JP7069651B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
2:容器
2a:主開口
2b:開口縁
4:蓋
5:ボトムガス導入部
10、110、210、310、410、510、610:ロードポート装置
11:壁部
11a:内側面
11b:外側面
12:載置台
13:装置開口
13a:両側部
14:可動テーブル
18:ドア
20、120:フロントガス導入部
20a、120a、320a、420a、520a:ガスパージノズル
21:第1ガス供給管
30、230:ダウンフロー形成部
30a、230a、330a、430a、530a:カーテンノズル
31:第2ガス供給管
32:共通ガス供給管
35:多方向気流発生手段
40、440、540、640:イオン発生手段
40a、140a、340a:第1イオナイザ
40b、240b、340b:第2イオナイザ
50:EFEM
51:ミニエンバイロメント装置
52:ウエハ搬送室
54:ウエハ搬送機
54a:アーム
56:ファンフィルタユニット
70:処理室
F1:第1気流
F2:第2気流
Claims (17)
- ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台に載置された前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対側の内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するドアと、
前記壁部の前記内側面側から前記装置開口及び前記主開口を介して前記容器の内部に導入される清浄化ガスの第1気流を発生させる第1気流発生手段と、
前記壁部の前記内側面側における前記装置開口の上方から前記装置開口の開口面に沿って流下する清浄化ガスの第2気流を発生させる第2気流発生手段と、
前記第1気流を形成する清浄化ガス及び前記第2気流を形成する清浄化ガスにイオンを供給するイオン発生手段とを有し、
前記イオン発生手段は、前記第1気流を形成する清浄化ガスにイオンを供給する第1イオナイザと、前記第2気流を形成する清浄化ガスにイオンを供給する第2イオナイザとを備えることを特徴とするロードポート装置。 - 前記第1イオナイザは、前記第1気流発生手段の内部に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記第1イオナイザは、前記装置開口と前記第1気流発生手段との間の前記第1気流中または前記第1気流の側部に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記第1気流発生手段に清浄化ガスを供給する第1ガス供給管を有し、
前記第1イオナイザは、前記第1ガス供給管に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記第2イオナイザは、前記第2気流発生手段の内部に配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記第2イオナイザは、前記装置開口と前記第2気流発生手段との間の前記第2気流中または前記第2気流の側部に配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記第2気流発生手段に清浄化ガスを供給する第2ガス供給管を有し、
前記第2イオナイザは、前記第2ガス供給管に配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載のロードポート装置。 - 前記第1気流発生手段と前記第2気流発生手段に清浄化ガスを供給する共通ガス供給管を有し、
前記イオン発生手段は、前記共通ガス供給管に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記イオン発生手段は、前記第2気流発生手段の内部に配置されており、
前記イオン発生手段によってイオンを供給された前記第2気流の少なくとも一部が前記第1気流に巻き込まれることで前記第1気流にイオンが供給されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記イオン発生手段は、前記装置開口と前記第2気流発生手段との間の前記第2気流中または前記第2気流の側部に配置されており、
前記イオン発生手段によってイオンを供給された前記第2気流の少なくとも一部が前記第1気流に巻き込まれることで前記第1気流にイオンが供給されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記第2気流発生手段に清浄化ガスを供給する第2ガス供給管を有し、
前記イオン発生手段は、前記第2ガス供給管に配置されており、
前記イオン発生手段によってイオンを供給された前記第2気流の少なくとも一部が前記第1気流に巻き込まれることで前記第1気流にイオンが供給されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記第1気流発生手段は、前記内側面における前記装置開口の両側部に配置されることを特徴とする請求項1~11のいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記第1気流発生手段と前記第2気流発生手段とが一体化された多方向気流発生手段を有することを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記イオン発生手段は、前記多方向気流発生手段の内部に配置されていることを特徴とする請求項13に記載のロードポート装置。
- 前記イオン発生手段は、前記装置開口と前記多方向気流発生手段との間の前記第1気流中または前記第1気流の側部、及び、前記装置開口と前記多方向気流発生手段との間の前記第2気流中または前記第2気流の側部に配置されていることを特徴とする請求項13に記載のロードポート装置。
- 前記多方向気流発生手段に清浄化ガスを供給する第3ガス供給管を有し、
前記イオン発生手段は、前記第3ガス供給管に配置されていることを特徴とする請求項13に記載のロードポート装置。 - ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台に載置された前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対側の内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するドアと、
前記壁部の前記内側面側から前記装置開口及び前記主開口を介して前記容器の内部に導入される清浄化ガスの第1気流を発生させる第1気流発生手段と、
前記壁部の前記内側面側における前記装置開口の上方から前記装置開口の開口面に沿って流下する清浄化ガスの第2気流を発生させる第2気流発生手段と、
前記第1気流を形成する清浄化ガス及び前記第2気流を形成する清浄化ガスにイオンを供給するイオン発生手段とを有し、
前記第1気流発生手段と前記第2気流発生手段とが一体化された多方向気流発生手段を有し、
前記多方向気流発生手段に清浄化ガスを供給する第3ガス供給管を有し、
前記イオン発生手段は、前記第3ガス供給管に配置されていることを特徴とするロードポート装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017216667A JP7069651B2 (ja) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | ロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017216667A JP7069651B2 (ja) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | ロードポート装置 |
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JP2019087694A JP2019087694A (ja) | 2019-06-06 |
JP7069651B2 true JP7069651B2 (ja) | 2022-05-18 |
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ID=66763393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017216667A Active JP7069651B2 (ja) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | ロードポート装置 |
Country Status (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006128153A (ja) | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋開閉システム及び開閉方法 |
JP2010165741A (ja) | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ミニエンバイロメント基板搬送装置、ロードポートおよび搬送容器内基板の除電方法 |
JP2013153036A (ja) | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Tdk Corp | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
JP2016127103A (ja) | 2014-12-26 | 2016-07-11 | Tdk株式会社 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
-
2017
- 2017-11-09 JP JP2017216667A patent/JP7069651B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
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JP2016127103A (ja) | 2014-12-26 | 2016-07-11 | Tdk株式会社 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
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