JP6985951B2 - イオン注入装置および測定装置 - Google Patents
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Description
Claims (23)
- ウェハに照射されるイオンビームを輸送するビームライン装置と、前記イオンビームの角度情報を測定する測定装置と、を備え、
前記測定装置は、前記イオンビームが入射する複数のスリットと、前記複数のスリットからビーム進行方向に離れた位置に設けられるビーム電流測定部と、測定制御部とを含み、
前記ビーム電流測定部は、前記ビーム進行方向と直交する第1方向の位置が異なる複数の測定位置でビーム電流を測定可能となるよう構成され、
前記複数のスリットは、前記第1方向がスリット幅方向と一致するように前記第1方向に間隔を空けて配置され、前記第1方向に可動となるように構成され、
前記測定制御部は、
前記複数のスリットを前記第1方向に第1距離にわたって移動させながら、前記ビーム電流測定部により前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第1モードを実行し、
前記複数のスリットの位置を固定したまま、又は、前記第1方向に前記第1距離より小さい第2距離にわたって移動させながら前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第2モードを実行し、
前記第2モードで測定した前記イオンビームの角度情報と、過去に前記第1モードで測定した前記イオンビームの角度情報とを比較することを特徴とするイオン注入装置。 - 前記測定制御部は、前記複数のスリットの前記第1方向の位置と、前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値とに基づいて、前記イオンビームのビーム束全体の前記第1方向の角度分布を算出することを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数のスリットの前記第1方向の位置と、前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値とに基づいて、前記イオンビームの前記第1方向の位相空間分布を算出することを特徴とする請求項1または2に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数のスリットを前記第1方向にスリット幅と同じ距離ずつ移動させながら前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数のスリットを前記第1方向に一定速度で移動させながら前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数のスリットの前記第1方向の間隔と同じ距離にわたって前記複数のスリットを移動させることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数のスリットの前記第1方向の間隔は、スリット幅の整数倍であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数のスリットは、第1スリットと、前記第1スリットの前記第1方向の隣に設けられる第2スリットとを含み、
前記複数のスリットの前記第1方向の間隔は、前記第1スリットを通過する前記イオンビームの第1部分が測定されうる一以上の測定位置に前記第2スリットを通過する前記イオンビームの第2部分が入射しないように設定されることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記測定装置は、前記複数のスリットを含む一つのビーム遮蔽体を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記複数のスリットは、前記第1方向の両端のそれぞれに配置される第1端部スリットおよび第2端部スリットを含み、
前記ビーム電流測定部は、前記第1端部スリットから前記第2端部スリットまでの前記第1方向の距離よりも長い区間にわたって前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置でビーム電流を測定可能となるよう構成されることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記ビーム電流測定部は、前記第1端部スリットから前記第2端部スリットまでの前記第1方向の距離と前記複数のスリットの前記第1方向の移動距離の合計よりも長い区間にわたって前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置でビーム電流を測定可能となるよう構成されることを特徴とする請求項10に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記ビーム電流測定部の前記複数の測定位置のうち前記第1方向の両端のそれぞれに位置する第1端部測定位置および第2端部測定位置の少なくとも一方で測定される電流値が所定の閾値以上となる場合にアラートを出力することを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- ウェハに照射されるイオンビームを輸送するビームライン装置と、前記イオンビームの角度情報を測定する測定装置と、を備え、
前記測定装置は、前記イオンビームが入射する複数のスリットと、前記複数のスリットからビーム進行方向に離れた位置に設けられるビーム電流測定部と、測定制御部とを含み、
前記ビーム電流測定部は、前記ビーム進行方向と直交する第1方向の位置が異なる複数の測定位置でビーム電流を測定可能となるよう構成され、
前記複数のスリットは、前記第1方向がスリット幅方向と一致するように前記第1方向に間隔を空けて配置され、前記第1方向に可動となるように構成され、
前記測定制御部は、前記複数のスリットを前記第1方向に第1距離にわたって移動させながら、前記ビーム電流測定部により前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第1モードと、前記複数のスリットを前記第1方向に前記第1距離より小さい第2距離にわたって移動させながら前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第2モードと、を実行することを特徴とするイオン注入装置。 - 前記第2モードで測定した前記イオンビームの角度情報と、過去に前記第1モードで測定した前記イオンビームの角度情報との比較結果が所定条件を満たす場合に前記イオンビームをウェハに照射することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記第2モードで測定した前記イオンビームの角度情報と、過去に前記第1モードで測定した前記イオンビームの角度情報との比較結果が所定条件を満たさない場合にアラートを出力することを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記第2モードで測定した前記イオンビームの角度情報と、過去に前記第1モードで測定した前記イオンビームの角度情報との比較結果が所定条件を満たさない場合に前記第1モードで前記イオンビームの角度情報を再測定し、前記第1モードでの再測定結果に基づいて前記ビームライン装置の動作パラメータを調整することを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記ビームライン装置は、前記イオンビームを前記ビーム進行方向および前記第1方向に直交する第2方向に往復走査させるスキャナを備え、
前記測定装置は、前記第2方向に往復走査するイオンビームの前記第1方向の角度情報を測定することを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記ビーム電流測定部は、前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置のそれぞれに設けられる複数の電極を有することを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記ビーム電流測定部は、少なくとも一つの電極と、前記少なくとも一つの電極を前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置に移動させる移動機構とを有することを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記測定装置は、前記複数のスリットのそれぞれに隣接して設けられる複数の電流検出部をさらに含むことを特徴とする請求項1から19のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数の電流検出部にて検出されるビーム電流値と、前記ビーム電流測定部により前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値とを比較し、比較結果が所定条件を満たさない場合にアラートを出力することを特徴とする請求項20に記載のイオン注入装置。
- 前記測定制御部は、前記複数の電流検出部にて検出されるビーム電流値と、前記複数のスリットの前記第1方向の位置と、前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値とに基づいて、前記イオンビームの前記第1方向の位相空間分布を算出することを特徴とする請求項20または21に記載のイオン注入装置。
- イオンビームの角度情報を測定する測定装置であって、前記イオンビームが入射する複数のスリットと、前記複数のスリットからビーム進行方向に離れた位置に設けられるビーム電流測定部と、測定制御部と、を備え、
前記ビーム電流測定部は、前記ビーム進行方向と直交する第1方向の位置が異なる複数の測定位置でビーム電流を測定可能となるよう構成され、
前記複数のスリットは、前記第1方向がスリット幅方向と一致するように前記第1方向に間隔を空けて配置され、前記第1方向に可動となるように構成され、
前記測定制御部は、
前記複数のスリットを前記第1方向に第1距離にわたって移動させながら、前記ビーム電流測定部により前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第1モードを実行し、
前記複数のスリットの位置を固定したまま、又は、前記第1方向に前記第1距離より小さい第2距離にわたって移動させながら前記第1方向の位置が異なる複数の測定位置で測定される複数のビーム電流値を取得する第2モードを実行し、
前記第2モードで測定した前記イオンビームの角度情報と、過去に前記第1モードで測定した前記イオンビームの角度情報とを比較することを特徴とする測定装置。
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