JP7028109B2 - 質量分析装置 - Google Patents
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Description
特定の範囲のm/zのイオンを、アイソレーションまたはフラグメントさせるために、Xロッド電極対またはYロッド電極対の一方には、さらにイオン励振用のAC電圧が印加されている。
この擬似ポテンシャルは、外部からリニアイオントラップに入射するイオンに対して障壁となるため、イオンがリニアイオントラップに導入されにくくなり、質量分析装置の検出感度低下の原因となる。
さらに好ましい実施形態では、前記コンデンサは可変コンデンサである。
さらに好ましい実施形態では、前記第2の伝達部は、前記RF電圧にAC電圧を重畳する電圧重畳回路を有し、前記第1の伝達部が有するコンデンサの静電容量は、前記電圧重畳回路の静電容量と略等しい。
さらに好ましい実施形態では、前記電圧重畳回路は絶縁トランスである。
さらに好ましい実施形態では、前記第1の伝達部と前記第2の伝達部の間の静電容量を調整する可変コンデンサを有する。
さらに好ましい実施形態では、前記多重極イオンガイドはリニアイオントラップを構成する。
さらに好ましい実施形態では、前記多重極イオンガイドは多重極マスフィルタを構成する。
さらに好ましい実施形態では、前記多重極イオンガイドの後段に、さらに別の質量分析部を有する。
図1は、本発明の第1実施形態の質量分析装置100の構成を示す図であり、図1(a)はその全体構成を、図1(b)は多重極ロッド電極6と多重極ロッド電極6に電圧を供給する電源10の詳細を表す図である。質量分析装置100においては、真空容器1の内部にイオン化室2、イオン光学系3、イオン光学系4、多重極ロッド電極(多重極イオンガイド)6、及びイオン検出器8が中心軸AXに沿って設けられている。略密閉された真空容器1内は真空ポンプ9a、9b、9cにより排気されている。
なお、図1(a)に示したZ軸の方向は、多重極ロッド電極6の中心軸AXの方向と一致する方向としている。
イオン化室2で生成されたイオンはイオン化室2から引き出されてイオン光学系3を通ってイオン光学系4に導入される。イオン光学系4は、中心軸AXを囲んで、図1中の±X方向および±Y方向にそれぞれ所定距離だけ離れた位置に、例えば4本のロッド電極を備えるものである。イオン光学系4には、不図示の電源回路から高周波電圧が印加されている。
以下、本第1実施形態においては、多重極ロッド電極(多重極イオンガイド)6を、一例としてリニアイオントラップ6であるとして、説明を行う。
一般にリニアイオントラップ6においては、Xロッド電極対(6c、6d)とYロッド電極対(6a、6b)に、絶対値が等しく符号が逆符号であるRF電圧を印加する。RF電圧の最大値をQとすると、RF電圧は、Qcosωtと表せる。ここで、ωは角周波数(ω=2πf)である。
さらに、特定の範囲のm/zのイオンをアイソレーションまたはフラグメントさせるために、Xロッド電極対(6c、6d)またはYロッド電極対(6a、6b)の一方には、上記のRF電圧に加えて、イオン励振用のAC電圧が重畳して印加される。イオン励振用のAC電圧の周波数は、一例として上述のRF電圧の周波数の半分以下である。
従って、電源回路10は、4本のロッド電極6a~6dに上述の電圧を印加するように構成されている。
また、2次側コイル14aおよび14bの一端には直流電源15からグランドを基準として直流電圧Pが印加されており、Xロッド電極対(6c、6d)およびYロッド電極対(6a、6b)には、上記RF電圧に加えて、直流電圧Pが重畳された電圧が印加されることとなる。以下の実施形態においては、理解を容易にするために、直流電圧Pが0V(GND電位)である場合について記載する。
これにより、RF電圧の印加時に、中心軸AX上に発生する交流電場の大きさを低減することができる。すなわち、擬似ポテンシャルの値を低減することができ、リニアイオントラップ6へのイオンの導入効率を向上することができる。
上述のように、2次側コイルの高電圧端14aeおよび14beには、位相が180°異なるRF電圧が発生する。ここで、両RF電圧の電位差をVとする。
V = I・(1/jωCx+1/jωCy) ・・・(1)
ここで、jは虚数単位であり、1/jωCxは静電容量Cxによるインピーダンス、1/jωCyは静電容量Cyによるインピーダンスである。
Vx = I・(1/jωCx) = V・Cy/(Cx+Cy) ・・・(2)
となる。
一方、静電容量Cyを有するYロッド電極対(6a、6b)およびY側伝達部(導線22a~22c)に加わる電位差Vyは、
Vy = I・(1/jωCy) = V・Cx/(Cx+Cy) ・・・(3)
となる。
その結果、ロッド電極6a~6dの中央にある中心軸AX上には、電位差Vxと電位差Vyの振動に合わせて高周波で振動する電場が生じてしまう。そして、この高周波の電場が、電場の自乗に比例する擬似ポテンシャルを形成して、外部からリニアイオントラップ6に進入するイオンに対する障壁を形成してしまう。
これにより、中心軸AX上に形成される交流電場の大きさを低減することができ、リニアイオントラップ(多重極イオンガイド)6へのイオンの導入効率を向上することができる。
コンデンサ24は、いわゆる電子部品としてのコンデンサに限られるものではない。例えば、Y側伝達部(導線22a~22c)の一部に板状の電極を接続し、この板状の電極をグランド電位に維持されている真空容器1の外壁または内壁に対向する形で配置して静電容量を発生するような構成でもよい。
図2は、多重極ロッド電極9にRF電圧を供給する電源回路10aの変形例を表す図である。
変形例の電源回路10aの構成は、上述の第1実施形態の中の電源回路10の構成とほぼ同一であるので、同一部分には、同一の符号を付して、説明を省略する。
本変形例の電源回路10aにおいては、可変コンデンサ25の静電容量を変更することにより、RF電源回路11および導線22a~22c、23a~23c等による共振条件を変更し、RF電源回路11に所定の範囲の周波数fのRFを生成させることができる。
以上の第1実施形態および変形例においては、1つの伝達部は、それぞれ2本のロッド電極(Xロッド電極対(6c、6d)、Yロッド電極対6a、6b)にRF電源11から電圧を供給するものとしたが、1つの伝達部が電圧を供給するロッド電極の本数は、2本に限られるわけではなく、任意の本数であってもよい。例えば、8本のロッド電極からなる8重極ロッド電極であれば、1つの伝達部から4本のロッド電極に電圧を供給しても良い。
(1)上述の第1実施形態および変形例の質量分析装置は、中心軸AXに対して対称に配置された第1の電極対(Yロッド電極対6a、6b)、および第2の電極対(Xロッド電極対6c、6d)を含む多重極イオンガイド(リニアイオントラップ6)と、第1の電極対6a、6bに接続され、第1の電極対6a、6bに印加されるRF電圧を伝達する第1の伝達部(導線22a~22c)と、第2の電極対6c、6dに接続され、第2の電極対6c、6dに印加されるRF電圧を伝達する第2の伝達部(電圧重畳回路17、導線23a~23c)と、を備え、第1の伝達部(導線22a~22c)は、第1の伝達部(導線22a~22c)の静電容量と第2の伝達部(電圧重畳回路17、導線23a~23c)の静電容量との差を低減するコンデンサ24を有している。
この構成により、RF電圧の印加時に、多重極イオンガイド6の中心軸AX上に発生する交流電場の大きさを低減することができ、擬似ポテンシャルの値を低減することができる。これにより、多重極イオンガイド(リニアイオントラップ)6へのイオンの導入効率を向上することができ、質量分析装置の検出感度が向上する。
(2)コンデンサ24を可変コンデンサとすることで、気温や湿度の変化や経年変化により伝達部(導線22a~2c、電圧重畳回路17、導線23a~23c)の静電容量が変化した場合にも、その変化を補償して静電容量の調整ができる。
(3)他の伝達部(電圧重畳回路17、導線23a~23c)は、RF電圧にAC電圧を重畳する電圧重畳回路17を有し、第1の伝達部(導線22a~22c)が有するコンデンサ24の静電容量は、電圧重畳回路17の静電容量と略等しい構成とすることで、電圧重畳回路17により付加される静電容量をコンデンサ24により容易に補償することができる。
(4)電圧重畳回路17を絶縁トランス18とすることで、効率良くRF電圧にAC電圧を重畳することができる。
(5)第1の伝達部(導線22a~22c)と第2の伝達部(導線23a~23c)の間の静電容量を調整する可変コンデンサ25を有することで、RF電源回路11および導線22a~22c、23a~23cを含む回路の共振条件を変更し、多重極イオンガイド6に所定の範囲の周波数fのRF電圧を供給することができる。
(6)多重極イオンガイド6をリニアイオントラップを構成する電極とすることで、リニアイオントラップへのイオンの導入効率を向上した質量分析装置が実現できる。
(7)多重極イオンガイド6を四重極マスフィルタを構成する電極とすることで、四重極マスフィルタへのイオンの導入効率を向上した質量分析装置が実現できる。
図3は、本発明の第2実施形態の質量分析装置100aの構成を示す図である。第2実施形態の質量分析装置100aの構成の大部分は、上述の第1実施形態の質量分析装置100の構成と共通するため、同一部分には同一の符号を付して、説明を省略する。
第2実施形態においても、多重極イオンガイド(多重極ロッド電極)6をリニアイオントラップ6とすることで、リニアイオントラップ6内に蓄積された多数のイオンを飛行時間型質量分析部30で分析することにより、S/Nの良い質量分析を行うことができる。また、リニアイオントラップ6内でフラグメントされたイオンを、飛行時間型質量分析部30で分析することもできる。
なお、別の質量分析部30は、上述の飛行時間型質量分析部30に限られるものではなく、別の四重極質量分析部であっても良い。
(8)第2実施形態の質量分析装置は、上述の第1実施形態および変形例の質量分析装置に加えて、さらに、多重極イオンガイド(多重極ロッド電極)6の後段に、さらに別の質量分析部を有している。
この構成により、イオントラップ型飛行時間型質量装置のイオントラップ部(多重極イオンガイド6)への入射効率を高めることができ、質量分析装置の検出感度が向上する。
あるいは、いわゆるタンデム型質量分析装置の前段の多重極マスフィルタ(多重極イオンガイド6)への入射効率を高めることができ、質量分析装置の検出感度が向上する。
Claims (8)
- 中心軸に対して対称に配置された第1の電極対および第2の電極対を含む多重極イオンガイドと、
前記第1の電極対に接続され、前記第1の電極対に印加されるRF電圧を伝達する第1の伝達部と、
前記第2の電極対に接続され、前記第2の電極対に印加される、RF電圧にAC電圧を重畳した重畳電圧を伝達するものであって、該重畳電圧を生成する電圧重畳回路を有する第2の伝達部と、を備え、
前記第1の伝達部は、前記第1の伝達部の静電容量と前記第2の伝達部の静電容量との差を低減するコンデンサを有する、質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置において、
前記コンデンサは可変コンデンサである、質量分析装置。 - 請求項1または請求項2に記載の質量分析装置において、
前記第1の伝達部が有するコンデンサの静電容量は、前記電圧重畳回路の静電容量と略等しい、質量分析装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記電圧重畳回路は絶縁トランスである、質量分析装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の質量分析装置において、
さらに、前記第1の伝達部と前記第2の伝達部の間の静電容量を調整する可変コンデンサを有する、質量分析装置。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記多重極イオンガイドはリニアイオントラップを構成する、質量分析装置。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記多重極イオンガイドは多重極マスフィルタを構成する、質量分析装置。 - 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の質量分析装置において、
前記多重極イオンガイドの後段に、さらに別の質量分析部を有する、質量分析装置。
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