JP6976712B2 - 非接触三次元形状測定機、及び、これを用いた形状測定方法 - Google Patents
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Description
Iij=(I1ij+I2ij)/2
を有する画像をEven補間フィールド画像としていた。
Iij={(dZ2−dZ1)*I1ij+dZ1*I2ij}/dZ2
により、画像を生成するようにしている。
12…Z軸スケール
20…非接触三次元形状測定機
22…XYステージ
24…Z軸コラム
30…画像光学(PFF)測定ヘッド
32…対物レンズ
34、44…CCDカメラ
38、48…照明ユニット
40…WLI光学測定ヘッド
70…コンピュータ部
72…コンピュータ(PC)本体
86…ソフトウェア
Claims (5)
- 測定ヘッドを光軸方向に走査させながらカメラで撮像したフレーム画像と、その画像を取得した位置情報を元にして撮像対象の三次元形状を合成するようにされた非接触三次元形状測定機において、
複数の生画像を撮像する間の測定ヘッドの走査位置を検出する手段と、
撮像された生画像に対して、前記走査位置の情報を利用した線形補間により補間画像を生成すると共に、該補間画像を用いて合成フレーム画像を生成する手段と、
を備え、
前記カメラがインターレースカメラであり、前記複数の生画像が奇数及び偶数フィールドそれぞれの生画像であり、撮像した生画像の前記走査位置の情報を利用した線形補間により、それぞれ同じ位置の偶数及び奇数フィールドの補間画像を生成して、各位置の偶数フィールドの生画像と奇数フィールドの補間画像、及び、奇数フィールドの生画像と偶数フィールドの補間画像を合成することで合成フレーム画像を生成するようにされていることを特徴とする非接触三次元形状測定機。 - 前記非接触三次元形状測定機が、対物レンズ、インターレースカメラ及び照明ユニットを備えた、Point From Focus(PFF)測定が可能な画像光学測定ヘッドと、干渉対物レンズ、インターレースカメラ及び照明ユニットを備えたWhite Light Interference(WLI)光学測定ヘッドの少なくともいずれか一方を備えていることを特徴とする請求項1に記載の非接触三次元形状測定機。
- 前記走査位置を検出する手段が、Z軸スケールであることを特徴とする請求項1に記載の非接触三次元形状測定機。
- 対物レンズ、インターレースカメラ及び照明ユニットを備えた画像光学測定ヘッドを用いて非接触三次元形状測定機によりPoint From Focus(PFF)測定を行うに際して、
ワークに対し、対物レンズをZ軸コラムに沿ってZ軸方向に走査するステップと、
画像光学測定ヘッドに搭載されたインターレースカメラから生画像を取得すると共に、Z軸コラムに搭載されたZ軸スケールからZ座標値を取得することにより、定ピッチで画像とZ座標値をスタックするステップと、
取得された生画像に対して、走査位置の情報を利用して補間画像を生成し、該補間画像を利用して合成フレーム画像を生成するステップと、
スタック画像から各ピクセル位置のコントラストカーブを生成するステップと、
各ピクセルのコントラストピーク位置をZ位置として3D形状を合成するステップとを含むことを特徴とする非接触三次元形状測定機の形状測定方法。 - 干渉対物レンズ、インターレースカメラ及び照明ユニットを備えたWhite Light Interference(WLI)光学測定へッドを用いて非接触三次元形状測定機によりWLI測定を行うに際して、
干渉対物レンズをZ軸方向に走査するステップと、
WLI光学測定ヘッドに搭載されたインターレースカメラから生画像を取得すると共に、Z軸コラムに搭載されたZ軸スケールからZ座標値を取得することにより、定ピッチで画像とZ座標値をスタックするステップと、
取得された生画像に対して、走査位置の情報を利用して補間画像を生成し、該補間画像を利用して合成フレーム画像を生成するステップと、
スタック画像の干渉稿から各ピクセルの干渉信号を生成するステップと、
各ピクセルの干渉稿ピーク位置をZ位置として3D形状を合成するステップとを含むことを特徴とする非接触三次元形状測定機の形状測定方法。
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