JP7052444B2 - 光変調器、及び光伝送装置 - Google Patents
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Description
本発明の他の態様によると、前記金属バンプは曲面部分を有する。
本発明の他の態様によると、前記金属バンプは平面視が略円形である。
本発明の他の態様によると、前記金属バンプ上に、前記金属ワイヤがボールボンディングにより接続されている。
本発明の他の態様によると、前記電極の幅方向に測った前記金属バンプの長さは、前記電極の幅の1/3以下である。
本発明の他の態様によると、前記応力緩和構造は、前記電極を構成する材料と異なる材料、前記電極を構成する材料と同じ材料であって硬度の異なる材料、又は前記金属ワイヤと同じ材料で構成されている。
本発明の他の態様は、上記いずれかの光変調器を搭載した光伝送装置である。
本発明の他の態様は、前記金属バンプは、ボールボンディングを用いて前記電極の上面に形成される、光変調器の製造方法である。
〔第1実施形態〕
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光変調器の構成を示す平面図である。本光変調器100は、光変調素子102と、光変調素子102を収容する筐体104と、光変調素子102に光を入射するための光ファイバ108と、光変調素子102から出力される光を筐体104の外部へ導く光ファイバ110と、を備える。
図3は、図2に示す凸部250等に代えて用いることのできる応力緩和構造の第1の変形例を示す図である。図3において、電極300は、例えば図2におけるグランド電極130であり、応力緩和構造として、電極300の上面に設けられた凹部310、312を有している。そして、電極300と他の電極とを接続する金属ワイヤ320、322は、凹部310、312の底面にボンディングされる。
図4は、図2に示す凸部250等に代えて用いることのできる応力緩和構造の第2の変形例を示す図である。図4において、電極400は、例えば図2におけるグランド電極130であり、応力緩和構造として、電極400の上面に設けられた溝部410、412、414を有している。そして、電極400と他の電極とを接続する金属ワイヤ420、422は、電極400の上面のうち溝部410、412、414に挟まれた部分にボンディングされている。
図5は、図2に示す凸部250等に代えて用いることのできる応力緩和構造の第3の変形例を示す図である。図5において、電極500は、例えば図2におけるグランド電極130であり、応力緩和構造として、電極500の上面に、その周囲に溝部510、512が形成された島状構造部520、522を有している。そして、電極500と他の電極とを接続する金属ワイヤ530、532は、島状構造部520、522にボンディングされている。
図6は、図2に示す凸部250等に代えて用いることのできる応力緩和構造の第4の変形例を示す図である。図6において、電極600は、例えば図2におけるグランド電極130であり、応力緩和構造として、電極600の上面に、金属を用いて形成された突起部である金属バンプ610、612が設けられている。そして、電極600と他の電極とを接続する金属ワイヤ620、622は、金属バンプ610、612にボンディングされている。これにより、ボンディング時のボンディング圧力に起因する応力は、金属バンプ610等の変形により吸収されることとなり、電極600における電極本体部分の変形が抑制される。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、第1の実施形態に係る光変調器100、又は光変調器100と同様の構成を有する光変調器であって図3、4、5、6、7、8、9に示す変形例に係る応力緩和構造のいずれかを備える光変調器を搭載した光伝送装置である。
Claims (8)
- 基板上に光導波路と当該光導波路を伝搬する光波を制御する複数の電極とが形成された光変調素子を用いる光変調器であって、
前記電極の前記基板の面に対向する上面に、金属ワイヤをワイヤボンディングする際の圧力印加に起因する応力の発生を緩和する少なくとも一つの応力緩和構造が設けられており、
前記応力緩和構造は、前記電極の上面に形成された少なくとも一つの金属バンプを含み、
前記応力緩和構造が設けられる前記電極の幅方向の断面形状は、2以上のアスペクト比を有する略矩形であって、
前記金属バンプは、前記電極の幅方向の中心から、当該電極の幅の1/3以内の領域に形成されている、
光変調器。 - 前記金属バンプは曲面部分を有する、請求項1に記載の光変調器。
- 前記金属バンプは平面視が略円形である、請求項2に記載の光変調器。
- 前記金属バンプ上に、前記金属ワイヤがボールボンディングにより接続されている、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光変調器。 - 前記電極の幅方向に測った前記金属バンプの長さは、前記電極の幅の1/3以下である、
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の光変調器。 - 前記応力緩和構造は、前記電極を構成する材料と異なる材料、前記電極を構成する材料と同じ材料であって硬度の異なる材料、又は前記金属ワイヤと同じ材料で構成されている、
請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光変調器。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光変調器を搭載した光伝送装置。
- 前記金属バンプは、ボールボンディングを用いて前記電極の上面に形成される、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光変調器の、製造方法。
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