JP7035730B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
また、光導波路とヒータ電極とを有する熱光学光導波路素子においても、熱クロストークを抑制するための技術が提案されている。例えば、特許文献2では、光導波路間に断熱溝を設けると共に、光導波路下部に放熱材を配置した素子について開示されている。
(1) 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための制御電極と、バイアス点を調整するためのヒータ電極とを有する光導波路素子において、該制御電極は、該基板の一方の面に形成された信号電極と、該基板の前記一方の面とは反対側の面に形成された裏面接地電極とを備え、該ヒータ電極は該基板の前記一方の面に形成され、該基板の前記反対側の面における該ヒータ電極の下部に、該ヒータ電極により発生した熱を放熱するための放熱手段を有し、該ヒータ電極は、該基板の光波進行方向に沿った一方の側端に入力端部又は出力端部を有し、該放熱手段は、金属であり、該基板の前記一方の側端に向かって熱の伝導量が増加する形状に、該基板の前記一方の側端に向かって光波進行方向の幅が徐々に広がる形状に形成されたことを特徴とする。
本発明の光導波路素子は、例えば図1、図2に示すように、電気光学効果を有する基板(11)と、該基板に形成された光導波路(12)と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための制御電極と、バイアス点を調整するためのヒータ電極(41)とを有する光導波路素子(10)において、該制御電極は、該基板の一方の面に形成された信号電極(21)と、該基板の前記一方の面とは反対側の面に形成された裏面接地電極(31)とを備え、該ヒータ電極は該基板の前記一方の面に形成され、該基板の前記反対側の面における該ヒータ電極の下部に、該ヒータ電極により発生した熱を放熱するための放熱手段(51)を有することを特徴とする。なお、放熱手段は、基板の反対側の面に直接に接するように形成される構成に限られず、基板の反対側の面に放熱手段とは異なる他の層を介して形成される構成も含まれる。
図1は、本発明の一実施形態に係る光導波路素子の例を示す平面図である。図2は、図1の光導波路素子の裏面接地電極及び放熱用金属膜を示す透視図である。図3は、図1の光導波路素子の側面図である。
有機電気光学高分子材料中に分散された非線形光学有機化合物の双極子を配向させることにより、基板11に電気光学効果を持たせることができる。
これらの電極は、例えば、基板表面に、Ti・Au等による下地電極パターンを形成し、金メッキ方法などにより形成することが可能である。表面接地電極は「上部接地電極」とも称され、裏面接地電極は「下部接地電極」とも称される。
同図の光導波路素子10は、光変調器の筐体80に収容されている。筐体80には更に、光導波路素子10の制御電極と外部のドライバ素子とを電気的に接続するための中継信号線路が形成された中継基板81,82も収容されている。中継基板81の中継伝送線路は、ワイヤボンディング等により制御電極の入力端子と電気的に接続され、中継基板82の中継伝送線路は、ワイヤボンディング等により制御電極の出力端子と電気的に接続される。
11 基板
12 光導波路
21 信号電極
22 表面接地電極
24 ビア
31 裏面接地電極
41 ヒータ電極
42 DC電圧制御部
51 熱伝導抑制手段
80 筐体
81,82 中継基板
83,84 リードピン
91 熱伝導手段
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための制御電極と、バイアス点を調整するためのヒータ電極とを有する光導波路素子において、
該制御電極は、該基板の一方の面に形成された信号電極と、該基板の前記一方の面とは反対側の面に形成された裏面接地電極とを備え、
該ヒータ電極は該基板の前記一方の面に形成され、
該基板の前記反対側の面における該ヒータ電極の下部に、該ヒータ電極により発生した熱を放熱するための放熱手段を有し、
該ヒータ電極は、該基板の光波進行方向に沿った一方の側端に入力端部又は出力端部を有し、
該放熱手段は、金属であり、該基板の前記一方の側端に向かって熱の伝導量が増加するように、該基板の前記一方の側端に向かって光波進行方向の幅が徐々に広がる形状に形成されたことを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、
該放熱手段は、該基板の前記一方の側端における光波進行方向の幅が、該ヒータ電極の光波進行方向の長さよりも長いことを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の光導波路素子において、
該放熱手段は、該ヒータ電極の直下を覆うように形成されたことを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光導波路素子において、
該光導波路は、並行に延びる複数の並行導波路を含み、
該ヒータ電極は、前記複数の並行導波路のいずれかに対して設けられ、
該放熱手段は、該ヒータ電極が設けられた並行導波路の下部に形成される一方で、他の平行導波路の下部には形成されないことを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光導波路素子において、
該光導波路は、有機高分子材料で形成されたことを特徴とする光導波路素子。
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