the first stage 12 via the AF support portion 15.

AF可動部11は、レンズ部2(図2参照)を保持するレンズホルダーである(以下、「レンズホルダー11」と称する)。レンズホルダー11は、例えば、ポリアリレート(PAR)、PARを含む複数の樹脂材料を混合したPARアロイ、液晶ポリマー等で形成される。レンズホルダー11は、筒状のレンズ収容部111を有する。レンズ収容部111aには、レンズ部2(図2参照)が、例えば、接着により固定される。 The AF movable portion 11 is a lens holder that holds the lens portion 2 (see FIG. 2) (hereinafter referred to as “lens holder 11”). The lens holder 11 is formed of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy in which a plurality of resin materials including PAR are mixed, a liquid crystal polymer, or the like. The lens holder 11 has a cylindrical lens accommodating portion 111. The lens portion 2 (see FIG. 2) is fixed to the lens accommodating portion 111a by, for example, adhesion.

レンズホルダー11は、レンズ収容部111の周面において、X方向に沿う2箇所、すなわち第1の辺及び第2の辺に沿う部分に、ボール保持部112を有する。レンズホルダー11は、例えば、直方体形状を有する。それぞれのボール保持部112において、X方向における両端部に、AF支持部15(ボール)を収容するボール収容部113が設けられている。ボール収容部113の側面は、例えば、底面側に向けて溝幅狭くなるようにテーパー形状に形成されている。また、ボール保持部112の下面には、レンズ収容部111の下面よりも光軸方向結像側に突出し、レンズホルダー11の光軸方向結像側(下側)への移動を規制するストッパー部114が設けられている。本実施の形態では、ストッパー部114は、AF駆動部14が駆動されていない基準状態において、ベース21の第3ベース部214に当接する。 The lens holder 11 has a ball holding portion 112 on the peripheral surface of the lens accommodating portion 111 at two locations along the X direction, that is, at a portion along the first side and the second side. The lens holder 11 has, for example, a rectangular parallelepiped shape. In each ball holding portion 112, ball accommodating portions 113 for accommodating the AF support portion 15 (balls) are provided at both ends in the X direction. The side surface of the ball accommodating portion 113 is formed in a tapered shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface side, for example. Further, the lower surface of the ball holding portion 112 protrudes toward the optical axis direction imaging side from the lower surface of the lens accommodating portion 111, and a stopper portion that restricts the movement of the lens holder 11 to the optical axis direction imaging side (lower side). 114 is provided. In the present embodiment, the stopper portion 114 comes into contact with the third base portion 214 of the base 21 in a reference state in which the AF drive portion 14 is not driven.

また、レンズ収容部111の周面には、Z位置検出用のマグネット16Zを収容するマグネット収容部115が設けられている。マグネット収容部115にマグネット16Zが配置される。センサー基板22において、マグネット16Zと光軸方向に対向する位置に、Z位置検出用の磁気センサー25Zが配置される(図4参照)。 Further, on the peripheral surface of the lens accommodating portion 111, a magnet accommodating portion 115 accommodating the magnet 16Z for detecting the Z position is provided. The magnet 16Z is arranged in the magnet accommodating portion 115. On the sensor substrate 22, a magnetic sensor 25Z for Z position detection is arranged at a position facing the magnet 16Z in the optical axis direction (see FIG. 4).

また、一方のボール保持部112の下部には、AF動力伝達部144が、Y方向(-側)に突出するように配置されている。AF動力伝達部144は、Z方向に所定の長さを有するチャッキングガイドであり、AF動力伝達部144を挟み込むように、AF駆動部14の共振部141のアーム部141bが当接し、AF駆動部14の動力が伝達される(図14参照)。2つのアーム部141bによりAF動力伝達部144が挟持されているので、共振部141の変形によって生じる駆動力が効率よく伝達される。 Further, an AF power transmission unit 144 is arranged below the ball holding unit 112 so as to project in the Y direction (− side). The AF power transmission unit 144 is a chucking guide having a predetermined length in the Z direction, and the arm unit 141b of the resonance unit 141 of the AF drive unit 14 comes into contact with the AF power transmission unit 144 so as to sandwich the AF power transmission unit 144, and the AF drive unit is driven. The power of the unit 14 is transmitted (see FIG. 14). Since the AF power transmission unit 144 is sandwiched between the two arm portions 141b, the driving force generated by the deformation of the resonance portion 141 is efficiently transmitted.

本実施の形態では、AF動力伝達部144は、レンズホルダー11と別部材で構成されている。AF動力伝達部144は、例えば、平面視でU字形状を有し、側面部がX方向に対向した状態で、底面部がボール保持部112の周面に固定される。AF動力伝達部144は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料で形成される。これにより、AF駆動部30のアーム部141bが樹脂成形品であるレンズホルダー11に当接する場合に比較して、AF駆動部14の駆動力が効率よく伝達される。なお、AF動力伝達部144は、レンズホルダー11と一体的に成形されてもよい。 In the present embodiment, the AF power transmission unit 144 is configured as a separate member from the lens holder 11. The AF power transmission unit 144 has, for example, a U-shape in a plan view, and the bottom surface portion is fixed to the peripheral surface of the ball holding portion 112 in a state where the side surface portions face each other in the X direction. The AF power transmission unit 144 is made of a metal material such as titanium copper, nickel copper, or stainless steel. As a result, the driving force of the AF driving unit 14 is efficiently transmitted as compared with the case where the arm portion 141b of the AF driving unit 30 comes into contact with the lens holder 11 which is a resin molded product. The AF power transmission unit 144 may be integrally molded with the lens holder 11.

第1ステージ12は、AF支持部15を介してAF可動部11を支持する部分である。第1ステージ12の光軸方向結像側には、ボール42を介して第2ステージ13が配置される。第1ステージ12は、振れ補正時にX方向及びY方向に移動し、第2ステージ13は、振れ補正時にY方向のみに移動する。 The first stage 12 is a portion that supports the AF movable portion 11 via the AF support portion 15. The second stage 13 is arranged via the ball 42 on the optical axis direction imaging side of the first stage 12. The first stage 12 moves in the X direction and the Y direction at the time of runout correction, and the second stage 13 moves only in the Y direction at the time of runout correction.

第1ステージ12は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する筒状の部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第1ステージ12は、レンズホルダー11に対応する部分に略円形状の開口121を有する。第1ステージ12において、OIS駆動部30に対応する部分(第2の辺及び第3の辺に沿う側壁の外側面)には切欠部122が設けられており、径方向外側にはみ出さないようにOIS駆動部30を配置できるようになっている。 The first stage 12 is a tubular member having a substantially rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction, and is formed of, for example, a liquid crystal polymer. The first stage 12 has a substantially circular opening 121 in a portion corresponding to the lens holder 11. In the first stage 12, a notch 122 is provided in a portion corresponding to the OIS drive unit 30 (outer surface of the side wall along the second side and the third side) so as not to protrude outward in the radial direction. The OIS drive unit 30 can be arranged in the OIS drive unit 30.

第1ステージ12は、下面に、ボール42を収容する4つのボール収容部123を有する。なお、図10において、ボール収容部123の一つは現れていない。ボール収容部123は、X方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。また、ボール収容部123の側面は、底面側に向けて溝幅狭くなるようにテーパー形状に形成されている。ボール収容部123は、第2ステージ13のボール収容部133とZ方向において対向する。 The first stage 12 has four ball accommodating portions 123 on the lower surface for accommodating the balls 42. In addition, in FIG. 10, one of the ball accommodating portions 123 does not appear. The ball accommodating portion 123 is formed by being recessed in a rectangular shape extending in the X direction. Further, the side surface of the ball accommodating portion 123 is formed in a tapered shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface side. The ball accommodating portion 123 faces the ball accommodating portion 133 of the second stage 13 in the Z direction.

第1ステージ12において、X方向に沿う2つの側壁(第1の辺及び第2の辺に沿う側壁)の内面には、レンズホルダー11のボール保持部112の形状に対応して切欠部(符号略)が形成されている。また、切欠部の両端に、AF支持部15を固定するためのボール固定部124が設けられている。ボール固定部124は、第1ステージ12下面よりも光軸方向結像側に突出して形成されている。 In the first stage 12, there is a notch (reference numeral) on the inner surface of the two side walls (the first side and the side wall along the second side) along the X direction, corresponding to the shape of the ball holding portion 112 of the lens holder 11. Omitted) is formed. Further, ball fixing portions 124 for fixing the AF support portion 15 are provided at both ends of the cutout portion. The ball fixing portion 124 is formed so as to project toward the image formation side in the optical axis direction from the lower surface of the first stage 12.

第1ステージ12において、X方向に沿う一方の側壁(第1の辺に沿う側壁)には、AF駆動部14が配置されるAFモーター固定部125が形成されている。AF駆動部14は、AFモーター固定部125に、例えば、接着により固定される。 In the first stage 12, an AF motor fixing portion 125 in which the AF drive portion 14 is arranged is formed on one side wall along the X direction (the side wall along the first side). The AF drive unit 14 is fixed to the AF motor fixing unit 125, for example, by adhesion.

第1ステージ12において、Y方向に沿う一方の側壁(第4の辺に沿う側壁)には、XY位置検出用のマグネット16X、16Yを収容するマグネット収容部126が設けられている。マグネット収容部126にマグネット16X,16Yが配置される。例えば、マグネット16XはX方向に着磁され、マグネット16YはY方向に着磁される。センサー基板22において、マグネット16X,16Yと光軸方向に対向する位置に、XY位置検出用の磁気センサー25X、25Yが配置される(図4参照)。 In the first stage 12, a magnet accommodating portion 126 for accommodating magnets 16X and 16Y for XY position detection is provided on one side wall along the Y direction (side wall along the fourth side). Magnets 16X and 16Y are arranged in the magnet accommodating portion 126. For example, the magnet 16X is magnetized in the X direction, and the magnet 16Y is magnetized in the Y direction. On the sensor substrate 22, magnetic sensors 25X and 25Y for XY position detection are arranged at positions facing the magnets 16X and 16Y in the optical axis direction (see FIG. 4).

また、第1ステージ12には、例えば、インサート成形により、配線17A、17Bが埋設されている(図12参照)。配線17A、17Bは、例えば、第1の辺及び第2の辺に沿って配置される。配線17A、17Bは、第1ステージ12の四隅から露出しており、この部分に、OIS用付勢部材50の一端が接続される。配線17Aを介して第1のOIS駆動部30Xへの給電が行われる、配線17Bを介してAF駆動部14への給電が行われる。 Further, wirings 17A and 17B are embedded in the first stage 12 by, for example, insert molding (see FIG. 12). The wirings 17A and 17B are arranged along the first side and the second side, for example. The wirings 17A and 17B are exposed from the four corners of the first stage 12, and one end of the OIS urging member 50 is connected to these portions. Power is supplied to the first OIS drive unit 30X via the wiring 17A, and power is supplied to the AF drive unit 14 via the wiring 17B.

第2ステージ13は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する筒状の部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第2ステージ13の内周面131は、レンズホルダー11の外形に対応して形成されている。第2ステージ13において、OIS駆動部30に対応する部分(第2の辺及び第3の辺に沿う側壁の外側面)には、第1ステージ12と同様に、切欠部132が設けられており、径方向外側にはみ出さないようにOIS駆動部30を配置できるようになっている。 The second stage 13 is a tubular member having a substantially rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction, and is formed of, for example, a liquid crystal polymer. The inner peripheral surface 131 of the second stage 13 is formed corresponding to the outer shape of the lens holder 11. In the second stage 13, a notch 132 is provided in a portion corresponding to the OIS drive unit 30 (outer surface of the side wall along the second side and the third side) as in the first stage 12. The OIS drive unit 30 can be arranged so as not to protrude outward in the radial direction.

第2ステージ13は、下面に、ボール41を収容する4つのボール収容部134を有する。ボール収容部134は、ベース21のボール収容部217とZ方向において対向する。ボール収容部134は、Y方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。また、ボール収容部134の側面は、底面側に向けて溝幅が狭くなるようにテーパー形状に形成されている。
また、第2ステージ13は、上面に、ボール42を収容する4つのボール収容部133を有する。ボール収容部133は、第1ステージ12のボール収容部123とZ方向において対向する。ボール収容部133は、X方向に延びる矩形状に凹んで形成されている。ボール収容部133の側面は、底面側に向けて溝幅が狭くなるようにテーパー形状に形成されている。
The second stage 13 has four ball accommodating portions 134 on the lower surface for accommodating the balls 41. The ball accommodating portion 134 faces the ball accommodating portion 217 of the base 21 in the Z direction. The ball accommodating portion 134 is formed by being recessed in a rectangular shape extending in the Y direction. Further, the side surface of the ball accommodating portion 134 is formed in a tapered shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface side.
Further, the second stage 13 has four ball accommodating portions 133 on the upper surface for accommodating the balls 42. The ball accommodating portion 133 faces the ball accommodating portion 123 of the first stage 12 in the Z direction. The ball accommodating portion 133 is formed by being recessed in a rectangular shape extending in the X direction. The side surface of the ball accommodating portion 133 is formed in a tapered shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface side.

OIS支持部40を構成する4つのボール41は、ベース21のボール収容部217と第2ステージ13のボール収容部134により、多点接触で挟持される。したがって、ボール41は、安定してX方向に転動する。
また、4つのボール42は、第2ステージ13のボール収容部133と第1ステージ12のボール収容部123により、多点接触で挟持される。したがって、ボール42は、安定してX方向に転動する。
The four balls 41 constituting the OIS support portion 40 are sandwiched by the ball accommodating portion 217 of the base 21 and the ball accommodating portion 134 of the second stage 13 in a multi-point contact. Therefore, the ball 41 stably rolls in the X direction.
Further, the four balls 42 are sandwiched by the ball accommodating portion 133 of the second stage 13 and the ball accommodating portion 123 of the first stage 12 in a multi-point contact. Therefore, the ball 42 stably rolls in the X direction.

AF支持部15は、第1ステージ12(AF固定部)に対してレンズホルダー11(AF可動部)を支持する部分である。本実施の形態では、AF支持部15は、Z方向に並んで配置された複数のボール(ここでは、2個)で構成されている。AF支持部15は、レンズホルダー11のボール収容部113と第1ステージ12のボール固定部124との間に、転動可能な状態で介在する。 The AF support portion 15 is a portion that supports the lens holder 11 (AF movable portion) with respect to the first stage 12 (AF fixed portion). In the present embodiment, the AF support portion 15 is composed of a plurality of balls (here, two) arranged side by side in the Z direction. The AF support portion 15 is interposed between the ball accommodating portion 113 of the lens holder 11 and the ball fixing portion 124 of the first stage 12 in a rollable state.

本実施の形態では、図12に示すように、AF支持部15は、レンズホルダー11の外周面において、4カ所に配置されている。具体的には、X方向に沿う第1直線L1(図12参照)上に配置される一組のAF支持部15Aと、X方向に沿う第2直線L2(図12参照)上に配置される一組の第2のAF支持部15Bと、で構成されている。第1直線L1と第2直線L2は、光軸を通りX方向に平行な直線L3に関して対称な位置関係にある。
また、図13に示すように、一組のAF支持部15Aのうちの一方と第1ステージ12のボール固定部124との間には、レンズホルダー11を付勢する付勢部18が配置される。図13は、図12における直線L1に沿う断面図である。もう一組のAF支持部15Bにおいても同様に、第1ステージ12のボール固定部124との間に付勢部18が配置される。
したがって、レンズホルダー11は、2組のAF支持部15A、15Bを介して、X方向に付勢された状態で第1ステージ12に支持される。これにより、レンズホルダー11は、安定した姿勢で保持される。
In the present embodiment, as shown in FIG. 12, the AF support portions 15 are arranged at four locations on the outer peripheral surface of the lens holder 11. Specifically, it is arranged on a set of AF support portions 15A arranged on the first straight line L1 (see FIG. 12) along the X direction and on the second straight line L2 (see FIG. 12) along the X direction. It is composed of a set of a second AF support portion 15B. The first straight line L1 and the second straight line L2 have a symmetrical positional relationship with respect to the straight line L3 that passes through the optical axis and is parallel to the X direction.
Further, as shown in FIG. 13, an urging portion 18 for urging the lens holder 11 is arranged between one of the pair of AF support portions 15A and the ball fixing portion 124 of the first stage 12. To. FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the straight line L1 in FIG. Similarly, in the other set of AF support portions 15B, the urging portion 18 is arranged between the AF support portion 15B and the ball fixing portion 124 of the first stage 12.
Therefore, the lens holder 11 is supported by the first stage 12 in a state of being urged in the X direction via the two sets of AF support portions 15A and 15B. As a result, the lens holder 11 is held in a stable posture.

図13に示すように、付勢部18は、例えば、金属材料で形成される板バネ181(付勢部材)と、摩擦係数が小さいセラミック材料で形成されるスペーサー182(干渉部材)と、を有する。第1ステージ12側に板バネ181が配置され、レンズホルダー11側にスペーサー182が配置される。板バネ181とAF支持部15(ボール)との間にセラミック製のスペーサー182を介在させることにより、ボールを滑らかに転動させることができ、耐久性が向上する。なお、スペーサー182の材質は、ボールを滑らかに転動させることができるものであればよく、摩擦係数が小さいセラミック材料に限らず、例えば、銅合金やステンレスなど適度な摩擦係数を有する材料でもよい。 As shown in FIG. 13, the urging portion 18 includes, for example, a leaf spring 181 (an urging member) formed of a metal material and a spacer 182 (interference member) formed of a ceramic material having a small friction coefficient. Have. The leaf spring 181 is arranged on the first stage 12 side, and the spacer 182 is arranged on the lens holder 11 side. By interposing a ceramic spacer 182 between the leaf spring 181 and the AF support portion 15 (ball), the ball can be rolled smoothly and the durability is improved. The material of the spacer 182 may be any material as long as it can roll the ball smoothly, and is not limited to a ceramic material having a small friction coefficient, but may be a material having an appropriate friction coefficient such as a copper alloy or stainless steel. ..

AF駆動部14は、AF可動部11をZ方向に移動させるアクチュエーターである。AF駆動部14は、OIS駆動部30と同様に、超音波モーターで構成されている。AF駆動部14は、アーム部141bがZ方向に延在するように、第1ステージ12のX方向に沿う側壁(第1の辺に沿う側壁)に固定される。 The AF drive unit 14 is an actuator that moves the AF movable unit 11 in the Z direction. Like the OIS drive unit 30, the AF drive unit 14 is composed of an ultrasonic motor. The AF drive unit 14 is fixed to a side wall along the X direction of the first stage 12 (a side wall along the first side) so that the arm portion 141b extends in the Z direction.

AF駆動部14の構成を図11A、図11Bに示す。図11Aは、AF駆動部14の各部材を組み付けた状態を示し、図11Bは、AF駆動部14の各部材を分解した状態を示す。AF駆動部14の構成は、OIS駆動部30とほぼ同様である。 The configuration of the AF drive unit 14 is shown in FIGS. 11A and 11B. FIG. 11A shows a state in which each member of the AF drive unit 14 is assembled, and FIG. 11B shows a state in which each member of the AF drive unit 14 is disassembled. The configuration of the AF drive unit 14 is almost the same as that of the OIS drive unit 30.

図11A、図11Bに示すように、AF駆動部14は、AF共振部141、AF圧電素子142及びAF電極143を有する。AF駆動部14の駆動力は、AF動力伝達部144を介してレンズホルダー11に伝達される。 As shown in FIGS. 11A and 11B, the AF drive unit 14 includes an AF resonance unit 141, an AF piezoelectric element 142, and an AF electrode 143. The driving force of the AF drive unit 14 is transmitted to the lens holder 11 via the AF power transmission unit 144.

AF圧電素子142は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。AF共振部141の胴部141aを挟み込むように、2枚のAF圧電素子142が配置される。
AF電極143は、AF共振部141及びAF圧電素子142を挟持し、AF圧電素子142に電圧を印加する。
The AF piezoelectric element 142 is, for example, a plate-shaped element made of a ceramic material, and generates vibration by applying a high frequency voltage. Two AF piezoelectric elements 142 are arranged so as to sandwich the body portion 141a of the AF resonance portion 141.
The AF electrode 143 sandwiches the AF resonance portion 141 and the AF piezoelectric element 142, and applies a voltage to the AF piezoelectric element 142.

AF共振部141は、導電性材料で形成され、AF圧電素子142の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。本実施の形態では、AF共振部141は、AF圧電素子142に挟持される略矩形状の胴部141a、胴部141aからZ方向に延在する2つのアーム部141b、胴部141aの中央部からZ方向に延在する突出部141c、及び、胴部141aの中央部から突出部141cとは反対側に延在し給電経路(第1ステージ12の配線17B)と電気的に接続される通電部141dを有している。2つのアーム部141bは対称的な形状を有し、AF圧電素子142の振動に共振して対称的に変形する。AF駆動部14は、2つのアーム部141bがZ方向に延在して、自由端部でAF動力伝達部144を挟持するように配置される。 The AF resonance portion 141 is formed of a conductive material and resonates with the vibration of the AF piezoelectric element 142 to convert the vibration motion into a linear motion. In the present embodiment, the AF resonance portion 141 is a substantially rectangular body portion 141a sandwiched between the AF piezoelectric elements 142, two arm portions 141b extending in the Z direction from the body portion 141a, and a central portion of the body portion 141a. Energization extending from the central portion of the body portion 141a to the side opposite to the protruding portion 141c and electrically connected to the feeding path (wiring 17B of the first stage 12). It has a portion 141d. The two arm portions 141b have a symmetrical shape and resonate with the vibration of the AF piezoelectric element 142 to be deformed symmetrically. The AF drive unit 14 is arranged so that the two arm units 141b extend in the Z direction and sandwich the AF power transmission unit 144 at the free end portion.

AF共振部141の胴部141aに、厚さ方向からAF圧電素子142が貼り合わされ、AF電極143により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。AF共振部141の通電部141d及びAF電極143が第1ステージ12の配線17Bに接続されることで、AF圧電素子142に電圧が印加され、振動が発生する。 The AF piezoelectric element 142 is attached to the body portion 141a of the AF resonance portion 141 from the thickness direction and is sandwiched by the AF electrode 143 so that they are electrically connected to each other. By connecting the energized portion 141d of the AF resonance portion 141 and the AF electrode 143 to the wiring 17B of the first stage 12, a voltage is applied to the AF piezoelectric element 142 and vibration is generated.

AF共振部141は、OIS共振部31と同様に、少なくとも2つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、AF共振部141は、2つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。 Like the OIS resonance unit 31, the AF resonance unit 141 has at least two resonance frequencies, and is deformed with different behaviors with respect to each resonance frequency. In other words, the AF resonance portion 141 is set to have an overall shape so as to be deformed with different behaviors with respect to the two resonance frequencies.

レンズ駆動装置1において、AF駆動部14に電圧を印加すると、AF圧電素子142が振動し、AF共振部141が周波数に応じた挙動で変形する。AF駆動部14の駆動力により、AF動力伝達部144がZ方向に摺動される。これに伴い、AF可動部11がZ方向に移動し、ピント合わせが行われる。AF支持部15がボールで構成されているので、AF可動部11はZ方向にスムーズに移動することができる。また、AF駆動部14とAF動力伝達部144は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をZ方向に大きくするだけで、レンズ駆動装置1の低背化を損なうことなく、AF可動部11の移動距離(ストローク)を容易に長くすることができる。 When a voltage is applied to the AF drive unit 14 in the lens drive device 1, the AF piezoelectric element 142 vibrates and the AF resonance unit 141 is deformed according to the frequency. The AF power transmission unit 144 is slid in the Z direction by the driving force of the AF drive unit 14. Along with this, the AF movable portion 11 moves in the Z direction, and focusing is performed. Since the AF support portion 15 is composed of balls, the AF movable portion 11 can smoothly move in the Z direction. Further, since the AF drive unit 14 and the AF power transmission unit 144 are only in contact with each other in an urged state, simply increasing the contact portion in the Z direction impairs the reduction in height of the lens drive device 1. Instead, the moving distance (stroke) of the AF movable portion 11 can be easily increased.

レンズ駆動装置1において、OIS駆動部30に電圧を印加すると、OIS圧電素子32が振動し、OIS共振部31が周波数に応じた挙動で変形する。OIS駆動部30の駆動力により、OIS動力伝達部34がX方向又はY方向に摺動される。これに伴い、OIS可動部10がX方向又はY方向に移動し、振れ補正が行われる。OIS支持部40がボールで構成されているので、OIS可動部10はX方向又はY方向にスムーズに移動することができる。 When a voltage is applied to the OIS drive unit 30 in the lens drive device 1, the OIS piezoelectric element 32 vibrates and the OIS resonance unit 31 is deformed according to the frequency. The driving force of the OIS driving unit 30 causes the OIS power transmitting unit 34 to slide in the X direction or the Y direction. Along with this, the OIS movable portion 10 moves in the X direction or the Y direction, and runout correction is performed. Since the OIS support portion 40 is composed of balls, the OIS movable portion 10 can smoothly move in the X direction or the Y direction.

具体的には、第1のOIS駆動部30Xが駆動され、OIS動力伝達部34がX方向に移動する場合、第1のOIS駆動部30Xが配置されている第1ステージ12から第2ステージ13に動力が伝達される。このとき、第2ステージ13とベース21とで挟持されているボール41(ボール収容部217に収容されている4個)は、X方向に転動できないので、ベース21に対する第2ステージ13のX方向の位置は維持される。一方、第1ステージ12と第2ステージ13とで挟持されているボール42は、X方向に転動できるので、第2ステージ13に対して第1ステージ12がX方向に移動する。つまり、第2ステージ13がOIS固定部20を構成し、第1ステージ12がOIS可動部10を構成する。 Specifically, when the first OIS drive unit 30X is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the X direction, the first stage 12 to the second stage 13 in which the first OIS drive unit 30X is arranged are arranged. Power is transmitted to. At this time, since the balls 41 (four balls accommodated in the ball accommodating portion 217) sandwiched between the second stage 13 and the base 21 cannot roll in the X direction, the X of the second stage 13 with respect to the base 21 The directional position is maintained. On the other hand, since the ball 42 sandwiched between the first stage 12 and the second stage 13 can roll in the X direction, the first stage 12 moves in the X direction with respect to the second stage 13. That is, the second stage 13 constitutes the OIS fixing portion 20, and the first stage 12 constitutes the OIS movable portion 10.

また、第2のOIS駆動部30Yが駆動され、OIS動力伝達部34がY方向に移動する場合、第2のOIS駆動部30Yが配置されているベース21から第2ステージ13に動力が伝達される。このとき、第1ステージ12と第2ステージ13とで挟持されているボール42は、Y方向に転動できないので、第2ステージに対する第1ステージ12のY方向の位置は維持される。一方、第2ステージ13とベース21とで挟持されているボール41(ボール収容部217に収容されている4個)は、Y方向に転動できるので、ベース21に対して第2ステージ13がY方向に移動する。第1ステージ12も第2ステージ13に追従してY方向に移動することになる。つまり、ベース21がOIS固定部20を構成し、第1ステージ12及び第2ステージ13を含むAFユニットがOIS可動部10を構成する。 Further, when the second OIS drive unit 30Y is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the Y direction, power is transmitted from the base 21 in which the second OIS drive unit 30Y is arranged to the second stage 13. To. At this time, since the ball 42 sandwiched between the first stage 12 and the second stage 13 cannot roll in the Y direction, the position of the first stage 12 in the Y direction with respect to the second stage is maintained. On the other hand, the balls 41 sandwiched between the second stage 13 and the base 21 (four balls housed in the ball accommodating portion 217) can roll in the Y direction, so that the second stage 13 with respect to the base 21 Move in the Y direction. The first stage 12 also follows the second stage 13 and moves in the Y direction. That is, the base 21 constitutes the OIS fixing portion 20, and the AF unit including the first stage 12 and the second stage 13 constitutes the OIS movable portion 10.

このようにして、OIS可動部10がXY平面内で揺動し、振れ補正が行われる。具体的には、カメラモジュールAの角度振れが相殺されるように、振れ検出部(例えばジャイロセンサー、図示略)からの角度振れを示す検出信号に基づいて、OIS駆動部30X、30Yへの通電電圧が制御される。このとき、マグネット16X、16Y及び磁気センサー25X、25Yで構成されるXY位置検出部の検出結果をフィードバックすることで、OIS可動部10の並進移動を正確に制御することができる。 In this way, the OIS movable portion 10 swings in the XY plane, and runout correction is performed. Specifically, the OIS drive units 30X and 30Y are energized based on the detection signal indicating the angular vibration from the vibration detection unit (for example, a gyro sensor, not shown) so that the angular vibration of the camera module A is offset. The voltage is controlled. At this time, by feeding back the detection result of the XY position detection unit composed of the magnets 16X and 16Y and the magnetic sensors 25X and 25Y, the translational movement of the OIS movable unit 10 can be accurately controlled.

このように、実施の形態に係るレンズ駆動装置1は、第1ステージ12(第1固定部)と、第1ステージ12の径方向内側に配置されるレンズホルダー11(第1可動部)と、第1ステージ12に対してレンズホルダー11を支持するAF支持部15(第1支持部)と、第1ステージ12に配置され、第1ステージ12に対してレンズホルダー11を光軸方向に移動させるAF駆動部14(Z方向駆動部)と、を備え、光軸方向から見た平面視形状が矩形形状である。
レンズホルダー11は、径方向外側に突出して設けられたAF動力伝達部144を有し、AF駆動部14は、圧電素子142及び共振部141を有し、振動運動を直線運動に変換する超音波モーターで構成され、共振部141の2つのアーム部141bが光軸方向に延在してAF動力伝達部144を挟持するように矩形の第1の辺に配置される。
レンズホルダー11は、AF支持部15を介して、光軸方向と直交する付勢方向に付勢された状態で第1ステージ12に支持されている。
As described above, the lens driving device 1 according to the embodiment includes a first stage 12 (first fixed portion), a lens holder 11 (first movable portion) arranged radially inside the first stage 12 and the like. The AF support portion 15 (first support portion) that supports the lens holder 11 with respect to the first stage 12 and the lens holder 11 that is arranged in the first stage 12 and moves the lens holder 11 with respect to the first stage 12 in the optical axis direction. It includes an AF drive unit 14 (Z-direction drive unit), and has a rectangular shape when viewed from the optical axis direction.
The lens holder 11 has an AF power transmission unit 144 provided so as to project outward in the radial direction, and the AF drive unit 14 has a piezoelectric element 142 and a resonance unit 141, and is an ultrasonic motor that converts vibration motion into linear motion. It is composed of a motor, and two arm portions 141b of the resonance portion 141 are arranged on the first side of the rectangle so as to extend in the optical axis direction and sandwich the AF power transmission portion 144.
The lens holder 11 is supported by the first stage 12 in a state of being urged in the urging direction orthogonal to the optical axis direction via the AF support portion 15.

レンズ駆動装置1によれば、AF駆動部14が超音波モーターで構成されているので、外部磁気の影響を低減できるとともに、小型化及び低背化を図ることができる。
また、AF駆動部14のアーム部141bが光軸方向に延在してAF動力伝達部144を挟持しており、AF駆動部14の駆動力がレンズホルダー11に最大限に伝達されるので、レンズホルダー11を移動させる駆動力を効率よく得ることができる。その上、レンズホルダー11は、AF支持部15を介して第1ステージ(AF固定部)に付勢されているので、光軸方向へ移動する際の姿勢が安定する。したがって、レンズ駆動装置1の駆動性能が格段に向上する。
スマートフォンMのように、レンズ駆動装置1を有するカメラモジュールAを近接して配置しても磁気的な影響はないので、デュアルカメラ用として極めて好適である。
According to the lens drive device 1, since the AF drive unit 14 is composed of an ultrasonic motor, the influence of external magnetism can be reduced, and the size and height can be reduced.
Further, since the arm portion 141b of the AF drive unit 14 extends in the optical axis direction and sandwiches the AF power transmission unit 144, the driving force of the AF drive unit 14 is transmitted to the lens holder 11 to the maximum extent. The driving force for moving the lens holder 11 can be efficiently obtained. Moreover, since the lens holder 11 is urged to the first stage (AF fixing portion) via the AF support portion 15, the posture when moving in the optical axis direction is stable. Therefore, the driving performance of the lens driving device 1 is significantly improved.
Like the smartphone M, even if the camera modules A having the lens driving device 1 are arranged close to each other, there is no magnetic influence, so that they are extremely suitable for dual cameras.

また、レンズ駆動装置1において、付勢方向は、AF駆動部14が配置される第1の辺に平行である。
具体的には、AF支持部15A(第1支持部)は、レンズホルダー11(第1可動部)の外周面において、付勢方向に平行な第1直線L1上に2つ配置されている。
また、一組のAF支持部15A(第1支持部)のうちの一方と第1ステージ12(第1固定部)との間に、板バネ181(付勢部材)が介在している。
また、AF支持部15B(第1支持部)は、レンズホルダー11(第1可動部)の外周面において、付勢方向に平行で第1直線L1とは異なる第2直線L2上に、2つ配置されている。
また、二組のAF支持部15A、15B(第1支持部)は、付勢方向に平行で光軸を通る直線L3に関して対称な位置に配置されている。
また、AF支持部15(第1支持部)は、光軸方向に並んで配置されたボールで構成されている。
以上の構成により、光軸方向に移動する際のレンズホルダー11の姿勢を、より安定させることができる。
Further, in the lens driving device 1, the urging direction is parallel to the first side on which the AF driving unit 14 is arranged.
Specifically, two AF support portions 15A (first support portions) are arranged on the outer peripheral surface of the lens holder 11 (first movable portion) on a first straight line L1 parallel to the urging direction.
Further, a leaf spring 181 (a urging member) is interposed between one of the pair of AF support portions 15A (first support portion) and the first stage 12 (first fixed portion).
Further, there are two AF support portions 15B (first support portions) on the outer peripheral surface of the lens holder 11 (first movable portion) on the second straight line L2 parallel to the urging direction and different from the first straight line L1. Have been placed.
Further, the two sets of AF support portions 15A and 15B (first support portions) are arranged at positions symmetrical with respect to the straight line L3 that is parallel to the urging direction and passes through the optical axis.
Further, the AF support portion 15 (first support portion) is composed of balls arranged side by side in the optical axis direction.
With the above configuration, the posture of the lens holder 11 when moving in the optical axis direction can be further stabilized.

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。 Although the invention made by the present inventor has been specifically described above based on the embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment and can be changed without departing from the gist thereof.

例えば、実施の形態では、カメラモジュールAを備えるカメラ搭載装置の一例として、カメラ付き携帯端末であるスマートフォンMを挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部を有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、webカメラ、カメラ付き車載装置(例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置)を含む。また、輸送機器は、例えば自動車を含む。 For example, in the embodiment, a smartphone M, which is a mobile terminal with a camera, has been described as an example of a camera-mounted device including the camera module A, but the present invention uses the camera module and the image information obtained by the camera module. It can be applied to a camera-mounted device having an image processing unit for processing. Camera-mounted devices include information equipment and transportation equipment. The information device includes, for example, a mobile phone with a camera, a notebook computer, a tablet terminal, a portable game machine, a web camera, and an in-vehicle device with a camera (for example, a back monitor device and a drive recorder device). In addition, the transportation equipment includes, for example, an automobile.

図15A、図15Bは、車載用カメラモジュールVC(Vehicle Camera)を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Vを示す図である。図15Aは自動車Vの正面図であり、図15Bは自動車Vの後方斜視図である。自動車Vは、車載用カメラモジュールVCとして、実施の形態で説明したカメラモジュールAを搭載する。図15A、図15Bに示すように、車載用カメラモジュールVCは、例えば前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールVCは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。 15A and 15B are diagrams showing an automobile V as a camera-mounted device for mounting an in-vehicle camera module VC (Vehicle Camera). 15A is a front view of the automobile V, and FIG. 15B is a rear perspective view of the automobile V. The automobile V is equipped with the camera module A described in the embodiment as the in-vehicle camera module VC. As shown in FIGS. 15A and 15B, the vehicle-mounted camera module VC may be attached to the windshield toward the front or attached to the rear gate toward the rear, for example. This in-vehicle camera module VC is used for a back monitor, a drive recorder, a collision avoidance control, an automatic driving control, and the like.

実施の形態では、レンズホルダー11がX方向に付勢されているが、レンズホルダー11の付勢方向はX方向でなくてもよく、レンズホルダー11を安定した姿勢で保持できればよい。例えば、実施の形態では、二組のAF支持部15A、15Bが、それぞれ付勢方向であるX方向に平行な直線L1、L2上に配置されているが、直線L1、L2の延在方向はY方向であってもよいし、X方向及びY方向から傾いた方向であってもよい。さらには、直線L1、L2は、互いに交差していてもよいし、光軸を通る直線に関して対称に配置されなくてもよい。 In the embodiment, the lens holder 11 is urged in the X direction, but the urging direction of the lens holder 11 does not have to be in the X direction, as long as the lens holder 11 can be held in a stable posture. For example, in the embodiment, the two sets of AF support portions 15A and 15B are arranged on the straight lines L1 and L2 parallel to the X direction, which is the urging direction, respectively, but the extending directions of the straight lines L1 and L2 are It may be in the Y direction, or may be in the direction inclined from the X direction and the Y direction. Further, the straight lines L1 and L2 may intersect each other or may not be arranged symmetrically with respect to the straight line passing through the optical axis.

また、本発明は、オートフォーカスだけでなく、ズームなど、可動部を光軸方向に移動させる場合に適用することができる。
さらに、AFユニットの支持構造は、AF駆動部14のように駆動源が超音波モーターで構成されている場合に限らず、超音波モーター以外の駆動源(例えば、ボイスコイルモーター(VCM))を備えるレンズ駆動装置にも適用することができる。
Further, the present invention can be applied not only to autofocus but also to the case of moving a movable portion in the optical axis direction such as zooming.
Further, the support structure of the AF unit is not limited to the case where the drive source is composed of an ultrasonic motor as in the AF drive unit 14, but a drive source other than the ultrasonic motor (for example, a voice coil motor (VCM)) can be used. It can also be applied to the lens drive device provided.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

1 レンズ駆動装置
10 OIS可動部(第2可動部)
11 AF可動部(第1可動部)
12 第1ステージ(第1固定部)
13 第2ステージ
14 AF駆動部(Z方向駆動部)
141 AF共振部
142 AF圧電素子
143 AF電極
144 AF動力伝達部
15 AF支持部(第1支持部)
20 OIS固定部(第2固定部)
21 ベース
30 OIS駆動部(XY方向駆動部)
31 OIS共振部
32 OIS圧電素子
33 OIS電極
34 OIS動力伝達部
40 OIS支持部(第2支持部)
50 OIS用付勢部材
A カメラモジュール
M スマートフォン(カメラ搭載装置)
1 Lens drive device 10 OIS movable part (second movable part)
11 AF movable part (first movable part)
12 1st stage (1st fixed part)
13 Second stage 14 AF drive unit (Z direction drive unit)
141 AF resonance part 142 AF piezoelectric element 143 AF electrode 144 AF power transmission part 15 AF support part (first support part)
20 OIS fixing part (second fixing part)
21 Base 30 OIS drive unit (XY direction drive unit)
31 OIS resonance part 32 OIS piezoelectric element 33 OIS electrode 34 OIS power transmission part 40 OIS support part (second support part)
50 OIS urging member A Camera module M Smartphone (camera-mounted device)

Claims (7)

レンズを保持するレンズホルダーと、
前記レンズホルダーを光軸方向に移動可能に収容する固定部と、
前記レンズホルダーの外側に間隔をおいて配列された、夫々光軸に平行な一対のボール列と、
前記固定部に設けられ、前記一対のボール列の一方のボール列を光軸に直交する方向に付勢して、前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動可能に保持する付勢部と、
前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動させる超音波モーターと、を有する、
レンズ駆動装置。
A lens holder that holds the lens and
A fixed portion for accommodating the lens holder so as to be movable in the optical axis direction,
A pair of ball rows, each parallel to the optical axis, arranged at intervals on the outside of the lens holder.
An urging portion provided in the fixed portion, which urges one of the pair of ball rows in a direction orthogonal to the optical axis to hold the lens holder movably in the optical axis direction.
It has an ultrasonic motor that moves the lens holder in the optical axis direction.
Lens drive device.
レンズを保持するレンズホルダーと、
前記レンズホルダーを光軸方向に移動可能に収容する固定部と、
前記レンズホルダーの外側に間隔をおいて配列された、夫々光軸に平行な一対のボール列と、
前記固定部に設けられ、前記一対のボール列を光軸に直交する方向に付勢して、前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動可能に保持する付勢部と、
前記レンズホルダーを前記光軸方向に移動させる超音波モーターと、を有し、
前記レンズホルダーは、前記超音波モーターの駆動力を伝達する動力伝達部を、前記一対のボール列の間に備える、
ンズ駆動装置。
A lens holder that holds the lens and
A fixed portion for accommodating the lens holder so as to be movable in the optical axis direction,
A pair of ball rows, each parallel to the optical axis, arranged at intervals on the outside of the lens holder.
An urging portion provided in the fixed portion, which urges the pair of ball trains in a direction orthogonal to the optical axis to hold the lens holder movably in the optical axis direction.
It has an ultrasonic motor that moves the lens holder in the optical axis direction, and has.
The lens holder includes a power transmission unit that transmits the driving force of the ultrasonic motor between the pair of ball trains.
Lens drive device.
前記一対のボール列は、前記レンズホルダーに形成されたボール保持部に収容された、
請求項1又は2に記載のレンズ駆動装置。
The pair of ball rows was housed in a ball holding portion formed in the lens holder.
The lens driving device according to claim 1 or 2.
前記ボール保持部は、前記レンズホルダーの下方への移動を規制するストッパーを備える、
請求項に記載のレンズ駆動装置。
The ball holding portion includes a stopper that restricts the downward movement of the lens holder.
The lens driving device according to claim 3 .
前記固定部は、光軸に直交する方向に移動可能にベース上に配置され、
前記ストッパーは、前記超音波モーターの非駆動時の基準状態で、前記ベース上に当接する、
請求項に記載のレンズ駆動装置。
The fixed portion is arranged on the base so as to be movable in a direction orthogonal to the optical axis.
The stopper abuts on the base in a reference state when the ultrasonic motor is not driven.
The lens driving device according to claim 4 .
請求項1からのいずれか一項に記載のレンズ駆動装置と、
前記レンズと、
前記レンズにより結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える、
カメラモジュール。
The lens driving device according to any one of claims 1 to 5 .
With the lens
An image pickup unit that captures an image of a subject imaged by the lens is provided.
The camera module.
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
請求項に記載のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える、
カメラ搭載装置。
A camera-mounted device that is an information device or a transportation device.
The camera module according to claim 6 and
An image processing unit that processes image information obtained by the camera module is provided.
Camera-mounted device.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024085345A1 (en) * 2022-10-21 2024-04-25 엘지이노텍 주식회사 Lens driving device, camera device, and optical device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080170307A1 (en) 2007-01-11 2008-07-17 Stmicroelectronics (Research & Development) Limited Focussing apparatus
JP3154894U (en) 2009-08-18 2009-10-29 一品國際科技股▲ふん▼有限公司 Lens drive device
JP2010176073A (en) 2009-02-02 2010-08-12 Minebea Co Ltd Lens driving actuator and camera module having the same
JP2013513821A (en) 2009-12-10 2013-04-22 ニュー スケール テクノロジーズ インコーポレーティッド Lens actuator module
WO2013172001A1 (en) 2012-05-16 2013-11-21 パナソニック株式会社 Lens actuator
JP2019028289A (en) 2017-07-31 2019-02-21 ミツミ電機株式会社 Lens drive device, camera module, and camera-mounted device
CN110456474A (en) 2019-08-12 2019-11-15 重庆睿恩光电子有限责任公司 The lens driver and camera apparatus of auto-focusing piezoelectricity USM

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101361783B1 (en) * 2008-10-15 2014-02-11 삼성테크윈 주식회사 Lens driving unit and camera module comprising the same

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080170307A1 (en) 2007-01-11 2008-07-17 Stmicroelectronics (Research & Development) Limited Focussing apparatus
JP2010176073A (en) 2009-02-02 2010-08-12 Minebea Co Ltd Lens driving actuator and camera module having the same
JP3154894U (en) 2009-08-18 2009-10-29 一品國際科技股▲ふん▼有限公司 Lens drive device
JP2013513821A (en) 2009-12-10 2013-04-22 ニュー スケール テクノロジーズ インコーポレーティッド Lens actuator module
WO2013172001A1 (en) 2012-05-16 2013-11-21 パナソニック株式会社 Lens actuator
JP2019028289A (en) 2017-07-31 2019-02-21 ミツミ電機株式会社 Lens drive device, camera module, and camera-mounted device
CN110456474A (en) 2019-08-12 2019-11-15 重庆睿恩光电子有限责任公司 The lens driver and camera apparatus of auto-focusing piezoelectricity USM

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