JP7069822B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
本発明は、研磨対象物を精度良く平坦に研磨することができる研磨装置を提供するものである。
これにより、回転モータの自重に起因するスピンドルの傾きの発生を抑制することができる。
11 基部
12 研磨部
13 回転モータ
14 第1のプーリー
14a プーリー歯先円
14b 突出部
15 第2のプーリー
16 送りモータ
17 ボールネジ部
17a ボールネジ
17b ナット
21 天板
22 脚部
23 孔
24 軸受
25 直動ガイド
31 スピンドル
31a 大径部
31b 小径部
32 ハウジング
32a ハウジング本体
32b,32c 軸受
32d ガイド部
32e 突起部
33 マグネットカップリング
33a インナー側
33b アウター側
34 切削液供給部
35 研磨工具
41 ベルト
Claims (1)
- 円柱状の小径部と、前記小径部の下方に設けられた円柱状の大径部と、を有し、前記大径部の下部に研磨工具が連結するスピンドルと、
内周側において前記スピンドルの小径部を囲むように配されるプーリーと、
前記スピンドルの小径部の外周面上において軸方向に長く設けられたインナー側と、前記プーリーの内周面上に設けられたアウター側と、を有するマグネットカップリングと、
前記スピンドルに対して非接触となるように、前記スピンドルから離間して配置された回転モータと、を備え、
前記マグネットカップリングは、前記インナー側が設けられた前記スピンドルが軸方向に動作した場合であっても、前記インナー側と前記アウター側とが対向した状態を維持することができ、
前記回転モータが前記プーリーに駆動力を伝達し、前記マグネットカップリングの前記アウター側を回転させることで、前記アウター側に対向しているインナー側が回転力を受け、前記スピンドルを回転させる
研磨装置。
Priority Applications (1)
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JP2018032305A JP7069822B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018032305A JP7069822B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019147206A JP2019147206A (ja) | 2019-09-05 |
JP7069822B2 true JP7069822B2 (ja) | 2022-05-18 |
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ID=67848756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018032305A Active JP7069822B2 (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 研磨装置 |
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JP (1) | JP7069822B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009095913A (ja) | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Nisshin Seisakusho:Kk | 工作機械の加工ツール保護装置およびホーニング盤 |
JP2013013216A (ja) | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Prospine:Kk | 磁気カップリング及び撹拌装置 |
JP2016010851A (ja) | 2015-09-17 | 2016-01-21 | 株式会社デンソー | 回転加工装置 |
Family Cites Families (2)
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---|---|---|---|---|
JPH08141864A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-06-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | スピンドルへの回転駆動力伝達方法および装置 |
US5977678A (en) * | 1997-10-09 | 1999-11-02 | Ut Automotive Dearborn, Inc. | Magnetic coupling mechanism for use in an automotive vehicle |
-
2018
- 2018-02-26 JP JP2018032305A patent/JP7069822B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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