JP6996965B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
塗布装置および塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6996965B2 JP6996965B2 JP2017247376A JP2017247376A JP6996965B2 JP 6996965 B2 JP6996965 B2 JP 6996965B2 JP 2017247376 A JP2017247376 A JP 2017247376A JP 2017247376 A JP2017247376 A JP 2017247376A JP 6996965 B2 JP6996965 B2 JP 6996965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- coating
- coating liquid
- pressure wave
- shaking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04581—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04588—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits using a specific waveform
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04593—Dot-size modulation by changing the size of the drop
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/04596—Non-ejecting pulses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
塗布装置1は、塗布部2、塗布ステージ3、親液性調節部4、および制御部5を備えており、塗布部2が塗布ステージ3上の基材Wの上方を移動しながら塗布部2内のノズルから塗布液の液滴を吐出することにより、基材Wへの塗布動作が行われる。そして、基材W上に着弾した液滴同士が連結し、基材W上に塗布パターン51が形成される。また、塗布部2が基材Wへ液滴を吐出する前に、親液性調節部4が基材W上の塗布パターン51が形成される領域であるパターン領域の親液性を調節し、塗布パターン形成後の塗布液の塗れ広がりの挙動をあらかじめ制御する。
2 塗布部
3 塗布ステージ
4 親液性調節部
5 制御部
10 塗布ヘッド
11 ノズル
12 塗布ヘッド移動装置
13 吐出ユニット
14 駆動隔壁
15 サブタンク
16 メインタンク
17 真空源
18 真空調圧弁
21 走査方向移動装置
22 シフト方向移動装置
23 回転装置
24 露光装置
25 走査方向移動装置
26 シフト方向移動装置
51 塗布パターン
W 基材
Claims (3)
- 基材に塗布液を塗布し、塗布パターンを形成する塗布装置であり、
塗布液の液滴を吐出するノズルと、
前記ノズル内の塗布液に圧力波を生じさせる圧力波付与部と、
前記圧力波付与部の駆動を制御する制御部と、
を有し、
塗布液を吐出する毎に前記制御部は、
前記ノズルから液滴が吐出されない程度の圧力波を前記ノズル内の塗布液に生じさせ、前記ノズル内の塗布液を揺らす、揺らし動作と、
前記揺らし動作の後、前記ノズルから液滴が吐出される程度の圧力波を前記ノズル内の塗布液に生じさせる吐出動作と、
を前記圧力波付与部に行わせ、
前記ノズルから液滴を1回吐出するために前記制御部が圧力波付与部の制御に用いる電圧波形には、前記揺らし動作を行わせるための波形と、前記吐出動作を行わせるための波形が1つのみずつ含まれており、
前記揺らし動作における前記圧力波付与部の駆動および前記吐出動作における前記圧力波付与部の駆動はそれぞれ一定とし、前記ノズルから吐出される液滴が任意の吐出量になるよう各吐出において前記揺らし動作と前記吐出動作との間の時間である待機時間を任意に設定することを特徴とする、塗布装置。 - 前記圧力波付与部はピエゾアクチュエータであり、当該ピエゾアクチュエータに電圧を印加して前記ノズル内の容積を変化させることにより前記ノズル内の塗布液に圧力波を生じさせることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
- ノズルから塗布液の液滴を吐出し、基材に塗布パターンを形成する塗布方法であり、
塗布液を吐出する毎に、
前記ノズルから液滴が吐出されない程度の圧力波を前記ノズル内の塗布液に生じさせて前記ノズル内の塗布液を揺らす、揺らし工程と、
前記揺らし工程の後前記ノズルから液滴が吐出される程度の圧力波を前記ノズル内の塗布液に生じさせる吐出工程と、
を有し、
前記揺らし工程および前記吐出工程では、電圧波形の印加により前記ノズル内の塗布液に圧力波を生じさせており、
前記ノズルから液滴を1回吐出するための前記電圧波形には、前記揺らし工程を行わせるための波形と、前記吐出工程を行わせるための波形が1つのみずつ含まれており、
前記揺らし工程において塗布液に圧力波を生じさせる動作および前記吐出工程おいて塗布液に圧力波を生じさせる動作はそれぞれ一定とし、前記ノズルから吐出される液滴が任意の吐出量になるよう各吐出において前記揺らし工程と前記吐出工程との間の時間である待機時間を任意に設定することを特徴とする、塗布方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017247376A JP6996965B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 塗布装置および塗布方法 |
US16/232,161 US20190193103A1 (en) | 2017-12-25 | 2018-12-26 | Coating device and coating method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017247376A JP6996965B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019111493A JP2019111493A (ja) | 2019-07-11 |
JP6996965B2 true JP6996965B2 (ja) | 2022-01-17 |
Family
ID=66948734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017247376A Active JP6996965B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190193103A1 (ja) |
JP (1) | JP6996965B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4005687A4 (en) * | 2019-07-31 | 2023-08-16 | Kyocera Corporation | COATING DEVICE AND COATING METHOD |
CN111812961A (zh) * | 2020-06-01 | 2020-10-23 | 安徽胜利精密制造科技有限公司 | 一种防胶干预警治具 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005262525A (ja) | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドの駆動方法、インクジェットヘッドの駆動方法、及びインクジェットプリンタ |
WO2014006877A1 (ja) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | パナソニック株式会社 | インクジェット装置および有機elデバイスの製造方法 |
JP2014111314A (ja) | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 |
JP2016006746A (ja) | 2014-06-20 | 2016-01-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インクジェット装置、および、インクジェット装置を用いて電子デバイスを製造する方法 |
JP2017087507A (ja) | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社リコー | 液滴を吐出するユニット、液滴を吐出する方法及びプログラム |
-
2017
- 2017-12-25 JP JP2017247376A patent/JP6996965B2/ja active Active
-
2018
- 2018-12-26 US US16/232,161 patent/US20190193103A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005262525A (ja) | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッドの駆動方法、インクジェットヘッドの駆動方法、及びインクジェットプリンタ |
WO2014006877A1 (ja) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | パナソニック株式会社 | インクジェット装置および有機elデバイスの製造方法 |
JP2014111314A (ja) | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 |
JP2016006746A (ja) | 2014-06-20 | 2016-01-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インクジェット装置、および、インクジェット装置を用いて電子デバイスを製造する方法 |
JP2017087507A (ja) | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社リコー | 液滴を吐出するユニット、液滴を吐出する方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019111493A (ja) | 2019-07-11 |
US20190193103A1 (en) | 2019-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5283647B2 (ja) | パターン転写方法及びパターン転写装置 | |
JP6996965B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
US8733917B2 (en) | Line image forming method and apparatus | |
WO2018003656A1 (ja) | 塗布パターン形成方法、塗布パターン形成装置、および塗布パターン付き基材 | |
JP5460172B2 (ja) | 線描画装置及び線描画方法 | |
CN108025328B (zh) | 涂布方法 | |
JP5334512B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP2019217669A (ja) | 印刷方法および印刷装置 | |
JP2018086637A (ja) | 絶縁膜材料の塗布方法 | |
US20230061532A1 (en) | Coating apparatus, coating method, and computer program product | |
JP2019109573A (ja) | 膜形成装置及び膜形成方法 | |
JP2019111494A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
CN110389501B (zh) | 基板处理装置 | |
JP6033712B2 (ja) | 塗布膜形成方法および塗布装置 | |
JP2017185745A (ja) | インクジェット装置とインク塗布方法 | |
KR20180096668A (ko) | 액적 침적 장치 및 그 구동 방법 | |
JP2019141790A (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
JP2018103096A (ja) | 絶縁膜材料の塗布方法 | |
JP4994094B2 (ja) | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 | |
JP2019171253A (ja) | 塗布方法 | |
JP2010080581A (ja) | パターン形成方法及びパターン形成装置 | |
JP2007313448A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP2005040652A (ja) | 液状体の塗布方法、液状体の塗布装置、曲面体、コンタクトレンズの製造方法、コンタクトレンズの製造装置、及びコンタクトレンズ | |
JP2016218405A (ja) | インクジェットヘッドの吐出性能維持方法 | |
CN111347792A (zh) | 印刷装置及印刷方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6996965 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |