JP6988162B2 - センサーユニット、およびセンサーモジュール - Google Patents
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Description
本開示の実施形態の一つであるセンサーユニット100の模式的上面図と断面図を図1(A)、図1(B)にそれぞれ示す。図1(B)は、図1(A)の鎖線A−A’に沿った断面図である。
本実施形態では、第1実施形態で述べたセンサーユニット100、102、あるいは104が複数設けられた、シート状のセンサーモジュール(センサーシート)を説明する。第1実施形態で述べた内容に関しては説明を割愛することがある。
本実施形態では、センサーモジュールの製造方法を述べる。センサーモジュールとしては、第2実施形態で述べたセンサーモジュール150を例として用い、図8(A)から図17(B)を参照しつつ、説明を行う。第1、第2実施形態で述べた内容は割愛することがある。図8(A)、図9(A)、図10(A)、図11(A)、図13(A)、図14(A)、図15(A)は、センサーモジュール150に設けられる複数のセンサーユニット104の製造方法を示す上面図であり、図16(A)、図17(A)は対応する底面図である。これらの図の鎖線D−D’に沿った断面模式図を図8(B)、図9(B)、図10(B)、図11(B)、図13(B)、図14(B)、図15(B)、図16(B)、図17(B)にそれぞれ示す。
本実施形態では、第3実施形態で述べたセンサーモジュールの製造方法とは異なる製造方法を、図18(A)から図21(B)を参照しつつ説明する。図18(A)、図19(A)、図20(A)、図21(A)はセンサーモジュール150の製造方法を説明する上面図であり、これらの図の鎖線F−F’に沿った断面模式図を図18(B)、図19(B)、図20(B)、図21(B)に示す。第1から第3実施形態と同様の構成に関しては、説明を割愛することがある。
本実施形態では、第2実施形態で述べたセンサーモジュール150、152、154とは構造の異なるセンサーモジュール156を図22を用いて説明する。第1、第2実施形態と同様の構成に関しては、説明を割愛することがある。
Claims (18)
- 第1の圧電素子と第2の圧電素子を有し、
前記第1の圧電素子は、
屈曲点を介して同一平面上に延伸する第1の枝と第2の枝を備える第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第1の圧電体膜と、
前記第1の圧電体膜上の第1の対向電極を有し、
前記第2の圧電素子は、
前記第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第2の圧電体膜と、
前記第2の圧電体膜上の第2の対向電極を有し、
前記第1の圧電体膜の長さ方向は、前記第2の圧電体膜の長さ方向と交差し、
前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜は、それぞれ前記第1の枝と前記第2の枝上に位置し、
前記第1の対向電極と前記第2の対向電極は、それぞれ前記第1の枝と前記第2の枝上に位置するセンサーユニット。 - 前記第1の電極は、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に共有される、請求項1に記載のセンサーユニット。
- 前記第1の電極は、鉄、クロム、アルミニウム、銅、チタン、マンガン、ニッケル、銀、およびモリブデンから選択される金属を含む、請求項1に記載のセンサーユニット。
- 前記第1の電極は鉄とクロムを含む、請求項1に記載のセンサーユニット。
- 前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜は、窒化アルミニウムを含む、請求項1に記載のセンサーユニット。
- 前記第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第3の圧電体膜と、
前記第3の圧電体膜上の第3の対向電極とを有する第3の圧電素子をさらに有し、
前記第1の圧電体膜の前記長さ方向、前記第2の圧電体膜の前記長さ方向、および前記第3の圧電体膜の長さ方向が互いに交差する、請求項1に記載のセンサーユニット。 - 前記第1の電極は、前記屈曲点から前記第1の枝と前記第2の枝と同一平面上に延伸する第3の枝を有し、
前記第3の圧電体膜と前記第3の対向電極は前記第3の枝の上に位置する、請求項6に記載のセンサーユニット。 - バンプと、
前記バンプを介して前記第1の電極と電気的に接続される配線をさらに有し、
前記バンプは、前記第1の圧電体膜の前記長さ方向と前記第2の圧電体膜の前記長さ方向の交点に位置する、請求項1に記載のセンサーユニット。 - 複数のセンサーユニットを有し、
前記複数のセンサーユニットはそれぞれ第1の圧電素子と第2の圧電素子を有し、
前記第1の圧電素子は、
屈曲点を介して同一平面上に延伸する第1の枝と第2の枝を備える第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第1の圧電体膜と、
前記第1の圧電体膜上の第1の対向電極を有し、
前記第2の圧電素子は、
前記第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第2の圧電体膜と、
前記第2の圧電体膜上の第2の対向電極を有し、
前記複数のセンサーユニットのそれぞれにおいて、前記第1の圧電体膜の長さ方向は、前記第2の圧電体膜の長さ方向と交差し、
前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜は、それぞれ前記第1の枝と前記第2の枝上に位置し、
前記第1の対向電極と前記第2の対向電極は、それぞれ前記第1の枝と前記第2の枝上に位置するセンサーモジュール。 - 前記複数のセンサーユニットのそれぞれにおいて、前記第1の電極は、前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子に共有される、請求項9に記載のセンサーモジュール。
- 前記第1の電極は、鉄、クロム、アルミニウム、銅、チタン、マンガン、ニッケル、銀、およびモリブデンから選択される金属を含む、請求項9に記載のセンサーモジュール。
- 前記第1の電極は鉄とクロムを含む、請求項9に記載のセンサーモジュール。
- 前記第1の圧電体膜と前記第2の圧電体膜は、窒化アルミニウムを含む、請求項9に記載のセンサーモジュール。
- 前記複数のセンサーユニットは各々、
前記第1の電極と、
前記第1の電極上に位置し、長さ方向と幅方向の長さが互いに異なる第3の圧電体膜と、
前記第3の圧電体膜上の第3の対向電極とを有する第3の圧電素子をさらに有し、
前記複数のセンサーユニットのそれぞれにおいて、前記第1の圧電体膜の前記長さ方向、前記第2の圧電体膜の前記長さ方向、および前記第3の圧電体膜の前記長さ方向が互いに交差する、請求項9に記載のセンサーモジュール。 - 前記複数のセンサーユニットのそれぞれにおいて、
前記第1の電極は、前記屈曲点から前記第1の枝と前記第2の枝と同一平面上に延伸する第3の枝を有し、
前記第3の圧電体膜と前記第3の対向電極は前記第3の枝の上に位置する、請求項14に記載のセンサーモジュール。 - 前記複数のセンサーユニットの各々は、
バンプと、
前記バンプを介して前記第1の電極と電気的に接続される配線とを有し、
前記バンプは、前記第1の圧電体膜の前記長さ方向と前記第2の圧電体膜の前記長さ方向との交点に位置する、請求項9に記載のセンサーモジュール。 - 前記複数のセンサーユニットの第1の電極は金属シートに含まれ、前記センサーユニット間で互いに直接接続される、請求項15に記載のセンサーモジュール。
- 前記複数のセンサーユニットのそれぞれにおいて、
前記金属シートは、前記第1の枝と前記第2の枝の間、前記第2の枝と前記第3の枝の間、および前記第3の枝と前記第1の枝の間に開口部を有する、請求項17に記載のセンサーモジュール。
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