JP7022884B2 - 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 - Google Patents
電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 Download PDFInfo
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Description
電界非対称性イオン移動度分光計は、2種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも1種類の物質を選択的に分離するために用いられる。分離された少なくとも1種類の物質は、電界非対称性イオン移動度分光計に含まれる検出器により検出される。
前記混合物に含有される2種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された2種類以上の物質から、前記少なくとも1種類の物質を選択するためのフィルタ、
を具備する。
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第1電極群および第2電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第1電極、平板状の第2電極、平板状の第3電極、および平板状の第4電極を具備し、
前記第1電極群は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極を含み、
前記第2電極群は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極を含み、
平板状の各第1~第4電極は、前記イオン化装置から前記フィルタに向かう方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第2電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第1電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第4電極は、前記平板状の第2電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第1電極および第2電極の間には、第1隙間が形成されており、
前記平板状の第2電極および第3電極の間には、第2隙間が形成されており、
前記平板状の第3電極および第4電極の間には、第3隙間が形成されており、
前記第1電極群は、前記第2電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第1~第4電極が位置しており、
前記平板状の第1~第4電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凸部および下側第2凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第1凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第1凸部上に前記平板状の第1電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第2凸部上に前記平板状の第2電極が位置している。
イオン化装置301に供給される混合物は、液体または気体である。本明細書では、混合物は、3種類のガス202~204を含有することとする。ガス202~204は、イオン化装置301を用いてイオン化される。
次に、イオン化されたガス202~204は、イオン化装置301に隣接して配置されたフィルタ302に供給される。
(イオン検出部)
図1に示されるように、電界非対称性イオン移動度分光計は、イオン検出部303を具備し得る。イオン検出部303は、フィルタ302に隣接して配置される。言い換えれば、フィルタ302は、イオン化装置301およびイオン検出部303の間に配置される。
図1に示されるように、電界非対称性イオン移動度分光計は、ポンプ304を具備し得る。ポンプ304により、混合物は、イオン化装置301からフィルタ302を通ってイオン検出部303に吸引される。
102 第1電極群
103 第2電極群
105 上側絶縁性基板
106a 平板状の第1電極
106b 平板状の第2電極
106c 平板状の第3電極
106d 平板状の第4電極
106e 平板状の第5電極
106f 平板状の第6電極
108a 第1隙間
108b 第2隙間
108c 第3隙間
112 第1帯状電極
114 第2帯状電極
122 第1壁面電極
124 第2壁面電極
131a 下側第1凹部
131b 下側第2凹部
131c 下側第3凹部
131d 下側第4凹部
131e 下側第5凹部
141a 下側第1凸部
141b 下側第2凸部
141c 下側第3凸部
141d 下側第4凸部
141e 下側第5凸部
141f 下側第6凸部
151a 下側第1追加凹部
151b 下側第2追加凹部
151c 下側第3追加凹部
151d 下側第4追加凹部
151a 下側第5追加凹部
201a 平板状の第1電極
201b 平板状の第2電極
202 ガス
203 ガス
204 ガス
205 電源
301 イオン化装置
302 フィルタ
303 イオン検出部
304 ポンプ
311 電流計
900a 平板状の電極
900b 平板状の電極
902 ガス
903 ガス
Claims (40)
- 2種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも1種類の物質を選択的に分離するための電界非対称性イオン移動度分光計であって、以下を具備する:
前記混合物に含有される2種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された2種類以上の物質から、前記少なくとも1種類の物質を選択するためのフィルタ、
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第1電極群および第2電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第1電極、平板状の第2電極、平板状の第3電極、および平板状の第4電極を具備し、
前記第1電極群は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極を含み、
前記第2電極群は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極を含み、
平板状の各第1~第4電極は、前記混合物の流れ方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第2電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第1電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第4電極は、前記平板状の第2電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第1電極および第2電極の間には、第1隙間が形成されており、
前記平板状の第2電極および第3電極の間には、第2隙間が形成されており、
前記平板状の第3電極および第4電極の間には、第3隙間が形成されており、
前記第1電極群は、前記第2電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第1~第4電極が位置しており、
前記平板状の第1~第4電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凸部および下側第2凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第1凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第1凸部上に前記平板状の第1電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第2凸部上に前記平板状の第2電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
- 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第2凹部は、前記下側第2凸部および前記下側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第3凸部上に前記平板状の第3電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項2に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第3凹部は、前記下側第3凸部および前記下側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第4凸部上に前記平板状の第4電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凸部および上側第2凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第1凹部は、前記上側第1凸部および前記上側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第1凸部は、前記平板状の第1電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第2凸部は、前記平板状の第2電極上に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項4に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第2凹部は、前記上側第2凸部および前記上側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第3凸部は前記平板状の第3電極上に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項5に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第3凹部は、前記上側第3凸部および前記上側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第4凸部は前記平板状の第4電極上に位置している、電界非対称性イオン移動度分光計。
- 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第1追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第1追加凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第1凹部が現れない、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第1電極群は、第1帯状電極を具備し、
前記第2電極群は、第2帯状電極を具備し、
前記第1帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第2帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第1帯状電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極に電気的に接続されており、かつ
前記第2帯状電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極に電気的に接続されている、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項9に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第1帯状電極および第2帯状電極は、前記平板状の第1電極の法線に平行な方向に伸び出している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
- 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、さらに
前記フィルタにより選択された前記少なくとも1種類の物質を検出するための検出部を具備し、
前記フィルタは、前記イオン化装置および前記検出部の間に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記下側第1凹部は、5マイクロメートル以上10マイクロメートル以下の深さを有している、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第1隙間、前記第2隙間、および前記第3隙間は、いずれも、10マイクロメートル以上35マイクロメートル以下の幅を有する、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 請求項1に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記各平板状の第1電極~第4電極は、300マイクロメートル以上10000マイクロメートル以下の長さを有する、
電界非対称性イオン移動度分光計。 - 電界非対称性イオン移動度分光計を用いて、2種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも1種類の物質を選択的に分離する方法であって、
以下を具備する前記電界非対称性イオン移動度分光計を用意する工程(a)、
前記混合物に含有される2種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された2種類以上の物質から、前記少なくとも1種類の物質を選択するためのフィルタ、
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第1電極群および第2電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第1電極、平板状の第2電極、平板状の第3電極、および平板状の第4電極を具備し、
前記第1電極群は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極を含み、
前記第2電極群は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極を含み、
平板状の各第1~第4電極は、前記混合物の流れ方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第2電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第1電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第4電極は、前記平板状の第2電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第1電極および第2電極の間には、第1隙間が形成されており
前記平板状の第2電極および第3電極の間には、第2隙間が形成されており
前記平板状の第3電極および第4電極の間には、第3隙間が形成されており、かつ
前記第1電極群は、前記第2電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第1~第4電極が位置しており、
前記平板状の第1~第4電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凸部および下側第2凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第1凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第1凸部上に前記平板状の第1電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第2凸部上に前記平板状の第2電極が位置しており、
前記イオン化装置に前記2種類以上の物質を含有する混合物を供給し、前記混合物に含有される2種類以上の物質をイオン化する工程(b)、および
前記イオン化された2種類以上の物質を前記フィルタに供給し、前記少なくとも1種類の物質を前記フィルタを通して分離する工程(c)、
を具備し、
ここで、
前記第1電極群および第2電極群の間に非対称な交流電圧が印加され、かつ
イオン化された前記少なくとも1種類の物質は前記第1~第3隙間を通過する一方、それ以外のイオン化された物質は、前記平板状の第1~第4電極の主面にトラップされる、
方法。
- 請求項15に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第2凹部は、前記下側第2凸部および前記下側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第3凸部上に前記平板状の第3電極が位置している、
方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第3凹部は、前記下側第3凸部および前記下側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第4凸部上に前記平板状の第4電極が位置している、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凸部および上側第2凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第1凹部は、前記上側第1凸部および前記上側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第1凸部は、前記平板状の第1電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第2凸部は、前記平板状の第2電極上に位置している、
方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第2凹部は、前記上側第2凸部および前記上側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第3凸部は前記平板状の第3電極上に位置している、
方法。 - 請求項19に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第3凹部は、前記上側第3凸部および前記上側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第4凸部は前記平板状の第4電極上に位置している、方法。
- 請求項15に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第1追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第1追加凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置している、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第1凹部が現れない、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記第1電極群は、第1帯状電極を具備し、
前記第2電極群は、第2帯状電極を具備し、
前記第1帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第2帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第1帯状電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極に電気的に接続されており、かつ
前記第2帯状電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極に電気的に接続されている、
方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
前記第1帯状電極および第2帯状電極は、前記平板状の第1電極の法線に平行な方向に伸び出している、
方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
前記電界非対称性イオン移動度分光計は、さらに前記フィルタにより選択された前記少なくとも1種類の物質を検出するための検出部を具備し、かつ
前記フィルタは、前記イオン化装置および前記検出部の間に位置している、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記下側第1凹部は、5マイクロメートル以上10マイクロメートル以下の深さを有している、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記第1隙間、前記第2隙間、および前記第3隙間は、いずれも10マイクロメートル以上35マイクロメートル以下の幅を有する、
方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記各平板状の第1電極~第4電極は、300マイクロメートル以上10000マイクロメートル以下の長さを有する、
方法。 - 2種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも1種類の物質を選択的に分離する電界非対称性イオン移動度分光計のために用いられるフィルタであって、以下を具備する:
平板状の第1電極、
平板状の第2電極、
平板状の第3電極、および
平板状の第4電極、ここで、
前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極は、第1電極群に含まれ、
前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極は、第2電極群に含まれ、
平板状の各第1~第4電極は、前記混合物の流れ方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第2電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極の間に位置しており、
前記平板状の第3電極は、前記平板状の第1電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第4電極は、前記平板状の第2電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第1~第4電極の間には、隙間が形成されており、
前記第1電極群は、前記第2電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第1~第4電極が位置しており、
前記平板状の第1~第4電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の厚み方向に直交しており、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第1凸部および下側第2凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第1凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第1凸部上に前記平板状の第1電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第2凸部上に前記平板状の第2電極が位置しており、
前記第1電極群は、第1帯状電極を具備し、
前記第2電極群は、第2帯状電極を具備し、
前記第1帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第2帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第1帯状電極は、前記平板状の第1電極および前記平板状の第3電極に電気的に接続されており、
前記第2帯状電極は、前記平板状の第2電極および前記平板状の第4電極に電気的に接続されている、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第2凹部は、前記下側第2凸部および前記下側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第3凸部上に前記平板状の第3電極が位置している、
フィルタ。 - 請求項30に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第3凹部は、前記下側第3凸部および前記下側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第4凸部上に前記平板状の第4電極が位置している、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第1凸部および上側第2凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第1凹部は、前記上側第1凸部および前記上側第2凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第1凸部は、前記平板状の第1電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第2凸部は、前記平板状の第2電極上に位置している、
フィルタ。 - 請求項32に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第2凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第2凹部は、前記上側第2凸部および前記上側第3凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第3凸部は前記平板状の第3電極上に位置している、
フィルタ。 - 請求項33に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第3凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第4凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第3凹部は、前記上側第3凸部および前記上側第4凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第4凸部は前記平板状の第4電極上に位置している、フィルタ。
- 請求項29に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第1追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第1追加凹部は、前記下側第1凸部および前記下側第2凸部の間に位置している、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記平板状の第1電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第1凹部が現れない、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記第1帯状電極および第2帯状電極は、前記平板状の第1電極の法線に平行な方向に伸び出している、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記下側第1凹部は、5マイクロメートル以上10マイクロメートル以下の深さを有している、
フィルタ。 - 請求項29に記載のフィルタであって、
前記第1隙間、前記第2隙間、および前記第3隙間は、いずれも、10マイクロメートル以上35マイクロメートル以下の幅を有する、フィルタ。
- 請求項29に記載のフィルタであって、
前記各平板状の第1電極~第4電極は、300マイクロメートル以上10000マイクロメートル以下の長さを有する、フィルタ。
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