JP7058615B2 - Plasma generator - Google Patents

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Description

本願は、プラズマ発生装置に使用される高電圧ケーブルのコネクタ及びその周辺を覆うコネクタカバーを備えたプラズマ用電源装置に関するものである。 The present application relates to a power supply device for plasma provided with a connector of a high voltage cable used for a plasma generator and a connector cover covering the connector thereof.

図７は、プラズマ発生装置に使用される高電圧ケーブルの一例を示している。図示例の高電圧ケーブル２００は、その両端にコネクタ２１０とコネクタ２２０とを備えている。一方のコネクタ２１０は、プラズマ発生装置の電源装置の電極に接続するためのものであり、もう一方のコネクタ２２０は、プラズマ発生装置のプラズマヘッドの電極に接続するためのものである。そして、コネクタ２１０とコネクタ２２０との間は、１対のケーブル線２３０により接続されている。 FIG. 7 shows an example of a high voltage cable used in a plasma generator. The high voltage cable 200 of the illustrated example is provided with a connector 210 and a connector 220 at both ends thereof. One connector 210 is for connecting to the electrode of the power supply device of the plasma generator, and the other connector 220 is for connecting to the electrode of the plasma head of the plasma generator. The connector 210 and the connector 220 are connected by a pair of cable lines 230.

高電圧ケーブル２００には高電圧が印加されるため、コネクタ２１０，２２０は、高い絶縁性を確保する必要がある。このため、コネクタ２１０，２２０は、絶縁材料（樹脂やセラミックスなど）を用いて厚く形成する必要があるとともに、非常に長い沿面距離を確保する必要があるので、コネクタサイズは大型化する。 Since a high voltage is applied to the high voltage cable 200, the connectors 210 and 220 need to ensure high insulation. Therefore, the connectors 210 and 220 need to be thickly formed by using an insulating material (resin, ceramics, etc.), and a very long creepage distance must be secured, so that the connector size becomes large.

さらに高電圧ケーブル２００には、高電圧に加えて高周波の電力が供給されるので、高電圧ケーブル２００からは放射エミッションが発生し易い。このため高電圧ケーブル２００では、一対のケーブル線２３０をシールドカバー２４０で覆うことで、放射エミッションの発生を抑制している。 Further, since high-frequency power is supplied to the high-voltage cable 200 in addition to the high voltage, radiation emission is likely to occur from the high-voltage cable 200. Therefore, in the high voltage cable 200, the generation of radiation emission is suppressed by covering the pair of cable wires 230 with the shield cover 240.

シールドカバー２４０は、例えば網目状の金属を織り込んで形成され、その金属をアースするためのアース線２５０を備えている。アース線２５０は、プラズマ発生装置の電源装置に設けられたアース端子に接続される。 The shield cover 240 is formed by weaving, for example, a mesh-like metal, and includes a ground wire 250 for grounding the metal. The ground wire 250 is connected to a ground terminal provided in the power supply device of the plasma generator.

しかし、上記高電圧ケーブル２００では、シールドカバー２４０で高電圧ケーブル２００全体を覆うことはできなかった。これは、コネクタ２１０，２２０とその周辺部分２６０，２７０にまで、１対のケーブル線２３０と同様にシールドカバー２４０で覆うようすると、必要な沿面距離が確保されずに、部分放電の可能性が生じることになるからである。 However, in the high voltage cable 200, the shield cover 240 could not cover the entire high voltage cable 200. If the connectors 210 and 220 and their peripheral parts 260 and 270 are covered with the shield cover 240 in the same way as the pair of cable wires 230, the required creepage distance cannot be secured and there is a possibility of partial discharge. Because it will occur.

このため、コネクタ２１０，２２０とその周辺部分２６０，２７０には、放射エミッションの発生を抑制する対策は施されていなかった。 For this reason, the connectors 210 and 220 and their peripheral portions 260 and 270 have not been provided with measures to suppress the generation of radiation emissions.

そこで、本願は、必要な沿面距離を確保しつつ、放射エミッションの発生をさらに抑制することが可能となるコネクタカバーを備えたプラズマ発生装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present application is to provide a plasma generator provided with a connector cover capable of further suppressing the generation of radiation emissions while ensuring the required creepage distance.

本願は、産業用ロボットのロボットアームに接続されたプラズマヘッドと接続する高電圧ケーブルに設けられたケーブル側コネクタが接続される電源装置側コネクタと、ケーブル側コネクタを覆うコネクタカバーと、を備えた電源装置を有するプラズマ発生装置であって、コネクタカバーは、ケーブル側コネクタと電源装置側コネクタとが接続されたときに、ケーブル側コネクタの、ケーブル側コネクタを電源装置側コネクタに接続する方向の周囲を、上壁平面、２つの横壁平面及び下壁平面によって囲む、金属製の周壁と、周壁と電源装置とを着脱自在に接続するとともに、周壁と電源装置に設けられたアースとを接続する第１接続部材と、を含む、プラズマ発生装置を開示する。 The present application includes a power supply side connector to which a cable side connector provided on a high voltage cable connected to a plasma head connected to a robot arm of an industrial robot is connected, and a connector cover covering the cable side connector . A plasma generator having a power supply , the connector cover is in the direction of connecting the cable side connector to the power supply side connector of the cable side connector when the cable side connector and the power supply side connector are connected. A metal peripheral wall surrounded by an upper wall plane, two horizontal wall planes, and a lower wall plane, and the peripheral wall and the power supply device are detachably connected to each other, and the peripheral wall and the ground provided on the power supply device are connected. Disclosed is a plasma generator including a first connector to be connected.

本開示によれば、ケーブル側コネクタから発生された放射エミッションは、金属製の周壁に吸収されてアースに流れるので、放射エミッションの発生をさらに抑制することが可能となる。 According to the present disclosure, the radiated emissions generated from the cable-side connector are absorbed by the metal peripheral wall and flow to the ground, so that the generation of radiated emissions can be further suppressed.

産業用ロボットに取り付けられたプラズマ発生装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows the schematic structure of the plasma generator attached to the industrial robot. Ｙ方向に垂直な面でプラズマヘッドを切断した断面図である。It is sectional drawing which cut the plasma head in the plane perpendicular to the Y direction. 本願の一実施形態に係るコネクタカバーを取り付けている様子の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the appearance of attaching the connector cover which concerns on one Embodiment of this application. 本願の一実施形態に係るコネクタカバーに含まれるカバーブラケットを取り付けた様子の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the state which attached the cover bracket included in the connector cover which concerns on one Embodiment of this application. 図４のカバーブラケットにシールドカバーを取り付けた様子の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the state which attached the shield cover to the cover bracket of FIG. 図５のシールドカバーを展開した状態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the state in which the shield cover of FIG. 5 is unfolded. プラズマ発生装置に使用される高電圧ケーブルの構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the structure of the high voltage cable used for a plasma generator.

以下、本願の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present application will be described in detail with reference to the drawings.

本願の一実施の形態に係るコネクタカバーは、プラズマ発生装置に含まれる電源装置に取り付けられるものである。このため、本実施形態のコネクタカバーの構成の説明に入る
前に、プラズマ発生装置の概略構成を説明する。 The connector cover according to the embodiment of the present application is attached to a power supply device included in the plasma generator. Therefore, before going into the description of the configuration of the connector cover of the present embodiment, the schematic configuration of the plasma generator will be described.

図１は、プラズマ発生装置を産業用ロボットに取り付けた場合の一例を示している。 FIG. 1 shows an example of a case where a plasma generator is attached to an industrial robot.

図１に示すように、プラズマ発生装置１００は、プラズマヘッド１１０、制御装置１２０、高電圧ケーブル２００及びガス配管１６０等を備えている。プラズマ発生装置１００は、制御装置１２０から高電圧ケーブル２００を介してプラズマヘッド１１０に電力を伝送し、ガス配管１６０を介して処理ガスを供給し、プラズマヘッド１１０からプラズマを照射させる。プラズマヘッド１１０は、産業用ロボット３００のロボットアーム３１０の先端に取り付けられている。高電圧ケーブル２００およびガス配管１６０はロボットアーム３１０に沿って取り付けられている。ロボットアーム３１０は、２つのアーム部３１０ａ，３１０ｂを１方向に連結させた多関節ロボットである。産業用ロボット３００は、ロボットアーム３１０を駆動して、ワーク台４００が支持するワークＷにプラズマを照射する作業を行う。 As shown in FIG. 1, the plasma generator 100 includes a plasma head 110, a control device 120, a high voltage cable 200, a gas pipe 160, and the like. The plasma generator 100 transmits electric power from the control device 120 to the plasma head 110 via the high voltage cable 200, supplies the processing gas through the gas pipe 160, and irradiates the plasma from the plasma head 110. The plasma head 110 is attached to the tip of the robot arm 310 of the industrial robot 300. The high voltage cable 200 and the gas pipe 160 are attached along the robot arm 310. The robot arm 310 is an articulated robot in which two arm portions 310a and 310b are connected in one direction. The industrial robot 300 drives the robot arm 310 to irradiate the work W supported by the work table 400 with plasma.

制御装置１２０は、電源装置１３０を内蔵し、上記高電圧ケーブル２００への電力の供給は、電源装置１３０から行う。また電源装置１３０は、アースされている。なお制御装置１２０には、ガス配管１６０に処理ガスを供給する処理ガス供給装置も内蔵されているが、本願を説明する上で必須のものではないので、図示を省略している。 The control device 120 has a built-in power supply device 130, and power is supplied to the high voltage cable 200 from the power supply device 130. Further, the power supply device 130 is grounded. Although the control device 120 also has a built-in processing gas supply device for supplying the processing gas to the gas pipe 160, it is not essential for explaining the present application, and thus the illustration is omitted.

また本実施形態では、高電圧ケーブル２００として、上記図７に記載のものとほぼ同じものを採用している。このため、符号も図７の高電圧ケーブル２００に付与されたものをそのまま採用し、高電圧ケーブル２００の各部の説明も省略する。 Further, in the present embodiment, the high voltage cable 200 is substantially the same as that shown in FIG. 7. Therefore, the reference numerals given to the high voltage cable 200 of FIG. 7 are adopted as they are, and the description of each part of the high voltage cable 200 will be omitted.

図２に示すように、プラズマヘッド１１０は、プラズマ生成部５２１等を備えている。プラズマ生成部５２１は、制御装置１２０のガス供給部（図示せず）から供給された処理ガスをプラズマ化して、プラズマガスを生成する。 As shown in FIG. 2, the plasma head 110 includes a plasma generation unit 521 and the like. The plasma generation unit 521 converts the processing gas supplied from the gas supply unit (not shown) of the control device 120 into plasma to generate plasma gas.

プラズマ生成部５２１は、ヘッド本体部５３１、一対の電極５３３、ノズル５３５等を含む。ヘッド本体部５３１、ノズル５３５等は、例えば、耐熱性の高いセラミックにより形成されている。ヘッド本体部５３１には、プラズマガスを発生させる反応室５３７が形成されている。一対の電極５３３の各々は、例えば、円柱形状をなしており、その先端部を反応室５３７に突出させた状態で固定されている。以下の説明では、一対の電極５３３を、単に電極５３３と称する場合がある。また、一対の電極５３３が並ぶ方向をＸ方向、円柱形状の電極５３３の軸方向をＺ方向と称して説明する。また、本実施形態では、Ｘ方向、Ｚ方向は互いに直交する方向である。 The plasma generation unit 521 includes a head body unit 531, a pair of electrodes 533, a nozzle 535, and the like. The head body portion 531, the nozzle 535, and the like are made of, for example, ceramic having high heat resistance. A reaction chamber 537 for generating plasma gas is formed in the head main body 531. Each of the pair of electrodes 533 has, for example, a cylindrical shape, and is fixed in a state where the tip portion thereof is projected to the reaction chamber 537. In the following description, the pair of electrodes 533 may be simply referred to as electrodes 533. Further, the direction in which the pair of electrodes 533 are arranged is referred to as the X direction, and the axial direction of the cylindrical electrodes 533 is referred to as the Z direction. Further, in the present embodiment, the X direction and the Z direction are orthogonal to each other.

電極５３３の一部の外周部は、セラミックス等の絶縁体で製造された電極カバー５５３によって覆われている。電極カバー５５３は、略中空筒状をなし、長手方向の両端部に開口を形成されている。電極カバー５５３の内周面と電極５３３の外周面との間の隙間は、ガス通路５５５として機能する。電極カバー５５３の下流側の開口は、反応室５３７に接続されている。電極５３３の下端は、電極カバー５５３の下流側の開口から突出している。 A part of the outer peripheral portion of the electrode 533 is covered with an electrode cover 553 made of an insulator such as ceramics. The electrode cover 553 has a substantially hollow cylindrical shape, and openings are formed at both ends in the longitudinal direction. The gap between the inner peripheral surface of the electrode cover 553 and the outer peripheral surface of the electrode 533 functions as a gas passage 555. The opening on the downstream side of the electrode cover 553 is connected to the reaction chamber 537. The lower end of the electrode 533 projects from the opening on the downstream side of the electrode cover 553.

また、ヘッド本体部５３１の内部には、反応ガス流路５６１と、一対のキャリアガス流路５６３とが形成されている。反応ガス流路５６１は、ヘッド本体部５３１の略中央部に設けられ、ガス配管１６０（図１参照）を介してガス供給部と接続され、ガス供給部から供給される反応ガスを反応室５３７へ流入させる。また、一対のキャリアガス流路５６３は、Ｘ方向において反応ガス流路５６１を間に挟んだ位置に配置されている。一対のキャリアガス流路５６３の各々は、ガス配管１６０（図１参照）を介してガス供給部と接続さ
れ、ガス供給部からキャリアガスが供給される。キャリアガス流路５６３は、ガス通路５５５を介してキャリアガスを反応室５３７へ流入させる。 Further, a reaction gas flow path 561 and a pair of carrier gas flow paths 563 are formed inside the head main body portion 531. The reaction gas flow path 561 is provided in a substantially central portion of the head main body portion 531 and is connected to the gas supply portion via a gas pipe 160 (see FIG. 1), and the reaction gas supplied from the gas supply portion is supplied to the reaction chamber 537. Inflow to. Further, the pair of carrier gas flow paths 563 are arranged at positions sandwiched between the reaction gas flow paths 561 in the X direction. Each of the pair of carrier gas flow paths 563 is connected to the gas supply unit via the gas pipe 160 (see FIG. 1), and the carrier gas is supplied from the gas supply unit. The carrier gas flow path 563 causes the carrier gas to flow into the reaction chamber 537 through the gas passage 555.

反応ガス（種ガス）としては、酸素（Ｏ２）を採用できる。ガス供給部は、例えば、反応ガス流路５６１を介して、酸素と窒素（Ｎ２）との混合気体（例えば、乾燥空気（Ａｉｒ））を、反応室５３７の電極５３３の間に流入させる。以下、この混合気体を、便宜的に反応ガスと呼び、酸素を種ガスと呼ぶ場合がある。キャリアガスとしては、窒素を採用できる。ガス供給部は、ガス通路５５５の各々から、一対の電極５３３の各々を取り巻くようにキャリアガスを流入させる。 Oxygen (O2) can be adopted as the reaction gas (seed gas). The gas supply unit causes, for example, a mixed gas of oxygen and nitrogen (N2) (for example, dry air (Air)) to flow between the electrodes 533 of the reaction chamber 537 via the reaction gas flow path 561. Hereinafter, this mixed gas may be referred to as a reaction gas for convenience, and oxygen may be referred to as a seed gas. Nitrogen can be used as the carrier gas. The gas supply unit causes carrier gas to flow in from each of the gas passages 555 so as to surround each of the pair of electrodes 533.

一対の電極５３３には、制御装置１２０の電源装置１３０から交流の電圧が印加される。電圧を印加することによって、例えば、図２に示すように、反応室５３７内において、一対の電極５３３の下端の間に、擬似アークＡが発生する。この擬似アークＡを反応ガスが通過する際に、反応ガスは、プラズマ化される。従って、一対の電極５３３は、擬似アークＡの放電を発生させ、反応ガスをプラズマ化し、プラズマガスを発生させる。 AC voltage is applied to the pair of electrodes 533 from the power supply device 130 of the control device 120. By applying a voltage, for example, as shown in FIG. 2, a pseudo arc A is generated between the lower ends of the pair of electrodes 533 in the reaction chamber 537. When the reaction gas passes through this pseudo arc A, the reaction gas is turned into plasma. Therefore, the pair of electrodes 533 generates a discharge of the pseudo arc A, turns the reaction gas into plasma, and generates plasma gas.

また、ヘッド本体部５３１における反応室５３７の下流側の部分には、Ｘ方向に間隔を隔てて並び、Ｚ方向に伸びて形成された複数（本実施例においては、６本）の本体側プラズマ通路５７１が形成されている。複数の本体側プラズマ通路５７１の上流側の端部は、反応室５３７に接続されている。 Further, in the downstream portion of the reaction chamber 537 of the head main body 531, a plurality of (six in this embodiment) main body side plasmas formed by arranging them at intervals in the X direction and extending in the Z direction are formed. A passage 571 is formed. The upstream end of the plurality of main body side plasma passages 571 is connected to the reaction chamber 537.

反応室５３７で発生したプラズマガスは、キャリアガスとともに、本体側プラズマ通路５７１及びノズル側プラズマ通路５７７を流れ、ノズル側プラズマ通路５７７の下端の開口５７７Ａから噴出される。 The plasma gas generated in the reaction chamber 537 flows through the main body side plasma passage 571 and the nozzle side plasma passage 577 together with the carrier gas, and is ejected from the opening 577A at the lower end of the nozzle side plasma passage 577.

次に、本実施形態のコネクタカバーについて、図３～図６に基づいて説明する。なお図３～図５において、方向に言及する場合には、各図に示される矢印の方向を用いるものとする。 Next, the connector cover of this embodiment will be described with reference to FIGS. 3 to 6. In FIGS. 3 to 5, when the direction is referred to, the direction of the arrow shown in each figure shall be used.

本実施形態のコネクタカバー１０は、カバーブラケット２０（図４参照）と、カバーブラケット２０に連結されるシールドカバー６０（図５参照）とを備えている。そして、カバーブラケット２０は金属製であり、後述するようにアースされているので、カバーブラケット２０だけでも、高電圧ケーブル２００からの放射エミッションの発生を抑制する一定の効果が得られる。 The connector cover 10 of the present embodiment includes a cover bracket 20 (see FIG. 4) and a shield cover 60 (see FIG. 5) connected to the cover bracket 20. Since the cover bracket 20 is made of metal and is grounded as described later, the cover bracket 20 alone has a certain effect of suppressing the generation of radiation emissions from the high voltage cable 200.

カバーブラケット２０は、金属製の上部ブラケット３０（図４参照）と、金属製の下部ブラケット４０（図３参照）とに分割される。 The cover bracket 20 is divided into a metal upper bracket 30 (see FIG. 4) and a metal lower bracket 40 (see FIG. 3).

下部ブラケット４０は、図３に示すように、左右両端部にそれぞれ、第１取付片４１，４２を備えている。第１取付片４１，４２は、下部ブラケット４０を電源装置１３０の筐体に取り付けるためのものである。第１取付片４１，４２にはそれぞれ、ネジ穴が２つずつ設けられ、金属製のネジ５０をこのネジ穴に通して締めることで、下部ブラケット４０は電源装置１３０に固定される。 As shown in FIG. 3, the lower bracket 40 includes first mounting pieces 41 and 42 at both left and right ends, respectively. The first mounting pieces 41 and 42 are for mounting the lower bracket 40 to the housing of the power supply device 130. Two screw holes are provided in each of the first mounting pieces 41 and 42, and the lower bracket 40 is fixed to the power supply device 130 by passing the metal screws 50 through the screw holes and tightening them.

さらに下部ブラケット４０は、電源装置１３０に取り付けられたときに、電源装置１３０の筐体表面から所定の長さだけ後方に迫り出した下壁４３を備えている。下壁４３の左右両端部はそれぞれ、上方に折れ曲げられ、第２取付片４４，４５が形成される。第２取付片４４，４５は、上部ブラケット３０を取り付けるためのものである。 Further, the lower bracket 40 includes a lower wall 43 that, when attached to the power supply device 130, protrudes rearward by a predetermined length from the housing surface of the power supply device 130. The left and right ends of the lower wall 43 are respectively bent upward to form the second mounting pieces 44 and 45. The second mounting pieces 44 and 45 are for mounting the upper bracket 30.

第２取付片４４，４５にはそれぞれ、ネジ穴４４ａ，４５ａが１つずつ設けられている
。但し図３では、ネジ穴４４ａは、コネクタ２１０に隠れて見えない。 The second mounting pieces 44 and 45 are provided with one screw hole 44a and 45a, respectively. However, in FIG. 3, the screw hole 44a is hidden behind the connector 210 and cannot be seen.

また下部ブラケット４０は、上部ブラケット３０を第２取付片４４，４５に取り付けるときに、上部ブラケット３０を内側から支持する支持部４６，４７を備えている。 Further, the lower bracket 40 includes support portions 46, 47 that support the upper bracket 30 from the inside when the upper bracket 30 is attached to the second mounting pieces 44, 45.

一方、上部ブラケット３０は、図４に示すように、下部ブラケット４０の下壁４３と略同一形状の上壁３１と、上壁３１の左右両端部からそれぞれ下方に折れ曲げて形成された横壁３２，３３とを備えている。横壁３２，３３の各下端部には、ネジ穴が１つずつ形成されている。 On the other hand, as shown in FIG. 4, the upper bracket 30 has an upper wall 31 having substantially the same shape as the lower wall 43 of the lower bracket 40, and a side wall 32 formed by bending downward from both left and right ends of the upper wall 31. , 33 and. One screw hole is formed at each lower end of each of the side walls 32 and 33.

下部ブラケット４０が、図３に示すように電源装置１３０に取り付けられた状態で、カバーブラケット２０の組み立てを行う場合、ユーザは、下部ブラケット４０に上から上部ブラケット３０を重ね、各横壁３２，３３に形成された上記ネジ穴の位置と、下部ブラケット４０の第２取付片４４，４５に形成された上記ネジ穴４５ａの位置とを合わせる。そしてユーザは、これらネジ穴に金属製のネジ５２を通して締めると、上部ブラケット３０が下部ブラケット４０に固定され、カバーブラケット２０の組み立てが完了する。 When assembling the cover bracket 20 with the lower bracket 40 attached to the power supply device 130 as shown in FIG. 3, the user stacks the upper bracket 30 on the lower bracket 40 from above, and each side wall 32, 33. The position of the screw hole formed in the above is aligned with the position of the screw hole 45a formed in the second mounting pieces 44 and 45 of the lower bracket 40. Then, when the user passes the metal screws 52 through these screw holes and tightens them, the upper bracket 30 is fixed to the lower bracket 40, and the assembly of the cover bracket 20 is completed.

このように、カバーブラケット２０は、金属製の上部ブラケット３０と、金属製の下部ブラケット４０とから構成され、両ブラケット３０，４０の取り付けは、金属製のネジ５２によって行われる。そして下部ブラケット４０と電源装置１３０の筐体との取り付けも、金属製のネジ５０によって行われる。さらに電源装置１３０の筐体は金属製であり、電源装置１３０はアースされている。したがって、カバーブラケット２０は、電源装置１３０のアースと接続されていることになる。 As described above, the cover bracket 20 is composed of a metal upper bracket 30 and a metal lower bracket 40, and both brackets 30 and 40 are attached by metal screws 52. The lower bracket 40 and the housing of the power supply device 130 are also attached by the metal screws 50. Further, the housing of the power supply device 130 is made of metal, and the power supply device 130 is grounded. Therefore, the cover bracket 20 is connected to the ground of the power supply device 130.

なお図４において、上部ブラケット３０の上壁３１の前端部の２箇所には、ネジ穴３０ａが形成されている。また、下部ブラケット４０の下壁４３の前端部の２箇所にも、同様に、ネジ穴４０ａが形成されている。但し下壁４３のネジ穴４０ａは、図３でもコネクタ２１０に隠れて見えない。これら４つのネジ穴３０ａ，４０ａは、後述するように、シールドカバー６０を取り付けるために形成されたものである。 In FIG. 4, screw holes 30a are formed at two locations at the front end of the upper wall 31 of the upper bracket 30. Similarly, screw holes 40a are also formed at two locations on the front end of the lower wall 43 of the lower bracket 40. However, the screw hole 40a of the lower wall 43 is hidden behind the connector 210 and cannot be seen even in FIG. These four screw holes 30a and 40a are formed for attaching the shield cover 60, as will be described later.

図６は、シールドカバー６０を展開した状態を示している。シールドカバー６０は、このように展開可能であり、展開すると、矩形状の板状体になる。シールドカバー６０には、電磁波をシールドするために、例えば、網目状の金属が織り込まれていたり、網目状の金属や金属の薄板がサンドイッチされていたりする。そしてシールドカバー６０は、可撓性を有するように形成される。 FIG. 6 shows a state in which the shield cover 60 is unfolded. The shield cover 60 can be deployed in this way, and when unfolded, it becomes a rectangular plate-like body. In the shield cover 60, for example, a mesh-like metal is woven, or a mesh-like metal or a thin plate of metal is sandwiched in order to shield electromagnetic waves. The shield cover 60 is formed to have flexibility.

シールドカバー６０の長手方向の両端には、スナップボタン６２が複数個、本実施形態では、例えば７個取り付けられている。スナップボタン６２は、凸部６２ａと凹部６２ｂを一組として構成される留め具である。 A plurality of snap buttons 62 are attached to both ends of the shield cover 60 in the longitudinal direction, for example, seven snap buttons 62 in the present embodiment. The snap button 62 is a fastener composed of a convex portion 62a and a concave portion 62b as a set.

さらにシールドカバー６０の短手方向の一端には、ネジ穴６０ａが４箇所に形成されている。このネジ穴６０ａは、上部ブラケット３０の上壁３１及び下部ブラケット４０の下壁４３に形成されたネジ穴３０ａ，４０ａとともに、シールドカバー６０をカバーブラケット２０に固定させるためのものである。 Further, screw holes 60a are formed at four locations at one end of the shield cover 60 in the lateral direction. The screw holes 60a are for fixing the shield cover 60 to the cover bracket 20 together with the screw holes 30a and 40a formed in the upper wall 31 of the upper bracket 30 and the lower wall 43 of the lower bracket 40.

今図４に示すように、高電圧ケーブル２００のコネクタ２１０が電源装置１３０のコネクタ（図示せず）に接続された状態で、カバーブラケット２０が電源装置１３０に固定されているとする。ユーザは、図６に示すように展開状態のシールドカバー６０で高電圧ケーブル２００を囲みながら、一点鎖線に沿って山折りにし、各スナップボタン６２の凸部６２ａと凹部６２ｂを留めて行く。これにより、シールドカバー６０は、筒状（四角柱状
）となり、その中空内を高電圧ケーブル２００が通った状態となっている。そしてユーザは、シールドカバー６０に形成された上記４つのネジ穴６０ａのうち隣接する２つのネジ穴６０ａの位置を、カバーブラケット２０の上部ブラケット３０の上壁３１に設けられた２つのネジ穴３０ａの位置に合わせた状態で、２本の金属製のネジ５４を通して締める。同様にしてユーザは、シールドカバー６０に形成された上記４つのネジ穴６０ａのうち、残りの２つのネジ穴６０ａの位置を、カバーブラケット２０の下部ブラケット４０の下壁４３に設けられた２つのネジ穴４０ａの位置に合わせた状態で、２本の金属製のネジ５４を通して締める。その結果、図５に示すようにシールドカバー６０がカバーブラケット２０に固定される。 As shown in FIG. 4, it is assumed that the cover bracket 20 is fixed to the power supply device 130 in a state where the connector 210 of the high voltage cable 200 is connected to the connector (not shown) of the power supply device 130. As shown in FIG. 6, the user surrounds the high-voltage cable 200 with the shield cover 60 in the deployed state, folds it in a mountain along the alternate long and short dash line, and fastens the convex portion 62a and the concave portion 62b of each snap button 62. As a result, the shield cover 60 has a tubular shape (square columnar shape), and the high voltage cable 200 passes through the hollow portion thereof. Then, the user sets the positions of the two adjacent screw holes 60a among the four screw holes 60a formed in the shield cover 60 to the two screw holes 30a provided on the upper wall 31 of the upper bracket 30 of the cover bracket 20. Tighten through two metal screws 54 in the state of being aligned with the position of. Similarly, the user can set the positions of the remaining two screw holes 60a among the four screw holes 60a formed in the shield cover 60 on the lower wall 43 of the lower bracket 40 of the cover bracket 20. Tighten through two metal screws 54 while aligning with the positions of the screw holes 40a. As a result, the shield cover 60 is fixed to the cover bracket 20 as shown in FIG.

なおカバーブラケット２０は、上述のように電源装置１３０に設けられたアースと接続されているので、アースされている。シールドカバー６０も、ネジ穴６０ａ及び金属製のネジ５４を介してカバーブラケット２０と接続されているので、結果的にアースされることになる。つまり、シールドカバー６０内の金属は、ネジ穴６０ａを介して金属製のネジ５４に接触し、ネジ５４は、カバーブラケット２０のネジ穴３０ａを介して金属製のカバーブラケット２０に接触する。そしてカバーブラケット２０は、電源装置１３０のアースと接続されている。これにより、シールドカバー６０内の金属が電源装置１３０のアースと接続されることになって、シールドカバー６０はアースされることになる。 Since the cover bracket 20 is connected to the ground provided in the power supply device 130 as described above, the cover bracket 20 is grounded. Since the shield cover 60 is also connected to the cover bracket 20 via the screw holes 60a and the metal screws 54, it will be grounded as a result. That is, the metal in the shield cover 60 contacts the metal screw 54 through the screw hole 60a, and the screw 54 contacts the metal cover bracket 20 through the screw hole 30a of the cover bracket 20. The cover bracket 20 is connected to the ground of the power supply device 130. As a result, the metal in the shield cover 60 is connected to the ground of the power supply device 130, and the shield cover 60 is grounded.

カバーブラケット２０にシールドカバー６０が取り付けられていない状態では、図４に示すように、周辺部分２６０はシールドされていないので、周辺部分２６０から放射エミッションが発生し、外部に漏れ出す可能性がある。これに対して、カバーブラケット２０にシールドカバー６０が取り付けられている状態では、図５に示すように、周辺部分２６０はシールドカバー６０により完全に覆われている。このため、周辺部分２６０から放射エミッションが発生したとしても、その放射エミッションは、シールドカバー６０に吸収され、アースに流れる。したがって、放射エミッションは、シールドカバー６０の外に漏れ出すことが抑制される。 When the shield cover 60 is not attached to the cover bracket 20, as shown in FIG. 4, since the peripheral portion 260 is not shielded, radiation emission may be generated from the peripheral portion 260 and leak to the outside. .. On the other hand, when the shield cover 60 is attached to the cover bracket 20, the peripheral portion 260 is completely covered by the shield cover 60 as shown in FIG. Therefore, even if radiated emissions are generated from the peripheral portion 260, the radiated emissions are absorbed by the shield cover 60 and flow to the ground. Therefore, the radiated emissions are suppressed from leaking out of the shield cover 60.

以上説明したように、本実施形態の電源装置１３０は、プラズマヘッド１１０と接続する高電圧ケーブル２００に設けられたコネクタ２１０が電源装置１３０に接続されたときに、コネクタ２１０を覆うコネクタカバー１０を備えている。 As described above, the power supply device 130 of the present embodiment has a connector cover 10 that covers the connector 210 when the connector 210 provided on the high voltage cable 200 connected to the plasma head 110 is connected to the power supply device 130. I have.

そして、コネクタカバー１０は、コネクタ２１０と電源装置１３０とが接続されたときに、電源装置１３０の周囲を囲む、金属製のカバーブラケット２０と、カバーブラケット２０と電源装置１３０とを着脱自在に接続するとともに、カバーブラケット２０と電源装置１３０に設けられたアースとを接続する金属製のネジ５０と、を含んでいる。 When the connector 210 and the power supply device 130 are connected, the connector cover 10 detachably connects the metal cover bracket 20 surrounding the power supply device 130, and the cover bracket 20 and the power supply device 130. It also includes a metal screw 50 that connects the cover bracket 20 to the ground provided in the power supply 130.

このように、本実施形態では、コネクタ２１０から発生された放射エミッションは、金属製のコネクタカバー１０に吸収されてアースに流れるので、放射エミッションの発生をさらに抑制することが可能となる。 As described above, in the present embodiment, the radiated emissions generated from the connector 210 are absorbed by the metal connector cover 10 and flow to the ground, so that the generation of radiated emissions can be further suppressed.

ちなみに、本実施形態において、カバーブラケット２０は、「周壁」の一例である。金属製のネジ５０は、「第１接続部材」の一例である。 Incidentally, in the present embodiment, the cover bracket 20 is an example of the "peripheral wall". The metal screw 50 is an example of the “first connection member”.

また、電源装置１３０の筐体は金属製であって、アースされている。 Further, the housing of the power supply device 130 is made of metal and is grounded.

このように、電源装置１３０の筐体は金属製であって、アースされているので、アース線などの特別な配線をすることなく、カバーブラケット２０を電源装置１３０の筐体に取り付けるだけで、カバーブラケット２０をアースすることができる。 As described above, since the housing of the power supply device 130 is made of metal and is grounded, the cover bracket 20 can be simply attached to the housing of the power supply device 130 without any special wiring such as a ground wire. The cover bracket 20 can be grounded.

カバーブラケット２０は、上下方向に２分割され、下部ブラケット４０は、電源装置１３０に着脱自在に設置され、上部ブラケット３０は、下部ブラケット４０に着脱自在に連結される。 The cover bracket 20 is divided into two in the vertical direction, the lower bracket 40 is detachably installed on the power supply device 130, and the upper bracket 30 is detachably connected to the lower bracket 40.

これにより、コネクタ２１０を電源装置１３０に接続した状態で、カバーブラケット２０を電源装置１３０に対して容易に着脱させることができる。 As a result, the cover bracket 20 can be easily attached to and detached from the power supply device 130 while the connector 210 is connected to the power supply device 130.

ちなみに、上下方向は、「垂直方向」の一例である。 By the way, the vertical direction is an example of the "vertical direction".

コネクタカバー１０はさらに、電磁波をシールドする導電材を含み、その長手側の両端部を連結するスナップボタン６２を備えた可撓性を有するシールドカバー６０と、スナップボタン６２により長手側の両端部を連結して形成した筒状体により、コネクタ２１０と高電圧ケーブル２００の電磁波シールドが施されているシールドカバー２４０との間を囲んだ状態で、筒状体の一方の開口部をカバーブラケット２０の電源装置１３０と反対側の開口部に着脱自在に接続するとともに、導電材と電気的に接続する金属製のネジ５４と、を備えている。 The connector cover 10 further includes a conductive material that shields electromagnetic waves, and has a flexible shield cover 60 having snap buttons 62 for connecting both ends on the longitudinal side thereof, and snap buttons 62 for both ends on the longitudinal side. One opening of the tubular body is covered with the cover bracket 20 in a state where the connector 210 and the shield cover 240 provided with the electromagnetic wave shield of the high voltage cable 200 are surrounded by the tubular body formed by connecting them. It is detachably connected to the opening on the opposite side of the power supply device 130, and is provided with a metal screw 54 that is electrically connected to the conductive material.

これにより、コネクタ２１０と高電圧ケーブル２００の電磁波シールドが施されているシールドカバー２４０との間がシールドカバー２４０の筒状体により囲まれ、シールドカバー２４０は金属製のネジ５４によりアースされるので、コネクタ２１０と高電圧ケーブル２００の電磁波シールドが施されているシールドカバー２４０との間から放射エミッションが発生したとしても、その放射エミッションは、シールドカバー６０に吸収され、アースに流れる。したがって、放射エミッションは、シールドカバー６０の外に漏れ出すことが抑制される。 As a result, the connector 210 and the shield cover 240 provided with the electromagnetic wave shield of the high voltage cable 200 are surrounded by the tubular body of the shield cover 240, and the shield cover 240 is grounded by the metal screw 54. Even if radiation emission is generated between the connector 210 and the shield cover 240 provided with the electromagnetic wave shield of the high voltage cable 200, the radiation emission is absorbed by the shield cover 60 and flows to the ground. Therefore, the radiated emissions are suppressed from leaking out of the shield cover 60.

ちなみに、スナップボタン６２は、「連結部材」の一例である。シールドカバー２４０は、「板状体」の一例である。金属製のネジ５４は、「第２接続部材」の一例である。 By the way, the snap button 62 is an example of a "connecting member". The shield cover 240 is an example of a "plate-like body". The metal screw 54 is an example of a "second connecting member".

なお、本願は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present application is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

（１）上記実施形態では、シールドカバー６０を筒状に連結するときの部材としては、スナップボタン６２を採用したが、これに限らず、ファスナ等の他の部材を用いてもよい。 (1) In the above embodiment, the snap button 62 is adopted as the member for connecting the shield cover 60 in a cylindrical shape, but the snap button 62 is not limited to this, and other members such as fasteners may be used.

（２）上記実施形態では、各部材の取り付けは金属製のネジを用いるようにしたが、これに限らず、金属製のボルトとナットであってもよい。 (2) In the above embodiment, metal screws are used to attach each member, but the present invention is not limited to this, and metal bolts and nuts may be used.

（３）上記実施形態では、電源装置１３０にカバーブラケット２０を取り付けるだけでカバーブラケット２０が電源装置１３０のアースに接続されるようにしたが、これに限らず、カバーブラケット２０にアース線を設けるようにし、このアース線を電源装置１３０のアースに接続することで、カバーブラケット２０がアースされるようにしてもよい。また上記実施形態では、カバーブラケット２０にシールドカバー６０を取り付けるだけで、シールドカバー６０がカバーブラケット２０を介して電源装置１３０のアースに接続されるようにしたが、これに限らず、シールドカバー６０にアース線を設けるようにし、このアース線を電源装置１３０のアースに接続することで、シールドカバー６０がアースされるようにしてもよい。 (3) In the above embodiment, the cover bracket 20 is connected to the ground of the power supply device 130 only by attaching the cover bracket 20 to the power supply device 130, but the present invention is not limited to this, and a ground wire is provided on the cover bracket 20. By connecting this ground wire to the ground of the power supply device 130, the cover bracket 20 may be grounded. Further, in the above embodiment, the shield cover 60 is connected to the ground of the power supply device 130 via the cover bracket 20 only by attaching the shield cover 60 to the cover bracket 20, but the shield cover 60 is not limited to this. The shield cover 60 may be grounded by providing a ground wire in the ground and connecting the ground wire to the ground of the power supply device 130.

（４）上記実施形態では、カバーブラケット２０は、上下方向に２分割されるようにしたが、分割方向は上下方向に限らず、左右方向等、他の方向であってもよい。 (4) In the above embodiment, the cover bracket 20 is divided into two in the vertical direction, but the division direction is not limited to the vertical direction and may be in other directions such as the left-right direction.

１０ コネクタカバー
２０ カバーブラケット
３０ 上部ブラケット
４０ 下部ブラケット
４１，４２ 第１取付片
４４，４５ 第２取付片
５０，５２，５４ 金属製のネジ
３０ａ，４５ａ ネジ穴
６０ シールドカバー
６２ スナップボタン
１００ プラズマ発生装置
１３０ 電源装置
２００ 高電圧ケーブル
２１０，２２０ コネクタ 10 Connector cover 20 Cover bracket 30 Upper bracket 40 Lower bracket 41, 42 First mounting piece 44,45 Second mounting piece 50, 52, 54 Metal screws 30a, 45a Screw holes 60 Shield cover 62 Snap button 100 Plasma generator 130 Power supply 200 High voltage cable 210, 220 connector

Claims (7)

産業用ロボットのロボットアームに接続されたプラズマヘッドと接続する高電圧ケーブルに設けられたケーブル側コネクタが接続される電源装置側コネクタと、
前記ケーブル側コネクタを覆うコネクタカバーと、
を備えた電源装置を有するプラズマ発生装置であって、
前記コネクタカバーは、
前記ケーブル側コネクタと前記電源装置側コネクタとが接続されたときに、前記ケーブル側コネクタの、前記ケーブル側コネクタを前記電源装置側コネクタに接続する方向の周囲を、上壁平面、２つの横壁平面及び下壁平面によって囲む、金属製の周壁と、
前記周壁と前記電源装置とを着脱自在に接続するとともに、前記周壁と前記電源装置に設けられたアースとを接続する第１接続部材と、
を含む、
プラズマ発生装置。 The power supply side connector to which the cable side connector provided on the high voltage cable connected to the plasma head connected to the robot arm of the industrial robot is connected, and
A connector cover that covers the cable-side connector and
A plasma generator having a power supply equipped with
The connector cover is
When the cable-side connector and the power supply-side connector are connected, the circumference of the cable -side connector in the direction of connecting the cable -side connector to the power supply-side connector is formed on an upper wall plane and two horizontal wall planes. And a metal peripheral wall surrounded by a flat surface of the lower wall,
A first connecting member that detachably connects the peripheral wall and the power supply device and connects the peripheral wall and the ground provided in the power supply device.
including,
Plasma generator . 前記電源装置の筐体は金属製であって、アースされており、
前記第１接続部材は、金属製のネジである、
請求項１に記載のプラズマ発生装置。 The housing of the power supply is made of metal and is grounded.
The first connecting member is a metal screw.
The plasma generator according to claim 1. 前記周壁は、前記ケーブル側コネクタを前記電源装置側コネクタに接続する方向に対して垂直方向に２分割され、
前記２分割された周壁の一方は、前記電源装置に着脱自在に設置され、
前記２分割された周壁の他方は、前記一方の周壁に着脱自在に連結される、
請求項１又は２に記載のプラズマ発生装置。 The peripheral wall is divided into two in a direction perpendicular to the direction in which the cable-side connector is connected to the power supply-side connector.
One of the two divided peripheral walls is detachably installed in the power supply device.
The other of the two divided peripheral walls is detachably connected to the one peripheral wall.
The plasma generator according to claim 1 or 2. 電磁波をシールドする導電材を含み、その長手側の両端部を連結する連結部材を備えた可撓性を有する板状体と、
前記連結部材により前記長手側の両端部を連結して形成した筒状体により、前記ケーブ
ル側コネクタと前記高電圧ケーブルの電磁波シールドが施されているケーブル部との間を囲んだ状態で、前記筒状体の一方の開口部を前記周壁の前記電源装置と反対側の開口部に着脱自在に接続するとともに、前記導電材と前記上壁平面及び前記下壁平面に形成された穴を介して電気的に接続する第２接続部材と、
をさらに備えた請求項３に記載のプラズマ発生装置。 A flexible plate-like body containing a conductive material that shields electromagnetic waves and having a connecting member that connects both ends on the longitudinal side thereof.
The cable portion formed by connecting both ends on the longitudinal side by the connecting member surrounds the cable portion between the cable side connector and the electromagnetic shield of the high voltage cable. One opening of the tubular body is detachably connected to the opening on the peripheral wall opposite to the power supply device, and the conductive material and the holes formed in the upper wall plane and the lower wall plane are formed. With the second connecting member that is electrically connected via
The plasma generator according to claim 3 , further comprising. 前記連結部材は、ファスナ及びボタンのいずれか一方を含む、請求項４に記載のプラズマ発生装置。 The plasma generator according to claim 4, wherein the connecting member includes either a fastener or a button. 前記第２接続部材は、金属製のネジであり、前記ネジを介して前記板状体をアースする、請求項４又は５に記載のプラズマ発生装置。 The plasma generator according to claim 4 or 5, wherein the second connecting member is a metal screw, and the plate-shaped body is grounded via the screw. 産業用ロボットのロボットアームに接続されたプラズマヘッドと接続する高電圧ケーブルに設けられたケーブル側コネクタが接続される電源装置側コネクタと、 The power supply side connector to which the cable side connector provided on the high voltage cable connected to the plasma head connected to the robot arm of the industrial robot is connected, and
前記ケーブル側コネクタを覆うコネクタカバーと、 A connector cover that covers the cable-side connector and
を備えた電源装置を有するプラズマ発生装置であって、A plasma generator having a power supply equipped with
前記コネクタカバーは、 The connector cover is
前記ケーブル側コネクタと前記電源装置側コネクタとが接続されたときに、前記ケーブル側コネクタの周囲を囲む、金属製の周壁と、 When the cable-side connector and the power supply-side connector are connected, a metal peripheral wall that surrounds the cable-side connector and a metal peripheral wall.
前記周壁と前記電源装置とを着脱自在に接続するとともに、前記周壁と前記電源装置に設けられたアースとを接続する第１接続部材と、 A first connecting member that detachably connects the peripheral wall and the power supply device and connects the peripheral wall and the ground provided in the power supply device.
を含む、including,
プラズマ発生装置。Plasma generator.
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