JP7057711B2 - Droplet inspection method and droplet inspection equipment - Google Patents

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この発明は、液滴ヘッドの吐出口から吐出される液滴の状態を検査するための液滴検査方法および液滴検査装置に関する。 The present invention relates to a droplet inspection method and a droplet inspection apparatus for inspecting the state of droplets ejected from a ejection port of a droplet head.

半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の上面に噴射ノズルからの処理液の液滴を衝突させて、上面を処理することがある（下記特許文献１参照）。このような噴射ノズル（液滴ヘッド）は、多数の吐出口を有している。
下記特許文献２には、液滴ヘッドの複数の吐出口から吐出される微小な液滴の吐出状 態を検査する液滴検査装置が開示されている。この液滴検査装置では、吐出口から吐出される液滴を撮像し、その撮像画像を、予め記憶している参照画像と比較することにより、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測し、液滴ヘッドの良否を判定している。 In the manufacturing process of a semiconductor device or a liquid crystal display device, a droplet of a treatment liquid from an injection nozzle may be made to collide with the upper surface of a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display panel to process the upper surface (the following patent). See Document 1). Such an injection nozzle (droplet head) has a large number of ejection ports.
Patent Document 2 below discloses a droplet inspection device that inspects the ejection state of minute droplets ejected from a plurality of ejection ports of a droplet head. In this droplet inspection device, the state of the droplets ejected from each ejection port is measured by imaging the droplets ejected from the ejection port and comparing the captured image with the reference image stored in advance. However, the quality of the droplet head is judged.

特開２０１２－２１６７７７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-216777 特開２０１５－６２８７６号公報JP-A-2015-62876

このような液滴検査は、通常、オペレータの手作業によって行われる。具体的には、液滴検査の際には、オペレータは、検査対象の液滴ヘッドを液滴検査装置に取り付ける。そして、オペレータは、液滴ヘッドに関連して設けられたジョグダイヤル等の操作により液滴ヘッドを少しずつ移動させ、計測対象の吐出口から吐出される液滴が所定の計測位置を通るように位置合わせを行う。そして、その計測対象の吐出口から液滴を吐出させながら、計測位置を通過する液滴を撮像装置によって撮像する。この撮像結果に基づいて、オペレータが液滴の流速と液滴の径とを記録する。 Such a droplet inspection is usually performed manually by the operator. Specifically, at the time of droplet inspection, the operator attaches the droplet head to be inspected to the droplet inspection device. Then, the operator moves the droplet head little by little by operating a jog dial or the like provided in connection with the droplet head, and positions the droplets ejected from the ejection port to be measured so as to pass through a predetermined measurement position. Make a match. Then, while ejecting the droplet from the ejection port of the measurement target, the droplet passing through the measurement position is imaged by the image pickup device. Based on this imaging result, the operator records the flow velocity of the droplet and the diameter of the droplet.

１つの吐出口に対する計測が終了すると、オペレータは、ジョグダイヤル等の操作により液滴ヘッドを少しずつ移動させ、次の計測対象の吐出口の計測位置への位置合わせを行う。そして、その吐出口から吐出される液滴の状態を計測する。１つの液滴ヘッドの検査に関し、吐出口の個数（数十～百数十）分だけ、この一連の作業が必要になる。すなわち、手作業による液滴検査は、非常に手間のかかる作業である。 When the measurement for one ejection port is completed, the operator moves the droplet head little by little by operating the jog dial or the like to align the droplet head with the measurement position of the next ejection port to be measured. Then, the state of the droplets ejected from the ejection port is measured. Regarding the inspection of one droplet head, this series of operations is required for the number of ejection ports (tens to hundreds of tens). That is, manual droplet inspection is a very laborious task.

また、計測位置を、各吐出口に対応した位置に調整する作業には、非常に長時間を要する。そのため、液滴の検査には、非常に長い時間を要していた。
そこで、この発明の目的の一つは、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる液滴検査装置を提供することである。
また、この発明の他の目的は、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる液滴検査方法を提供することである。 Further, it takes a very long time to adjust the measurement position to the position corresponding to each discharge port. Therefore, it took a very long time to inspect the droplets.
Therefore, one of the objects of the present invention is to provide a droplet inspection apparatus capable of reducing the operator's work in the droplet inspection.
Another object of the present invention is to provide a droplet inspection method capable of inspecting the state of droplets ejected from each ejection port in a short time.

この発明の一実施形態は、複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを含み、前記計測位置登録工程が、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに含む、液滴検査方法を提供する。 One embodiment of the present invention is a method of inspecting the state of liquid droplets ejected from a droplet head having a plurality of ejection ports by using a droplet inspection apparatus having a measuring unit. A measurement position where the liquid droplets ejected from the ejection port of the above can be measured by the measurement unit, and the droplets ejected from each ejection port pass through the measurement position or a position in the vicinity of the measurement position. The measurement position registration step of registering the liquid in association with each discharge port, and the measurement of the droplet discharged from each discharge port while supplying the liquid to the droplet head at the measurement position corresponding to the discharge port. A droplet state measurement step of measuring by the unit, a droplet state determination step of determining the state of the liquid droplets discharged from each discharge port based on the measurement results of the droplet state measurement step, and the plurality of discharge ports. Among them, the reception step of accepting the registration of the measurement position corresponding to at least two of the ejection ports is included, and the measurement position registration step includes the contents accepted in the reception step and the plurality of ejections in the droplet head. Provided is a droplet inspection method further including a measurement position calculation step of calculating the measurement position corresponding to each discharge port based on the positional relationship between the outlets.

この方法によれば、少なくとも２つの吐出口に対応してそれぞれ登録された計測位置と、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する計測位置が算出される。そのため、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、他の全ての吐出口に対応する計測位置を求めることが可能である。すなわち、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、全ての吐出口に関し、当該吐出口に対応する計測位置で液滴の状態を計測し、かつその液滴の状態を判定できる。これにより、各吐出口に対応する計測位置の登録に要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる。 According to this method, the measurement position corresponding to each discharge port is calculated based on the measurement position registered corresponding to at least two discharge ports and the positional relationship between the plurality of discharge ports in the droplet head. Will be done. Therefore, it is possible to obtain the measurement positions corresponding to all the other discharge ports only by registering the measurement positions corresponding to at least two discharge ports. That is, by simply registering the measurement positions corresponding to at least two discharge ports, the state of the droplet can be measured at the measurement positions corresponding to the discharge ports for all the discharge ports, and the state of the droplet can be determined. .. As a result, the time required for registering the measurement position corresponding to each discharge port is unnecessary, and therefore, the state of the droplets discharged from each discharge port can be inspected in a short time.

この発明の一実施形態では、前記計測位置登録工程が、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を個別に調整する計測位置調整工程をさらに含む。前記計測位置調整工程が、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより調整する工程を含んでいてもよい。
この方法によれば、算出された吐出口に対応する計測位置を、吐出口から実際に吐出される液滴の液滴通過位置と対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッドには個体差があるので、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置と液滴通過位置とが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッドの個体差によらずに、各吐出口に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。 In one embodiment of the present invention, the measurement position registration step further includes a measurement position adjustment step of individually adjusting the measurement position calculated by the measurement position calculation step. The measurement position adjusting step adjusts by comparing with the droplet passing position of the droplet discharged from the discharge port when the liquid is supplied to the discharge port and the droplet is discharged from the discharge port. It may include a step.
According to this method, the measured measurement position corresponding to the calculated ejection port can be individually adjusted while being compared with the droplet passing position of the droplet actually ejected from the ejection port. Since there are individual differences in the droplet head, if the measurement position is registered only based on the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head, it is possible that the measurement position and the droplet passage position are significantly deviated from each other. By making such an adjustment, the measurement position corresponding to each ejection port can be registered with higher accuracy regardless of the individual difference of the droplet head.

この発明の一実施形態では、前記計測位置登録工程が、前記計測位置と前記液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに含む。
この方法によれば、現在の計測位置と液滴通過位置との距離に関する情報が報知される。そのため、現在の計測位置と液滴通過位置との距離を確認しながら、計測位置の調整（計測位置調整工程）を行うことができる。これにより、正確な計測位置を、比較的容易に登録できる。 In one embodiment of the present invention, the measurement position registration step further includes a distance notification step of notifying information regarding the distance between the measurement position and the droplet passing position.
According to this method, information regarding the distance between the current measurement position and the droplet passing position is notified. Therefore, the measurement position can be adjusted (measurement position adjustment step) while confirming the distance between the current measurement position and the droplet passing position. As a result, the accurate measurement position can be registered relatively easily.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに含む。
この方法によれば、事前に登録された位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置が求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッドに固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置を算出できる。そのため、他の吐出口の計測位置の算出を、より正確に行うことができる。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method further includes a pre-registration step of pre-registering the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head.
According to this method, a measurement position corresponding to another discharge port is obtained based on the positional relationship registered in advance. That is, the measurement position corresponding to the other ejection port can be calculated based on the accurate positional relationship peculiar to the droplet head to be inspected. Therefore, the measurement position of another discharge port can be calculated more accurately.

この発明の一実施形態では、前記液滴状態計測工程が、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む。
この方法によれば、互いに異なる流量の液体が液滴ヘッドに供給された場合の各々において、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。液滴ヘッドの使用状態では、液滴ヘッドに種々の流量の液体が供給されることがあるが、その個々の流量に対応する液滴の状態を計測および判定できる。 In one embodiment of the present invention, the droplet state measuring step measures the state of droplets discharged from each discharge port when liquids having a plurality of different flow rates are supplied to the droplet head. Including the process of
According to this method, the state of the droplets discharged from each discharge port can be measured in each case where liquids having different flow rates are supplied to the droplet head. In the usage state of the droplet head, liquids of various flow rates may be supplied to the droplet head, and the state of the droplet corresponding to each flow rate can be measured and determined.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに含む。そして、前記液滴状態計測工程が、前記流量取得工程によって取得された前記供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method measures the state of droplets ejected from each ejection port while supplying a liquid to the droplet head prior to the droplet state measuring step. Further, a flow rate acquisition step of acquiring a supply flow rate so as to obtain a desired droplet state is included. Then , the droplet state measuring step includes a step of measuring the state of the droplets discharged from each discharge port while supplying the liquid of the supply flow rate acquired by the flow rate acquisition step to the droplet head. nothing.

液滴ノズルには個体差があり、液滴ノズルへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係が液滴ノズル毎にばらついている。
この方法によれば、所望の液滴の状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測工程においてその流量の液体を供給することにより、所望する液滴の状態が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。 There are individual differences in the droplet nozzles, and the correspondence between the supply flow rate of the liquid to the droplet nozzles and the state of the droplets ejected from the ejection port varies from droplet nozzle to droplet nozzle.
According to this method, the flow rate at which the desired droplet state can be obtained can be grasped in advance. Then, by supplying the liquid of the flow rate in the droplet state measuring step, the measurement can be performed under the condition that the desired droplet state can be expected. This makes it possible to measure the state of the droplets discharged from each discharge port in a desired state.

この発明の一実施形態では、前記流量取得工程が、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を含む。
この方法によれば、液滴ヘッドへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出された対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴の状態が複数ある場合に、各条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。 In one embodiment of the present invention, the flow rate acquisition step calculates and calculates the correspondence between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplets discharged from each discharge port. It comprises the step of obtaining a supply flow rate such that the desired droplet state is obtained based on the correspondence.
According to this method, the correspondence between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplet discharged from the ejection port is calculated, and the state of the desired droplet is obtained based on the calculated correspondence. Obtain the supply flow rate so that When there are a plurality of droplet states for which measurement is desired, the supply flow rate of the liquid corresponding to each condition can be grasped collectively.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記液滴状態計測工程による計測結果が所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに含む。
この方法によれば、液滴ヘッドが良品条件を満たしている場合に、良品であると判定される。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method determines that the droplet head is a non-defective product when the measurement result by the droplet state measurement step satisfies a predetermined non-defective product condition. Further includes a determination step.
According to this method, when the droplet head satisfies the non-defective product condition, it is determined to be a non-defective product. As a result, it is possible to accurately determine a non-defective product.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに含む。そして、前記良品判定工程が、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を含む。
この方法によれば、入力された良品条件に基づいて、液滴ヘッドの良品判定が行われる。これにより、良品の判定を柔軟かつ正確に行うことができる。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method further includes a non-defective product condition input step of accepting the input of the non-defective product condition. Then , the non-defective product determination step includes a step of determining the state of the droplet based on the input non-defective product condition.
According to this method, the non-defective product of the droplet head is determined based on the input non-defective product condition. As a result, it is possible to flexibly and accurately determine whether the product is non-defective.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに含む。
この方法によれば、液液滴状態計測工程の計測結果、液滴状態判定工程の判定結果および良品判定工程の判定結果の少なくとも一つが作成される。このような計測結果および／または良品判定結果を自動的に形成することができれば、オペレータが手作業でこれらの結果についての報告を作成する必要がなく、報告作成に要する労力および時間をなくすことができる。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method creates at least one of the measurement result of the droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step. Further includes a step of creating inspection results.
According to this method, at least one of the measurement result of the liquid droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step is created. If such measurement results and / or non-defective product judgment results can be automatically formed, the operator does not have to manually prepare a report on these results, and the labor and time required to prepare the report can be eliminated. can.

この発明の一実施形態では、前記液滴検査方法が、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程をさらに含む。 In one embodiment of the present invention, the droplet inspection method includes a droplet state determination step of determining the state of droplets ejected from each ejection port based on the measurement result of the droplet state measurement step. Further, the remeasurement step of re-executing the same step as the droplet state measurement step for the discharge port determined that the droplet state determination step does not satisfy the predetermined determination condition is included.

この方法によれば、判定条件を満たしていない吐出口がある場合に、その吐出口について液滴状態計測工程と同等の工程（再計測）が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。
この発明の一実施形態は、複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を検査する液滴検査装置を提供する。この液滴検査装置は、前記複数の吐出口から吐出され、所定の計測位置またはその近傍位置を通過する前記液滴を計測するための計測ユニットと、前記計測ユニットを制御する制御装置とを含む。そして、前記制御装置が、前記計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程とを実行する。 According to this method, when there is a discharge port that does not satisfy the determination condition, the same process (remeasurement) as the droplet state measurement step is executed again for the discharge port. Since it is possible to perform remeasurement immediately, it is especially useful when the cause of not satisfying the judgment condition is a defect in the measurement method.
One embodiment of the present invention provides a droplet inspection apparatus for inspecting the state of liquid droplets ejected from a droplet head having a plurality of ejection ports. This droplet inspection device includes a measurement unit for measuring the droplets discharged from the plurality of ejection ports and passing through a predetermined measurement position or a position in the vicinity thereof, and a control device for controlling the measurement unit. nothing. Then , the control device registers the measurement position in association with each discharge port in the measurement position registration step, and the droplet discharged from each discharge port while supplying the liquid to the droplet head is discharged. A droplet that determines the state of a droplet ejected from each discharge port based on the measurement results of the droplet state measurement step measured by the measurement unit at the measurement position corresponding to the outlet and the droplet state measurement step. Execute the state determination step.

この構成によれば、計測ユニットによる計測位置を各吐出口に対応付けて登録する工程と、液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を計測位置において計測ユニットによって計測する工程と、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する工程とを、自動的に行うことが可能である。これらの各工程が自動的に行われるから、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる。 According to this configuration, the process of registering the measurement position by the measurement unit in association with each discharge port and the measurement of the droplet discharged from each discharge port while supplying the liquid to the droplet head by the measurement unit at the measurement position. It is possible to automatically perform the step of determining the state of the droplets ejected from each ejection port. Since each of these steps is performed automatically, the operator's work in the droplet inspection can be reduced.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程をさらに実行する。そして、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、前記複数の吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程をさらに実行する。 In one embodiment of the present invention, the control device further executes a reception step of accepting registration of the measurement position corresponding to at least two discharge ports among the plurality of discharge ports. Then , in the measurement position registration step, the control device corresponds to the plurality of discharge ports based on the contents received in the reception step and the positional relationship between the plurality of discharge ports in the droplet head. The measurement position calculation process for calculating the measurement position is further executed .

この構成によれば、少なくとも２つの吐出口に対応してそれぞれ登録された計測位置と、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する計測位置が算出される。そのため、少なくとも２つの吐出口に対応する計測位置を登録するだけで、他の全ての吐出口に対応する計測位置を求めることが可能である。これにより、各吐出口に対応する計測位置の登録に要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口から吐出される液滴の状態を短時間で検査できる。 According to this configuration, the measurement position corresponding to each discharge port is calculated based on the measurement position registered corresponding to at least two discharge ports and the positional relationship between the plurality of discharge ports in the droplet head. Will be done. Therefore, it is possible to obtain the measurement positions corresponding to all the other discharge ports only by registering the measurement positions corresponding to at least two discharge ports. As a result, the time required for registering the measurement position corresponding to each discharge port is unnecessary, and therefore, the state of the droplets discharged from each discharge port can be inspected in a short time.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を調整する計測位置調整工程をさらに実行する。
この構成によれば、自動算出された吐出口に対応する計測位置を、吐出口から実際に吐出される液滴の液滴通過位置と対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッドには個体差があるので、液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置と液滴通過位置とが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッドの個体差によらずに、各吐出口に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。
前記計測位置調整工程が、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより調整する工程を含んでいてもよい。 In one embodiment of the present invention, the control device further executes a measurement position adjustment step of adjusting the measurement position calculated by the measurement position calculation step in the measurement position registration step .
According to this configuration, the measurement position corresponding to the automatically calculated ejection port can be individually adjusted while being compared with the droplet passing position of the droplet actually ejected from the ejection port. Since there are individual differences in the droplet head, if the measurement position is registered only based on the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head, it is possible that the measurement position and the droplet passage position are significantly deviated from each other. By making such an adjustment, the measurement position corresponding to each ejection port can be registered with higher accuracy regardless of the individual difference of the droplet head.
The measurement position adjusting step adjusts by comparing with the droplet passing position of the droplet discharged from the discharge port when the liquid is supplied to the discharge port and the droplet is discharged from the discharge port. It may include a step.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記計測位置と前記吐出口に液体を供給させて前記吐出口から液滴を吐出させたときに当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに実行する。
この構成によれば、現在の計測位置と液滴通過位置との距離に関する情報が報知される。そのため、現在の計測位置と液滴通過位置との距離を確認しながら、計測位置の調整（計測位置調整工程）を行うことができる。これにより、正確な計測位置を、比較的容易に登録できる。 In one embodiment of the present invention, when the control device supplies a liquid to the measurement position and the discharge port and discharges a droplet from the discharge port in the measurement position registration step, the discharge port is used. Further, a distance notification step of notifying information regarding the distance of the droplet ejected from the liquid droplet passage position to the droplet passage position is further executed .
According to this configuration, information regarding the distance between the current measurement position and the droplet passing position is notified. Therefore, the measurement position can be adjusted (measurement position adjustment step) while confirming the distance between the current measurement position and the droplet passing position. As a result, the accurate measurement position can be registered relatively easily.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに実行する。
この構成によれば、事前に登録された位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置が求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッドに固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口に対応する計測位置を算出できる。そのため、他の吐出口の計測位置の算出を、より正確に行うことができる。 In one embodiment of the present invention, the control device further executes a pre-registration step of pre-registering the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head.
According to this configuration, the measurement position corresponding to the other discharge port is obtained based on the positional relationship registered in advance. That is, the measurement position corresponding to the other ejection port can be calculated based on the accurate positional relationship peculiar to the droplet head to be inspected. Therefore, the measurement position of another discharge port can be calculated more accurately.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する。
この構成によれば、互いに異なる流量の液体が液滴ヘッドに供給された場合の各々において、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。液滴ヘッドの使用状態では、液滴ヘッドに種々の流量の液体が供給されることがあるが、その個々の流量に対応する液滴の状態を計測および判定できる。 In one embodiment of the present invention, when the control device supplies liquids having a plurality of different flow rates to the droplet head in the droplet state measuring step, the liquid is discharged from each discharge port. Perform the step of measuring the state of the drop.
According to this configuration, the state of the droplets discharged from each discharge port can be measured in each case where liquids having different flow rates are supplied to the droplet head. In the usage state of the droplet head, liquids of various flow rates may be supplied to the droplet head, and the state of the droplet corresponding to each flow rate can be measured and determined.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程をさらに実行する。そして、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、前記流量取得工程によって取得された前記供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する。 In one embodiment of the present invention, the control device measures the state of droplets ejected from each ejection port while supplying a liquid to the droplet head prior to the droplet state measuring step. Further, a flow rate acquisition step of acquiring a supply flow rate so as to obtain a desired droplet state is further executed . Then , in the droplet state measuring step, the control device supplies the liquid of the supply flow rate acquired by the flow rate acquisition step to the droplet head, and changes the state of the droplets discharged from each discharge port. Perform the measuring process .

この構成によれば、所望の液滴の状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測工程においてその流量の液体を供給することにより、所望する状態が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測できる。
この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記流量取得工程において、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を実行する。 According to this configuration, the flow rate at which the desired droplet state can be obtained can be grasped in advance. Then, by supplying the liquid of the flow rate in the droplet state measuring step, the measurement can be performed under the condition that the desired state can be expected. This makes it possible to measure the state of the droplets discharged from each discharge port in a desired state.
In one embodiment of the present invention, the control device calculates the correspondence between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplets discharged from each discharge port in the flow rate acquisition step. Then, based on the calculated correspondence, the step of acquiring the supply flow rate so as to obtain the desired droplet state is executed .

この構成によれば、液滴ヘッドへの液体の供給流量と、吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出された対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴の状態が複数ある場合に、各条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。
この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程による計測結果が所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに実行する。 According to this configuration, the correspondence relationship between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplet discharged from the ejection port is calculated, and the desired state of the droplet is based on the calculated correspondence relationship. Obtain the supply flow rate so that When there are a plurality of droplet states for which measurement is desired, the supply flow rate of the liquid corresponding to each condition can be grasped collectively.
In one embodiment of the present invention, a non-defective product determination step in which the control device determines that the droplet head is a non-defective product when the measurement result by the droplet state measurement step satisfies a predetermined non-defective product condition. To execute further .

この構成によれば、液滴ヘッドが良品条件を満たしている場合に、良品であると判定される。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに実行する。そして、前記制御装置が、前記良品判定工程において、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を実行する。 According to this configuration, when the droplet head satisfies the non-defective product condition, it is determined to be a non-defective product. As a result, it is possible to accurately determine a non-defective product.
In one embodiment of the present invention, the control device further executes a non-defective product condition input step of accepting the input of the non-defective product condition. Then , the control device executes a step of determining the state of the droplet based on the input non-defective product condition in the non-defective product determination step.

この構成によれば、入力された良品条件に基づいて、液滴ヘッドの良品判定が行われる。これにより、良品の判定を柔軟かつ正確に行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果出力工程をさらに実行する。 According to this configuration, the non-defective product of the droplet head is determined based on the input non-defective product condition. As a result, it is possible to flexibly and accurately determine whether the product is non-defective.
In one embodiment of the present invention, the control device creates at least one of the measurement result of the droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step. Further execution of the result output process .

この構成によれば、液液滴状態計測工程の計測結果、液滴状態判定工程の判定結果および良品判定工程の判定結果の少なくとも一つが作成される。このような計測結果および／または良品判定結果を自動的に形成することができれば、オペレータが手作業でこれらの結果についての報告を作成する必要がなく、報告作成に要する労力および時間をなくすことができる。 According to this configuration, at least one of the measurement result of the liquid droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step is created. If such measurement results and / or non-defective product judgment results can be automatically formed, the operator does not have to manually prepare a report on these results, and the labor and time required to prepare the report can be eliminated. can.

この発明の一実施形態では、前記制御装置が、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程をさらに実行する。
In one embodiment of the present invention, the control device performs a process equivalent to the droplet state measurement step for the discharge port determined by the control device that the droplet state determination step does not satisfy a predetermined determination condition. The remeasurement process to be executed again is further executed .

この構成によれば、判定条件を満たしていない吐出口がある場合に、その吐出口について液滴状態計測工程と同等の工程（再計測）が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。 According to this configuration, when there is a discharge port that does not satisfy the determination condition, the same process (remeasurement) as the droplet state measurement step is executed again for the discharge port. Since it is possible to perform remeasurement immediately, it is especially useful when the cause of not satisfying the judgment condition is a defect in the measurement method.

図１は、本発明の一実施形態に係る液滴検査装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a droplet inspection device according to an embodiment of the present invention. 図２は、前記液滴検査装置による計測対象の液滴ヘッドが用いられる基板処理装置の概略構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus in which a droplet head to be measured by the droplet inspection apparatus is used. 図３Ａは、前記液滴ヘッドの模式的な側面図である。FIG. 3A is a schematic side view of the droplet head. 図３Ｂは、前記液滴ヘッドの拡大平面図である。FIG. 3B is an enlarged plan view of the droplet head. 図４Ａは、前記液滴検査装置に含まれる撮像ユニットの側面図である。FIG. 4A is a side view of the image pickup unit included in the droplet inspection device. 図４Ｂは、前記撮像ユニットの斜視図である。FIG. 4B is a perspective view of the image pickup unit. 図５Ａは、前記撮像ユニットによる撮像範囲を示す平面図である。FIG. 5A is a plan view showing an image pickup range by the image pickup unit. 図５Ｂは、前記撮像ユニットによる撮像範囲を示す側面図である。FIG. 5B is a side view showing an image pickup range by the image pickup unit. 図５Ｃは、前記液滴ヘッドから吐出される液滴を、前記撮像ユニットによって撮像した撮像図である。FIG. 5C is an image pickup diagram in which the droplet ejected from the droplet head is imaged by the image pickup unit. 図６は、前記液滴検査装置による液滴検査処理の例を説明するための流れ図である。FIG. 6 is a flow chart for explaining an example of the droplet inspection process by the droplet inspection apparatus. 図７は、図１に示す主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of display contents in the display unit of the main control device shown in FIG. 1. 図８は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of display contents in the display unit of the main control device. 図９は、前記主制御装置表示部における表示内容の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of display contents in the main control device display unit. 図１０は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of display contents in the display unit of the main control device. 図１１は、流量計測における流量の算出方法を説明するための図であるFIG. 11 is a diagram for explaining a method of calculating the flow rate in the flow rate measurement. 図１２は、前記主制御装置の表示部における表示内容の一例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing an example of display contents in the display unit of the main control device. 図１３は、検査成績書の一例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing an example of an inspection report. 図１４は、流速テーブルについて説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a flow velocity table. 図１５は、液滴ヘッドを登録するためのヘッド事前登録画面を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a head pre-registration screen for registering a droplet head. 図１６は、良品条件および判定条件を設定するための条件設定画面を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a condition setting screen for setting a non-defective product condition and a determination condition.

以下では、この発明の実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る液滴検査装置１の概略構成を示す図である。
図１に示すように、液滴検査装置１は、検査対象の液滴ヘッド２０１から吐出される液体の液滴ＤＬ（以下、単に「液滴ＤＬ」という）の状態を検査する本体部２と、本体部２による、液滴状態の検査を実行する主制御装置（制御装置）３とを含む。この実施形態では、液滴検査装置１は、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの状態（以下、単に「液滴状態」という場合がある）として、液滴ＤＬの流速（以下、単に「液滴流速」という場合がある）と液滴ＤＬの粒径（以下、単に「液滴粒径」という場合がある）との良否を検査している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a droplet inspection device 1 according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the droplet inspection device 1 includes a main body 2 that inspects the state of a liquid droplet DL (hereinafter, simply referred to as “droplet DL”) discharged from the droplet head 201 to be inspected. , A main control device (control device) 3 for executing an inspection of a droplet state by the main body portion 2. In this embodiment, the droplet inspection device 1 determines the state of the droplet DL ejected from the droplet head 201 (hereinafter, may be simply referred to as “droplet state”) as the flow velocity of the droplet DL (hereinafter, simply referred to as “droplet state”). The quality of the "droplet flow velocity") and the particle size of the droplet DL (hereinafter, may be simply referred to as "droplet particle size") is inspected.

本体部２は、検査対象の液滴ヘッド２０１を保持するヘッドホルダ４と、ヘッドホルダ４に保持されている（取り付けられている）液滴ヘッド２０１に対して、液体供給源からの計測用の液体を供給する液体供給配管５と、ヘッドホルダ４に保持されている（取り付けられている）液滴ヘッド２０１からの排液が導かれる液体排液配管６と、液滴ヘッド２０１の圧電素子２１６に電圧を印加する、インバータ等の電圧印加ユニット１０Ｂと、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬを撮像する撮像ユニット７（計測ユニット）と、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬを受け止めるポット８とを含む。 The main body 2 is for measuring from the liquid supply source with respect to the head holder 4 holding the droplet head 201 to be inspected and the droplet head 201 held (attached) to the head holder 4. The liquid supply pipe 5 for supplying the liquid, the liquid drainage pipe 6 for guiding the drainage from the droplet head 201 held (attached) to the head holder 4, and the piezoelectric element 216 of the droplet head 201. A voltage application unit 10B such as an inverter that applies a voltage to the liquid crystal head 201, an image pickup unit 7 (measurement unit) that images the droplet DL ejected from the droplet head 201, and a droplet DL ejected from the droplet head 201. Includes the receiving pot 8.

ヘッドホルダ４には、ヘッドホルダ４を、Ｘ方向（水平方向の一方向）、Ｙ方向（前記一方向に直交する水平方向）およびＺ方向（鉛直方向）の３軸方向にそれぞれ移動させるためのＸＹＺ駆動ユニット９が結合されている。ＸＹＺ駆動ユニット９の駆動により、液滴ヘッド２０１を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向にそれぞれ移動させることができる。ヘッドホルダ４は、撮像ユニット７よりも上方に配置されている。 The head holder 4 is used to move the head holder 4 in three axial directions: the X direction (one direction in the horizontal direction), the Y direction (horizontal direction orthogonal to the one direction), and the Z direction (vertical direction). The XYZ drive unit 9 is coupled. By driving the XYZ drive unit 9, the droplet head 201 can be moved in the X direction, the Y direction, and the Z direction, respectively. The head holder 4 is arranged above the image pickup unit 7.

液体供給配管５には、ポンプ１０Ａにより圧送された液体が供給されている。この液体は、たとえば水である。水は、たとえば、純水（脱イオン水：Deionized water）であるが、水は、純水に限らず、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度（たとえば、１０～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のいずれかであってもよい。
撮像ユニット７は、ストロボ光源１１と、カメラ１２とを含む。ストロボ光源１１と、カメラ１２とは、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬ（の液滴通過位置）を水平方向に挟んで互いに対向している。ストロボ光源１１は、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動可能に設けられた第１の支持台１３上に配置されている。カメラ１２は、水平方向（Ｘ方向および／またはＹ方向）に移動可能に設けられた第２の支持台１４上に配置されている。これら第１および第２の支持台１３，１４の水平移動は、オペレータの作業により手作業によってのみ実現可能である。 The liquid pumped by the pump 10A is supplied to the liquid supply pipe 5. This liquid is, for example, water. The water is, for example, pure water (Deionized water), but the water is not limited to pure water, but carbonated water, electrolytic ionized water, hydrogen water, ozone water, and diluted concentration (for example, 10 to 100 ppm). It may be any of the hydrochloric acid water of (degree).
The image pickup unit 7 includes a strobe light source 11 and a camera 12. The strobe light source 11 and the camera 12 face each other with the droplet DL (droplet passing position) ejected from the droplet head 201 sandwiched in the horizontal direction. The strobe light source 11 is arranged on a first support base 13 provided so as to be movable in the horizontal direction (X direction and / or Y direction). The camera 12 is arranged on a second support base 14 provided so as to be movable in the horizontal direction (X direction and / or Y direction). The horizontal movement of the first and second support bases 13 and 14 can be realized only manually by the operator's work.

ポット８は、有底箱状をなしている。ポット８は、ストロボ光源１１およびカメラ１２に対し、下方側に配置されている。ポット８の上面には、ポット８の内部に連通する上開口１５が形成されている。また、ポット８の底面には、排出口１６が形成されている。排出口１６には、排液配管１７が接続されている。液滴ヘッド２０１から吐出された液滴は、ストロボ光源１１とカメラ１２との間を通った後、上開口１５を介してポット８の内部に入って、ポット８の内壁に受け止められる。その後、排液配管１７を介して機外に排出される。 The pot 8 has a bottomed box shape. The pot 8 is arranged below the strobe light source 11 and the camera 12. An upper opening 15 communicating with the inside of the pot 8 is formed on the upper surface of the pot 8. Further, a discharge port 16 is formed on the bottom surface of the pot 8. A drainage pipe 17 is connected to the drainage port 16. The droplet ejected from the droplet head 201 passes between the strobe light source 11 and the camera 12, then enters the inside of the pot 8 through the upper opening 15 and is received by the inner wall of the pot 8. After that, it is discharged to the outside of the machine through the drainage pipe 17.

主制御装置３は、パーソナルコンピュータ（personal computer）の形態を有していてもよく、ＣＰＵ等の演算ユニット２０と、出入力部と、記憶装置２１と、表示部５１を備えている。出入力部は、表示ユニット等の出力機器と、キーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル等の入力機器とを含む。記憶装置２１は、固体メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶装置を含む。主制御装置３は、本体部２に電気的に接続されている。 The main control device 3 may have the form of a personal computer, and includes a calculation unit 20 such as a CPU, an input / output unit, a storage device 21, and a display unit 51. The input / output unit includes an output device such as a display unit and an input device such as a keyboard, a pointing device, and a touch panel. The storage device 21 includes a storage device such as a solid-state memory device and a hard disk drive. The main control device 3 is electrically connected to the main body 2.

主制御装置３には、プリンタが接続されている。
主制御装置３は、コンピュータを用いて構成されている。主制御装置３はＣＰＵ等の演算ユニット２０、固定メモリデバイス（図示しない）、ハードディスクドライブ等の記憶装置２１、および入出力ユニット（図示しない）を有している。
記憶装置２１は、プログラム記憶部２２と、液滴ヘッド情報記憶部２３と、良品条件記憶部３１と、判定条件記憶部３２と、流速テーブル記憶部２４とを含む。プログラム記憶部２２は、演算ユニット２０が実行するプログラムを記憶する記憶部である。 A printer is connected to the main control device 3.
The main control device 3 is configured by using a computer. The main control device 3 has a calculation unit 20 such as a CPU, a fixed memory device (not shown), a storage device 21 such as a hard disk drive, and an input / output unit (not shown).
The storage device 21 includes a program storage unit 22, a droplet head information storage unit 23, a non-defective product condition storage unit 31, a determination condition storage unit 32, and a flow velocity table storage unit 24. The program storage unit 22 is a storage unit that stores a program executed by the arithmetic unit 20.

プログラム記憶部２２には、ＧＵＩ（Graphical User Interface）２６と、液滴検査プログラム２７と、データ解析プログラム２８と、検査結果出力プログラム２９と、ＸＹＺ駆動プログラム３０とが記憶されている。液滴検査プログラム２７は、後述する液滴検査処理を実行するためのプログラムである。データ解析プログラム２８は、撮像ユニット７により撮像された画像データをデータ解析するためのプログラムである。検査結果出力プログラム２９は、検査結果を作成するためのプログラムである。ＸＹＺ駆動プログラム３０は、ＸＹＺ駆動ユニット９を駆動するためのプログラムである。 The program storage unit 22 stores a GUI (Graphical User Interface) 26, a droplet inspection program 27, a data analysis program 28, an inspection result output program 29, and an XYZ drive program 30. The droplet inspection program 27 is a program for executing a droplet inspection process described later. The data analysis program 28 is a program for data analysis of image data captured by the image pickup unit 7. The inspection result output program 29 is a program for creating an inspection result. The XYZ drive program 30 is a program for driving the XYZ drive unit 9.

液滴ヘッド情報記憶部２３には、登録されている液滴ヘッド２０１についての種々の情報（液滴ヘッド２０１の名称、吐出口２２７の数、各吐出口２２７の位置情報（複数の吐出口２２７同士の位置関係）等）が記憶される。流速テーブル記憶部２４には、基準となる基準流速テーブル３３と、補正後の補正後流速テーブル３４とが記憶されている。
良品条件記憶部３１は良品条件を記憶する。判定条件記憶部３２は判定条件を記憶する。流速テーブル記憶部２４は、液滴ヘッド２０１への供給流量と液滴ＤＬの流速等との対応関係を規定するテーブルを記憶する。 Various information about the droplet head 201 registered in the droplet head information storage unit 23 (name of the droplet head 201, number of ejection ports 227, position information of each ejection port 227 (plural ejection ports 227). (Positional relationship between each other), etc.) is memorized. The reference flow velocity table 33 as a reference and the corrected flow velocity table 34 after correction are stored in the flow velocity table storage unit 24.
The non-defective product condition storage unit 31 stores the non-defective product condition. The determination condition storage unit 32 stores the determination condition. The flow velocity table storage unit 24 stores a table that defines the correspondence between the flow rate supplied to the droplet head 201 and the flow velocity of the droplet DL.

図２は、液滴検査装置１による検査対象の液滴ヘッド２０１が用いられる基板処理装置３０１の概略構成を示す図である。図３Ａは、液滴ヘッド２０１の模式的な側面図である。図３Ｂは、液滴ヘッド２０１の拡大平面図である。
基板処理装置３０１は、処理液（薬液やリンス液等）を用いて半導体ウエハなどの円板状の基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置３０１は、スピンチャック３０２と、液滴ヘッド２０１と、ノズルアーム３０３と、アーム移動ユニット３０４とを含む。スピンチャック３０２は、基板Ｗを水平に保持しながら基板Ｗの中央部を通る鉛直な回転軸線Ａ１まわりに基板Ｗを回転させる。液滴ヘッド（液滴ノズル）２０１は、スピンチャック３０２に保持されている基板Ｗに処理液の液滴を衝突させる。液滴ヘッド２０１は、インクジェット方式によって多数の液滴を噴射するインクジェットノズルである。ノズルアーム３０３には、液滴ヘッド２０１が取り付けられている。アーム移動ユニット３０４は、ノズルアーム３０３を鉛直な揺動軸線Ａ２まわりに揺動させる。 FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a substrate processing device 301 in which a droplet head 201 to be inspected by the droplet inspection device 1 is used. FIG. 3A is a schematic side view of the droplet head 201. FIG. 3B is an enlarged plan view of the droplet head 201.
The substrate processing apparatus 301 is a single-wafer processing apparatus that processes a disk-shaped substrate W such as a semiconductor wafer one by one using a processing liquid (chemical liquid, rinsing liquid, etc.). The substrate processing device 301 includes a spin chuck 302, a droplet head 201, a nozzle arm 303, and an arm moving unit 304. The spin chuck 302 rotates the substrate W around the vertical rotation axis A1 passing through the central portion of the substrate W while holding the substrate W horizontally. The droplet head (droplet nozzle) 201 collides the droplet of the processing liquid with the substrate W held by the spin chuck 302. The droplet head 201 is an inkjet nozzle that ejects a large number of droplets by an inkjet method. A droplet head 201 is attached to the nozzle arm 303. The arm moving unit 304 swings the nozzle arm 303 around the vertical swing axis A2.

液滴ヘッド２０１には、処理液供給源からの処理液を液滴ヘッド２０１に供給する処理液配管２１０が接続されている。液滴ヘッド２０１には、ポンプ１０Ａによる圧送により、常時、所処理液が供給される。液滴ヘッド２０１は、排出バルブ２１５が介装された排液配管２１４に接続されている。液滴ヘッド２０１は、液滴ヘッド２０１の内部に配置された圧電素子（piezo element）２１６を含む。圧電素子２１６は、配線２１７を介してインバータ等の電圧印加ユニット２１８に接続されている。電圧印加ユニット２１８は、たとえば、を含む。電圧印加ユニット２１８よって、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、印加された交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子２１６が振動する。圧電素子２１６に印加される交流電圧の周波数を任意の周波数（たとえば、数百KHz～数ＭＨｚ）に変更することにより、圧電素子２１６の振動の周波数を変更できる。 The droplet head 201 is connected to a processing liquid pipe 210 that supplies the processing liquid from the processing liquid supply source to the droplet head 201. The treatment liquid is constantly supplied to the droplet head 201 by pumping by the pump 10A. The droplet head 201 is connected to a drainage pipe 214 in which a drainage valve 215 is interposed. The droplet head 201 includes a piezoelectric element 216 disposed inside the droplet head 201. The piezoelectric element 216 is connected to a voltage application unit 218 such as an inverter via wiring 217. The voltage application unit 218 includes, for example. When an AC voltage is applied to the piezoelectric element 216 by the voltage application unit 218, the piezoelectric element 216 vibrates at a frequency corresponding to the frequency of the applied AC voltage. By changing the frequency of the AC voltage applied to the piezoelectric element 216 to an arbitrary frequency (for example, several hundred KHz to several MHz), the frequency of vibration of the piezoelectric element 216 can be changed.

液滴ヘッド２０１は、本体２２１を備えている。図３Ａに示すように、本体２２１は、処理液が供給される供給口２２４と、供給口２２４に供給された処理液を排出する排出口２２５と、供給口２２４と排出口２２５とを接続する処理液流通路２２６と、処理液流通路２２６に接続された複数の吐出口２２７とを含む。処理液流通路２２６は、本体２２１の内部に設けられている。供給口２２４、排出口２２５、および吐出口２２７は、本体２２１の表面で開口している。供給口２２４および排出口２２５は、吐出口２２７よりも上方に位置している。本体２２１の下面２０１ａは、たとえば、水平な平坦面であり、吐出口２２７は、本体２２１の下面２０１ａで開口している。吐出口２２７は、たとえば数μm～数十μmの直径を有する微細孔である。処理液配管２１０および排液配管２１４は、それぞれ、供給口２２４および排出口２２５に接続されている。 The droplet head 201 includes a main body 221. As shown in FIG. 3A, the main body 221 connects a supply port 224 to which the treatment liquid is supplied, a discharge port 225 for discharging the treatment liquid supplied to the supply port 224, and a supply port 224 and a discharge port 225. It includes a treatment liquid flow passage 226 and a plurality of discharge ports 227 connected to the treatment liquid flow passage 226. The processing liquid flow passage 226 is provided inside the main body 221. The supply port 224, the discharge port 225, and the discharge port 227 are open on the surface of the main body 221. The supply port 224 and the discharge port 225 are located above the discharge port 227. The lower surface 201a of the main body 221 is, for example, a horizontal flat surface, and the discharge port 227 is opened by the lower surface 201a of the main body 221. The discharge port 227 is a micropore having a diameter of, for example, several μm to several tens of μm. The treatment liquid pipe 210 and the drainage pipe 214 are connected to the supply port 224 and the discharge port 225, respectively.

図３Ｂに示すように、複数の吐出口２２７は、複数（図３Ｂでは、たとえば４つ）の列Ｌを構成している。各列Ｌは、等間隔で配列された多数（１０個以上。たとえば２０個）の吐出口２２７によって構成されている。各列Ｌは、水平な長手方向に沿って直線状に延びている。各列Ｌは、直線状に限らず、曲線状であってもよい。
処理液配管２１０を介して供給口２２４に供給された処理液は、処理液流通路２２６に供給される。排出バルブ２１５が閉じられている状態では、処理液流通路２２６での処理液の圧力（液圧）が高い。そのため、排出バルブ２１５が閉じられている状態では、液圧によって各吐出口２２７から処理液が噴射される。さらに、排出バルブ２１５が閉じられている状態で、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、処理液流通路２２６を流れる処理液に圧電素子２１６の振動が付与され、各吐出口２２７から噴射される処理液が、この振動によって分断される。そのため、排出バルブ２１５が閉じられている状態で、交流電圧が圧電素子２１６に印加されると、処理液の液滴が各吐出口２２７から噴射される。これにより、粒径が均一な多数の処理液の液滴が均一な速度で同時に噴射され、基板Ｗの上面に吹き付けられる。 As shown in FIG. 3B, the plurality of discharge ports 227 constitute a plurality of rows (for example, four in FIG. 3B). Each row L is composed of a large number (10 or more, for example, 20) of discharge ports 227 arranged at equal intervals. Each row L extends linearly along the horizontal longitudinal direction. Each row L is not limited to a straight line, but may be a curved line.
The treatment liquid supplied to the supply port 224 via the treatment liquid pipe 210 is supplied to the treatment liquid flow passage 226. When the discharge valve 215 is closed, the pressure (hydraulic pressure) of the treatment liquid in the treatment liquid flow passage 226 is high. Therefore, when the discharge valve 215 is closed, the treatment liquid is injected from each discharge port 227 by the hydraulic pressure. Further, when an AC voltage is applied to the piezoelectric element 216 while the discharge valve 215 is closed, the processing liquid flowing through the processing liquid flow passage 226 is subjected to vibration of the piezoelectric element 216 and is injected from each discharge port 227. The processing liquid to be processed is divided by this vibration. Therefore, when an AC voltage is applied to the piezoelectric element 216 while the discharge valve 215 is closed, droplets of the processing liquid are ejected from each discharge port 227. As a result, a large number of droplets of the treatment liquid having a uniform particle size are simultaneously ejected at a uniform speed and sprayed onto the upper surface of the substrate W.

一方、排出バルブ２１５が開かれている状態では、処理液流通路２２６に供給された処理液が、排出口２２５から排液配管２１４に排出される。すなわち、排出バルブ２１５が開かれている状態では、処理液流通路２２６での液圧が十分に上昇していないため、処理液流通路２２６に供給された処理液は、微細孔である吐出口２２７から噴射されずに、排出口２２５から排液配管２１４に排出される。したがって、吐出口２２７からの処理液の吐出は、排出バルブ２１５の開閉により制御される。液滴ヘッド２０１を基板Ｗの処理に使用しない間（液滴ヘッド２０１の待機中）は、排出バルブ２１５が開かれている。そのため、液滴ヘッド２０１の待機中であっても、液滴ヘッド２０１の内部で処理液が流通している状態が維持される。 On the other hand, when the discharge valve 215 is open, the treatment liquid supplied to the treatment liquid flow passage 226 is discharged from the discharge port 225 to the drain pipe 214. That is, when the discharge valve 215 is open, the liquid pressure in the treatment liquid flow passage 226 does not rise sufficiently, so that the treatment liquid supplied to the treatment liquid flow passage 226 is a discharge port which is a fine hole. The liquid is discharged from the discharge port 225 to the liquid discharge pipe 214 without being sprayed from the 227. Therefore, the discharge of the processing liquid from the discharge port 227 is controlled by opening and closing the discharge valve 215. While the droplet head 201 is not used for processing the substrate W (waiting for the droplet head 201), the discharge valve 215 is open. Therefore, even while the droplet head 201 is on standby, the state in which the processing liquid is flowing inside the droplet head 201 is maintained.

液滴ヘッド２０１に供給される処理液は、薬液および水を含む。薬液は、たとえば、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（たとえばクエン酸、蓚酸など）、有機アルカリ（たとえば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなど）、および界面活性剤、腐食防止剤の少なくとも１つを含む液であってもよい。 The treatment liquid supplied to the droplet head 201 includes a chemical liquid and water. Chemical solutions include, for example, sulfuric acid, acetic acid, nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid, aqueous ammonia, hydrogen peroxide, organic acids (eg citric acid, oxalic acid, etc.), organic alkalis (eg, TMAH: tetramethylammonium hydroxide, etc.), It may be a liquid containing at least one of a surfactant and a corrosion inhibitor.

図４Ａは、液滴検査装置１に含まれる撮像ユニット７の側面図である。図４Ｂは、撮像ユニット７の斜視図である。図５Ａは、撮像ユニット７による撮像範囲を示す平面図である。図５Ｂは、撮像ユニット７による撮像範囲を示す側面図である。図５Ｃは、液滴ヘッド２０１から吐出されている液滴ＤＬを、撮像ユニット７によって撮像した撮像図である。 FIG. 4A is a side view of the image pickup unit 7 included in the droplet inspection device 1. FIG. 4B is a perspective view of the image pickup unit 7. FIG. 5A is a plan view showing an image pickup range by the image pickup unit 7. FIG. 5B is a side view showing an image pickup range by the image pickup unit 7. FIG. 5C is an image pickup diagram of the droplet DL ejected from the droplet head 201 taken by the image pickup unit 7.

図４Ａおよび図４Ｂに示すように、ストロボ光源１１は、ストロボと、主制御装置３に電気的に接続された発光回路とを含む。発光回路は、主制御装置３から供給される制御信号に応じたタイミングで駆動電流をストロボに供給してストロボを発光させる。
カメラ１２は、被写体（液滴ＤＬおよびその周囲）の光学像を結像させるレンズと、このレンズによって結像された光学像を電気信号に変換する撮像素子と、変換の電気信号に基づいて画像信号を生成して、主制御装置３に送信する撮像回路とを含む。撮像素子は、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等を含む。カメラ１２は、１秒間に数千～数万枚の速度で撮像可能な高速度カメラであってもよいし、１秒間に１０枚～１００枚程度の速度で撮像可能な一般的なカメラであってもよい。 As shown in FIGS. 4A and 4B, the strobe light source 11 includes a strobe and a light emitting circuit electrically connected to the main control device 3. The light emitting circuit supplies a drive current to the strobe at a timing corresponding to the control signal supplied from the main control device 3 to cause the strobe to emit light.
The camera 12 has a lens that forms an optical image of a subject (droplet DL and its surroundings), an image pickup device that converts an optical image formed by this lens into an electric signal, and an image based on the converted electric signal. It includes an image pickup circuit that generates a signal and transmits it to the main control device 3. The image pickup device includes a CCD image sensor, a CMOS image sensor, and the like. The camera 12 may be a high-speed camera capable of taking images at a speed of several thousand to tens of thousands per second, or is a general camera capable of taking images at a speed of about 10 to 100 images per second. You may.

Ｘ方向は、ヘッドホルダ４に取り付けられている液滴ヘッド２０１の各列Ｌにおける複数の吐出口２２７の配列方向である。Ｙ方向は、ヘッドホルダ４に取り付けられている液滴ヘッド２０１の複数の列Ｌの配列方向であり、水平面内でＸ方向と直交する方向である。
ＸＹＺ駆動ユニット９は、ヘッドホルダ４をＸ方向に移動させるＸ方向駆動モータと、ヘッドホルダ４をＹ方向に移動させるＹ方向駆動モータと、ヘッドホルダ４をＺ方向に移動させるＺ方向駆動モータとを含む。Ｘ方向駆動モータ、Ｙ方向駆動モータおよびＺ方向駆動モータは、それぞれステッピングモータである。各ステッピングモータには、このステッピングモータを駆動するためのドライバ回路が接続されている。ドライバ回路は、主制御装置３に接続されている。また、ドライバ回路は、手動操作用の操作ユニット（ジョグダイヤル）にも接続されている。 The X direction is the arrangement direction of the plurality of ejection ports 227 in each row L of the droplet head 201 attached to the head holder 4. The Y direction is the arrangement direction of the plurality of rows L of the droplet heads 201 attached to the head holder 4, and is the direction orthogonal to the X direction in the horizontal plane.
The XYZ drive unit 9 includes an X-direction drive motor that moves the head holder 4 in the X direction, a Y-direction drive motor that moves the head holder 4 in the Y direction, and a Z-direction drive motor that moves the head holder 4 in the Z direction. including. The X-direction drive motor, the Y-direction drive motor, and the Z-direction drive motor are stepping motors, respectively. A driver circuit for driving the stepping motor is connected to each stepping motor. The driver circuit is connected to the main controller 3. The driver circuit is also connected to an operation unit (jog dial) for manual operation.

主制御装置３の演算ユニット２０は、ＸＹＺ駆動プログラム３０に基づいて、各ドライバ回路に対して、液滴ヘッド２０１の移動量（すなわち、ヘッドホルダ４）の移動量に応じたパルス信号を出力する。各ドライバ回路は、演算ユニット２０からのパルス数に応じた励磁信号を、対応するステッピングモータに付与する。
また、手動操作用の操作ユニットからの駆動信号がドライバ回路に与えられると、各ドライバ回路は、当該駆動信号に応じた励磁信号を、対応するステッピングモータに付与する。また、各ドライバ回路は、操作ユニットからの駆動信号にパルス数を、主制御装置３に通知する。 The arithmetic unit 20 of the main control device 3 outputs a pulse signal according to the movement amount of the droplet head 201 (that is, the head holder 4) to each driver circuit based on the XYZ drive program 30. .. Each driver circuit applies an excitation signal corresponding to the number of pulses from the arithmetic unit 20 to the corresponding stepping motor.
Further, when a drive signal from the operation unit for manual operation is given to the driver circuit, each driver circuit applies an excitation signal corresponding to the drive signal to the corresponding stepping motor. Further, each driver circuit notifies the main control device 3 of the number of pulses in the drive signal from the operation unit.

主制御装置３は、各ステッピングモータの回転量（メカ原点（図５Ａおよび図５Ｂ参照）を基準とした値）を管理している。主制御装置３は、液滴ヘッド２０１がメカ原点（図５Ａおよび図５Ｂ参照）にある状態から、この回転量（ステップ数）に応じた数のパルスを各ドライバ回路に出力することにより、液滴ヘッド２０１を所望の位置に正確に配置できる。 The main control device 3 manages the rotation amount of each stepping motor (value based on the mechanical origin (see FIGS. 5A and 5B)). The main control device 3 outputs a number of pulses corresponding to the rotation amount (number of steps) from the state where the droplet head 201 is at the mechanical origin (see FIGS. 5A and 5B) to each driver circuit, thereby causing the liquid to flow. The drop head 201 can be accurately positioned at the desired position.

カメラ１２には、測定精度や再現性を向上する観点から、焦点距離が固定されたレンズが採用される。この実施形態では、液滴検査処理中にカメラ１２は動かさず、その焦点位置ＦＰも変化させない。カメラ１２は、所定の焦点位置ＦＰ（計測位置）およびその近傍位置を通過する液滴ＤＬを撮像する。
図５Ｃに示すように、計測対象の１つの吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬが、カメラ１２の視野ＦＶに同時に複数個（たとえば、４～６個程度）入るように、カメラ１２と焦点位置ＦＰとの間の距離が決定される。また、ストロボ光源１１は、光路内にカメラ１２の視野ＦＶを含むように光を照射する。 A lens having a fixed focal length is adopted for the camera 12 from the viewpoint of improving measurement accuracy and reproducibility. In this embodiment, the camera 12 is not moved during the droplet inspection process, and its focal position FP is not changed either. The camera 12 captures a droplet DL passing through a predetermined focal position FP (measurement position) and a position in the vicinity thereof.
As shown in FIG. 5C, the focus is on the camera 12 so that a plurality (for example, about 4 to 6) of droplet DLs ejected from one ejection port 227 to be measured enter the field of view FV of the camera 12 at the same time. The distance to the position FP is determined. Further, the strobe light source 11 irradiates light so as to include the field of view FV of the camera 12 in the optical path.

図４Ａおよび図４Ｂの例では、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの軌跡（液滴通過位置ＰＰ）を挟んで互いに対向するように、カメラ１２とストロボ光源１１とが配置されている。この状態で、カメラ１２のレンズの光軸と、ストロボ光源１１の照射方向とが互いにほぼ一致している。そして、カメラ１２は、ストロボ光源１１によって照射した光が液滴ＤＬを透過した透過光を撮像する。光源として、ストロボ光源１１を例に挙げて説明したが、ＬＥＤ光源等の他の光源を採用することもできる。 In the examples of FIGS. 4A and 4B, the camera 12 and the strobe light source 11 are arranged so as to face each other with the locus of the droplet DL ejected from the ejection port 227 (droplet passage position PP) interposed therebetween. In this state, the optical axis of the lens of the camera 12 and the irradiation direction of the strobe light source 11 are substantially aligned with each other. Then, the camera 12 captures the transmitted light transmitted through the droplet DL by the light emitted by the strobe light source 11. As the light source, the strobe light source 11 has been described as an example, but other light sources such as an LED light source can also be adopted.

演算ユニット２０は、液滴検査プログラム２７に基づいて、カメラ１２およびストロボ光源１１を制御する。具体的には、演算ユニット２０は、カメラ１２の撮像タイミング、シャッター速度、感度等の制御を行う。また、演算ユニット２０は、ストロボ光源１１の発光タイミング等を制御する。
演算ユニット２０は、ＸＹＺ駆動プログラム３０に基づいてＸＹＺ駆動ユニット９を駆動し、ヘッドホルダ４および液滴ヘッド２０１を、計測対象の吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬが焦点位置ＦＰまたはその近傍を通過するように配置する。 The arithmetic unit 20 controls the camera 12 and the strobe light source 11 based on the droplet inspection program 27. Specifically, the calculation unit 20 controls the image pickup timing, shutter speed, sensitivity, and the like of the camera 12. Further, the calculation unit 20 controls the light emission timing of the strobe light source 11.
The arithmetic unit 20 drives the XYZ drive unit 9 based on the XYZ drive program 30, and the droplet DL ejected from the ejection port 227 to be measured with the head holder 4 and the droplet head 201 is at or near the focal position FP. Arrange to pass through.

演算ユニット２０は、撮像ユニット７から付与された液滴の画像データを、データ解析プログラム２８に基づいて画像解析する。具体的には、演算ユニット２０は、記憶装置２１に記憶されている参照用の画像等と比較して、画像データに含まれる液滴の状態（液滴速度および液滴粒径等）を演算によって算出する。
この実施形態では、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬを撮像するときの、各吐出口２２７に対応する焦点位置ＦＰの、メカ原点からの位置ずれを、各焦点位置の位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）として扱う。以下、焦点位置ＦＰを計測位置ＭＰとして呼ぶことがある。 The calculation unit 20 analyzes the image data of the droplets given by the image pickup unit 7 based on the data analysis program 28. Specifically, the calculation unit 20 calculates the state of the droplets (droplet velocity, droplet particle size, etc.) contained in the image data by comparing with the reference image or the like stored in the storage device 21. Calculated by.
In this embodiment, the positional deviation of the focal position FP corresponding to each ejection port 227 from the mechanical origin when the droplet DL ejected from the ejection port 227 is imaged is the position information (X coordinates) of each focal position. , Y coordinate and Z coordinate). Hereinafter, the focal position FP may be referred to as the measurement position MP.

図６は、液滴検査装置１による液滴検査処理の例を説明するための流れ図である。図７は、表示部５１における液滴ヘッド選択画面６１を示す図である。図８および図９は、表示部５１における各位置登録画面７１を示す図である。図１０は、表示部５１における流量計測画面９１を示す図である。図１１は、流量計測における流量の算出方法を説明するための図である。図１２は、表示部５１における液滴状態計測画面１１１の一例を示す図である。図１３は、検査成績書１４１の一例を示す図である。図１４は、流速テーブル１４２について説明するための図である。図１、図６～図１４を参照しながら液滴検査処理について説明する。 FIG. 6 is a flow chart for explaining an example of the droplet inspection process by the droplet inspection device 1. FIG. 7 is a diagram showing a droplet head selection screen 61 on the display unit 51. 8 and 9 are views showing each position registration screen 71 on the display unit 51. FIG. 10 is a diagram showing a flow rate measurement screen 91 on the display unit 51. FIG. 11 is a diagram for explaining a method of calculating the flow rate in the flow rate measurement. FIG. 12 is a diagram showing an example of the droplet state measurement screen 111 on the display unit 51. FIG. 13 is a diagram showing an example of the inspection report 141. FIG. 14 is a diagram for explaining the flow velocity table 142. The droplet inspection process will be described with reference to FIGS. 1 and 6 to 14.

液滴検査装置１を用いた液滴検査処理に先立って、オペレータは、検査対象の液滴ヘッド２０１をヘッドホルダ４に取り付ける。具体的には、オペレータは、液体供給配管５および液体排液配管６をヘッドホルダ４に接続すると共に、液滴ヘッド２０１の圧電素子２１６に電圧印加ユニット１０Ｂを接続する。また、オペレータは、カメラ１２を手動で操作して、焦点位置ＦＰ（計測位置ＭＰ）の調整を行う。 Prior to the droplet inspection process using the droplet inspection device 1, the operator attaches the droplet head 201 to be inspected to the head holder 4. Specifically, the operator connects the liquid supply pipe 5 and the liquid drain pipe 6 to the head holder 4, and also connects the voltage application unit 10B to the piezoelectric element 216 of the droplet head 201. Further, the operator manually operates the camera 12 to adjust the focal position FP (measurement position MP).

液滴検査処理では、検査対象の液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７について、吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（すなわち、液滴流速および液滴粒径）の良否を判定している。検査対象の液滴流速の上昇に伴って、液滴ヘッド２０１に供給すべき液体の流量（以下、単に「供給流量」という。）、および圧電素子２１６に印加すべき交流電圧の周波数（以下、単に「周波数」という。）を、それぞれ上昇させる必要がある。そのため、液滴流速と、供給流量および周波数との対応関係を、基準流速テーブル３３として記憶している。この実施形態では、液滴流速が互いに異なる複数段階（たとえは６段階）の検査条件が用意されている。各検査条件における液滴流速として、たとえば、１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s）の６通りの速度が採用されている。 In the droplet inspection process, it is determined whether or not the state of the droplet DL (that is, the droplet flow velocity and the droplet particle size) discharged from the ejection port 227 is good or bad for all the ejection ports 227 of the droplet head 201 to be inspected. ing. The flow rate of the liquid to be supplied to the droplet head 201 (hereinafter, simply referred to as “supply flow rate”) and the frequency of the AC voltage to be applied to the piezoelectric element 216 (hereinafter, simply referred to as “supply flow rate”) as the flow velocity of the droplet to be inspected increases. It is simply called "frequency"), and it is necessary to increase each. Therefore, the correspondence between the droplet flow rate and the supply flow rate and the frequency is stored as the reference flow rate table 33. In this embodiment, a plurality of stages (for example, 6 stages) of inspection conditions in which the droplet flow velocities are different from each other are prepared. The droplet velocities under each inspection condition are, for example, 10 (m / s), 20 (m / s), 30 (m / s), 40 (m / s), 50 (m / s), 60 (m / s). Six speeds of s) are adopted.

また、液滴検査装置１において液滴検査処理を行う場合、オペレータは、液滴検査装置１に電源を投入し、かつ主制御装置３にログインしなければならない。液滴検査装置１への電源投入後、主制御装置３の表示部５１には、初期画面が表示される。初期画面は、オペレータに対し、オペレータＩＤおよびパスワードの入力を要求する画面である。オペレータの名前およびパスワードが権限内容と紐付け（対応付け）られて記憶装置２１に記憶されている。オペレータがオペレータＩＤおよびパスワードを入力すると、主制御装置３は、入力されたオペレータＩＤおよびパスワードと、記憶されているオペレータＩＤおよびパスワードとを照合して、本人認証を行う。本人認証が済めば、ログインが成功したことになる。なお、本人認証の際に、パスワードを省略してもよい。また、オペレータＩＤは、カードを読み取ることにより行ってもよい。ログインが成功すると、主制御装置３は、表示部５１に、メニュー画面を表示させる。メニュー画面において「検査（inspection）」のボタンが操作されると、表示部５１に、サブメニューバー５２が表示される。サブメニューバー５２には、ヘッド選択ボタン５３、位置登録（position register）ボタン５４、流量計測ボタン５５および流速計測ボタン５６が表示される。サブメニューバー５２は、以降の各画面（図７～１０および図１２に示す画面）において表示され続ける。 Further, when performing the droplet inspection process in the droplet inspection device 1, the operator must turn on the power to the droplet inspection device 1 and log in to the main control device 3. After the power is turned on to the droplet inspection device 1, the initial screen is displayed on the display unit 51 of the main control device 3. The initial screen is a screen that requests the operator to input the operator ID and password. The operator's name and password are associated (associated) with the authority content and stored in the storage device 21. When the operator inputs the operator ID and password, the main control device 3 collates the input operator ID and password with the stored operator ID and password to perform personal authentication. If you authenticate yourself, you have successfully logged in. The password may be omitted during personal authentication. Further, the operator ID may be performed by reading the card. When the login is successful, the main control device 3 causes the display unit 51 to display the menu screen. When the "inspection" button is operated on the menu screen, the submenu bar 52 is displayed on the display unit 51. The submenu bar 52 displays a head selection button 53, a position register button 54, a flow rate measurement button 55, and a flow velocity measurement button 56. The submenu bar 52 continues to be displayed on each of the subsequent screens (screens shown in FIGS. 7 to 10 and 12).

サブメニューバー５２において、ヘッド選択ボタン５３が操作されると、主制御装置３は、図７に示す液滴ヘッド選択画面６１を表示部５１に表示させる。液滴ヘッド選択画面６１を用いて、オペレータによって液滴ヘッド２０１の選択が行われる（図６のＳ１；液滴ヘッド選択）。
液滴ヘッド選択画面６１は、登録ヘッド種類表示部６２と、各吐出口位置操作表示部６４とを含む。 When the head selection button 53 is operated in the submenu bar 52, the main control device 3 causes the display unit 51 to display the droplet head selection screen 61 shown in FIG. 7. Using the droplet head selection screen 61, the operator selects the droplet head 201 (S1 in FIG. 6; droplet head selection).
The droplet head selection screen 61 includes a registered head type display unit 62 and each discharge port position operation display unit 64.

登録ヘッド種類表示部６２は、登録済みの液滴ヘッド２０１の種類の一覧を表示する。オペレータは、操作部を操作して、登録ヘッド種類表示部６２に表示されている液滴ヘッド２０１のうち今回の検査対象を選択する。液滴ヘッド２０１の選択後、選択（Select）ボタン６３が操作されると、各吐出口位置操作表示部６４に、現在選択されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（基準位置からのＸ方向およびＹ方向の位置ずれ）が表示される。サブメニューバー５２において位置登録ボタン５４が操作されると、主制御装置３は、次いで、図８に示す位置登録画面７１を表示部５１に表示させる。位置登録画面７１において、液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置登録（以下、「各吐出口位置登録」）が行われる（図６のＳ２：各吐出口位置登録（計測位置登録工程、計測対象位置計測位置調整工程））。 The registered head type display unit 62 displays a list of types of the registered droplet head 201. The operator operates the operation unit to select the inspection target of this time from the droplet head 201 displayed on the registration head type display unit 62. When the selection button 63 is operated after the droplet head 201 is selected, the position of the measurement position MP of each ejection port 227 of the currently selected droplet head 201 is displayed on the ejection port position operation display unit 64. Information (positional deviations in the X and Y directions from the reference position) is displayed. When the position registration button 54 is operated on the submenu bar 52, the main control device 3 then causes the display unit 51 to display the position registration screen 71 shown in FIG. On the position registration screen 71, the position registration of each discharge port 227 of the droplet head 201 (hereinafter, “each discharge port position registration”) is performed (S2 in FIG. 6: Each discharge port position registration (measurement position registration step, measurement). Target position measurement position adjustment process)).

位置登録画面７１は、複数の個別位置表示部７２と、基準流速テーブル表示部７３と、ヘッド移動操作表示部７４と、基準ノズル表示部７５とを含む。
各個別位置表示部７２は、液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７の数だけ設けられており、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別位置表示部７２は、対応する吐出口２２７（nozulle）の番号と、対応する吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標）を表示する吐出口位置操作表示部８２と、登録（Register）ボタン８３と、移動（move）ボタン８４と、登録状態表示８５とを含む。 The position registration screen 71 includes a plurality of individual position display units 72, a reference flow velocity table display unit 73, a head movement operation display unit 74, and a reference nozzle display unit 75.
Each individual position display unit 72 is provided as many as the number of all the ejection ports 227 of the droplet head 201, and is provided in a one-to-one correspondence with the ejection ports 227 of the droplet head 201. Each individual position display unit 72 displays the number of the corresponding discharge port 227 (nozulle) and the position information (X coordinate, Y coordinate, Z coordinate) of the measurement position MP of the corresponding discharge port 227. A unit 82, a register button 83, a move button 84, and a registration status display 85 are included.

基準流速テーブル表示部７３は、基準流速テーブル３３に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる複数段階（たとえは６段階）の検査条件に分けて表示される。
ヘッド移動操作表示部７４は、原点位置移動ボタン７６と、現在位置操作表示部７７と、位置操作ボタン７８とを含む。 The reference flow rate table display unit 73 includes the droplet flow rate (Speed (m / s)), the supply flow rate (Rate (L / min)), and the frequency (Frequency (kHz)) stored in the reference flow rate table 33. However, it is displayed separately for the inspection conditions of a plurality of stages (for example, 6 stages) in which the droplet flow velocities are different from each other.
The head movement operation display unit 74 includes an origin position movement button 76, a current position operation display unit 77, and a position operation button 78.

各吐出口位置登録に際し、オペレータは、まず、位置登録画面７１において原点位置移動ボタン７６を操作する。これにより、主制御装置３は、ＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、ヘッドホルダ４に保持されている液滴ヘッド２０１を、原点位置「（Ｘ：０（μm），Ｙ：０（μm），Ｚ：５０００（μm））」に移動させる。
次いで、また、オペレータは、基準流速テーブル表示部７３の表示内容に基づいて、各吐出口位置登録において用いる液滴速度を、操作部を用いて選択する。その後、リフレクト（Reflect）ボタン８１が操作されることにより、各吐出口位置登録において用いる液滴速度が決定される。この液滴速度として、たとえば３０（m/s）が決定される。 At the time of registering each discharge port position, the operator first operates the origin position movement button 76 on the position registration screen 71. As a result, the main control device 3 controls the XYZ drive unit 9 to move the droplet head 201 held in the head holder 4 to the origin position “(X: 0 (μm), Y: 0 (μm), Y: 0 (μm), Z: 5000 (μm)) ”.
Next, the operator also uses the operation unit to select the droplet velocity to be used in each discharge port position registration based on the display content of the reference flow velocity table display unit 73. After that, by operating the Reflect button 81, the droplet velocity used in each discharge port position registration is determined. For example, 30 (m / s) is determined as the droplet velocity.

その後、主制御装置３は、ポンプ１０Ａを制御して、ヘッドホルダ４に保持されている液滴ヘッド２０１に液体を供給する共に、電圧印加ユニット１０Ｂを制御して、圧電素子２１６に交流電圧を印加する。また、オペレータは、カメラ１２を手動で操作して、焦点位置ＦＰ（計測位置ＭＰ）の調整を行う。これにより、液滴ヘッド２０１に含まれる多数の吐出口２２７のそれぞれから液滴ＤＬが吐出される。 After that, the main control device 3 controls the pump 10A to supply the liquid to the droplet head 201 held in the head holder 4, and also controls the voltage application unit 10B to apply an AC voltage to the piezoelectric element 216. Apply. Further, the operator manually operates the camera 12 to adjust the focal position FP (measurement position MP). As a result, the droplet DL is ejected from each of the large number of ejection ports 227 included in the droplet head 201.

液滴ＤＬの吐出開始後には、主制御装置３は、撮像ユニット７を制御して計測位置ＭＰ（焦点位置ＦＰ。図５Ｃ参照）を撮像し、その撮像結果を分析することにより、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの軌跡ＰＰ（以下、「液滴通過位置ＰＰ」という）（図４Ｂ参照）が、計測位置ＭＰに接近または一致しているか否かを調べる。主制御装置３は、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を算出している。この実施形態では、オペレータに対し、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を段階的に報知している。また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を、現在の調整対象の吐出口２２７に対応する個別位置表示部７２において報知する。具体的には、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離が所定値（たとえば２００（μm））以下になると、個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレー（通常色）から白色（第１の特別色）に変化する。そして、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離が所定値（たとえば１００（μm））以下になると、個別位置表示部７２の背景色が、白色から薄緑色（第２の特別色）に変化する。 After the start of ejection of the droplet DL, the main control device 3 controls the imaging unit 7 to image the measurement position MP (focus position FP, see FIG. 5C), and analyzes the imaging result to obtain the droplet head. It is examined whether or not the locus PP of the droplet DL ejected from 201 (hereinafter referred to as “droplet passage position PP”) (see FIG. 4B) approaches or coincides with the measurement position MP. The main control device 3 calculates the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP. In this embodiment, the operator is informed step by step of the distance between the droplet passing position PP and the measurement position MP. Further, the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP is notified by the individual position display unit 72 corresponding to the current adjustment target discharge port 227. Specifically, when the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP becomes a predetermined value (for example, 200 (μm)) or less, the background color of the individual position display unit 72 becomes normal gray (normal color). Changes from to white (first special color). When the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP becomes a predetermined value (for example, 100 (μm)) or less, the background color of the individual position display unit 72 changes from white to light green (second special color). ).

次に、液滴ヘッド２０１からの液滴ＤＬの吐出開始後、オペレータは、基準となる２つの吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。基準となる２つの吐出口２２７は、通例、行列状に並んでいる多数の吐出口２２７のうち、対角に位置する２つの吐出口２２７（図３Ａに示す吐出口２２７Ａと吐出口２２７Ｂ）である。
まず、オペレータは、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。具体的には、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、液滴ヘッド２０１の配置位置（Ｘ座標および／またはＹ座標）を調整させる。液滴ヘッド２０１の配置位置（Ｘ座標および／またはＹ座標）の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレーから白色に変化し、さらには薄緑色に変化することにより、オペレータは、計測位置ＭＰが計測位置ＭＰに極めて接近したことを把握できる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応するレジスター（Register）ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７Ａの現在の位置が、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）に対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７Ａに対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。吐出口２２７Ａに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、登録された計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、基準ノズル表示部７５に含まれる第１の基準ノズル表示部８８に反映される。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。 Next, after the start of ejection of the droplet DL from the droplet head 201, the operator registers the measurement position MP corresponding to the two reference ejection ports 227. The two reference discharge ports 227 are usually two discharge ports 227 (discharge ports 227A and discharge ports 227B shown in FIG. 3A) located diagonally among a large number of discharge ports 227 arranged in a matrix. be.
First, the operator registers the measurement position MP corresponding to the discharge port 227A (Nozzle 1). Specifically, the operator adjusts the arrangement position (X coordinate and / or Y coordinate) of the droplet head 201 by operating the position operation button 78. As the arrangement position (X coordinate and / or Y coordinate) of the droplet head 201 changes, the main control device 3 controls the XYZ drive unit 9 to move the droplet head 201 in the X direction and / or the Y direction. Let me. By changing the background color of the individual position display unit 72 from normal gray to white and then to light green, the operator can grasp that the measurement position MP is extremely close to the measurement position MP. The operator registers the measurement position MP corresponding to the discharge port 227A (Nozzle 1) while observing the change in the background color of the individual position display unit 72. When the register button 83 corresponding to the discharge port 227A (Nozzle 1) is operated, the current position of the discharge port 227A is stored in the storage device 21 as the measurement position MP corresponding to the discharge port 227A (Nozzle 1). be registered. After the registration is completed, the registration status display 85 corresponding to the discharge port 227A changes from the first status display color (red) to the second status display color (green). When the registration of the measurement position MP corresponding to the discharge port 227A is completed, the position information (X coordinate, Y coordinate and Z coordinate) of the registered measurement position MP is included in the reference nozzle display unit 75 to display the first reference nozzle. It is reflected in the part 88. Further, the operator may manually move the droplet head 201 and the head holder 4 by the operation unit for manual operation instead of operating the position operation button 78.

次いで、オペレータは、吐出口２２７Ｂ（Nozzle 80）に対応する計測位置ＭＰの登録を行う。具体的には、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、液滴ヘッド２０１の現在位置のＸ座標および／またはＹ座標を変化させる。現在位置のＸ座標および／またはＹ座標の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。個別位置表示部７２の背景色が、通常のグレーから白色に変化し、さらには薄緑色に変化することにより、オペレータは、計測位置ＭＰが計測位置ＭＰに極めて接近したことを把握できる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７Ｂに対応する登録ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７Ｂの現在の位置が、吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７Ｂに対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。吐出口２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、登録された計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、基準ノズル表示部７５に含まれる第２の基準ノズル表示部８９に反映される。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。 Next, the operator registers the measurement position MP corresponding to the discharge port 227B (Nozzle 80). Specifically, the operator changes the X coordinate and / or the Y coordinate of the current position of the droplet head 201 by operating the position operation button 78. As the X-coordinate and / or Y-coordinate of the current position changes, the main control device 3 controls the XYZ drive unit 9 to move the droplet head 201 in the X-direction and / or the Y-direction. By changing the background color of the individual position display unit 72 from normal gray to white and then to light green, the operator can grasp that the measurement position MP is extremely close to the measurement position MP. The operator registers the measurement position MP corresponding to the discharge port 227B while observing the change in the background color of the individual position display unit 72. When the registration button 83 corresponding to the discharge port 227B is operated, the current position of the discharge port 227B is registered in the storage device 21 as the measurement position MP corresponding to the discharge port 227B. After the registration is completed, the registration status display 85 corresponding to the discharge port 227B changes from the first status display color (red) to the second status display color (green). When the registration of the measurement position MP corresponding to the discharge port 227B is completed, the position information (X coordinate, Y coordinate and Z coordinate) of the registered measurement position MP is included in the reference nozzle display unit 75 to display the second reference nozzle. It is reflected in the part 89. Further, the operator may manually move the droplet head 201 and the head holder 4 by the operation unit for manual operation instead of operating the position operation button 78.

基準となる２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰの登録が終了すると、主制御装置３は、吐出口２２７Ａ（Nozzle 1）および吐出口２２７Ｂ（Nozzle 80）にそれぞれ対応する計測位置ＭＰと、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報（複数の吐出口２２７同士の位置関係）とに基づいて、他の全ての吐出口２２７（すなわち、７８個の吐出口２２７）に対応する計測位置ＭＰを算出する。主制御装置３は、算出された、他の全ての吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを、対応する個別位置表示部７２に表示させる。 When the registration of the measurement position MP corresponding to the two reference discharge ports 227A and 227B is completed, the main control device 3 performs the measurement position MP corresponding to the discharge port 227A (Nozzle 1) and the discharge port 227B (Nozzle 80), respectively. And all the other ejection ports 227 (the positional relationship between the plurality of ejection ports 227) of each ejection port 227 of the droplet head 201 stored in the droplet head information storage unit 23. That is, the measurement position MP corresponding to the 78 discharge ports 227) is calculated. The main control device 3 causes the corresponding individual position display unit 72 to display the calculated measurement position MP corresponding to all the other discharge ports 227.

次いで、オペレータは、算出された計測位置ＭＰについて、１つずつ、計測位置ＭＰの調整（微調整）を行う。具体的には、オペレータは、調整の対象の吐出口２２７（たとえば、Nozzle 2）の個別位置表示部７２の登録ボタン８３を操作する。すると、調整の対象の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標、Ｙ座標およびＺ座標）が、現在位置操作表示部７７に表示される。そして、オペレータは、位置操作ボタン７８を操作することにより、計測位置ＭＰの位置情報のＸ座標および／またはＹ座標を変化させる。計測位置ＭＰの位置情報のＸ座標および／またはＹ座標の変化に伴って、主制御装置３がＸＹＺ駆動ユニット９を制御して、液滴ヘッド２０１をＸ方向および／またはＹ方向に移動させる。オペレータは、個別位置表示部７２の背景色の変化を観察しながら、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する計測位置ＭＰを登録する。吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する登録ボタン８３が操作されると、その吐出口２２７（Nozzle 2）の現在の位置が、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する計測位置ＭＰとして記憶装置２１に登録される。登録終了後には、吐出口２２７（Nozzle 2）に対応する登録状態表示８５が、第１の状態表示色（赤）から第２の状態表示色（緑）に変化する。また、オペレータは、位置操作ボタン７８の操作に代えて、手動操作用の操作ユニットにより手動で、液滴ヘッド２０１およびヘッドホルダ４を移動させるようにしてもよい。 Next, the operator adjusts (fine-tunes) the measured position MP one by one for the calculated measurement position MP. Specifically, the operator operates the registration button 83 of the individual position display unit 72 of the discharge port 227 (for example, Nozzle 2) to be adjusted. Then, the position information (X coordinate, Y coordinate and Z coordinate) of the measurement position MP corresponding to the discharge port 227 to be adjusted is displayed on the current position operation display unit 77. Then, the operator changes the X coordinate and / or the Y coordinate of the position information of the measurement position MP by operating the position operation button 78. The main control device 3 controls the XYZ drive unit 9 to move the droplet head 201 in the X direction and / or the Y direction according to the change of the X coordinate and / or the Y coordinate of the position information of the measurement position MP. The operator registers the measurement position MP corresponding to the discharge port 227 (Nozzle 2) while observing the change in the background color of the individual position display unit 72. When the registration button 83 corresponding to the discharge port 227 (Nozzle 2) is operated, the current position of the discharge port 227 (Nozzle 2) becomes the storage device 21 as the measurement position MP corresponding to the discharge port 227 (Nozzle 2). To be registered in. After the registration is completed, the registration status display 85 corresponding to the discharge port 227 (Nozzle 2) changes from the first status display color (red) to the second status display color (green). Further, the operator may manually move the droplet head 201 and the head holder 4 by the operation unit for manual operation instead of operating the position operation button 78.

このようにして、オペレータは、残りの全ての吐出口２２７について、１つずつ、計測位置ＭＰの調整を行う。図８には、計測位置ＭＰの調整の前の段階の位置登録画面７１を示し、図９には、吐出口２２７（Nozzle 2）に対する調整が終了し、次に吐出口２２７（Nozzle 3）に対する調整を行っている段階の位置登録画面７１を示す。
そして、全ての吐出口２２７に対する計測位置ＭＰが完了すると、オペレータは、サブメニューバー５２において、流量計測ボタン５５を操作する。 In this way, the operator adjusts the measurement position MP one by one for all the remaining discharge ports 227. FIG. 8 shows the position registration screen 71 at the stage before the adjustment of the measurement position MP, and FIG. 9 shows the adjustment for the discharge port 227 (Nozzle 2) is completed, and then the adjustment for the discharge port 227 (Nozzle 3) is completed. The position registration screen 71 at the stage of making adjustments is shown.
Then, when the measurement position MP for all the discharge ports 227 is completed, the operator operates the flow rate measurement button 55 on the submenu bar 52.

このように、自動算出された計測位置ＭＰを、吐出口２２７から実際に吐出される液滴の液滴通過位置ＰＰと対比させながら個別に調整できる。液滴ヘッド２０１には個体差があるので、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報のみに基づいて計測位置を登録すると、計測位置ＭＰと液滴通過位置ＰＰとが大きくずれることも考えられる。このような調整を行うことにより、液滴ヘッド２０１の個体差によらずに、各吐出口２２７に対応する計測位置を、より高精度に登録できる。 In this way, the automatically calculated measurement position MP can be individually adjusted while being compared with the droplet passage position PP of the droplet actually ejected from the ejection port 227. Since there are individual differences in the droplet head 201, if the measurement position is registered based only on the position information of each discharge port 227 of the droplet head 201 stored in the droplet head information storage unit 23, the measurement position MP will be obtained. It is also possible that the droplet passage position PP deviates significantly. By making such an adjustment, the measurement position corresponding to each discharge port 227 can be registered with higher accuracy regardless of the individual difference of the droplet head 201.

また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離を、現在の調整対象の吐出口２２７に対応する個別位置表示部７２において報知するので、現在の計測位置ＭＰと液滴通過位置ＰＰとの距離を確認しながら、計測位置ＭＰの調整を行うことができる。これにより、正確な計測位置ＭＰを、比較的容易に登録できる。さらには、現在の調整対象の吐出口２２７がいずれの吐出口２２７であるのかを、オペレータが一目で認識できる。また、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知が段階的に行われるので、計測位置ＭＰの細かな調整が可能である。 Further, since the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP is notified by the individual position display unit 72 corresponding to the discharge port 227 to be adjusted at present, the current measurement position MP and the droplet passage position PP The measurement position MP can be adjusted while checking the distance to and from. As a result, the accurate measurement position MP can be registered relatively easily. Further, the operator can recognize at a glance which discharge port 227 is the current discharge port 227 to be adjusted. Further, since the distance between the droplet passing position PP and the measurement position MP is notified stepwise, the measurement position MP can be finely adjusted.

サブメニューバー５２において、流量計測ボタン５５が操作されると、主制御装置３は、図１０に示す流量計測画面９１を表示部５１に表示させる。流量計測画面９１を用いて、液滴ヘッド２０１の液滴流速が所望の速さであるときの、液滴ヘッド２０１への供給流量の計測（以下、「流量計測」という）が行われる（図６のＳ３：流量計測（流量取得工程））。この実施形態では、流量計測によって、液滴流速と供給流量等との対応関係を規定する流速テーブルが得られる。この実施形態では、基準流速テーブル３３が予め流速テーブル記憶部２４に記憶されており、流量計測によって基準流速テーブル３３を補正した後の補正後流速テーブル３４を算出している。 When the flow rate measurement button 55 is operated on the submenu bar 52, the main control device 3 causes the display unit 51 to display the flow rate measurement screen 91 shown in FIG. Using the flow rate measurement screen 91, measurement of the supply flow rate to the droplet head 201 (hereinafter referred to as “flow rate measurement”) is performed when the droplet flow velocity of the droplet head 201 is a desired speed (FIG. S3 of 6: Flow rate measurement (flow rate acquisition process)). In this embodiment, the flow rate measurement obtains a flow rate table that defines the correspondence between the droplet flow rate and the supply flow rate and the like. In this embodiment, the reference flow velocity table 33 is stored in the flow velocity table storage unit 24 in advance, and the corrected flow velocity table 34 after the reference flow velocity table 33 is corrected by the flow rate measurement is calculated.

流量計測画面９１は、複数の個別流速／粒径表示部９２と、ヘッド移動操作表示部９３と、基準流速テーブル表示部９４と、補正後流速テーブル表示部９５と、流量計測に用いられる、差分流量を設定／表示する差分設定表示部９６と、全計測（Measure all）ボタン９７と、部分計測（Measure part）ボタン９８とを含む。
この実施形態では、幾つかの吐出口２２７のみを対象として流量計測が行われる。主制御装置３は、所定の個数の吐出口２２７を選択する。 The flow rate measurement screen 91 has a plurality of individual flow velocity / particle size display units 92, a head movement operation display unit 93, a reference flow velocity table display unit 94, a corrected flow velocity table display unit 95, and a difference used for flow rate measurement. It includes a difference setting display unit 96 for setting / displaying a flow rate, a total all button 97, and a partial measurement button 98.
In this embodiment, the flow rate is measured only for some discharge ports 227. The main control device 3 selects a predetermined number of discharge ports 227.

全計測ボタン９７が操作されると、演算ユニット２０は、選択された吐出口２２７について、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件（１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s））に対応する供給流量および周波数を算出する。
具体的には、演算ユニット２０は、図１１に示すように、流速テーブル記憶部２４に記憶されている基準流速テーブル３３の供給流量から差分設定表示部９６にて設定された差分流量ΔＶを減算した供給流量（以下、「減算供給流量」という）の液体を液滴ヘッド２０１に供給しながら吐出口２２７から吐出される液滴流速を算出する。この算出を、選択された複数の吐出口２２７全てについて行う。そして、演算ユニット２０は、算出された流速値について、中央値を中心とした所定範囲にある流速値の平均値Ｖ１を算出する。 When all the measurement buttons 97 are operated, the calculation unit 20 sets the inspection conditions (10 (m / s), 20 (m / s), 30 in 6 stages in which the droplet flow velocities are different from each other for the selected discharge port 227. The supply flow rate and frequency corresponding to (m / s), 40 (m / s), 50 (m / s), 60 (m / s)) are calculated.
Specifically, as shown in FIG. 11, the calculation unit 20 subtracts the difference flow rate ΔV set in the difference setting display unit 96 from the supply flow rate of the reference flow rate table 33 stored in the flow velocity table storage unit 24. The flow rate of the droplets discharged from the discharge port 227 is calculated while supplying the liquid of the supplied flow rate (hereinafter referred to as “subtracted supply flow rate”) to the droplet head 201. This calculation is performed for all of the selected plurality of discharge ports 227. Then, the calculation unit 20 calculates the average value V1 of the flow velocity values in a predetermined range centered on the median with respect to the calculated flow velocity values.

同様に、演算ユニット２０は、図１１に示すように、流速テーブル記憶部２４に記憶されている基準流速テーブル３３の供給流量から設定表示部９６にて設定された差分流量ΔＶを加算した供給流量（以下、「加算供給流量」という）の液体を液滴ヘッド２０１に供給しながら吐出口２２７の液滴流速を算出する。この算出を、選択された複数の吐出口２２７全てについて行う。そして、演算ユニット２０は、算出された流速値について、中央値を中心とした所定範囲にある流速値の平均値Ｖ２を算出する。 Similarly, as shown in FIG. 11, the calculation unit 20 adds the difference flow rate ΔV set in the setting display unit 96 from the supply flow rate of the reference flow rate table 33 stored in the flow velocity table storage unit 24. The droplet flow rate of the discharge port 227 is calculated while supplying the liquid (hereinafter referred to as “additional supply flow rate”) to the droplet head 201. This calculation is performed for all of the selected plurality of discharge ports 227. Then, the calculation unit 20 calculates the average value V2 of the flow velocity values in a predetermined range centered on the median with respect to the calculated flow velocity values.

そして、演算ユニット２０は、平均値Ｖ１と平均値Ｖ２とに基づいて計測グラフＧＲＰを算出する。そして、算出された計測グラフＧＲＰに基づいて、液滴流速が互いに異なる各検査条件に対応する供給流量を求める。基準となる液滴流速の全てについて供給流量が算出され、これに基づいて、補正後流速テーブル３４が作成される。また、供給流量と周波数とは正比例の関係にあるから、補正後流速テーブル３４では、供給流量の補正に合わせて、周波数にも補正が施される。 Then, the calculation unit 20 calculates the measurement graph GRP based on the average value V1 and the average value V2. Then, based on the calculated measurement graph GRP, the supply flow rate corresponding to each inspection condition in which the droplet flow velocities are different from each other is obtained. The supply flow rate is calculated for all the reference droplet flow rates, and the corrected flow rate table 34 is created based on this. Further, since the supply flow rate and the frequency are in a direct proportional relationship, the frequency is also corrected in the corrected flow velocity table 34 in accordance with the correction of the supply flow rate.

また、全計測ボタン９７（図１０参照）に代えて部分計測ボタン９８（図１０参照）が操作された場合には、全ての検査条件（１０（m/s）、２０（m/s）、３０（m/s）、４０（m/s）、５０（m/s）、６０（m/s））ではなく、選択された検査条件のみに対応する供給流量および周波数が算出される。
図１０に示すように、選択された吐出口２２７の数だけ設けられており、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別流速／粒径表示部９２には、対応する吐出口２２７の番号が表示されている。各個別流速／粒径表示部９２は、減算液滴流速表示部１０６と、減算液滴粒径表示部１０７と、加算液滴流速表示部１０８と、加算液滴粒径表示部１０９と、計測状態表示部１１０と、登録（Register）ボタン１０３と、移動（move）ボタン１０４と、個別計測（measure）ボタン９９とを含む。 Further, when the partial measurement button 98 (see FIG. 10) is operated instead of the full measurement button 97 (see FIG. 10), all the inspection conditions (10 (m / s), 20 (m / s), The supply flow rate and frequency corresponding only to the selected inspection conditions are calculated, rather than 30 (m / s), 40 (m / s), 50 (m / s), 60 (m / s)).
As shown in FIG. 10, as many as the number of selected ejection ports 227 are provided, and they are provided in a one-to-one correspondence with the ejection ports 227 of the droplet head 201. The number of the corresponding discharge port 227 is displayed on each individual flow velocity / particle size display unit 92. Each individual flow velocity / particle size display unit 92 measures the subtraction droplet flow velocity display unit 106, the subtraction droplet particle size display unit 107, the addition droplet flow velocity display unit 108, and the addition droplet particle size display unit 109. It includes a status display unit 110, a register button 103, a move button 104, and an individual measurement button 99.

減算液滴流速表示部１０６は、液滴ヘッド２０１への供給流量を減算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴流速を表示する。減算液滴粒径表示部１０７は、液滴ヘッド２０１への供給流量を減算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴粒径を表示する。加算液滴流速表示部１０８は、液滴ヘッド２０１への供給流量を加算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴流速を表示する。加算液滴粒径表示部１０９は、液滴ヘッド２０１への供給流量を加算供給流量とした場合における、対応する吐出口２２７から吐出される液滴粒径を表示する。 The subtraction droplet flow velocity display unit 106 displays the droplet flow velocity discharged from the corresponding discharge port 227 when the supply flow rate to the droplet head 201 is the subtraction supply flow rate. The subtraction droplet particle size display unit 107 displays the droplet particle size discharged from the corresponding discharge port 227 when the supply flow rate to the droplet head 201 is the subtraction supply flow rate. The additional droplet flow velocity display unit 108 displays the droplet flow velocity discharged from the corresponding discharge port 227 when the supply flow rate to the droplet head 201 is set as the additional supply flow rate. The additional droplet particle size display unit 109 displays the droplet particle size discharged from the corresponding discharge port 227 when the supply flow rate to the droplet head 201 is the additional supply flow rate.

計測状態表示部１１０は、対応する吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬに対する計測の正否を表示する。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの流量計測に成功した場合には、計測状態表示部１１０に「Success」が表示される。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの流量計測に失敗した場合には、計測状態表示部１１０に「Failure」が表示される。 The measurement status display unit 110 displays whether or not the measurement is correct for the droplet DL ejected from the corresponding ejection port 227. When the flow rate of the droplet DL at the corresponding discharge port 227 is successfully measured, "Success" is displayed on the measurement status display unit 110. If the flow rate measurement of the droplet DL at the corresponding discharge port 227 fails, "Failure" is displayed on the measurement status display unit 110.

登録ボタン１０３および移動ボタン１０４は、それぞれ、登録ボタン８３（図８参照）および移動ボタン８４（図８参照）と同等の機能を有する。
また、各個別流速／粒径表示部９２は、個別位置表示部７２（図８参照）と同様に、対応する吐出口２２７の液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離に応じて個別流速／粒径表示部９２の背景色が変化する。 The registration button 103 and the move button 104 have the same functions as the registration button 83 (see FIG. 8) and the move button 84 (see FIG. 8), respectively.
Further, each individual flow velocity / particle size display unit 92, similarly to the individual position display unit 72 (see FIG. 8), corresponds to the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP of the corresponding discharge port 227. The background color of the individual flow velocity / particle size display unit 92 changes.

ヘッド移動操作表示部９３は、最も直近に検査を行った計測位置ＭＰの位置情報を表示する現在位置操作表示部１０１と、位置操作ボタン１０２とを含む。
基準流速テーブル表示部９４には、基準流速テーブル３３に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。 The head movement operation display unit 93 includes a current position operation display unit 101 that displays the position information of the measurement position MP that has been inspected most recently, and a position operation button 102.
The reference flow rate table display unit 94 shows the droplet flow rate (Speed (m / s)), the supply flow rate (Rate (L / min)), and the frequency (Frequency (kHz)) stored in the reference flow rate table 33. Is displayed separately for each of the six inspection conditions in which the flow rates of droplets are different from each other.

補正後流速テーブル表示部９５には、補正後流速テーブル３４に記憶されている、液滴流速（Speed（m/s））と、供給流量（Rate（L/min））および周波数（Frequency（kHz））とが、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。
流量計測の結果は、補正後流速テーブル表示部９５において色表示される。流量計測に成功した場合には、補正後流速テーブル表示部９５において、対応する検査条件の行の背景色が緑になる。また、流量計測に失敗した吐出口２２７がある場合には、補正後流速テーブル表示部９５において、対応する検査条件の行の背景色が黄になる。対応する検査条件について計測が完了していない行の背景には、色は付されない。 The corrected flow rate table display unit 95 displays the droplet flow rate (Speed (m / s)), the supply flow rate (Rate (L / min)), and the frequency (Frequency (kHz)) stored in the corrected flow rate table 34. )) And are displayed separately for each of the six stages of inspection conditions in which the flow rates of droplets differ from each other.
The result of the flow rate measurement is displayed in color on the corrected flow velocity table display unit 95. When the flow rate measurement is successful, the background color of the row of the corresponding inspection condition becomes green on the corrected flow velocity table display unit 95. Further, when there is a discharge port 227 in which the flow rate measurement fails, the background color of the row of the corresponding inspection condition becomes yellow on the corrected flow velocity table display unit 95. The background of rows that have not been measured for the corresponding inspection conditions is not colored.

オペレータは、流量計測に失敗した（Failure）吐出口２２７において、必要に応じて再計測を行うことができる。オペレータが、部分計測ボタン９８、または、再計測を希望する吐出口２２７に対応する個別計測ボタン９９を操作することにより、これらの吐出口２２７に対して再度流量計測が実施される。
計測対象の全ての液滴流速に対する流量計測が完了すると、オペレータは、サブメニューバー５２において、流速計測ボタン５６を操作する。 The operator can perform remeasurement as necessary at the discharge port 227 where the flow rate measurement has failed (Failure). When the operator operates the partial measurement button 98 or the individual measurement button 99 corresponding to the discharge port 227 desired to be remeasured, the flow rate measurement is performed again for these discharge ports 227.
When the flow rate measurement for all the droplet flow rates to be measured is completed, the operator operates the flow velocity measurement button 56 on the submenu bar 52.

サブメニューバー５２において、流速計測ボタン５６が操作されると、主制御装置３は、図１２の液滴状態計測画面１１１を表示部５１に表示させる。
液滴状態計測画面１１１を用いて、液滴ヘッド２０１から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）の計測（以下、「液滴状態計測」という）が行われる（図６のＳ４：液滴状態計測（液滴状態計測工程））。 When the flow velocity measurement button 56 is operated on the submenu bar 52, the main control device 3 causes the display unit 51 to display the droplet state measurement screen 111 of FIG.
Using the droplet state measurement screen 111, the state (droplet flow velocity and droplet particle size) of the droplet DL ejected from the droplet head 201 is measured (hereinafter referred to as “droplet state measurement”) (hereinafter referred to as “droplet state measurement”). S4 of FIG. 6: Droplet state measurement (droplet state measurement step)).

液滴状態計測では、主制御装置３は、流量計測によって得られた補正後流速テーブル３４に基づいて基準になる流速を得るための液体流量を液滴ヘッド２０１に供給しながら、全ての吐出口２２７を対象として流量計測が行われる。
液滴状態計測画面１１１は、複数の個別流速／粒径表示部１１２と、ヘッド移動操作表示部１１３と、実流速テーブル表示部１１４と、最終計測吐出口情報表示部１１５と、良品条件（Good product condition）ボタン１１７と、総合判定（overall judgment）表示部１１８と、全計測（Measure all）ボタン１１９と、再計測（Measure part）ボタン１２０と、結果保存（Save result）ボタン１２１とを含む。 In the droplet state measurement, the main control device 3 supplies the liquid flow rate for obtaining a reference flow rate based on the corrected flow rate table 34 obtained by the flow rate measurement to the droplet head 201, and all the discharge ports. The flow rate is measured for 227.
The droplet state measurement screen 111 includes a plurality of individual flow velocity / particle size display units 112, a head movement operation display unit 113, an actual flow velocity table display unit 114, a final measurement discharge port information display unit 115, and good product conditions (Good). It includes a product condition button 117, an overall judgment display unit 118, a Measure all button 119, a Measure part button 120, and a Save result button 121.

良品条件（Good product condition）ボタン１１７は、良品条件および／または次に述べる判定条件を設定（・変更）するための条件設定画面１７１に移行するための画面である。
図１２に示すように、個別流速／粒径表示部１１２は、液滴ヘッド２０１の全ての吐出口２２７の数だけ設けられている。各個別流速／粒径表示部１１２は、液滴ヘッド２０１の吐出口２２７に一対一対応で設けられている。各個別流速／粒径表示部１１２には、対応する吐出口２２７の番号が表示されている。各個別流速／粒径表示部１１２は、液滴流速表示部１２３と、液滴粒径表示部１２４と、計測結果表示部１２５と、登録（Register）ボタン１２８と、移動（move）ボタン１２９と、個別計測（measure）ボタン１３１とを含む。 The Good product condition button 117 is a screen for shifting to the condition setting screen 171 for setting (or changing) the good product condition and / or the determination condition described below.
As shown in FIG. 12, the individual flow velocity / particle size display unit 112 is provided as many as the number of all the ejection ports 227 of the droplet head 201. Each individual flow velocity / particle size display unit 112 is provided in a one-to-one correspondence with the discharge port 227 of the droplet head 201. The number of the corresponding discharge port 227 is displayed on each individual flow velocity / particle size display unit 112. Each individual flow velocity / particle size display unit 112 includes a droplet flow velocity display unit 123, a droplet particle size display unit 124, a measurement result display unit 125, a register button 128, and a move button 129. , Includes an individual measure button 131.

全計測ボタン１１９が操作されると、演算ユニット２０は、選択された吐出口２２７について、流量計測において算出した、各検査条件に対応する供給流量および周波数を使用して、全ての吐出口２２７に対し、各検査条件において液滴速度および液滴粒径を計測する。
主制御装置３の演算ユニット２０は、記憶装置２１に登録されている判定条件に基づいて、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態を判定する（図６のＳ５：液滴状態判定）。判定条件については、図１６を用いて後述するように、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）について閾値が規定されている。演算ユニット２０は、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）が、判定条件を満たしている場合には、当該液滴状態について、安定状態と判定する。一方、演算ユニット２０は、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（液滴流速および液滴粒径）が、判定条件を満たしていない場合には、当該液滴の状態について、不安定状態と判定する。 When all measurement buttons 119 are operated, the arithmetic unit 20 uses the supply flow rate and frequency corresponding to each inspection condition calculated in the flow rate measurement for the selected discharge ports 227 to all the discharge ports 227. On the other hand, the droplet velocity and the droplet particle size are measured under each inspection condition.
The calculation unit 20 of the main control device 3 determines the state of the droplet DL discharged from each discharge port 227 based on the determination conditions registered in the storage device 21 (S5 in FIG. 6: determination of the droplet state). ). As for the determination conditions, as will be described later with reference to FIG. 16, a threshold value is defined for the state (droplet flow velocity and droplet particle size) of the droplet DL discharged from each discharge port 227. When the state (droplet flow velocity and particle size) of the droplet DL discharged from each discharge port 227 satisfies the determination conditions, the calculation unit 20 determines that the droplet state is in a stable state. do. On the other hand, when the state of the droplet DL (droplet flow velocity and droplet particle size) discharged from each discharge port 227 does not satisfy the determination conditions, the calculation unit 20 is unsatisfied with the state of the droplet. Judged as stable.

液滴流速表示部１２３は、対応する吐出口２２７の液滴流速を表示する。液滴粒径表示部１２４は、対応する吐出口２２７の液滴粒径を表示する。計測結果表示部１２５は、対応する吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの吐出状態の判定結果を表示する。対応する吐出口２２７における液滴ＤＬの吐出が安定している場合には、計測結果表示部１２５に「Success」が表示される。対応する吐出口２２７における液滴の吐出が不安定である場合には、「Bad」が表示される。対応する吐出口２２７において、液滴状態の計測に失敗した場合には「Failure」が表示される。 The droplet flow velocity display unit 123 displays the droplet flow velocity of the corresponding discharge port 227. The droplet particle size display unit 124 displays the droplet particle size of the corresponding discharge port 227. The measurement result display unit 125 displays the determination result of the ejection state of the droplet DL ejected from the corresponding ejection port 227. When the ejection of the droplet DL at the corresponding ejection port 227 is stable, "Success" is displayed on the measurement result display unit 125. If the droplet ejection at the corresponding ejection port 227 is unstable, "Bad" is displayed. If the measurement of the droplet state fails at the corresponding discharge port 227, "Failure" is displayed.

登録ボタン１２８および移動ボタン１２９は、それぞれ、登録ボタン８３（図８参照）および移動ボタン８４（図８参照）と同等の機能を有する。
また、個別流速／粒径表示部１１２は、個別位置表示部７２（図８参照）および個別流速／粒径表示部９２（図１０参照）と同様に、対応する吐出口２２７の液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離に応じて個別流速／粒径表示部９２の背景色が変化する。 The registration button 128 and the move button 129 have the same functions as the registration button 83 (see FIG. 8) and the move button 84 (see FIG. 8), respectively.
Further, the individual flow velocity / particle size display unit 112 is the same as the individual position display unit 72 (see FIG. 8) and the individual flow velocity / particle size display unit 92 (see FIG. 10), and the droplet passage position of the corresponding discharge port 227 is provided. The background color of the individual flow velocity / particle size display unit 92 changes according to the distance between the PP and the measurement position MP.

実流速テーブル表示部１１４には、液滴流速、液体流量、液圧（噴射のための液圧）、周波数、液滴粒径、液滴状態が不安定な計測の数（Bad count）および失敗した計測の数（Failure count）がそれぞれ、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件ごとに分けて表示される。
液滴状態の計測の結果は、実流速テーブル表示部１１４において色表示される。液滴ＤＬの吐出が安定している場合には、実流速テーブル表示部１１４において、対応する検査条件の行の背景色が緑になる。液滴ＤＬが不安定に吐出している吐出口２２７がある場合には、対応する検査条件の行の背景色が黄になる。液滴状態の計測に失敗した吐出口２２７がある場合には、対応する検査条件の行の背景色が赤になる。対応する検査条件について液滴状態の計測が完了していない行の背景には、色は付されない。 On the actual flow velocity table display unit 114, the droplet flow velocity, the liquid flow rate, the hydraulic pressure (hydraulic pressure for injection), the frequency, the droplet particle size, the number of measurements in which the droplet state is unstable (Bad count), and the failure The number of measurements made (Failure count) is displayed separately for each of the six inspection conditions in which the droplet flow velocity is different from each other.
The result of the measurement of the droplet state is displayed in color on the actual flow velocity table display unit 114. When the ejection of the droplet DL is stable, the background color of the row of the corresponding inspection condition becomes green on the actual flow velocity table display unit 114. When there is an ejection port 227 in which the droplet DL is ejected unstablely, the background color of the row of the corresponding inspection condition becomes yellow. If there is a discharge port 227 that fails to measure the droplet state, the background color of the line of the corresponding inspection condition becomes red. Corresponding inspection conditions The background of lines for which the measurement of the droplet state has not been completed is not colored.

最終計測吐出口情報表示部１１５は、最後に計測した吐出口２２７の番号と、そのときの基準流速を示す。
オペレータは、液滴ＤＬの吐出が不安定である（Bad）吐出口２２７、および／または液滴状態の計測に失敗した（Failure）吐出口２２７において、必要に応じて再計測を行う（図６のＳ７）。これらの吐出口２２７がある（NGの吐出口がある）場合（図６のＳ６でＹＥＳ）、オペレータが、部分計測ボタン１２０、または、再計測を希望する吐出口２２７に対応する個別計測ボタン１３１を操作することにより、これらの吐出口２２７に対して再計測が実施される。 The final measurement discharge port information display unit 115 shows the number of the discharge port 227 measured last and the reference flow velocity at that time.
The operator remeasures as necessary at the (Bad) discharge port 227 where the droplet DL is unstable and / or at the (Failure) discharge port 227 where the measurement of the droplet state fails (FIG. 6). S7). When there are these discharge ports 227 (there is an NG discharge port) (YES in S6 of FIG. 6), the operator has a partial measurement button 120 or an individual measurement button 131 corresponding to the discharge port 227 desired to be remeasured. By operating the above, remeasurement is performed for these discharge ports 227.

主制御装置３の演算ユニット２０は、良品条件記憶部３１に記憶されている良品条件に基づいて、液滴ヘッド２０１の検査結果の判定を行う（図６のＳ８：良品判定）。良品条件の具体的な内容は、図１６を用いて後述する。
主制御装置３の演算ユニット２０は、液滴ヘッド２０１に対する液滴状態計測（図６のＳ４）の結果が良品条件を満たしている場合には、検査に合格したとして総合判定表示部１１８に「Pass」を表示する。一方、演算ユニット２０は、液滴ヘッド２０１に対する液滴状態計測（図６のＳ４）の結果が良品条件を満たしていない場合には、検査に不合格であるとして総合判定表示部１１８に「Failure」を表示する。 The calculation unit 20 of the main control device 3 determines the inspection result of the droplet head 201 based on the non-defective product condition stored in the non-defective product condition storage unit 31 (S8 in FIG. 6: non-defective product determination). The specific contents of the non-defective product condition will be described later with reference to FIG.
When the result of the droplet state measurement (S4 in FIG. 6) for the droplet head 201 is satisfied with the non-defective product condition, the arithmetic unit 20 of the main control device 3 determines that the inspection has passed and displays the comprehensive judgment display unit 118. "Pass" is displayed. On the other hand, if the result of the droplet state measurement (S4 in FIG. 6) for the droplet head 201 does not satisfy the non-defective condition, the calculation unit 20 determines that the inspection has failed and "Failure" is displayed on the comprehensive judgment display unit 118. Is displayed.

オペレータによって結果保存ボタン１２１が操作されると、演算ユニット２０は、検査結果出力プログラム２９に基づいて、図１３に示す検査成績書１４１（検査結果）、および図１４に示す流速テーブル１４２（検査結果）を作成する。
検査成績書１４１には、液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の状態が記載される。不安定な液滴の吐出が見られた吐出口２２７の番号には、チェックが付されている。検査成績書１４１には、液滴ヘッド２０１に対する良品判定の結果が、総合判定として表示される。検査成績書１４１は、表計算ソフトの形態で作成される。 When the result save button 121 is operated by the operator, the arithmetic unit 20 sets the inspection report 141 (inspection result) shown in FIG. 13 and the flow velocity table 142 (inspection result) shown in FIG. 14 based on the inspection result output program 29. ) Is created.
The inspection report 141 describes the state of each ejection port 227 of the droplet head 201. The number of the discharge port 227 where the discharge of unstable droplets was observed is checked. In the inspection report 141, the result of the non-defective product determination for the droplet head 201 is displayed as a comprehensive determination. The inspection report 141 is created in the form of spreadsheet software.

流速テーブル１４２には、液滴状態計測（図６のＳ４）において用いた流速テーブル（すなわち、補正後の補正後流速テーブル３４）の一部または全部が記載される。検査成績書１４１は、表計算ソフトの形態で作成される。オペレータは、液滴検査装置１に接続されたプリンタ等を用いて、検査成績書１４１および流速テーブル１４２を出力できる。
検査成績書１４１および流速テーブル１４２の作成後には、表示部５１のサブメニューバー５２に、シャットダウンボタンが表示される。オペレータがシャットダウンボタンを操作することにより、液滴検査装置１を用いた液滴検査処理が終了する。 The flow velocity table 142 describes a part or all of the flow velocity table (that is, the corrected corrected flow velocity table 34) used in the droplet state measurement (S4 in FIG. 6). The inspection report 141 is created in the form of spreadsheet software. The operator can output the inspection report 141 and the flow velocity table 142 by using a printer or the like connected to the droplet inspection device 1.
After creating the inspection report 141 and the flow velocity table 142, a shutdown button is displayed on the submenu bar 52 of the display unit 51. When the operator operates the shutdown button, the droplet inspection process using the droplet inspection device 1 is completed.

図１５は、液滴ヘッド２０１を登録するためのヘッド事前登録画面１６１を示す図である。メニュー画面において「登録」のボタンが操作され、ヘッド登録ボタンが選択されると、表示部５１に、ヘッド事前登録画面１６１が表示される。
ヘッド事前登録画面１６１には、液滴ヘッド入力部１６２と、吐出口数入力部１６３と、吐出口位置入力部１６４と、設定ボタン１６５と、ヘッド情報表示部１６６、保存（Save）ボタン１６７とを含む。液滴ヘッド入力部１６２は、登録対象の液滴ヘッド２０１の名称を入力するための入力部である。吐出口数入力部１６３は、登録対象の液滴ヘッド２０１に含まれる吐出口２２７の数を入力するための入力部である。吐出口位置入力部１６４は、登録対象の液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報（Ｘ座標およびＹ座標）を入力するための入力部である。設定ボタン１６５は、液滴ヘッド入力部１６２と、吐出口数入力部１６３と、吐出口位置入力部１６４との入力情報を決定するためのボタンである。設定ボタン１６５が操作されると、ヘッド情報表示部１６６に、登録対象の液滴ヘッド２０１についての項目が追加される。保存ボタン１６７が操作されると、液滴ヘッド２０１についての情報（名称、吐出口数、各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報）が、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶される。 FIG. 15 is a diagram showing a head pre-registration screen 161 for registering the droplet head 201. When the "register" button is operated on the menu screen and the head registration button is selected, the head pre-registration screen 161 is displayed on the display unit 51.
The head pre-registration screen 161 includes a droplet head input unit 162, a discharge port number input unit 163, a discharge port position input unit 164, a setting button 165, a head information display unit 166, and a save button 167. include. The droplet head input unit 162 is an input unit for inputting the name of the droplet head 201 to be registered. The discharge port number input unit 163 is an input unit for inputting the number of discharge ports 227 included in the droplet head 201 to be registered. The discharge port position input unit 164 is an input unit for inputting the position information (X coordinate and Y coordinate) of the measurement position MP of each discharge port 227 of the droplet head 201 to be registered. The setting button 165 is a button for determining input information between the droplet head input unit 162, the discharge port number input unit 163, and the discharge port position input unit 164. When the setting button 165 is operated, an item for the droplet head 201 to be registered is added to the head information display unit 166. When the save button 167 is operated, information about the droplet head 201 (name, number of ejection ports, position information of the measurement position MP of each ejection port 227) is stored in the droplet head information storage unit 23.

この場合、事前に登録された、各吐出口２２７の計測位置ＭＰの位置情報に基づいて、他の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰが求められる。すなわち、検査対象の液滴ヘッド２０１に固有の正確な位置関係に基づいて、他の吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを算出できる。そのため、計測位置ＭＰの算出を、より正確に行うことができる。
図１６は、良品条件および判定条件を設定（・変更）するための条件設定画面１７１を示す図である。図１２の良品条件ボタン１１７が操作されると、表示部５１に、条件設定画面１７１が表示される。オペレータは、この条件設定画面１７１を用いて、良品条件記憶部３１に記憶されている良品条件を設定または変更することができ、判定条件記憶部３２に記憶されている判定良品条件を設定または変更できる。 In this case, the measurement position MP corresponding to the other discharge port 227 is obtained based on the position information of the measurement position MP of each discharge port 227 registered in advance. That is, the measurement position MP corresponding to the other ejection port 227 can be calculated based on the accurate positional relationship peculiar to the droplet head 201 to be inspected. Therefore, the measurement position MP can be calculated more accurately.
FIG. 16 is a diagram showing a condition setting screen 171 for setting (or changing) a non-defective product condition and a determination condition. When the non-defective product condition button 117 of FIG. 12 is operated, the condition setting screen 171 is displayed on the display unit 51. The operator can set or change the non-defective product condition stored in the non-defective product condition storage unit 31 by using the condition setting screen 171 and set or change the non-defective product condition stored in the determination condition storage unit 32. can.

この条件設定画面１７１は、良品条件を設定するための良品条件設定部１７２と、判定条件を設定するための判定条件設定部１７３とを含む。良品条件設定部１７２には、液滴状態の計測に失敗した吐出口２２７の数の上限を設定するための失敗数（Failure nozzle count）設定部１７４と、液滴状態が不安定な吐出口２２７の数（Bad nozzle count）と失敗数（Failure nozzle count）との合計数の上限を設定するための不良数（Bad and failure nozzle count）設定部１７５と、圧力（噴射のための液圧）の上限を設定するための圧力上限設定部１７６と、全吐出口２２７からの液滴ＤＬの平均流速の上下限を設定するための平均流速（Upper and lower limits of average flow speed）上下限設定部１７７と、全吐出口２２７からの液滴ＤＬの平均粒径の上下限を設定するための平均粒径上下限（Upper and lower limits of average flow diameter）設定部１７８とを含む。判定条件設定部１７３は、対応する吐出口２２７からの液滴ＤＬの流速の上下限を設定するための流速上下限（Upper and lower limits of flow speed）設定部１７９と、対応する吐出口２２７からの液滴ＤＬの粒径の上下限を設定するための粒径上下限（Upper and lower limits of flow diameter）設定部１８０とを含む。 The condition setting screen 171 includes a non-defective product condition setting unit 172 for setting non-defective product conditions and a determination condition setting unit 173 for setting determination conditions. The non-defective product condition setting unit 172 includes a failure nozzle count setting unit 174 for setting an upper limit of the number of discharge ports 227 that failed to measure the droplet state, and a discharge port 227 whose droplet state is unstable. (Bad and failure nozzle count) setting unit 175 for setting the upper limit of the total number of the number (Bad nozzle count) and the number of failures (Failure nozzle count), and the pressure (hydraulic pressure for injection) Pressure upper limit setting unit 176 for setting the upper limit and upper and lower limit setting unit 177 for setting the upper and lower limits of the average flow velocity of the droplet DL from all the discharge ports 227. And the upper and lower limits of average flow diameter setting unit 178 for setting the upper and lower limits of the average particle size of the droplet DL from the total ejection port 227. The determination condition setting unit 173 is from the upper and lower limits of flow speed setting unit 179 for setting the upper and lower limits of the flow velocity of the droplet DL from the corresponding discharge port 227, and from the corresponding discharge port 227. It includes an upper and lower limits of flow diameter setting unit 180 for setting the upper and lower limits of the particle size of the droplet DL.

Ｒｅｓｅｔボタン１８１が操作されると、良品条件設定部１７２および判定条件設定部１７３において設定されている良品条件および判定条件がそれぞれ、保存されずに消去される。
ＯＫボタン１８２が操作されると、良品条件設定部１７２において設定されている良品条件が、良品条件記憶部３１に記憶される。また、判定条件設定部１７３において設定されている判定条件が、判定条件記憶部３２に記憶される。 When the Reset button 181 is operated, the non-defective product condition and the determination condition set in the non-defective product condition setting unit 172 and the determination condition setting unit 173 are deleted without being saved.
When the OK button 182 is operated, the non-defective product condition set in the non-defective product condition setting unit 172 is stored in the non-defective product condition storage unit 31. Further, the determination conditions set in the determination condition setting unit 173 are stored in the determination condition storage unit 32.

Ｃａｎｃｅｌボタン１８３が操作されると、表示部５１の表示が、図１２の液滴状態計測画面１１１に戻る。
以上によりこの実施形態によれば、液滴検査装置１において、計測位置ＭＰを各吐出口２２７に対応付けて登録する工程と、液滴ヘッド２０１に液体を供給しながら各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬを計測位置ＭＰにおいて撮像ユニット７によって計測する工程と、各吐出口２２７から吐出されている液滴状態を判定する工程とが自動的に行われる。これらの各工程が自動的に行われるから、液滴検査におけるオペレータの作業を軽減できる。 When the Panel button 183 is operated, the display of the display unit 51 returns to the droplet state measurement screen 111 of FIG.
Based on the above, according to this embodiment, in the droplet inspection device 1, the step of registering the measurement position MP in association with each discharge port 227 and the liquid being supplied to the droplet head 201 while being discharged from each discharge port 227. The step of measuring the droplet DL at the measurement position MP by the image pickup unit 7 and the step of determining the state of the droplet ejected from each ejection port 227 are automatically performed. Since each of these steps is performed automatically, the operator's work in the droplet inspection can be reduced.

また、液滴検査装置１において、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応して登録された計測位置ＭＰと、液滴ヘッド情報記憶部２３に記憶されている液滴ヘッド２０１の各吐出口２２７の位置情報とに基づいて、各吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰが算出される。そのため、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂに対応する計測位置ＭＰを登録するだけで、他の全ての吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを求めることが可能である。これにより、オペレータが各吐出口２２７に対応する計測位置ＭＰを登録するのに要する時間が不要であるから、ゆえに、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態を短時間で検査できる。 Further, in the droplet inspection device 1, the measurement position MP registered corresponding to the two ejection ports 227A and 227B, and each ejection port 227 of the droplet head 201 stored in the droplet head information storage unit 23. The measurement position MP corresponding to each discharge port 227 is calculated based on the position information. Therefore, it is possible to obtain the measurement position MP corresponding to all the other discharge ports 227 only by registering the measurement position MP corresponding to the two discharge ports 227A and 227B. This eliminates the time required for the operator to register the measurement position MP corresponding to each discharge port 227, and therefore, the state of the droplet DL discharged from each discharge port 227 can be inspected in a short time.

また、液滴検査装置１を用いて液滴検査処理において、液滴状態計測（図６のＳ４）に先立って流量計測（図６のＳ３）が実行される。この場合、流量計測（図６のＳ４）において、所望の液滴状態が得られるような流量を事前に把握できる。そして、液滴状態計測（図６のＳ４）においてその流量の液体を供給することにより、所望する状態（たとえば液滴ＤＬの流速および液滴ＤＬの粒径の少なくとも一方）が見込める条件で計測を行うことができる。これにより、所望する状態における、各吐出口２２７から吐出される液滴ＤＬの状態（たとえば液滴ＤＬの流速および液滴ＤＬの粒径の少なくとも一方）を計測できる。 Further, in the droplet inspection process using the droplet inspection device 1, the flow rate measurement (S3 in FIG. 6) is executed prior to the droplet state measurement (S4 in FIG. 6). In this case, in the flow rate measurement (S4 in FIG. 6), the flow rate at which the desired droplet state can be obtained can be grasped in advance. Then, in the droplet state measurement (S4 in FIG. 6), by supplying the liquid at that flow rate, the measurement is performed under the condition that a desired state (for example, at least one of the flow velocity of the droplet DL and the particle size of the droplet DL) can be expected. It can be carried out. Thereby, the state of the droplet DL discharged from each discharge port 227 (for example, at least one of the flow velocity of the droplet DL and the particle size of the droplet DL) in a desired state can be measured.

また、液滴ヘッド２０１に供給される液体の流量と、吐出口２２７から吐出される液滴流速との対応関係を規定する補正後流速テーブル３４を算出し、算出された補正後流速テーブル３４に基づいて、所望の液滴状態（液滴流速）が得られるような供給流量を取得する。計測を所望する液滴状態が複数ある場合（液滴流速が互いに異なる複数段階の検査条件）に、各検査条件に対応する液体の供給流量を一括して把握できる。 Further, a corrected flow velocity table 34 that defines the correspondence between the flow rate of the liquid supplied to the droplet head 201 and the flow velocity of the droplet discharged from the discharge port 227 is calculated, and the calculated corrected flow velocity table 34 is used. Based on this, the supply flow rate is obtained so that the desired droplet state (droplet flow rate) can be obtained. When there are a plurality of droplet states for which measurement is desired (a plurality of stages of inspection conditions in which the droplet flow rates are different from each other), the supply flow rate of the liquid corresponding to each inspection condition can be collectively grasped.

また、液滴検査装置１において、検査成績書１４１および流速テーブル１４２が自動的に作成される。そのため、検査成績書１４１および流速テーブル１４２を作成するための手間および時間を削減できる。
また、液滴検査装置１において、液滴状態判定（図６のＳ５）の結果、判定条件を満たしていない吐出口２２７がある場合に、その吐出口２２７について液滴状態計測（図６のＳ４）等と同等の工程（再計測（図６のＳ７））が再度実行される。直ちに再計測を行うことが可能であるため、判定条件を満たさない原因が計測手法の不備がある場合にとくに有用である。 Further, in the droplet inspection device 1, the inspection report 141 and the flow velocity table 142 are automatically created. Therefore, it is possible to reduce the labor and time for creating the inspection report 141 and the flow velocity table 142.
Further, in the droplet inspection device 1, when there is a discharge port 227 that does not satisfy the determination condition as a result of the droplet state determination (S5 in FIG. 6), the droplet state measurement (S4 in FIG. 6) is performed on the discharge port 227. ) Etc. (remeasurement (S7 in FIG. 6)) is executed again. Since it is possible to perform remeasurement immediately, it is especially useful when the cause of not satisfying the judgment condition is a defect in the measurement method.

また、液滴検査装置１が、液滴流速が互いに異なる６段階の検査条件で、液滴状態を計測し、これらの検査条件の各々における液滴状態を判定できる。液滴ヘッド２０１の使用状態では、液滴ヘッド２０１に種々の流量の液体が供給される（各吐出口の液滴速度が種々異なる）ことがあるが、その個々の検査条件に対応する液滴状態を計測および判定できる。 Further, the droplet inspection device 1 can measure the droplet state under six stages of inspection conditions in which the droplet flow velocities are different from each other, and can determine the droplet state under each of these inspection conditions. In the state of use of the droplet head 201, liquids of various flow rates may be supplied to the droplet head 201 (the droplet velocities of each ejection port are different), and the droplets corresponding to the individual inspection conditions are supplied. The state can be measured and judged.

また、液滴検査装置１が、液滴状態の判定（図６のＳ５）だけでなく、良品判定（図６のＳ８）も自動的に行う。これにより、良品の判定を正確に行うことができる。
また、液滴状態の判定（図６のＳ５）の判定条件および良品判定（図６のＳ８）の良品条件を、オペレータが入力することが可能である。そのため、液滴状態の判定（図６のＳ５）および良品判定（図６のＳ８）の各々を柔軟に行うことができる。 Further, the droplet inspection device 1 automatically determines not only the droplet state (S5 in FIG. 6) but also the non-defective product (S8 in FIG. 6). As a result, it is possible to accurately determine a non-defective product.
Further, the operator can input the determination condition for determining the droplet state (S5 in FIG. 6) and the non-defective product condition for determining the non-defective product (S8 in FIG. 6). Therefore, each of the determination of the droplet state (S5 in FIG. 6) and the determination of a non-defective product (S8 in FIG. 6) can be flexibly performed.

以上、この発明の一実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することもできる。
たとえば、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、基準として登録される吐出口が、２つの吐出口２２７Ａ，２２７Ｂでなく、３つ以上の吐出口２２７であってもよい。
また、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を色に表示するとして説明したが、所定色による点灯だけでなく、点滅であってもよい。また、報知（表示）の態様は色に限られず、直接距離が表示されていてもよい。なお、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を、対応する個別位置表示部７２の表示を用いて行うとしたが、他の場所に表示させるようにしてもよい。さらには、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知を、音声を含む音によって報知するようにしてもよい。さらには、液滴通過位置ＰＰと計測位置ＭＰとの間の距離の報知は段階的に行うものに限られない。 Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention can also be implemented in other embodiments.
For example, in each discharge port position registration (S2 in FIG. 6), the discharge port registered as a reference may be three or more discharge ports 227 instead of the two discharge ports 227A and 227B.
Further, in each discharge port position registration (S2 in FIG. 6), it has been described that the notification of the distance between the droplet passing position PP and the measurement position MP is displayed in color, but it is not only lit by a predetermined color but also blinks. May be. Further, the mode of notification (display) is not limited to color, and the distance may be directly displayed. Although the distance between the droplet passing position PP and the measurement position MP is notified using the display of the corresponding individual position display unit 72, it may be displayed in another place. Further, the notification of the distance between the droplet passing position PP and the measurement position MP may be notified by a sound including voice. Furthermore, the notification of the distance between the droplet passage position PP and the measurement position MP is not limited to the stepwise notification.

また、各吐出口位置登録（図６のＳ２）において、自動算出された他の吐出口２２７の計測位置ＭＰを実測値と比べながら調整可能な構成とせずに、自動算出された他の吐出口２２７の計測位置ＭＰを、そのまま登録するようにしてもよい。
また、この実施形態では、良品条件の設定と、判定条件の設定とを１つの画面（条件設定画面１７１（図１６参照））を用いて行うとして説明従い、これらの設定を個別の画面で行うようにしてもよい。 Further, in each discharge port position registration (S2 in FIG. 6), the measurement position MP of the other discharge port 227 automatically calculated is not configured to be adjustable while comparing with the actually measured value, and the other discharge port automatically calculated. The measurement position MP of 227 may be registered as it is.
Further, in this embodiment, the setting of the non-defective product condition and the setting of the judgment condition are performed using one screen (condition setting screen 171 (see FIG. 16)), and these settings are performed on individual screens. You may do so.

また、検査成績書１４１および流速テーブル１４２の双方を作成する（図６のＳ９およびＳ１０）として説明したが、このうちの一方のみを作成するようにしてもよい。
また、流量計測（図６のＳ３）において、予め登録されている基準流速テーブル３３を補正して実際の流速テーブル（補正後流速テーブル３４）を求めるのではなく、実際の流量計測のみに基づいて実際の流速テーブルを求めるようにしてもよい。 Further, although both the inspection report 141 and the flow velocity table 142 have been described as being prepared (S9 and S10 in FIG. 6), only one of them may be prepared.
Further, in the flow rate measurement (S3 in FIG. 6), the actual flow velocity table (corrected flow velocity table 34) is not obtained by correcting the reference flow velocity table 33 registered in advance, but based only on the actual flow rate measurement. The actual flow velocity table may be obtained.

また、液滴ヘッド２０１への供給流量と液滴流速等との対応関係は、テーブルの態様でなく、グラフや式の形で記憶装置２１に記憶されていてもよい。
また、液滴状態計測（図６のＳ４）における検査条件が、液滴流速でなく、液滴粒径に対応付けられていてもよい。この場合、流量計測（図６のＳ３）において、所望の液滴流速が得られるときの供給流量を計測するのではなく、所望の液滴粒径が得られるときの供給流量が計測される。 Further, the correspondence between the supply flow rate to the droplet head 201 and the droplet flow velocity and the like may be stored in the storage device 21 in the form of a graph or an equation instead of the aspect of the table.
Further, the inspection condition in the droplet state measurement (S4 in FIG. 6) may be associated with the droplet particle size instead of the droplet flow velocity. In this case, in the flow rate measurement (S3 in FIG. 6), the supply flow rate when the desired droplet particle size is obtained is measured instead of measuring the supply flow rate when the desired droplet flow velocity is obtained.

また、液滴状態計測（図６のＳ４）において、液滴流速の互いに異なる（すなわち、供給流量の互いに異なる）複数の検査条件で液滴状態が計測されるとして説明したが、１つの検査条件で液滴状態が計測されてもよい。
また、前述の実施形態では、撮像ユニット７側の計測位置ＭＰと、液滴ヘッド２０１側の吐出口２２７との相対位置の変更のために、液滴ヘッド２０１を移動させるとして説明した。しかし、撮像ユニット７をカメラ１２およびストロボ光源１１を移動させることにより、計測位置ＭＰと吐出口２２７との相対位置を変更させてもよい。 Further, in the droplet state measurement (S4 in FIG. 6), it has been described that the droplet state is measured under a plurality of inspection conditions in which the droplet flow rates are different from each other (that is, the supply flow rates are different from each other). The droplet state may be measured with.
Further, in the above-described embodiment, it has been described that the droplet head 201 is moved in order to change the relative position between the measurement position MP on the image pickup unit 7 side and the ejection port 227 on the droplet head 201 side. However, the relative position between the measurement position MP and the discharge port 227 may be changed by moving the camera 12 and the strobe light source 11 of the image pickup unit 7.

また、計測ユニットが撮像ユニット７を含み、計測位置ＭＰが焦点位置ＦＰである場合を例に挙げて説明したが、計測ユニットがその他のユニットであってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 Further, although the case where the measurement unit includes the image pickup unit 7 and the measurement position MP is the focus position FP has been described as an example, the measurement unit may be another unit.
In addition, various design changes can be made within the scope of the matters described in the claims.

１ ：液滴検査装置
３ ：主制御装置（制御装置）
４ ：ヘッドホルダ
７ ：撮像ユニット（計測ユニット）
１１ ：ストロボ光源
１２ ：カメラ
５１ ：表示部
１４１ ：検査成績書（検査結果）
１４２ ：流速テーブル（検査結果）
２０１ ：液滴ヘッド
２２７ ：吐出口
２２７Ａ ：吐出口
２２７Ｂ ：吐出口
ＤＬ ：液滴
ＦＰ ：焦点位置
ＦＶ ：視野
ＭＰ ：計測位置
ＰＰ ：液滴通過位置
Ｗ ：基板 1: Droplet inspection device 3: Main control device (control device)
4: Head holder 7: Imaging unit (measurement unit)
11: Strobe light source 12: Camera 51: Display unit 141: Inspection report (inspection result)
142: Flow velocity table (inspection result)
201: Droplet head 227: Droplet head 227A: Droplet port 227B: Droplet port DL: Droplet FP: Focus position FV: Field of view MP: Measurement position PP: Droplet passage position W: Substrate

Claims (22)

複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、
前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、
前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、
前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、
前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを含み、
前記計測位置登録工程が、
前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程と、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を個別に調整する計測位置調整工程とを含む、液滴検査方法。 It is a method of inspecting the state of liquid droplets ejected from a droplet head having a plurality of ejection ports by using a droplet inspection device having a measuring unit.
It is a measurement position where the droplets ejected from the plurality of ejection ports can be measured by the measurement unit, and the droplets ejected from each ejection port pass through the measurement position or a position in the vicinity of the measurement position. A measurement position registration process in which the measurement position is registered in association with each discharge port, and
A droplet state measurement step of measuring a droplet discharged from each discharge port while supplying a liquid to the droplet head by the measurement unit at the measurement position corresponding to the discharge port.
A droplet state determination step of determining the state of the droplets ejected from each ejection port based on the measurement result of the droplet state measurement step, and a droplet state determination step.
Including a reception process for accepting registration of the measurement position corresponding to at least two of the plurality of discharge ports.
The measurement position registration process
A measurement position calculation step for calculating the measurement position corresponding to each discharge port and the measurement position based on the contents received in the reception step and the positional relationship between the plurality of discharge ports in the droplet head. A droplet inspection method including a measurement position adjustment step of individually adjusting the measurement position calculated by the calculation step . 前記計測位置調整工程が、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより調整する工程を含む、請求項１に記載の液滴検査方法。 By contrasting the measurement position adjusting step with the droplet passing position of the droplet discharged from the discharge port when the liquid is supplied to the discharge port and the droplet is discharged from the discharge port. The droplet inspection method according to claim 1, which comprises a step of adjusting . 前記計測位置登録工程が、
前記計測位置と前記液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに含む、請求項２に記載の液滴検査方法。 The measurement position registration process
The droplet inspection method according to claim 2, further comprising a distance notification step of notifying information regarding a distance between the measurement position and the droplet passage position. 複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、
前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、
前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、
前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、
前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程と、
前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程とを含み、
前記計測位置登録工程が、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程を含み、
前記液滴状態計測工程が、前記流量取得工程によって取得された前記供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、液滴検査方法。 It is a method of inspecting the state of liquid droplets ejected from a droplet head having a plurality of ejection ports by using a droplet inspection device having a measuring unit.
It is a measurement position where the droplets ejected from the plurality of ejection ports can be measured by the measurement unit, and the droplets ejected from each ejection port pass through the measurement position or a position in the vicinity of the measurement position. A measurement position registration process in which the measurement position is registered in association with each discharge port, and
A droplet state measurement step of measuring a droplet discharged from each discharge port while supplying a liquid to the droplet head by the measurement unit at the measurement position corresponding to the discharge port.
A droplet state determination step of determining the state of the droplets ejected from each ejection port based on the measurement result of the droplet state measurement step, and a droplet state determination step.
A reception process that accepts registration of the measurement position corresponding to at least two of the plurality of discharge ports, and
Prior to the droplet state measurement step, the supply flow rate is such that a desired droplet state can be obtained by measuring the state of the droplets ejected from each ejection port while supplying the liquid to the droplet head. Including the flow acquisition process and
The measurement position calculation step calculates the measurement position corresponding to each discharge port based on the content received in the reception step and the positional relationship between the plurality of discharge ports in the droplet head. Including the process
The liquid droplet state measuring step includes a step of measuring the state of droplets discharged from each discharge port while supplying the liquid of the supply flow rate acquired by the flow rate acquisition step to the droplet head. Drop inspection method. 前記流量取得工程が、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を含む、請求項４に記載の液滴検査方法。 The flow rate acquisition step calculates the correspondence between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplets ejected from each discharge port, and based on the calculated correspondence, the desired droplets. The droplet inspection method according to claim 4 , further comprising a step of acquiring a supply flow rate so as to obtain the state of. 前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の液滴検査方法。 The droplet inspection method according to any one of claims 1 to 5 , further comprising a pre-registration step of pre-registering the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head. 前記液滴状態計測工程が、
互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を含む、請求項１～６のいずれか一項に記載の液滴検査方法。 The droplet state measurement step
The invention according to any one of claims 1 to 6 , further comprising a step of measuring the state of the droplets ejected from each ejection port when liquids having a plurality of different flow rates are supplied to the droplet head. Droplet inspection method. 前記液滴状態計測工程による計測結果が所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の液滴検査方法。 The item according to any one of claims 1 to 7, further comprising a non-defective product determination step of determining the droplet head as a non-defective product when the measurement result by the droplet state measurement step satisfies a predetermined non-defective product condition. The described droplet inspection method. 前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに含み、
前記良品判定工程が、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を含む、請求項８に記載の液滴検査方法。 Further including a non-defective product condition input step for accepting the input of the non-defective product condition,
The droplet inspection method according to claim 8, wherein the non-defective product determination step includes a step of determining the state of the droplet based on the input non-defective product condition. 前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに含む、請求項８または９に記載の液滴検査方法。 The invention according to claim 8 or 9, further comprising an inspection result creation step of creating at least one of the measurement result of the droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step. Droplet inspection method. 前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程をさらに含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の液滴検査方法。 Claims 1 to 10 further include a remeasurement step of re-executing the same step as the droplet state measurement step for the discharge port determined that the droplet state determination step does not satisfy the predetermined determination condition. The droplet inspection method according to any one of the above. 複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を検査する装置であって、
前記複数の吐出口から吐出され、所定の計測位置またはその近傍位置を通過する前記液滴を計測するための計測ユニットと、
前記計測ユニットを制御する制御装置とを含み、
前記制御装置が、前記計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを実行し、
前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、前記複数の吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程と、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を調整する計測位置調整工程とを実行する、液滴検査装置。 A device that inspects the state of liquid droplets ejected from a droplet head having multiple ejection ports.
A measurement unit for measuring the droplets discharged from the plurality of ejection ports and passing through a predetermined measurement position or a position in the vicinity thereof.
Including a control device for controlling the measurement unit.
A measurement position registration step in which the control device registers the measurement position in association with each discharge port, and a droplet discharged from each discharge port while supplying a liquid to the droplet head to the discharge port. Droplet state determination to determine the state of droplets ejected from each ejection port based on the measurement results of the droplet state measurement step measured by the measurement unit at the corresponding measurement position and the droplet state measurement step. The process and the reception step of accepting the registration of the measurement position corresponding to at least two discharge ports among the plurality of discharge ports are executed.
In the measurement position registration step, the control device corresponds to the measurement position corresponding to the plurality of ejection ports based on the contents received in the reception step and the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head. A droplet inspection device that executes a measurement position calculation step for calculating the measurement position and a measurement position adjustment step for adjusting the measurement position calculated by the measurement position calculation step . 前記計測位置調整工程が、前記吐出口に液体を供給して当該吐出口から液滴を吐出させたときの、当該吐出口から吐出される液滴の液滴通過位置と対比させることにより調整する工程を含む、請求項１２に記載の液滴検査装置。 The measurement position adjusting step adjusts by comparing with the droplet passing position of the droplet discharged from the discharge port when the liquid is supplied to the discharge port and the droplet is discharged from the discharge port. The droplet inspection apparatus according to claim 12, which comprises a step. 前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記液滴の液滴通過位置との距離に関する情報を報知する距離報知工程をさらに実行する、請求項１３に記載の液滴検査装置。 The droplet inspection device according to claim 13 , wherein the control device further executes a distance notification step of notifying information regarding the distance of the droplet from the droplet passage position in the measurement position registration step. 複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を検査する装置であって、
前記複数の吐出口から吐出され、所定の計測位置またはその近傍位置を通過する前記液滴を計測するための計測ユニットと、
前記計測ユニットを制御する制御装置とを含み、
前記制御装置が、前記計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、前記複数の吐出口のうち、少なくとも２つの吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程と、前記液滴状態計測工程に先立って、前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴の状態を計測することにより、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する流量取得工程とを実行し、
前記制御装置が、前記計測位置登録工程において、前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、前記複数の吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程を実行し、
前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、前記流量取得工程によって取得された前記供給流量の液体を前記液滴ヘッドに供給しながら、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、液滴検査装置。 A device that inspects the state of liquid droplets ejected from a droplet head having multiple ejection ports.
A measurement unit for measuring the droplets discharged from the plurality of ejection ports and passing through a predetermined measurement position or a position in the vicinity thereof.
Including a control device for controlling the measurement unit.
The control device registers the measurement position in association with each discharge port, and the measurement position registration step, and the droplet discharged from each discharge port while supplying the liquid to the droplet head to the discharge port. Droplet state determination to determine the state of the liquid droplets ejected from each discharge port based on the measurement results of the droplet state measurement step measured by the measurement unit at the corresponding measurement position and the droplet state measurement step. Prior to the step, the reception step of accepting the registration of the measurement position corresponding to at least two of the plurality of discharge ports, and the droplet state measurement step, while supplying the liquid to the droplet head. By measuring the state of the droplets ejected from each discharge port, a flow rate acquisition step of acquiring a supply flow rate so as to obtain a desired state of the droplets is executed .
In the measurement position registration step, the control device corresponds to the measurement position corresponding to the plurality of ejection ports based on the contents received in the reception step and the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head. Execute the measurement position calculation process to calculate
In the droplet state measuring step, the control device measures the state of the droplets discharged from each discharge port while supplying the liquid of the supply flow rate acquired by the flow rate acquisition step to the droplet head. A droplet inspection device that carries out the process. 前記制御装置が、前記流量取得工程において、前記液滴ヘッドへの液体の供給流量と、各吐出口から吐出される液滴の状態との対応関係を算出し、算出した前記対応関係に基づいて、所望の液滴の状態が得られるような供給流量を取得する工程を実行する、請求項１５に記載の液滴検査装置。 The control device calculates the correspondence relationship between the supply flow rate of the liquid to the droplet head and the state of the droplets discharged from each discharge port in the flow rate acquisition step, and based on the calculated correspondence relationship. The droplet inspection apparatus according to claim 15 , wherein the step of acquiring a supply flow rate so as to obtain a desired droplet state is performed. 前記制御装置が、前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の前記位置関係を、事前に登録する事前登録工程をさらに実行する、請求項１２～１６のいずれか一項に記載の液滴検査装置。 The droplet inspection according to any one of claims 12 to 16 , wherein the control device further executes a pre-registration step of pre-registering the positional relationship between the plurality of ejection ports in the droplet head. Device. 前記制御装置が、前記液滴状態計測工程において、互いに異なる複数の流量の液体が前記液滴ヘッドに供給された場合における、各吐出口から吐出される液滴の状態を計測する工程を実行する、請求項１２～１７のいずれか一項に記載の液滴検査装置。 In the droplet state measuring step, the control device executes a step of measuring the state of the droplets discharged from each discharge port when liquids having a plurality of different flow rates are supplied to the droplet head. , The droplet inspection apparatus according to any one of claims 12 to 17 . 前記制御装置が、前記液滴状態計測工程による計測結果が所定の良品条件を満たしている場合に前記液滴ヘッドを良品であると判定する良品判定工程をさらに実行する、請求項１２～１８のいずれか一項に記載の液滴検査装置。 Claims 12 to 18 further execute the non-defective product determination step of determining the droplet head as a non-defective product when the measurement result by the droplet state measurement step satisfies a predetermined non-defective product condition. The droplet inspection apparatus according to any one of the above. 前記制御装置が、前記良品条件の入力を受け付ける良品条件入力工程をさらに実行し、
前記制御装置が、前記良品判定工程において、入力された前記良品条件に基づいて前記液滴の状態を判定する工程を実行する、請求項１９に記載の液滴検査装置。 The control device further executes a non-defective product condition input step of accepting the input of the non-defective product condition.
The droplet inspection device according to claim 19 , wherein the control device executes a step of determining the state of the droplet based on the input non-defective product condition in the non-defective product determination step. 前記制御装置が、前記液滴状態計測工程の計測結果、前記液滴状態判定工程の判定結果および前記良品判定工程の判定結果の少なくとも一つを作成する検査結果作成工程をさらに実行する、請求項１９または２０に記載の液滴検査装置。 The control device further executes an inspection result creation step of creating at least one of the measurement result of the droplet state measurement step, the determination result of the droplet state determination step, and the determination result of the non-defective product determination step. The droplet inspection apparatus according to 19 or 20 . 前記制御装置が、前記液滴状態判定工程が所定の判定条件を満たしていないと判定した前記吐出口について、前記液滴状態計測工程と同等の工程を再度実行する再計測工程をさらに実行する、請求項１２～２１のいずれか一項に記載の液滴検査装置。 Further, the control device further executes a remeasurement step of re-executing the same process as the droplet state measurement step for the discharge port determined that the droplet state determination step does not satisfy the predetermined determination condition. The droplet inspection apparatus according to any one of claims 12 to 21 .
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