JP7036157B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。
ヘッド本体は流路部材に接続され、流路からのインクがヘッド本体に供給され、又はヘッド本体からのインクが流路に排出されるようになっている。また、流路部材には、厚さ方向に貫通して、フレキシブル配線基板が挿通される開口部が設けられている。フレキシブル配線基板は、当該開口部を挿通してヘッド本体の圧力発生手段にリード電極を介して接続されている。さらに、フレキシブル配線基板は、流路部材のヘッド本体とは反対側に配置された接続基板に接続されている。接続基板は制御部に接続されており、該制御部の制御信号が接続基板、フレキシブル配線基板を介して圧力発生手段に伝達されるようになっている(例えば、特許文献1参照)。
特開2012-81644号公報
一方、液体噴射ヘッドは、高解像度とともに小型化が要求されており、流路部材も特に液体噴射面に平行な水平面における大きさを小型化することが要求されている。
しかしながら、流路部材の小型化により、流路部材のうち、フレキシブル配線基板が挿通される開口部を除いた、流路を形成可能な領域が狭くなってしまう。すなわち、前記水平面内でインクが流通するような水平流路を流路部材に設けることが困難となる。また、流路部材の流路を形成可能な領域が狭いと、流路を引き回す自由度が制約されるため、例えば、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することも困難となる。
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、噴射方向へ液体を噴射する複数のノズル開口と、前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第1の圧電体層と、前記第1の圧電体層と電気的に接続される第1のフレキシブル配線基板と、前記噴射方向に貫通するとともに前記第1のフレキシブル配線基板が挿入される第1の開口部が設けられた流路部材と、を備え、前記流路部材は、前記複数のノズル開口の一部と連通する第1交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第2交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第3交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第4交差流路とを画定し、前記第1、第2、第3及び第4交差流路の夫々は、前記流路部材の長手方向に延在し、前記第1及び第2交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第3及び第4交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第1の開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第2交差流路と前記第4交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
上記課題を解決する本発明の別の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
ここで、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことが好ましい。これによれば、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
本発明の実施形態1に係る記録装置の概略斜視図。 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図。 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの底面図。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの底面図。 図4のA-A’線断面図。 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の分解斜視図。 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の断面図。 本発明の実施形態1のノズル開口の配置を模式的に示した図。 本発明の実施形態1に係る流路部材(第1流路部材)の平面図。 本発明の実施形態1に係る第2流路部材の平面図。 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の平面図。 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の底面図。 図11~図13のB-B’線断面図。 図11~図13のC-C’線断面図。 図11~図13のD-D’線断面図。 図11~図13のE-E’線断面図及び従来のヘッド本体の断面図。 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の概略平面図。
〈実施形態1〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図1は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
図1に示すように、インクジェット式記録装置1は、ヘッドユニット101を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートSを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。
具体的には、インクジェット式記録装置1は、装置本体2と、複数の記録ヘッド100を有するヘッドユニット101と、記録シートSを搬送する搬送手段4と、ヘッドユニット101と相対向する記録シートSを支持する支持部材7とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートSの搬送方向をX方向とする。また、ヘッドユニット101のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、X方向と直交する方向をY方向とする。さらに、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。また、X方向において、記録シートSを搬送する上流側をX1側、下流側をX2側とし、Y方向において一方をY1側、他方をY2側とし、Z方向において液体噴射方向側(記録シートS側)をZ1側、反対側をZ2側とする。
ヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。
複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に交差する方向であるY方向に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド100は、Y方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。
ヘッド固定基板102は、複数の記録ヘッド100のノズル開口が記録シートS側に向くように、複数の記録ヘッド100を保持するものであり、装置本体2に固定されている。
搬送手段4は、記録シートSをヘッドユニット101に対して、X方向に搬送する。搬送手段4は、例えば、ヘッドユニット101に対して記録シートSの搬送方向であるX方向の両側に設けられた第1の搬送ローラー5と、第2の搬送ローラー6とを具備する。このような第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とによって、記録シートSをX方向に搬送する。なお、記録シートSを搬送する搬送手段4は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。
支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、搬送手段4によって搬送される記録シートSを支持する。支持部材7は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6との間にヘッドユニット101に相対向して設けられている。
なお、支持部材7には、搬送された記録シートSを支持部材7上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートSを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートSを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段4がベルトやドラムである場合、支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートSを支持する。
ヘッドユニット101の各記録ヘッド100には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット101上に保持されていても、また、装置本体2内のヘッドユニット101とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド100に供給するための流路等をヘッド固定基板102の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板102にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド100に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板102又はヘッド固定基板102に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド100に直接インクが供給されてもよい。
このようなインクジェット式記録装置1では、第1の搬送ローラー5によって記録シートSがX方向に搬送され、ヘッドユニット101によって支持部材7上で支持された記録シートSに印刷が実行される。印刷された記録シートSは、第2の搬送ローラー6によってX方向に搬送される。
ヘッドユニット101について図2及び図3を参照して詳細に説明する。図2は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図3はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。
本実施形態のヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。記録ヘッド100は、ノズル開口21が設けられた液体噴射面20aをZ方向のZ1側に有する。各記録ヘッド100は、ヘッド固定基板102の記録シートSに相対向する面側、すなわち、Z方向の記録シートS側であるZ1側に固定されている。
前述のように、複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に直交するY方向に直線上に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。もちろん、Y方向に並設された記録ヘッド100をX方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド100をX方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板102等のX方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット101のX方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置1における第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とのX方向の距離が遠くなり、記録シートSの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット101及びインクジェット式記録装置1が大型化してしまう。
なお、本実施形態では、ヘッド固定基板102に4個の記録ヘッド100を固定するようにしたが、記録ヘッド100の数は2個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。
図2、図4~図6を用いて記録ヘッド100について説明する。図4は記録ヘッドの平面図であり、図5は記録ヘッドの底面図であり、図6は図4のA-A’線断面図である。なお、図4は記録ヘッド100のZ方向のZ2側の平面図であり、保持部材120の図示を省略している。
記録ヘッド100は、複数のヘッド本体110と、各ヘッド本体110に接続されたCOF基板98と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材200とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド100は複数のヘッド本体110を保持する保持部材120と、ヘッド本体110の液体噴射面20a側に設けられた固定板130と、中継基板140とを備えている。
ヘッド本体110は、インクの流路が設けられた保持部材120及び流路部材200からインクが供給され、インクジェット式記録装置1に設けられた制御部(図示せず)から中継基板140及びCOF基板98を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体110の詳細な構成は後述する。
各ヘッド本体110は、Z方向のZ1側にノズル開口21が設けられた液体噴射面20aを有する。また、複数のヘッド本体110のZ2側が、流路部材200のZ1側の面に接着されている。
流路部材200は、ヘッド本体110に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材200の詳細な構成は後述するが、流路部材200には、Z1側の面に、複数のヘッド本体110がY方向に並設されて接着されている。また、流路部材200に設けられた液体流路は、各ヘッド本体110の液体流路に連通しており、流路部材200から各ヘッド本体110にインクが供給されるようになっている。
本実施形態では、1つの流路部材200に6個のヘッド本体110が接着されている。もちろん、1つの流路部材200に固定するヘッド本体110の数は上述したものに限定されず、1つの流路部材200に対してヘッド本体110が1個であっても、また、2個以上の複数であってもよい。
また、流路部材200には、Z方向に貫通した開口部201が設けられており、該開口部201には、一端がヘッド本体110に接続されたCOF基板98が挿通している。
COF基板98は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、COF基板98は、ヘッド本体110に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路97(図7参照)を備えている。
中継基板140は、表面に配線、IC、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材120と流路部材200との間に配置されている。中継基板140には、流路部材200に設けられた開口部201と連通した貫通部141が形成されている。各貫通部141の開口形状は、流路部材200の開口部201よりも大きく形成されている。
ヘッド本体110の圧力発生手段に接続されたCOF基板98は、開口部201及び貫通部141を挿通し、中継基板140のZ2側の面に設けられた端子(図示せず)に接続されている。
特に図示しないが、中継基板140には、インクジェット式記録装置1の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板140を通じてCOF基板98の駆動回路97に伝達され、駆動回路97によりヘッド本体110の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド100のインクの噴射動作が制御されている。
保持部材120は、Z1側に溝状の空間を形成する保持部121を有する。保持部121は、保持部材120のZ1側の面に、Y方向に亘って連続して設けられることで、Y方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材120は、保持部121をX方向の略中央部に設けることで、当該保持部121のX方向の両側には、足部122が形成されている。すなわち、足部122は、保持部材120のZ1側の面に、X方向の両端部のみに設けられており、Y方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材120は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がZ方向に積層されて構成されていてもよい。
このような保持部121内に、中継基板140、流路部材200、複数のヘッド本体110が収容されている。具体的には、流路部材200のZ1側の面に各ヘッド本体110が接着剤等で接合され、流路部材200のZ2側の面に中継基板140が固定されている。このように一体的に構成された中継基板140、流路部材200及び複数のヘッド本体110が保持部121内に収容されている。
保持部材120と流路部材200とは、保持部121及び流路部材200のZ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板140は、保持部121と流路部材200とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材120と流路部材200とを一体化してもよい。
また、保持部材120には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材120の流路は、流路部材200の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置1に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材120及び流路部材200を介してヘッド本体110に供給されるようになっている。
固定板130は、記録ヘッド100の液体噴射面20a側、すなわち、記録ヘッド100のZ方向のZ1側に設けられ、各記録ヘッド100を保持する部材である。固定板130は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板130は、液体噴射面20a側に設けられたベース部131と、ベース部131のY方向の両端部がZ方向のZ2側に屈曲して設けられた折り曲げ部132とを具備する。
また、ベース部131には、各ヘッド本体110のノズル開口21を露出するための開口である露出開口部133が設けられている。本実施形態では、露出開口部133は、ヘッド本体110毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド100は、6個のヘッド本体110を有するため、ベース部131には6個の独立した露出開口部133が設けられている。もちろん、ヘッド本体110の構成等によっては、複数のヘッド本体110で構成されるヘッド本体群に対して1つの共通する露出開口部133を設けるようにしてもよい。
このようなベース部131によって、保持部材120の保持部121のZ1側が覆われている。ベース部131は、図6に示すように、保持部材120のZ方向のZ1側の面、すなわち、足部122のZ1側の端面に接着剤を介して接合されている。
また、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の両端部に設けられており、保持部121のY方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の端部から固定板130の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部132は、保持部材120のY方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部121のY方向の側面への開口は、折り曲げ部132によって覆われて封止されている。
このように、固定板130が保持部材120に接着剤により接着されることで、保持部材120と固定板130との間の空間である保持部121内にヘッド本体110が配置される。
上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド100は、1つの記録ヘッド100に対して複数のヘッド本体110を設けてノズル列の多列化を図ることで、1つの記録ヘッド100に対して1つのヘッド本体110のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体110でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体110の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体110によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体110の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。
また、保持部材120のY方向の側面の開口は、固定板130の折り曲げ部132により封止される。これにより、保持部材120のY方向の両側(図3に示したハッチ部分)に固定板130のベース部131と接着するために足部がなくても、保持部121のY方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。
したがって、Y方向に記録ヘッド100を並設したヘッドユニット101は、Y方向において隣り合う記録ヘッド100側に足部122が存在しないことから、Y方向で隣り合う記録ヘッド100の間隔を狭くすることができる。これにより、Y方向で隣り合う記録ヘッド100のヘッド本体110同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド100の各ヘッド本体110に設けられたノズル開口21をY方向で近接させて設けることができる。
なお、本実施形態に係る記録ヘッド100は、保持部材120のX方向の両側に足部122を設けるようにしたが、足部122を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材120のZ1側の面にヘッド本体110が接着され、固定板130のX方向及びY方向の両側に折り曲げ部132を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130には、液体噴射面20aの面内方向における全周に亘って折り曲げ部132が設けられており、保持部材120の側面の全周に亘って固定板130が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材120のX方向の両側に足部122を設けることで、足部122のZ1側の端面を固定板130のベース部131に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド100のZ方向の強度を向上することができるとともに、足部122からの水分蒸発を抑制することができる。
図7及び図8を用いて、ヘッド本体110について説明する。図7は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図8はヘッド本体のY方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体110の構成は以下の構成に限定されない。
本実施形態のヘッド本体110は、圧力発生室12、ノズル開口21、マニホールド95、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板10、連通板15、ノズルプレート20、保護基板30、コンプライアンス基板45、ケース40等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。
流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が複数のノズル開口21の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室12の並設方向は、Xa方向と称する。また、流路形成基板10には、圧力発生室12がXa方向に並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、以降、Ya方向と称する。なお、本実施形態では、Xa方向及びYa方向に直交する方向は、Z方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体110は、ノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット101に搭載される。
また、流路形成基板10には、圧力発生室12のYa方向の一端部側に、当該圧力発生室12よりも開口面積が狭く、圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
流路形成基板10の一方面側には、連通板15が接合されている。また、連通板15には、各圧力発生室12に連通する複数のノズル開口21が設けられたノズルプレート20が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート20のノズル開口21が開口するZ方向のZ1側が液体噴射面20aとなっている。
連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを連通するノズル連通路16が設けられている。連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。
また、連通板15には、マニホールド95の一部を構成する第1マニホールド17と、第2マニホールド18とが設けられている。第1マニホールド17は、連通板15をZ方向に貫通して設けられている。第2マニホールド18は、連通板15をZ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口してZ方向の途中まで設けられている。
さらに、連通板15には、圧力発生室12のY方向の一端部に連通する供給連通路19が、圧力発生室12毎に独立して設けられている。この供給連通路19は、第2マニホールド18と圧力発生室12とを連通する。
ノズルプレート20には、各圧力発生室12とノズル連通路16を介して連通するノズル開口21が形成されている。複数のノズル開口21がXa方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口21が2つのノズル列a及びノズル列bをなし、このノズル列a、ノズル列bがYa方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列a及びノズル列bのそれぞれは、2つに分割して1列で2種類の液体を噴射できるようになっている。
一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、振動板50が形成されている。また、振動板50上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター300が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。
また、流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。また、保護基板30には、Z方向に貫通する貫通孔32が設けられている。圧電アクチュエーター300の電極から引き出されたリード電極90の端部は、この貫通孔32内に露出するように延設され、リード電極90とCOF基板98とが、貫通孔32内で電気的に接続されている。
また、保護基板30及び連通板15には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド95を画成するケース40が固定されている。ケース40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。具体的には、ケース40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース40と流路形成基板10及び保護基板30とによって第3マニホールド42が画成されている。そして、この第3マニホールド42と、連通板15に設けられた第1マニホールド17及び第2マニホールド18とによって本実施形態のマニホールド95が構成されている。なお、上述したように1列のノズル列で2種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列方向、すなわち、Xa方向で2つに分割されている。例えば、第1マニホールド17は、図7に示すように、第1マニホールド17aと第1マニホールド17bとからなる。第2マニホールド18及び第3マニホールド42も同様に2つに分割され、マニホールド95全体としてもXa方向に2つ分割されている。
本実施形態では、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列a及びノズル列bを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列a及びノズル列b毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。
また、本実施形態では、後述するように4種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをXa方向で2つに分割して合計4つのマニホールド95としているが、ノズル列a及びノズル列b毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列a及びノズル列bの2列に対して共通の1つのマニホールドとしてもよい。
また、連通板15の第1マニホールド17及び第2マニホールド18が開口する面には、コンプライアンス基板45が設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド17と第2マニホールド18の開口を封止している。
このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、封止膜46と、固定基板47とを具備する。封止膜46は、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等)により形成されている。また、固定基板47は、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板47のマニホールド95に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド95の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。
また、固定板130は、コンプライアンス基板45の連通板15とは反対面側に接着される。すなわち、固定板130のベース部131に設けられた露出開口部133は、ノズルプレート20の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部133内でノズルプレート20の液体噴射面20aを露出する。もちろん、固定板130は、これに限定されず、例えば、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とし、固定板130をノズルプレート20の液体噴射面20aに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板130と液体噴射面20aとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130が液体噴射面20a側に設けられているとは、液体噴射面20aに接していないものも、また、液体噴射面20aに接するものも含むものである。
なお、ケース40には、マニホールド95に連通して各マニホールド95にインクを供給するための導入路44が設けられている。また、ケース40には、保護基板30の貫通孔32に連通してCOF基板98が挿通される接続口43が設けられている。
このような構成のヘッド本体110では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路44を介してインクを取り込み、マニホールド95からノズル開口21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路97からの信号に従い、圧力発生室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室12内の圧力が高まり所定のノズル開口21からインク滴が噴射される。
ここで、図5及び図9を用いて、ヘッド本体110のノズル列を構成するノズル開口21の並設方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図9は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。
複数のヘッド本体110は、液体噴射面20aの面内方向において、記録シートSの搬送方向であるX方向に対してノズル列a、ノズル列bが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口21が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面20aには、所定の方向としてXa方向に複数のノズル開口21が並設された2列のノズル列a及びノズル列bが液体噴射面20aに設けられている。Xa方向は、前記X方向に対して、0度より大きく90度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、X方向とXa方向とは、0度より大きく45度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、45度より大きく90度未満の角度で交差する場合と比較すると、Y方向におけるノズル開口21同士の間隔D1をより小さくでき、Y方向に高解像度の記録ヘッド100を実現することができる。もちろん、X方向とXa方向とを、45度より大きく90度未満の角度で交差するようにしてもよい。
なお、X方向とXa方向とが0度より大きく45度未満の角度で交差するとは、液体噴射面20aの面内においてX方向と45度で交差する直線よりも、ノズル列がX方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔D1は、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21を、Y方向の仮想線に対して、X方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔である。また、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21をX方向の仮想線に対して、Y方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔をD2とする。
また、図9に示すように、本実施形態では、1つのノズル列で2種類、2つのノズル列で4種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、4色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列aでは、ブラックBkとマゼンタM、ノズル列bでは、シアンCとイエローYを噴射できるようになっている。また、ノズル列aとノズル列bとは同じ数のノズル開口21を有し、ノズル列aのノズル開口21のY方向の位置と、ノズル列bのノズル開口21のY方向の位置とは、X方向で重なっている。
ヘッド本体110a~110cは、同様なノズル列a、bを有しており、ヘッド本体110a~110cがY方向に近接して設けられることにより、Y方向に隣接するヘッド本体110の各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aとイエローYのノズル列bとが、ヘッド本体110bのブラックBkのノズル列aとシアンCのノズル列bとにX方向で重なることで、X方向の一列に4色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Y方向に隣接するヘッド本体110bとヘッド本体110cについても、同様に、各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。
さらに、隣接するヘッド本体110が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口21が互いにX方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体110間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とヘッド本体110bのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とが、互いにX方向で重なるように配置されており、この互いに重なる2つのノズル開口21からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体110間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図9に示す例では、1つのノズル開口21のみがX方向に重なっているが、2つ以上のノズル開口21がX方向に重なっていてもよい。
このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、1つのノズル列で、ブラックBk、マゼンタM、シアンC及びイエローYの4色を噴射できるように配置してもよい。
上述したように、ヘッド本体110を複数有する記録ヘッド100をヘッド固定基板102に4個固定してヘッドユニット101を構成しているが、図5の直線Lに示すように、隣接する記録ヘッド100同士でノズル列の一部がX方向で重なるように配置されている。すなわち、1つの記録ヘッド100において隣接するヘッド本体110の関係と同様に、Y方向に隣接する記録ヘッド100間において隣接するヘッド本体110がY方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド100間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド100間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド100間においてX方向に重なるノズル開口21の数は、1つの記録ヘッド100におけるヘッド本体110間においてX方向に重なるノズル開口21の数と同じである必要はない。
このように、ヘッド本体110間のノズル列と、記録ヘッド100間のノズル列とがX方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。
また、各ノズル列のXa方向において隣接するノズル開口21間において、X方向の間隔D1とY方向の間隔D2とは整数比となるように、ノズルピッチやX方向とXa方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、X方向及びY方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。
本実施形態の記録ヘッド100は、図5に示すように、液体噴射面20a側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体110のノズル列a、ノズル列bを構成するノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列a、ノズル列bの傾斜する方向であるXa方向と同じように記録ヘッド100の外形、すなわち、固定板130を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド100の液体噴射面20a側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。
なお、以上説明した実施形態では、1つのヘッド本体に2列のノズル列を設けた例を説明したが、3列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、1つのヘッド本体110に設けられたノズル列が2列であれば、図7のように、それぞれのノズル列に対応した2つのマニホールド95の間に、それぞれのノズル列のノズル開口21を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口21がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、2列のノズル列のYa方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20に要する面積を小さくすることができる。また、2列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター300とCOF基板98との接続も容易になる。
また、本実施形態では、各ノズル列a、bは、同じ数のノズル開口21を有している。これによれば、各ノズル列間のX方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列a、bが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。
また、本実施形態では、ヘッド本体110は、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート20を設けてもよい。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼(SUS)板やシリコン基板などから構成される。
図10~図16を用いて、本実施形態に係る流路部材200について詳細に説明する。図10は流路部材200としての第1流路部材の平面図であり、図11は流路部材200としての第2流路部材の平面図であり、図12は流路部材200としての第3流路部材の平面図であり、図13は第3流路部材の底面図であり、図14は図10~図13のB-B’線断面図であり、図15は図10~図13のC-C’線断面図であり、図16は図10~図15のD-D’線断面図である。なお、図10~図12はZ2側の平面図であり、図13はZ1側の底面図である。
流路部材200は、インクが流通する流路240が設けられた部材である。本実施形態では、Z方向に積層された3つの第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230と、複数の流路240とを備えている。Z方向において、保持部材120側(図2参照)からヘッド本体110側に向かって、第1流路部材210、第2流路部材220、第3流路部材230の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばSUSなどの金属や樹脂により形成することができる。
流路240は、上流の部材(本実施形態では保持部材120)から供給されるインクが導入される導入流路280と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部290とを両端とする流路である。本実施形態では、4つの流路240が形成されており、各流路240は、一つの導入流路280にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部290からインクがヘッド本体110に供給するように構成されている。
4つの流路240のうち一部は第1流路241、残りは第2流路242とされている。本実施形態では、第1流路241及び第2流路242は2つずつ形成されている。2つの第1流路241のそれぞれを第1流路241a、第1流路241bとする。以降、第1流路241と記載した際には、第1流路241a及び第1流路241bの双方を指しているものとする。第2流路242についても同様である。
第1流路241は、第1導入流路281を備えている。第1導入流路281は、第1流路241のうち、後述する第1交差流路251と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第1流路241a及び第1流路241bは、それぞれ第1導入流路281a及び第1導入流路281bを有している。
具体的には、第1導入流路281aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部212の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔211と、第2流路部材220のZ方向に貫通した貫通孔221とが連通したものである。第1導入流路281bも同様である。以降、第1導入流路281と記載した際には、第1導入流路281a及び第1導入流路281bを指すものとする。
第2流路242は、第2導入流路282を備えている。第2導入流路282は、第2流路242のうち、後述する第2交差流路252と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第2流路242a及び第2流路242bは、それぞれ第2導入流路282a及び第2導入流路282bを有している。
具体的には、第2導入流路282aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部213の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔である。第2導入流路282bも同様である。以降、第2導入流路282と記載した際には、第2導入流路282a及び第2導入流路282bを指すものとする。
さらに、導入流路280と記載した際には、上述した4つの導入流路の全てを指しているものとする。
本実施形態では、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の左上隅の近傍に第1導入流路281aが配置され、第1流路部材210の右下隅の近傍に第1導入流路281bが配置されている。また、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の右上隅の近傍に第2導入流路282aが配置され、第1流路部材210の左下隅の近傍に第2導入流路282bが配置されている。
第1流路241は、第2流路部材220と第3流路部材230とで形成された第1交差流路251を含む。第1交差流路251は、第1流路241のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第1流路241が形成されているため、第1交差流路251も2つ形成されている。2つの第1交差流路251のそれぞれを第1交差流路251a、第1交差流路251bとする。
第1交差流路251aは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226aと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231aとを合わせて封止することにより形成されている。第1交差流路251bは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226bと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231bとを合わせて封止することにより形成されている。
いずれの第1交差流路251a、251bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に交差溝部226a、226b、231a、231bをそれぞれ形成することで、第1交差流路251a、251bそれぞれの断面積を広げ、第1交差流路251a、251bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1交差流路251a、251bは、第2流路部材220のみに形成された交差溝部226a、226b、により形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部231a、231bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第2流路部材220のみに交差溝部226a、226bを形成することで、後述するように、Xa方向の幅がZ1側からZ2側に向けて狭くなるCOF基板98と、これらの第1交差流路251a、251bとの干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。
第1交差流路251aと第1交差流路251bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第3開口部235)のX方向における両外側に配置されている。
第2流路242は、第1流路部材210と第2流路部材220とで形成された第2交差流路252を含む。第2交差流路252は、第2流路242のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第2流路242が形成されているため、第2交差流路252も2つ形成されている。2つの第2交差流路252のそれぞれを第2交差流路252a、第2交差流路252bとする。
第2交差流路252aは、第1流路部材210のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部213aと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222aとを合わせて封止することにより形成されている。第2交差流路252bは、第1流路部材210のZ1側の表面に形成された交差溝部213bと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222bとを合わせて封止することにより形成されている。
いずれの第2交差流路252a、252bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に交差溝部213a、213b、222a、222bをそれぞれ形成することで、第2交差流路252a、252bそれぞれの断面積を広げ、第2交差流路252a、252bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2交差流路252a、252bは、第1流路部材210のみに形成された交差溝部213a、213bのみにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された交差溝部222a、222bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第1流路部材210のみに交差溝部222a、222bを形成することで、上述した第1交差流路251a、251bと同様に、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。
第2交差流路252aと第2交差流路252bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第2開口部225)のX方向における両外側に配置されている。
以降、第1交差流路251と記載した際には、第1交差流路251a及び第1交差流路251bの双方を指しているものとする。第2交差流路252と記載した際には、第2交差流路252a及び第2交差流路252bの双方を指しているものとする。また、交差流路250と記載した際には、上述した4つの交差流路の全てを指しているものとする。
また、本実施形態では、第1流路241は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。すなわち、第1交差流路251から、複数の第1分岐流路261が第1交差流路251と同じ平面(第2流路部材220と第3流路部材230とが接合された境界面)において分岐している。
本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第2流路部材220と第3流路部材230との境界面)において、第1交差流路251から6つの第1分岐流路261が分岐している。第1交差流路251aから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261a1~第1分岐流路261a6とする。以降、第1分岐流路261aと記載した際には、第1分岐流路261aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。
同様に、第1交差流路251bから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261b1~第1分岐流路261b6とする。以降、第1分岐流路261bと記載した際には、第1分岐流路261bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第1分岐流路261と記載した際には、第1分岐流路261a及び第1分岐流路261bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。
なお、図ではY方向に並んだ6つの第1分岐流路261a1~第1分岐流路261a6のうち、第1分岐流路261a2~第1分岐流路261a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1分岐流路261b1~第1分岐流路261b6についても同様である。
具体的には、第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232aが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227aが設けられている。第1分岐流路261aは、分岐溝部227aに分岐溝部232aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232bが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227bが設けられている。第1分岐流路261bは、分岐溝部227bに分岐溝部232bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
いずれの第1分岐流路261a、261bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に分岐溝部227a、227b、232a、232bをそれぞれ形成することで、第1分岐流路261a、261bそれぞれの断面積を広げ、第1分岐流路261a、261bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1分岐流路261a、261bは、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部227a、227bにより形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部232a、232bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第2流路部材220のみに分岐溝部227a、227bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第3流路部材230のみに分岐溝部232a、232bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。
また、第2流路242は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第2交差流路252から、複数の第2分岐流路262が第2交差流路252と同じ平面(第1流路部材210と第2流路部材220とが接合された境界面)において分岐している。
本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第1流路部材210と第2流路部材220との境界面)において、第2交差流路252から6つの第2分岐流路262が分岐している。第2交差流路252aから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262a1~第2分岐流路262a6とする。
同様に、第2交差流路252bから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262b1~第2分岐流路262b6とする。
以降、第2分岐流路262aと記載した際には、第2分岐流路262aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。第2分岐流路262bと記載した際には、第2分岐流路262bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第2分岐流路262と記載した際には、第2分岐流路262a及び第2分岐流路262bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路260と記載した際には、上述した24個の分岐流路の全てを指しているものとする。
なお、図ではY方向に並んだ6つの第2分岐流路262a1~第2分岐流路262a6のうち、第2分岐流路262a2~第2分岐流路262a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第2分岐流路262b1~第2分岐流路262b6についても同様である。
具体的には、第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223aが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213aに連通して開口部201側とは反対側に向けて延設された複数の分岐溝部214aが設けられている。第2分岐流路262aは、分岐溝部223aに分岐溝部214aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223bが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部214bが設けられている。第2分岐流路262bは、分岐溝部223bに分岐溝部214bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
いずれの第2分岐流路262a、262bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に分岐溝部214a、214b、223a、223bをそれぞれ形成することで、第2分岐流路262a、262bそれぞれの断面積を広げ、第2分岐流路262a、262bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2分岐流路262a、262bは、第1流路部材210のみに形成された分岐溝部214a、214bにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部223a、223bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第1流路部材210のみに分岐溝部214a、214bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第2流路部材220のみに分岐溝部223a、223bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。
第1分岐流路261には、第1交差流路251とは反対側の端部に第1垂直流路271が接続されている。具体的には、第3流路部材230をZ方向に貫通した貫通孔として第1垂直流路271が形成されている。
本実施形態では、第1分岐流路261a1~261a6、第1分岐流路261b1~261b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第1垂直流路271a1~271a6、第1垂直流路271b1~271b6が接続されている。
同様に、第2分岐流路262には、第2交差流路252とは反対側の端部に第2垂直流路272が接続されている。具体的には、第2流路部材220には、Z方向に貫通した貫通孔224が設けられ、第3流路部材230にはZ方向に貫通した貫通孔233が設けられている。これらの貫通孔224及び貫通孔233が連通して第2垂直流路272が形成されている。
本実施形態では、第2分岐流路262a1~262a6、第2分岐流路262b1~262b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第2垂直流路272a1~272a6、第2垂直流路272b1~272b6が接続されている。
以降、第1垂直流路271aと記載した際には、第1垂直流路271a1~271a6を指し、第1垂直流路271bと記載した際には、第1垂直流路271b1~271b6を指し、第1垂直流路271と記載した際には、第1垂直流路271a及び第1垂直流路271bの全てを指すものとする。
同様に、第2垂直流路272aと記載した際には、第2垂直流路272a1~272a6を指し、第2垂直流路272bと記載した際には、第2垂直流路272b1~272b6を指し、第2垂直流路272と記載した際には、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bの全てを指すものとする。
さらに、垂直流路270と記載した際には、上述した24個の垂直流路の全てを指しているものとする。
なお、図ではY方向に並んだ6つの第1垂直流路271a1~第1垂直流路271a6のうち、第1垂直流路271a2~第1垂直流路271a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1垂直流路271b1~第1垂直流路271b6、第2垂直流路272a1~第2垂直流路272b6、第2垂直流路272b1~第2垂直流路272b6についても同様である。
上述した垂直流路270は、第3流路部材230のZ1側の開口である接続部290を有している。詳細は後述するが、接続部290は、ヘッド本体110に設けられた導入路44に連通している。
本実施形態では、第1垂直流路271a1~271a6、第1垂直流路271b1~271b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第1接続部291a1~291a6、第1接続部291b1~291b6をそれぞれ有している。同様に、第2垂直流路272a1~272a6、第2垂直流路272b1~272b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第2接続部292a1~292a6、第2接続部292b1~292b6をそれぞれ有している。
第1接続部291a1、第1接続部291b1、第2接続部292a1、第2接続部292b1は、6つのヘッド本体110のうちの一つに接続される。その他、第1接続部291a2~291a6、第1接続部291b2~291b6、第2接続部292a2~292a6、第2接続部292b2~292b6についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体110に対して、第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bが接続されている。
以降、第1接続部291aと記載した際には、第1接続部291a1~291a6を指し、第1接続部291bと記載した際には、第1接続部291b1~291b6を指し、第1接続部291と記載した際には、第1接続部291a及び第1接続部291bの全てを指すものとする。
同様に、第2接続部292aと記載した際には、第2接続部292a1~292a6を指し、第2接続部292bと記載した際には、第2接続部292b1~292b6を指し、第2接続部292と記載した際には、第2接続部292a及び第2接続部292bの全てを指すものとする。
さらに、接続部290と記載した際には、上述した24個の接続部の全てを指しているものとする。
上述したように、本実施形態に係る流路部材200は、4つの流路240、すなわち第1流路241a及び第1流路241bと、第2流路242a及び第2流路242bとを備えている。そして、各流路240は、インクの入口となる導入流路280から交差流路250までが一本の流路として構成され、交差流路250から分岐流路260に分岐し、垂直流路270及び接続部290を経由して複数のヘッド本体110に接続されている。
本実施形態では、ブラックBk、マゼンタM、シアンC、イエローYの4色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンCは第1流路241aに、イエローYは第1流路241bに、ブラックBkは第2流路242aに、マゼンタMは第2流路242bに供給される。そして、各色のインクは第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bを流通し、各ヘッド本体110に供給される。
また、流路部材200には、ヘッド本体110に設けられたCOF基板98が挿通する開口部201が設けられている。本実施形態では、第1流路部材210には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第1開口部215が形成されている。第2流路部材220には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第2開口部225が形成されている。第3流路部材230には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第3開口部235が形成されている。
これらの第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は互いに連通しており、一つの開口部201を構成している。開口部201は、Xa方向に長尺な開口形状を有しており、6個の開口部201がY方向に並設されている。
ここで、図16に示すように、本実施形態に係るCOF基板98は、Z方向においてヘッド本体110に近い一端部である下側端部98cと、Z方向においてヘッド本体110から遠い他端部である上側端部98dとを有している。上側端部98dのXa方向の幅は、下側端部98cのXa方向の幅よりも狭くなるように形成されている。すなわち、フレキシブル配線基板98の面方向の幅について、他端部は一端部よりも狭くなるように形成されている。
本実施形態では、COF基板98の第1開口部215及び第3開口部235に挿通された部分はXa方向の幅は一定の矩形状であり、第2開口部225に挿通された部分はZ1側からZ2側に向けてXa方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。
一方、流路部材200の開口部201は、液体噴射面20aに垂直なZ方向においてヘッド本体110に近い第1開口236(すなわち、第3開口部235のZ1側の開口)及びヘッド本体110から遠い第2開口216(すなわち、第1開口部215のZ2側の開口)を有している。
第2開口216は、第1開口236よりもXa方向に狭く形成されている。すなわち、開口部201としては、Z方向のZ1からZ2に向けてXa方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部201は、COF基板98が収容される形状とされており、開口部201のXa方向の幅がCOF基板98のXa方向の幅よりも若干広く形成されている。
図17を用いて、流路部材200の開口部201に挿通したCOF基板98の傾斜について説明する。図17(a)は、図10~図13のE-E’線断面図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。また、図17(b)は比較例に係るヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。
図17(a)に示すように、流路部材200には、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235が連通して一つの開口部201が設けられている。ここで、流路部材200の開口部201のうちヘッド本体110側の第1開口236と、ヘッド本体110とは反対側の第2開口216とを通るCOF基板98の面を平面B(ただし、図17(a)には直線として示してある。)とし、第1開口236において平面Bと交わり、Xa方向に平行であり、かつ液体噴射面20aに垂直な平面を平面A(ただし、図17には直線として示してある。)とすると、COF基板98の面である平面Bは、液体噴射面20aに垂直な平面Aに対して交差している。
具体的には、第2開口216と第1開口236とは、Ya方向において異なる位置に設けられている。本実施形態では、6個の開口部201の各第2開口216は、対応する各第1開口236よりもYa方向のYa2側に所定距離だけずれて配置されている。すなわち、開口部201は、平面Bの第2開口216側がYa方向のYa1側からYa2側に向けて平面Aから遠ざかるように傾斜している。
COF基板98は、ヘッド本体110側に設けられた接続口43(図8参照)から、流路部材200に向けて延設されており、ヘッド本体110と中継基板140(図2参照)との間にある流路部材200において、COF基板98の一方面の側に傾斜している。ここで、COF基板98の両面のうち、この一方面を第1面98a、他方面を第2面98bとする。この場合、COF基板98の第1面98aは、平面Aと向かい合わない側、すなわちYa方向のYa2側の面となる。COF基板98の第2面98bは、平面Aと向かい合う側、すなわちYa方向のYa1側の面となる。
また、「COF基板98がヘッド本体110と中継基板140との間にある流路部材200において第1面98a側に傾斜する」とは、COF基板98のうち、ヘッド本体110から流路部材200の開口部201の出口にあたる第2開口216に至るまでの部分が第1面98a側に傾斜していることをいう。したがって、第2開口216から突出して中継基板140の表面に接続される部分についてはどの様な方向に傾斜していても構わない。
開口部201のYa方向の幅は、傾斜したCOF基板98のうち開口部201に最も近い部分からの間隔が、Ya1側及びYa2側の間でほぼ一定になるようになっている。具体的には、第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230毎に、傾斜したCOF基板98からほぼ一定の間隔を取るように、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235のそれぞれのYa方向の幅が決められている。流路部材200の加工を容易にするために、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は、Z方向に沿って貫通した開口となっており、Xa方向から見た開口部201の形状は、図17のように階段形状になっている。もちろんCOF基板98の傾斜に沿って、開口部201も傾斜させてもよい。開口部201に挿通されたCOF基板98は、このような開口部201に挿通されることで、平面Aに対して第1面98a側(すなわち、Ya2側)に傾斜している。
なお、図8に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に導入路44が形成されており、COF基板98の接続口43に対して、Ya1側に設けられた導入路44とYa2側に設けられた導入路44とは、接続口43とのYa方向の間隔が互いにほぼ同じになるように配置されている。対して、COF基板98は、COF基板98のYa方向において両側からのリード電極90との電気的な接続を容易に行うため、その接続部分が接続口43のほぼ中央に来るように配置されている。言い換えると、COF基板98はYa方向において接続口43の一方側の側面に寄せて配置されており(図8ではYa1側)、その結果、COF基板98はYa方向においていずれかの導入路44に寄せて配置されている。しかし、流路部材200においては、COF基板98とのYa方向の間隔を、Ya1側及びYa2側のいずれにおいてもほぼ一定とすることで、流路部材200とCOF基板98との接触を防ぐとともに、Ya方向の小型化を図っている。
流路部材200に設けられた第1流路241は、上述したように傾斜したCOF基板98の第1面98a側の第1分岐流路261を介して、対応するヘッド本体110に接続され、第2流路242は、第2面98b側の第2分岐流路262を介して、対応するヘッド本体110に接続されている。
このことを図17及び図18を用いて詳細に説明する。図18は本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をZ方向のZ2側からZ1側をみた概略平面図である。
図18に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に4つの導入路44が形成されている(図7参照)。具体的には、2つの導入路44a、導入路44bが接続口43よりもYa方向のYa1側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44aは導入路44bよりもXa方向においてXa1側に配置されている。また、残り2つの導入路44c、導入路44dは接続口43よりもYa方向のYa2側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44cは導入路44dよりもXa方向においてXa1側に配置されている。なお、接続口43は第1開口236とほぼ同形状に形成され、接続口43及び第1開口236は連通している。
導入路44aは、第2流路242a、すなわち第2導入流路282a(図14参照)、第2交差流路252a、第2分岐流路262a、第2垂直流路272a及び第2接続部292aに接続されている。
導入路44bは、第2流路242b、すなわち第2導入流路282b(図15参照)、第2交差流路252b、第2分岐流路262b、第2垂直流路272b及び第2接続部292bに接続されている。
導入路44cは、第1流路241a、すなわち第1導入流路281a(図14参照)、第1交差流路251a、第1分岐流路261a、第1垂直流路271a及び第1接続部291aに接続されている。
導入路44dは、第1流路241b、すなわち第1導入流路281b(図15参照)、第1交差流路251b、第1分岐流路261b、第1垂直流路271b及び第1接続部291bに接続されている。
これらの導入路44a~導入路44dと、第1流路241及び第2流路242との関係は6つのヘッド本体110について同様である。
このように、第1流路241は、COF基板98の第1面98a側にてヘッド本体110に接続されている。また、第2流路242は、COF基板98の第2面98b側にてヘッド本体110に接続されている。
ここで、図17(a)に示すように、COF基板98は第1面98a側に傾斜しており、また、開口部201も第1面98a(Y2側)に傾斜させている。このように開口部201が第1面98a側に傾斜すると、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。
「流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密が設けられている」とは、流路部材200のヘッド本体110に対向した領域Tが、COF基板98が傾斜するYa方向において、COF基板98が挿通する開口部201を挟んで、COF基板98の第1面98a側の領域Pと、第2面98b側の領域Qとに分割され、Z方向の同一平面内においては領域QのYa方向の幅が領域PのYa方向の幅よりも広いことをいう。
本実施形態では、流路部材200を構成する第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230のヘッド本体110に対向した領域Tのうち、Ya方向において第1面98a側が領域Pであり、第2面98b側が領域Qである。図にはこれら領域P、Qを示すハッチを施してある。
本実施形態では、図17(a)に示すように、COF基板98の傾斜により、上述した同一面の一つである第1流路部材210のZ1側の表面においては、領域QはYa方向の幅U1の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。同様に、上述した同一面の一つである第2流路部材220のZ2側の表面においては、領域QはYa方向の幅U2の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。
領域QのYa方向の幅は、Z方向のZ1側からZ2側に向かうほど広くなっている。本実施形態では、第1流路部材210の方が第2流路部材220よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。同様に、第2流路部材220の方が第3流路部材230よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。すなわち、流路部材200は、ヘッド本体110から中継基板140へ向かうほど、領域P及び領域Qの疎密の差が大きくなっている。
そして、このように疎な領域Qでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262が位置する。「疎な領域Qで第2流路242が液体噴射面20aに沿って設けられた部分を有する」とは、少なくとも第2流路242を構成する流路の一部が、上述した領域Qにおいて、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられてからヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。
本実施形態では、第2流路242aのうち第2分岐流路262aが領域Qに設けられている。また、第2流路242bのうち第2分岐流路262bが領域Qに設けられている。
本実施形態に係る記録ヘッド100では、COF基板98を第1面98a側に傾斜させたことで、流路部材200の開口部201も第1面98a側に移動させて設けることができ、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。これにより、第2流路242を構成する第2分岐流路262を、領域Pよりも広い領域Qに配置することができる。すなわち、第2分岐流路262をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体110の配置などに応じた最適な第2流路242を構成することが容易となる。換言すれば、領域Qが広いほど、第2流路242の配置の自由度が高い。ここでいう第2流路242の配置の自由度とは、領域QのYa方向の幅に比例する概念であり、自由度が高いほど、第2流路242を領域Qに形成しやすいことを意味する。なお、本実施形態の第2流路242は、本発明の第2面側において、液体噴射面に沿って設けられた部分を有する流路に相当し、本実施形態の第2分岐流路262は、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。
また、本実施形態に係る記録ヘッド100によれば、COF基板98を傾斜させることで、Ya方向に幅が拡幅した疎な領域Qを形成することができる。このようにYa方向の幅が広がったことで、第2流路242の一部を構成する第2分岐流路262を、Ya方向にCOF基板98に干渉することなく形成することができる。
これにより、第2流路部材220のYa方向において、後述の比較例と比較すると、第2分岐流路262と平面Aとの間隔を狭くすることができるので、第2流路部材220、すなわち流路部材200をYa方向に小型化することができ、これにより記録ヘッド100のYa方向の幅を小型化することができる。
さらに、上述したように、本実施形態ではCOF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されており、その結果、接続口43のYa1側にある導入路44にCOF基板98が寄せて配置されている。そして、垂直流路270を介して導入路44と接続される分岐流路260が、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度が狭まっている。しかしながら、COF基板98をその反対側であるYa2側に傾斜させることで、このような場合であっても、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。
ちなみに、COF基板98が傾斜していない記録ヘッドでは、上述したような小型化を図ることができない。このことを図17(a)及び図17(b)を用いて説明する。
図17(a)に示した第2開口部225と第2分岐流路262aとのYa方向の間隔をVとする。一方、図17(b)に、比較例に係る記録ヘッドの概略側面図を示す。比較例に係る記録ヘッド100’は、COF基板98の傾斜と、COF基板98に沿った開口部201の配置と、ヘッド本体110に対向した領域Tの大きさ以外は記録ヘッド100と同じ構成であるとする。
記録ヘッド100’において、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262a’を、Ya方向においてCOF基板98に干渉することなく形成するために、記録ヘッド100と同じ間隔Vを保って形成すると、記録ヘッド100において拡幅した幅Uの分だけ、Ya方向のYa1側に第2分岐流路262a’を設けなければならない。したがって、比較例に係る記録ヘッド100’においては、流路部材200のYa方向において、第2分岐流路262a’と平面Aとの間隔が広くなってしまい、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができない。換言すれば、図17(a)に示すように、COF基板98を第1面98a側に傾斜したために、間隔Vを保ちながらも、幅U1又は幅U2の分だけ第2垂直流路272aをCOF基板98側に近づけることができる。すなわち、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。
また、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第1流路241及び第2流路242の第1交差流路251a及び第2交差流路252aを、また、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、それぞれ液体噴射面20aに直交するZ方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置した。これにより、複数の交差流路を全て同一平面内に形成する場合に比較して、記録ヘッド100の液体噴射面20aの面方向における形状を小型化することができる。
さらに、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第2分岐流路262とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第2垂直流路272により接続している。よって、液体噴射面20aに垂直なZ方向から見た平面視において、第2垂直流路272の範囲は、液体噴射面20aに垂直な方向に傾斜した流路により第2分岐流路262とヘッド本体110とを接続する場合において、この傾斜した流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、本実施形態のように、第2交差流路252とヘッド本体110とを第2垂直流路272で接続することで、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。同様に、第1分岐流路261とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第1垂直流路271により接続したので、これによっても、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
なお、垂直流路270のYa方向の幅を、分岐流路260のYa方向の幅よりも小さくしてもよい。その場合には、そうでない場合よりも、開口部201と間隔Vを保ちつつ垂直流路270や分岐流路260の配置の自由度をさらに高めることができる。加えて、垂直流路270の断面積を、分岐流路260の断面積よりも小さくしてもよい。その場合には、垂直流路270における流速を速めることができ、垂直流路270における気泡を効率的に排出することが可能となる。
ここで、仮に、領域Pに第2流路242を形成するとする。この場合、上述したように、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなり、領域PのYa方向における幅が狭くなる。特に、COF基板98が接続口43のYa2側の側面に対して寄せて配置されていると仮定すると、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、領域PのYa方向における幅が一層狭くなる。このため、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa2側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とが一致する場合に、領域Pに第2流路242を配置する自由度は低く、第2流路242の配置が非常に困難となってしまう。しかしながら、本実施形態では、第2分岐流路262を領域Qに形成することで、第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa1側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とを一致させないことで、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。
一方、仮に、領域Qに第1流路241を形成したとする。この場合、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなるものの、Z方向においてヘッド本体110に近い側に第1流路241を形成することになるので、Ya方向に拡幅した領域Qを十分に活用できない。特に、本実施形態のように、液体噴射面20aの面方向における形状を小型化するために、第1交差流路251a及び第2交差流路252aや、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、Z方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置することを前提とすると、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の両方を領域Qに形成する場合は、第2分岐流路262を領域Qに形成し、かつ、第1分岐流路261を領域Pに形成する場合に比べて自由度は高くない。しかしながら、本実施形態では、第1分岐流路261を領域Pに形成することで、第1分岐流路261の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Z方向に重ねて配置される第1交差流路251及び第2交差流路252について、それぞれの第1分岐流路261及び第2分岐流路262をZ方向に重ねて配置しないことで、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。
また、上述したように、本実施形態に係るCOF基板98は、上側端部98dの面方向(Xa方向)の幅が下側端部98c(図16参照)の面方向の幅よりも狭い。そして、COF基板98にあわせて開口部201が形成されている。したがって、COF基板98の上側端部98dが面方向に狭くなっている分、流路部材200には第2開口216の面方向の両外側に第2流路242を形成可能な領域Wが形成されている。
本実施形態では、第2流路242の第2交差流路252や第2分岐流路262は、第1流路部材210と第2流路部材220とに形成されている。したがって、第1流路部材210と第2流路部材220とにおいて、開口部215、225のXa方向の外側部分が領域Wとなる(図16参照)。本実施形態では、第1交差流路251と第2交差流路252とが、Z方向に重なるように配置されている(図14,図15参照)。この場合に、第1交差流路251と第2交差流路252とをそれぞれZ方向へ液体噴射面20aに射影した場合に、それぞれの像が完全に一致しなくてもよく、互いの像の一部が重なるような配置であってもよく、さらに、第2交差流路252の像の少なくとも一部が第1交差流路251の像よりも、X方向において第1交差流路251の像の内側にあってもよい。すなわち、第2流路242aの第2交差流路252aが領域Wを通るように形成されていてもよい。なお、第2交差流路252aに限らず、第2交差流路252bや第2分岐流路262が領域Wを通るように形成してもよい。これらの場合、例えば第2交差流路252や第2分岐流路262が、Z方向から見た場合に、COF基板98の一端部である下側端部98cと干渉する位置に設けられていたとしても、Z方向において第2交差流路252や第2分岐流路262が設けられた位置ではCOF基板98との干渉を避けることができる。
このように、下側端部98cよりも上側端部98dが狭いCOF基板98を形成し、COF基板98にあわせて開口部201を設けることで、Xa方向においてCOF基板98の外側に第2流路242aを形成する領域Wを設けることができる。第2流路242bについても同様である。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。
また、図17(a)に示すように、流路部材200の開口部201には、駆動回路97が設けられたCOF基板98が挿通されている。本実施形態では、COF基板98の第2面98b側に駆動回路97が設けられている。
ここで、駆動回路97が開口部201の内面に接触する虞がある。そこで、駆動回路97と開口部201の内面との接触を避けるべく、開口部201のYa方向の幅は駆動回路97の厚さの分だけ広くなっている。開口部201のYa方向の幅を拡幅することにより、駆動回路97と開口部201の内面との接触を効果的に抑制することができる。また、このとき、駆動回路97は、Z方向において、第2流路部材220の第2開口部225と、第3流路部材230の第3開口部235に収容される位置に配置され、第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置されていない。これにより、Ya方向において、第1開口部215の幅を、第2開口部225の幅や第3開口部235の幅よりも小さくすることができる。すなわち、Ya方向においてCOF基板98の外側に第2流路242を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。
なお、仮に、駆動回路97を第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置すると、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることができない。そのため、流路部材200に第2流路242を配置する自由度を向上させることができない。
一方、本実施形態に係る記録ヘッド100では、駆動回路97を、Z方向において第2開口部225と第3開口部235とに収容される位置に配置し、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることで、第2交差流路252や第2分岐流路262といった第2流路242を流路部材200に配置する自由度を向上させている。
ここで、密な領域Pにおいてヘッド本体110に接続された第1流路241について説明する。密な領域Pでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第1分岐流路261が位置する。「密な領域Pで第1流路241がヘッド本体110に接続されている」とは、少なくとも第1流路241を構成する流路の一部が上述した領域Pに形成されてヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。なお、本実施形態の第1分岐流路261は、本発明の第1面側において、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。
密な領域Pでは、Ya方向の幅が縮小したため、第1分岐流路261を配置するのに十分な幅の領域Pが確保できない場合がある。しかしながら、本実施形態では、Z方向において、第1流路241を第2流路242よりもヘッド本体110側に配置している。
これにより、COF基板98の傾斜により領域PのYa方向の幅が狭くなったとしても、それに影響されずに、第1流路241をヘッド本体110に接続することができる。
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、実施形態1に係る記録ヘッド100の各ヘッド本体110は、ノズル列a及びノズル列bがXa方向に沿い、かつ、ノズル列a及びノズル列bを搬送方向であるX方向に対して傾斜させる場合は、上述したようにX方向とXa方向とが0度より大きく90度未満で交差させればよいが、交差させない態様の記録ヘッド100も本発明に含む。あるいは、搬送方向であるX方向に対して、ノズル列の方向であるXa方向が垂直になるようにヘッド本体110を備えた記録ヘッドを構成してもよい。この場合、Xa方向はY方向に一致し、Ya方向はX方向に一致することになる。したがって、実施形態1に係る記録ヘッド100では、Ya方向に小型化されたが、Ya方向をX方向に一致させた態様の記録ヘッド100では、Ya方向に一致するX方向、すなわち記録シートSの搬送方向に小型化できることになる。
他に、実施形態1に係る記録ヘッド100は、第1流路241及び第2流路242を有し、それぞれがZ方向に異なる位置で第1交差流路251及び第2交差流路252を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面20aに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第1流路部材210及び第2流路部材220を備えた流路部材に第2流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第1流路241と第2流路242とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド100をZ方向に小型化することができる。
また、実施形態1に係る記録ヘッド100では、第1流路241a,第1流路241b、第2流路242a、第2流路242bに対して、それぞれ導入路44c、44d、44a、44bが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第1流路241a、第1流路241bに対して、それぞれ導入路44c、44bが接続され、第2流路242a、242bに対して、それぞれ導入路44a、44dが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第2流路のみを有し、第1流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体110の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。
また、第1流路部材210及び第2流路部材220を接着して第2流路242を形成し、第2流路部材220及び第3流路部材230を接着して第1流路241を形成したが、第1流路241及び第2流路242を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、2つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形(射出成形等)、切削加工、プレス加工により形成してもよい。
また、流路部材200には、第1流路241として2つの第1流路241a及び第1流路241bを有していたが、2つに限定されず、1本又は3本以上であってもよい。第2流路242についても同様である。
第1交差流路251aは6つの第1分岐流路261aに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体110に接続されていてもよいし、分岐する数も6つに限定されず2つ以上の複数に分岐してもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。また、第1面98a側に傾斜させるCOF基板98の数も6つに限定されず、一部のCOF基板98のみを傾斜させてもよい。
また、第1交差流路251aは、第2流路部材220と第3流路部材230との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Z平面に対して傾斜した流路としてもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。
さらに、第1垂直流路271aは液体噴射面20aに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面20aに対して傾斜していてもよい。第1垂直流路271b、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bについても同様である。
流路部材200に形成された開口部201の第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が狭くなっている必要はない。第2開口216と第1開口236のXa方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のCOF基板98が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が広くなっていてもよい。
また、フレキシブル配線基板としてCOF基板98を備えていたが、フレキシブルプリント基板(FPC)であってもよい。また、COF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されていなくても、COF基板98とリード電極90との電気的な接続が行われていればよい。
また、実施形態1では、保持部材120と流路部材200とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材200のZ1側に保持部121と足部122とを設けてもよい。これにより、保持部材120をZ方向に積層しない分だけZ方向に小型化できる。また、保持部121が流路部材200に設けられることにより、流路部材200が複数のヘッド本体110を収容できればよく、中継基板140を収容しなくてもよいので、XY方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材200を第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230により構成する場合には、第3流路部材230のZ1側に保持部121と足部122とを設ければよい。
また、実施形態1では、ヘッド本体110をY方向に併設して、複数のヘッド本体110により記録ヘッド100を構成したが、1つのヘッド本体110により記録ヘッド100を構成してもよい。また、ヘッドユニット101に含まれる記録ヘッド100の個数についても特に限定はなく、2個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド100を単体でインクジェット式記録装置1に搭載してもよい。
なお、上述したインクジェット式記録装置1では、ヘッドユニット101が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット101や1つ又は複数の記録ヘッド100をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット101又は記録ヘッド100を記録シートSの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートSを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。
また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。
1 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、43 接続口、 44a、44b、44c、44d 導入路、 97 駆動回路、 98 COF基板、 98a 第1面、 98b 第2面、 98c 下側端部、 98d 上側端部、 100 記録ヘッド、 101 ヘッドユニット、 110 ヘッド本体、 140 中継基板、 200 流路部材、 201 開口部、 210 第1流路部材、 216 第2開口、 220 第2流路部材、 230 第3流路部材、 236 第1開口、 240 流路、 241 第1流路、 242 第2流路、 251 第1交差流路、 252 第2交差流路、 261 第1分岐流路、 262 第2分岐流路、 271 第1垂直流路、 272 第2垂直流路、 281 第1導入流路、 282 第2導入流路、 291 第1接続部、 292 第2接続部、 300 圧電アクチュエーター

Claims (9)

  1. 噴射方向へ液体を噴射する複数のノズル開口を有するノズルプレートと、
    前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第1の圧電体層と、
    前記第1の圧電体層と電気的に接続される第1のフレキシブル配線基板と、
    前記第1のフレキシブル配線基板が挿入される第1の開口部が設けられた流路部材と、
    を備え、
    前記流路部材は、前記複数のノズル開口の一部と連通する第1交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第2交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第3交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第4交差流路とを画定し、
    前記第1、第2、第3及び第4交差流路の夫々は、前記流路部材の長手方向に延在し、
    前記第1及び第2交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、
    前記第3及び第4交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、
    前記第1の開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第2交差流路と前記第4交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第2の圧電体層と、
    前記第2の圧電体層と電気的に接続される第2のフレキシブル配線基板と、を備え、
    前記流路部材には、前記第2のフレキシブル配線基板が挿入される第2の開口部と、前記噴射方向とは反対方向へ突出する複数の突部と、が設けられ、
    複数の前記突部は、内部に前記第1交差流路と連通する流路を有する第1突部と、内部に前記第2交差流路と連通する流路を有する第2突部と、内部に前記第3交差流路と連通する流路を有する第3突部と、内部に前記第4交差流路と連通する流路を有する第4突部とを含み、
    前記第1及び第2突部は、前記噴射方向に見て、前記第1の開口部および前記第2の開口部に対して、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが並ぶ方向に対して直交する方向における一方側に配置され、
    前記第3及び第4突部は、前記噴射方向に見て、前記第1の開口部および前記第2の開口部に対して、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが並ぶ方向に対して直交する方向における他方側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
  3. 前記第1及び第2突部は、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが並ぶ方向に沿って並び、
    前記第3及び第4突部は、前記第1の開口部と前記第2の開口部とが並ぶ方向に沿って並ぶことを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記第1、第2、第3及び第4突部は、前記長手方向における前記流路部材の端部に配置されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記第1のフレキシブル配線基板は、COF基板であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  6. 前記流路部材は、互いに積層された第1流路部材と第2流路部材とを含み、
    前記第1流路部材は、前記第1及び第3交差流路を画定し、
    前記第2流路部材は、
    前記第2及び第4交差流路と、
    前記長手方向および前記噴射方向の双方に直交する方向に見て前記第2交差流路と重なり、前記第1交差流路と連通する第1垂直流路と、
    前記長手方向および前記噴射方向の双方に直交する方向に見て前記第4交差流路と重なり、前記第3交差流路と連通する第2垂直流路と、を画定することを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  7. 前記ノズルプレートおよび前記流路部材は、ステンレス鋼によって構成されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  8. 前記第1の開口部は、前記流路部材の前記噴射方向を向く面に設けられた開口と、前記流路部材の前記噴射方向とは反対方向を向く面に設けられた開口と、が連通する開口部であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  9. 請求項1乃至8の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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