JP7008125B2 - オゾン発生装置及びオゾン発生方法 - Google Patents
オゾン発生装置及びオゾン発生方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7008125B2 JP7008125B2 JP2020502820A JP2020502820A JP7008125B2 JP 7008125 B2 JP7008125 B2 JP 7008125B2 JP 2020502820 A JP2020502820 A JP 2020502820A JP 2020502820 A JP2020502820 A JP 2020502820A JP 7008125 B2 JP7008125 B2 JP 7008125B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen gas
- flow path
- water
- flow rate
- ozone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/14—Ozone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/60—Feed streams for electrical dischargers
- C01B2201/64—Oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/60—Feed streams for electrical dischargers
- C01B2201/66—Pretreatment of the feed
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/90—Control of the process
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
本発明の実施形態は、オゾン発生装置10である。図1に示すように、オゾン発生装置10は、酸素ガス源5から供給される酸素ガスを原料とし、該原料を用いて生成したオゾンガスを所定の供給対象に供給する。酸素ガス源5は、例えば酸素ガスが充填される酸素ガスボンベで構成される。酸素ガスボンベには、例えば99.9999%の高純度の酸素ガスが充填される。酸素ガス中の水分量は、例えば50ppb~1000ppbの範囲である。オゾンガスの供給対象は、例えば半導体製造設備である。
オゾン発生装置10においてオゾンを発生するための運転動作(オゾン発生方法)について詳細に説明する。
上述した実施形態(図1)の構成において、第2流路32を省略した構成としてもよい。つまり、オゾン発生装置10は、酸素ガス源から供給される酸素ガス中の水分を10ppb以下まで除去する除湿部27と、除湿部27を通過した酸素ガスに水分を付与する加湿部21と、加湿部21を通過した酸素ガスを原料としてオゾンガスを発生させるオゾンナイザ28とを備える構成であってもよい。この構成においても、第1流路31には、実質的に水分を含まない酸素ガスが加湿部21へ送られるため、加湿部21へ供給される酸素ガスの水分量はほぼ一定(ゼロ)となる。従って、第1流路31からオゾナイザ28へ供給される酸素ガスの水分量の変化を抑制できる。
上記実施形態では、除湿部27を供給路30に設けている。しかしながら、例えば図3に示す様に、除湿部27を第2流路32に設けてもよい。この場合にも、第1流路31で加湿した酸素ガスの流量Q1と、第2流路32で除湿した酸素ガスの流量Q2との比率を調節することで、混合酸素ガスの水分量を調節できる。
21 加湿部
27 除湿部
28 オゾナイザ(オゾン発生器)
30 供給路
31 第1流路
31a 一次側配管
31b 二次側配管
32 第2流路
33 合流路
34 排気流路
41 第1流量調節弁(流量比調節部)
42 第2流量調節弁(流量比調節部)
44 水分計(検出部)
50 制御部
Claims (8)
- 酸素ガスに水分を付与する加湿部が設けられるとともに、該加湿部を通過した酸素ガスを流出させるように構成される第1流路と、
水分量が10ppb以下の酸素ガスを流出させるように構成される第2流路と、
前記第1流路を流出する酸素ガスと、前記第2流路を流出する酸素ガスとが合流する合流路と、
前記合流路で合流した混合酸素ガスを原料としてオゾンガスを発生させるオゾン発生器と、
前記第1流路から前記合流路へ流出する酸素ガスの流量と、前記第2流路から前記合流路へ流出する酸素ガスの流量との比率を調節する流量比調節部とを備え、
酸素ガス源から供給される酸素ガス中の水分を10ppb以下まで除去する除湿部を備え、
前記第2流路は、前記除湿部を通過した酸素ガスを前記合流路へ流出させるように構成されることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項1において、
前記酸素ガス源から送られる酸素ガスが流れるとともに、該酸素ガスを前記第1流路と第2流路とに分流させる供給路を備えていることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項2において、
前記除湿部は、前記供給路に設けられることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1つにおいて、
前記合流路を流れる酸素ガスの一部を排気するための排気流路を備えていることを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1つにおいて、
前記第1流路は、
前記加湿部の上流側に設けられる一次側配管と、
前記加湿部の下流側に設けられる二次側配管とを含み、
前記二次側配管の配管長さが、前記一次側配管の配管長さより長いことを特徴とするオゾン発生装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つにおいて、
前記混合酸素ガスの水分量を示す指標を検出する検出部と、
前記検出部で検出した水分量を示す指標が目標値に近づくように、前記流量比調節部を制御する制御部とを備えていることを特徴とするオゾン発生装置。 - 酸素ガスに水分を付与する加湿工程と、
加湿工程で得た酸素ガスと、水分量が10ppb以下の酸素ガスとを合流路で混合させる混合工程と、
混合工程で得た混合酸素ガスを原料としてオゾンを発生させるオゾン発生工程とを含み、
前記混合工程では、前記加湿工程で得た酸素ガスの流量と、前記水分量が10ppb以下の酸素ガスの流量の比率が調節され、
酸素ガス源からの酸素ガス中の水分を10ppb以下にまで除湿する除湿工程を備え、
前記加湿工程では、前記除湿工程で得た酸素ガスに水分が付与され、
前記混合工程では、前記加湿工程で得た酸素ガスと、前記除湿工程で得た酸素ガスとが前記合流路で混合される
ことを特徴とするオゾン発生方法。 - 酸素ガス源から供給される酸素ガス中の水分を10ppb以下まで除去する除湿部と、
前記除湿部を通過した酸素ガスに水分を付与する加湿部と、
前記加湿部を通過した酸素ガスを原料としてオゾンガスを発生させるオゾン発生器とを備えていることを特徴とするオゾン発生装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037634 | 2018-03-02 | ||
JP2018037634 | 2018-03-02 | ||
PCT/JP2018/046361 WO2019167389A1 (ja) | 2018-03-02 | 2018-12-17 | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019167389A1 JPWO2019167389A1 (ja) | 2021-02-04 |
JP7008125B2 true JP7008125B2 (ja) | 2022-01-25 |
Family
ID=67804909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020502820A Active JP7008125B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-12-17 | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210001264A1 (ja) |
EP (1) | EP3760579A4 (ja) |
JP (1) | JP7008125B2 (ja) |
KR (1) | KR20200128039A (ja) |
CN (1) | CN111788150A (ja) |
TW (1) | TW201938477A (ja) |
WO (1) | WO2019167389A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112473345B (zh) * | 2020-10-23 | 2021-08-24 | 三河市清源绿创环境技术股份有限公司 | 一种气体发生*** |
JP7434204B2 (ja) * | 2021-03-25 | 2024-02-20 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾンガス生成装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4166928B2 (ja) | 2000-07-10 | 2008-10-15 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生方法 |
JP6070794B1 (ja) | 2015-08-26 | 2017-02-01 | ウシオ電機株式会社 | オゾン発生器 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2605100B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1997-04-30 | 東京エレクトロン株式会社 | オゾン発生装置 |
US7658891B1 (en) * | 1997-11-21 | 2010-02-09 | Barnes Ronald L | Air purification and decontamination for hazmat suits |
JP4219155B2 (ja) * | 2002-11-19 | 2009-02-04 | コクヨ株式会社 | 観客席システム |
CN104105659B (zh) * | 2012-08-30 | 2016-09-07 | 东芝三菱电机产业***株式会社 | 臭氧生成*** |
JP6545589B2 (ja) * | 2015-09-18 | 2019-07-17 | 岩谷産業株式会社 | オゾンガスの供給方法、およびオゾンガスの供給システム |
-
2018
- 2018-12-17 US US16/976,981 patent/US20210001264A1/en not_active Abandoned
- 2018-12-17 JP JP2020502820A patent/JP7008125B2/ja active Active
- 2018-12-17 CN CN201880090559.4A patent/CN111788150A/zh active Pending
- 2018-12-17 EP EP18907611.0A patent/EP3760579A4/en not_active Withdrawn
- 2018-12-17 KR KR1020207026400A patent/KR20200128039A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-12-17 WO PCT/JP2018/046361 patent/WO2019167389A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-02-27 TW TW108106601A patent/TW201938477A/zh unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4166928B2 (ja) | 2000-07-10 | 2008-10-15 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生方法 |
JP6070794B1 (ja) | 2015-08-26 | 2017-02-01 | ウシオ電機株式会社 | オゾン発生器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111788150A (zh) | 2020-10-16 |
JPWO2019167389A1 (ja) | 2021-02-04 |
TW201938477A (zh) | 2019-10-01 |
KR20200128039A (ko) | 2020-11-11 |
US20210001264A1 (en) | 2021-01-07 |
EP3760579A4 (en) | 2021-04-14 |
EP3760579A1 (en) | 2021-01-06 |
WO2019167389A1 (ja) | 2019-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7008125B2 (ja) | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 | |
JP2009532901A5 (ja) | ||
JP4913714B2 (ja) | 既知の及び調整可能な相対湿度のガスサンプルを生成するシステム及び方法 | |
ES2386253T3 (es) | Método para la humidificación de gas estable y ajustable | |
US5344474A (en) | Gas separation device | |
JP6565101B2 (ja) | 調湿空気発生装置 | |
JP2605100B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
JP2008275185A (ja) | 加湿ガス供給方法 | |
JP5846831B2 (ja) | 燃料電池の加湿ガス供給装置及びその方法 | |
JP5953138B2 (ja) | 湿潤ガス発生方法と小流量用調湿装置 | |
JP7493004B2 (ja) | トレーニング装置 | |
JP3769741B2 (ja) | オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法 | |
JP4596370B2 (ja) | 低露点空調システム | |
JPH11128652A (ja) | 中空糸膜式加湿装置における湿度調整方法 | |
JP2008030001A (ja) | 湿潤ガスの除湿方法及びその除湿システム | |
JP3721279B2 (ja) | 空気系 | |
JP2022127004A (ja) | 二酸化炭素分離装置、及びその運転方法 | |
JP5198426B2 (ja) | 洗浄装置及びオゾン水生成装置 | |
JP7133415B2 (ja) | ガスコンディショナ | |
JP7515745B1 (ja) | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 | |
JP2000290004A (ja) | オゾン供給装置及び方法 | |
JP2712828B2 (ja) | 環境試験装置 | |
JPH10213340A (ja) | 半導体クリーンルームの湿度調節方法及び湿度調節装置 | |
JP2023081423A (ja) | 二酸化炭素分離装置、及びその運転方法 | |
JP2004079251A (ja) | 燃料電池の燃料ガス供給装置とその方法及び燃料電池発電システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200807 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7008125 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |