JP6998488B1 - レーザ走査装置及びレーザ走査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ走査装置は、第1導光部と、ポリゴンミラーと、第2導光部と、を備える。第1導光部は、レーザ発生器が発生させたレーザを反射して導く。ポリゴンミラーは、多角形状に配置された反射面を有しており、第1導光部により導かれたレーザを、回転しながら反射面で反射する。第2導光部は、ポリゴンミラーの反射面で反射されたレーザを更に反射してレーザがワークに照射されるようにレーザを導く。第1導光部は、レーザの第1方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光する第1シリンドリカルレンズを備える。第2導光部は、レーザの第1方向に直交する第2方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光する第2シリンドリカルレンズ43を備える。
【選択図】図4
Description
12 レーザ発生器
13 レーザ走査装置
20 第1導光部
21 第1シリンドリカルレンズ(第1集光部)
30 ポリゴンミラー
40 第2導光部
43 第2シリンドリカルレンズ(第2集光部)
Claims (3)
- レーザ発生器が発生させたレーザを反射して導く第1導光部と、
多角形状に配置された反射面を有しており、前記第1導光部により導かれたレーザを、回転しながら前記反射面で反射するポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの前記反射面で反射されたレーザを更に反射してレーザがワークに照射されるようにレーザを導く第2導光部と、
を備え、
前記第1導光部は、第1集光部を備え、
前記第1集光部は、前記第1集光部に入射する前の第1方向のビーム径と比較して、前記第1集光部を通過した後の位置の第1方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光し、
前記第2導光部は、第2集光部を備え、
前記第2集光部は、前記第2集光部に入射する前の第1方向に直交する第2方向のビーム径と比較して、前記第2集光部を通過した後の位置の第2方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光し、
前記第1集光部の焦点距離をf1とし、前記第1集光部に入射されるレーザの前記第1方向の径をd1とし、
前記第2集光部の焦点距離をf2とし、前記第2集光部に入射されるレーザの前記第2方向の径をd2としたときに、
d2/d1=f2/f1が成立するように、レーザが照射されることを特徴とするレーザ走査装置。 - 請求項1に記載のレーザ走査装置であって、
前記第1集光部が第1シリンドリカルレンズであり、前記第1シリンドリカルレンズでレーザの前記第1方向のビーム径が小さくなるように当該レーザを集光し、
前記第2集光部が第2シリンドリカルレンズであり、前記第2シリンドリカルレンズでレーザの第2方向のビーム径が小さくなるように当該レーザを集光することを特徴とするレーザ走査装置。 - レーザ発生器が発生させたレーザを第1導光部を用いて反射して導く第1導光工程と、
多角形状に配置された反射面を有するポリゴンミラーを用いて、前記第1導光部により導かれたレーザを、ポリゴンミラーを回転させながら前記反射面で反射するポリゴンミラー反射工程と、
前記ポリゴンミラーの前記反射面で反射されたレーザを第2導光部で更に反射してレーザがワークに照射されるようにレーザを導く第2導光工程と、
を含み、
前記第1導光工程は、第1集光部を用いてレーザを集光する処理を含み、
前記第1集光部は、前記第1集光部に入射する前の第1方向のビーム径と比較して、前記第1集光部を通過した後の位置の第1方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光し、
前記第2導光工程は、第2集光部を用いてレーザを集光する処理を含み、
前記第2集光部は、前記第2集光部に入射する前の第1方向に直交する第2方向のビーム径と比較して、前記第2集光部を通過した後の位置の第2方向のビーム径が小さくなるようにレーザを集光し、
前記第1集光部の焦点距離をf1とし、前記第1集光部に入射されるレーザの前記第1方向の径をd1とし、
前記第2集光部の焦点距離をf2とし、前記第2集光部に入射されるレーザの前記第2方向の径をd2としたときに、
d2/d1=f2/f1が成立するように、レーザが照射されることを特徴とするレーザ走査方法。
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