JP6975530B2 - 半導体素子及びそれを用いた電気機器 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 265
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 99
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 34
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 15
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 250
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 29
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 21
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 18
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 12
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 12
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 238000002484 cyclic voltammetry Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 2
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000026 X-ray photoelectron spectrum Methods 0.000 description 2
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 2
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLXKOJJOQWFEFD-UHFFFAOYSA-N 6-aminohexanoic acid Chemical compound NCCCCCC(O)=O SLXKOJJOQWFEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001354791 Baliga Species 0.000 description 1
- 229910004129 HfSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000693 micelle Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000003949 trap density measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/24—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only semiconductor materials not provided for in groups H01L29/16, H01L29/18, H01L29/20, H01L29/22
- H01L29/247—Amorphous materials
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
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Description
1.離間する一対のオーミック電極及びショットキー電極と、
前記オーミック電極と前記ショットキー電極に接する半導体層を有し、
下記式(I)を満たすことを特徴とする半導体素子。
2.前記半導体層が、金属酸化物からなることを特徴とする1に記載の半導体素子。
3.前記金属酸化物が、In、Zn、Ga、Sn及びAlから選択される1以上の元素を含有することを特徴とする2に記載の半導体素子。
4.前記ショットキー電極が、Pd、Mo、Pt、Ir、Ru、W、Cr、Re、Te、Mn、Os、Fe、Rh、Co及びNiから選択される1以上の金属又はその酸化物を含むことを特徴とする1〜3のいずれかに記載の半導体素子。
5.前記オーミック電極が、Ti、Mo、Ag、In、Al、W、Co及びNiから選択される1以上の金属又はその化合物を含むことを特徴とする1〜4のいずれかに記載の半導体素子。
6.前記半導体層が、アモルファス又は多結晶を含むことを特徴とする1〜5のいずれかに記載の半導体素子。
7.前記半導体層の特性温度が、1500K以下であることを特徴する1〜6のいずれかに記載の半導体素子。
8.ショットキー電極面の外周部からオーミック電極面へ向かって垂線を引いたときに、前記オーミック電極面が前記垂線の内側にあることを特徴とする1〜7のいずれかに記載の半導体素子。
9.耐圧が0.5MV/cm以上であることを特徴とする1〜8のいずれかに記載の半導体素子。
10.前記半導体層が、前記オーミック電極と前記ショットキー電極の間に介在することを特徴とする1〜9のいずれかに記載の半導体素子。
11.さらに、導電性シリコン基板を有し、
前記オーミック電極又は前記ショットキー電極が前記導電性シリコン基板に接することを特徴とする10に記載の半導体素子。
12.前記半導体層の一表面の上に、前記オーミック電極と前記ショットキー電極が間隔をあけて存在することを特徴とする1〜9のいずれかに記載の半導体素子。
13.1〜12のいずれかに記載の半導体素子を用いたことを特徴とするショットキーバリアダイオード。
14.1〜12のいずれかに記載の半導体素子を用いたことを特徴とするジャンクショントランジスタ。
15.1〜12のいずれかに記載の半導体素子、13に記載のショットキーバリアダイオード又は14に記載のジャンクショントランジスタを用いたことを特徴とする電子回路。
16.15に記載の電子回路を用いたことを特徴とする電気機器、電子機器、車両、又は動力機関。
nの下限は0でもよいが、好ましくは1×1010以上である。
C:測定されたキャパシタンス値(F)
εs:比誘電率(−)
ε0:真空の誘電率(8.854 × 10−14 F/cm)
Ndepl:キャリア濃度(cm−3)
Vbi:ビルトイン電圧(V)
k:ボルツマン定数(8.617×10−5 eV/K )
T:測定時のサンプル温度(K)
q:素電荷(1.602×10−19 C)
V:印加電圧(V)
この半導体素子1(縦型)は、ショットキー電極10、半導体層30、オーミック電極20をこの順に有する。さらに、ショットキー電極10の半導体層30側と反対側に、導電性基板40を有する。
この半導体素子2(縦型)は、ショットキー電極10、半導体層30、オーミック電極20をこの順に有する。さらに、オーミック電極20の半導体層30側と反対側に、導電性基板40を有する。また、オーミック電極20の両側には絶縁層20があり、オーミック電極20と両側の絶縁層20で、1層を形成している。図3の半導体素子3は、図2の素子2と、オーミック電極20の幅が広いことだけが異なる。
この半導体素子4(横型)は、半導体層30の対向する第1及び第2の面の内、第1の面の上に、ショットキー電極10とオーミック電極20が間隔をあけて配置されている。さらに、半導体層30の、第2の面に、絶縁性基板60を有する。
尚、特許文献1では、下記式の関係にあり、従来のユニポーラパワーデバイスのキャリア濃度設計指針に基いており、キャリア濃度の制御性に問題があった。
一般的にキャリアが存在しない絶縁体において下記式(1)が成立する。
Jins=(9/8)με(V2/L3) (1)
Jins:電流密度(A/cm2)
μ:移動度(cm2/V・s)
ε:物質の誘電率(F/cm)
V:印加電圧(V)
L:電流が流れる領域の厚さ(cm)。
Johm=qnμ(V/L) (2)
Johm:電流密度(A/cm2)
q:素電荷(1.602×10−19C)
n:キャリア濃度(cm−3)
μ:移動度(cm2/V・s)
V:印加電圧(V)
L:電流が流れる領域の厚さ(cm)。
本発明の半導体素子は、半導体層の間に一対のオーミック電極及びショットキー電極を有する。従来のパワーデバイスと比較して、設計キャリア濃度が低くなったため、耐圧VBDの設計が、VBD〜EcL/2であったのに対し、VBD〜EcLとなり、同一L対比にて2倍程度の耐圧向上が期待できる。ここで、Ecは最大絶縁破壊電界であり、Lは電極間長である。
図5は、図2の半導体素子の電極面を説明するための図である。図5において、ショットキー電極面の外周部は符号12で示す部分であり、オーミック電極面は符号22で示す部分である。ショットキー電極面の外周部12からオーミック電極面22へ向かって引いた垂線は符号Aで示す。
特性温度はアモルファスや多結晶体に特有な伝導帯下端の裾準位の特徴を表すパラメータであり、伝導帯下端に裾準位を有す外因性キャリアが支配的な半導体に関しては、下記式(5)の特性に従う。
u:移動度(cm2/V・s)
Nc:半導体の有効状態密度(cm−3)
Nt:伝導帯下端部における裾準位密度(cm−3)
ε:物質の誘電率(F/cm)
V:印加電圧(V)
L:電流が流れる領域の厚さ(cm)
e:素電荷(1.602×10−19 C)
l:Tc/T
Tc:特性温度(K)
T:実温度(K)
下記式(6)となるキャリア濃度nLの低い半導体層(L1,L2,・・・Ln)(nL及びLnはショットキー電極からオーミック電極に向かって数えたときにn番目に位置するキャリア濃度の低い層のキャリア濃度及び膜厚を表す)とキャリア濃度nhが高い半導体層(d1,d2,・・・dn−1)(nh及びdnはショットキー電極からオーミック電極に向かい数えたときにn番目に位置するキャリア濃度の高い層のキャリア濃度及び膜厚を表す)でドリフト層に繰り返し構造を有する半導体素子(縦型)を得ることができる。
ショットキー電極に接するのはキャリア濃度が低い層が好ましい。
従来のユニポーラパワーデバイスの耐圧設計では、定格耐圧の電圧が印加されたときにショットキーメタル側の半導体界面の電界強度が絶縁破壊電界付近に達しており、半導体素子の連結が困難であった。例えば、ショットキーバリアダイオードの場合、600V耐圧の素子を複数直列に連結しても600V以上の耐圧を得ることは困難であった。本発明の、初期キャリア濃度が低く外部注入キャリアを用いる半導体素子(パワーデバイス)では、複数直列に接続した場合、連結した個数分、耐圧が定格耐圧の積で増加する。従って、容易に所望の耐圧の素子を提供できる。
(1)半導体層
半導体層は、特に限定されないが、多結晶又はアモルファスから構成されることが好ましい。また、金属酸化物半導体から構成されることが好ましく、In、Zn、Ga、Sn及びAlから選択される1以上の元素を含有する金属酸化物半導体から構成されることがより好ましい。アモルファスであると、大面積均一性に優れ、逆バイアス印加時のインパクトイオン化を低減し耐圧向上に効果がある。多結晶であると、大面積均一性かつ伝導特性が良い。半導体層を金属酸化物半導体から製造するときは、焼結体スパッタリングターゲットを用いた大面積性に優れる成膜方法を採用することができる。半導体層にIn、Zn、Ga、Sn及びAlから選択される1以上の元素を含有する金属酸化物半導体を利用することで、金属元素のs軌道の伝導特性を利用できるためアモルファス、多結晶となっても、軌道が重なり合い、伝導特性に優れた半導体層となる。
金属酸化物半導体の金属は、本質的に、In,Sn,Ge,Ti、Zn,Y,Sm,Ce、Nd、Ga及びAlから選択される1以上からなってもよい。また、金属の、例えば、95原子%以上、98原子%以上、又は99原子%以上が、In,Sn,Ge,Ti、Zn,Y,Sm,Ce、Nd、Ga及びAlから選択される1以上であってもよい。
0≦x/(x+y+z)≦0.8 (A)
0≦y/(x+y+z)≦0.8 (B)
0≦z/(x+y+z)≦1.0 (C)
(式中、xはIn,Sn,Ge及びTiから選択される1種以上の元素の原子数を表し、
yはZn,Y,Sm,Ce及びNdから選択される1種以上の元素の原子数を表し、
zはGa及びAlから選択される1種以上の原子数を表す。)
0≦x/(x+y+z)≦0.7 (A−1)
0≦y/(x+y+z)≦0.8 (B−1)
zがGaのとき:0.02≦z/(x+y+z)≦1.0
zがAlのとき:0.005≦z/(x+y+z)≦0.5 (C−1)
(式中、x、y及びzは上記式(A)〜(C)と同じである。)
zがGaのとき、0.02を下回ると、金属酸化物中の酸素が脱離しやすくなり、電気的特性がバラつく恐れがある。
0.1≦x/(x+y+z)≦0.5 (A−2)
0.1≦y/(x+y+z)≦0.5 (B−2)
0.03≦z/(x+y+z)≦0.5 (C−2)
(式中、x及びyは上記式(A)〜(C)と同じであり、zはGaである。)
0≦x/(x+y+z)≦0.25 (A−3)
0.3≦z/(x+y+z)≦1.0 (C−3)
(式中、x、y及びzは上記式(A),(C)と同じである。)
また、「非晶質」は一部に結晶化や微結晶化した部分がある場合も含む。一部結晶化した部分に電子線を照射すると、回折像が認められることがある。
「微結晶構造」とは、結晶粒径のサイズがサブミクロン以下であり、明解な粒界が存在しないものを言う。
「多結晶」とは、結晶粒径のサイズがミクロンサイズを超え、明解な粒界が存在するものを言う。
ショットキー電極を構成する金属は、特に限定されないが、好ましくはPd、Mo、Pt、Ir、Ru、Ni、W、Cr、Re、Te、Mn、Os、Fe、Rh及びCoから選択される1以上の金属(合金を含む)又はこの金属の酸化物であり、より好ましくはPd,Pt,Ir及びRuから選択される1以上の金属(合金を含む)又はこの金属の酸化物である。
これらの酸化物は、一般的には酸化の状態によって半導体や絶縁体を形成する場合があるが、組成や製膜条件を選ぶことで高キャリア密度の金属状態を維持し、酸化物半導体との接触で、良好なショットキー接触を形成することが可能である。酸化物が良好なショットキー電極を形成するためには、好ましくは、ショットキー電極のキャリア濃度は1018cm−3以上であることが望ましい。1018cm−3未満であると、酸化物半導体層との接触はp−n接合となり、高速応答等のショットキーダイオードの特長が損なわれる場合がある。キャリア濃度は、例えばホール測定等で求めることができる。
オーミック電極の材料は、半導体層と良好なオーミック接続ができれば、特に限定されないが、好ましくはTi、Mo、Ag、In、Al、W、Co及びNiから選択される1以上の金属(合金を含む)又はその化合物(酸化物等)であり、より好ましくはMo、Ti、Au、Ag及びAlから選択される1以上の金属(合金を含む)又はその化合物である。また、オーミック電極を複数の層で構成することもできる。例えば、半導体層に接する方に、Mo電極層を用い、大電流を取り出すために、さらにAuやAl等の金属層を厚く積層し、この層をワイヤボンディングの土台とすることができる。
オーミック電極の厚みは通常10nm〜5μmである。
各層の製膜方法は特に限定されないが、熱CVD法、CAT−CVD法、光CVD法、ミストCVD法、MO−CVD法、プラズマCVD法等のCVD法、MBE、ALD等の原子レベル制御の製膜方法、イオンプレーティング、イオンビームスパッタリング、マグネトロンスパッタリング等のPVD法、ドクターブレード法、射出法、押出し法、熱間加圧法、ゾルゲル法、エアロゾルデポジション法等の従来公知のセラミックス工程を用いる方法、塗布法、スピンコート法、印刷法、スプレー法、電着法、メッキ法、ミセル電解法等の湿式法等を用いることができる。
半導体素子の基板は特に限定されず公知のものを使用できる。基板としては、導電性基板、半導体基板、絶縁性基板等が挙げられる。
また、絶縁性基板として誘電性基板も用いてもよい。
誘電性基板としては、ニオブ酸リチウム基板、タンタル酸リチウム基板、酸化亜鉛基板、水晶基板、サファイア基板等が挙げられる。
また、ステンレス合金等の金属基板の表面に絶縁膜や誘電膜を設けた基板を用いてもよい。また基板に下地膜として絶縁膜を形成してもよい。下地膜として、CVD法やスパッタリング法等を用いて、酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜、又は窒化酸化珪素膜等の単層又は積層を形成できる。
半導体基板としては、キャリア濃度を1×1018cm−3以下に調整したSi基板、GaN基板、SiC基板、GaP基板、GaAs基板、ZnO基板、Ga2O3基板、GaSb基板、InP基板、InAs基板、InSb基板、ZnS基板、ZnTe基板、ダイヤモンド基板等が挙げられる。
半導体基板は単結晶でも、多結晶でもよい。また、非晶質基板又は非晶質を部分的に含む基板でもよい。導電体基板、半導体基板、絶縁性基板の上に、CVD(化学気相成長)等の手法を用いて半導体膜を形成した基板を使用してもよい。
絶縁層としては、一般にAl、Si、Sc、Ti、V、Cr、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt及びAuからなる群から選択される1以上の金属を含む酸化物絶縁膜、窒化膜等が挙げられる。
誘電体層としては、ニオブ酸リチウム層、タンタル酸リチウム層、酸化亜鉛層、水晶基板層、サファイア層、BaTiO3層、Pb(Zr,Ti)O3(PZT)層、(Pb,La)(Zr,Ti)O3(PLZT)層、Pb(Zr,Ti,Nb)O3(PZTN)層、Pb(Ni,Nb)O3−PbTiO3(PNN−PT)層、Pb(Ni,Nb)O3−PbZnO3(PNN−PZ)層、Pb(Mg,Nb)O3−PbTiO3(PMN−PT)層、SrBi2Ta2O9(SBT)層、(K,Na)TaO3層、(K,Na)NbO3層、BiFeO3層、Bi(Nd,La)TiOx層(x=2.5〜3.0)、HfSiO(N)層、HfO2−Al2O3層、La2O3層、La2O3−Al2O3層等が挙げられる。
保護膜層の膜としては、無機物、有機物問わず絶縁性に優れ、水等の透過性が低い膜が挙げられる。保護膜層としては、例えば、SiO2層、SiNx層(x=1.20〜1.33)、SiON層、Al2O3層等が挙げられる。
遮光層としては、例えば金属、金属−有機物等を含むブラックマトリックス層、カラーフィルタ層が挙げられる。
電子/ホール注入層としては、酸化物半導体層、有機半導体層等が挙げられる。
電子/ホール輸送層としては、酸化物半導体層、有機半導体層等が挙げられる。
電子/ホールブロッキング層としては、酸化物半導体層等が挙げられる。
抵抗率0.001Ω・cmのn型Si基板(直径4インチ、厚さ250μm)をスパッタリング装置(アネルバ製:E−200S)に装着し、以下の積層電極を成膜した。ただし基板裏面に対しては測定時プローバとのコンタクト抵抗を解消するために、Ti100nm/Au50nm処理をした。まずTiを、DC50W、Ar雰囲気で15nm成膜し、次いでPdを、DC50W、Ar雰囲気で50nm成膜し、最後にショットキー電極として、PdOを、DC50W、ArとO2の混合ガス雰囲気で20nm成膜した。
尚、素子構成は図1に示すように、半導体層下部にショットキー電極を有し、ショットキー電極の外周部からオーミック電極面へ向かって垂線を引いたときに、オーミック電極面が前記垂線の内側にあることを特徴とする構成となっていた。
電極間距離Lは断面TEM(透過電子顕微鏡)像及び断面TEMのEDX(エネルギ一分散型X線分光法)像より取得した。InGaZnOを含む層を半導体層とし、ショットキー電極をPdO層、オーミック電極をMoとして仮定し、TEM断面像のコントラストがEDXにてInGaZnOを含む層と一致する箇所を半導体層とし電極間距離Lと定義した。また上記半導体層はEDXによりPdとMoに挟まれており、電極間距離Lは200nmであった。
A:電極の実効面積(cm2)
d:半導体として機能している膜厚(cm)
εr:比誘電率
ε0:真空の誘電率、8.854E−14[F/cm]
尚、CV測定時は下記B1505のCMUユニットを用い、バイアスTにより電圧を重畳して測定を実施した。測定周波数は1kHzを用い、AC振幅は0.03Vとした。
電極種の同定は、上記半導体層の同定後、半導体層材料を挟み込む電極種をオーミック電極及びショットキー電極とみなし実施された。断面EDX像で、Mo及びPdを含む金属又は金属化合物がオーミック電極又はショットキー電極と推定された。整流特性の確認より、Mo側がオーミック、Pd側がショットキー電極種であると判断した。さらに、深さ方向XPS(X線光電子分光法)により、素子を深さ方法へArスパッタリングしながらXPSスペクトルを確認した。Mo/InGaZnO界面に向かってMo側よりXPSのMoスペクトル中の酸素由来のピークが、InGaZnOに含まれる酸素濃度に伴ってなだらかに増加し、かつInGaZnOから離れたMo層ではMoに着目したXPSスペクトルの9割以上が純Moに帰属できたので、オーミック電極はMoであるとした。
半導体層の断面TEM観察時に電子線回折手法により、結晶性の評価を行った。電子線の照射エリアは直径10nm以上の領域より回折像を取得した。膜厚方向及び断面とは平行な方向の複数点において、回折像にスポット形状が確認できなかったため、半導体層は非晶質すなわちアモルファスと判断した。
得られた素子について、キーサイト・テクノロジー社製B1505(HVSMU,HCSMU,MFCMU,MPSMU搭載)、バイアスT(N1272A)、回路切替機(N1258A)、及びカスケード社製高電圧プローバEPS 150 TESLAを用いて電圧(V)−電流特性(J)及び電圧(V)−容量(C)特性を測定した。また、以下の各項目について評価を行った。結果を表2−1に示す。
ただし、測定時にはショットキー電極側に上記各SMU又はCMUが配置され、バイアスが印加される。オーミック電極側は0V印加の状態である。
上記装置及び前述したCV測定を用いキャリア濃度を取得した。縦軸にA2/C2をとり、横軸に印加電圧Vをとったグラフを作製し、0V〜2V間を起点とする、直線の傾きが−2/(εrε0 Ndepl)に比例することを利用して、キャリア濃度n=Ndeplとして半導体層のキャリア濃度を求めた。キャリア濃度は表2−1に示すように1.0×1014cm−3であった。また、CV測定の挙動より半導体はn型であることが確認できた。
尚、CV測定時は下記B1505のCMUユニットを用い、バイアスTにより電圧を重畳して測定を実施した。測定周波数は1kHzを用い、AC振幅は0.03Vとした。
本半導体素子は、以下の式(I)を満たすことが確認できた。尚、上記より誘電率はInGaZnOの比誘電率16から算出し、Veは0.1V、Lは200nmとして、大小関係を決定した。
前述した方法に従って特性温度を求めた。上記装置のHCSMUを利用し、順方向バイアスが素子に印加されるよう(HCSMUは正の電圧を印加する)に0V〜3Vまで印加した。縦軸にLogJ−LogVの差分値(LogJ1−LogJ2)/(LogV1−LogV2)すなわちJ−V特性の『べき』をとり、横軸にVを取った。ここで、Jは電流密度(A/cm2)を意味し、測定電流値(A)を上記電極の実効面積で割った値である。J1,J2,V1,V2は測定点1,2の電流密度及び印加電圧値である。2V〜3Vの範囲で平均の『べき』が2.5となり、本区間での『べき』の最大最小値が平均値に対し±0.5となったので、本半導体層は伝導度下端に裾準位を持つ半導体として前述の式(5)が適用できるとみなした。前述の式(5)により、『べき』2.5がl+1に等しく、l=Tc/Tであり、測定時の実温度は300Kであったので、特性温度は450Kと求まった。
前述したとおり、耐圧は、ブレークダウン電圧(V)を測定し、Lの長さで割り返すことによって求めることができる。本ショットキーバリアダイオードの場合、逆方向電圧を掃引した場合に、1x10−3Aの電流値に到達した最初の電圧値をブレークダウン電圧と定義した。HVSMUを用い、逆方向に電圧を印加した際、−62Vで電流値が1x10−3Aとなったのでブレークダウン電圧を−62Vと定義した。Lあたりの耐圧は200nmで割り返した絶対値である3.1MV/cmである。
前述のとおり、上記装置のHCSMUを利用し、順方向バイアスが素子に印加されるよう(HCSMUは正の電圧を印加する)に0V〜2Vまで印加した。2V印加時の電流密度J2V測定し、順方向オン抵抗Ron@2V=2[V]/J2V[A/cm2]と定義し算出した。
HVSMUを用い、逆方向に−5Vの電圧を印加した際の電流密度を求めた。−5.0×10−8A/cm2であったので絶対値を取り、リーク電流値@−5Vを5.0×10−8A/cm2と決定した。
表2−1,2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−1,2−2に記載する。また、これら実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
表2−1に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−1に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、実施例1のオーミック電極をMoからTiに変更した。
Lの評価の際に、Ti電極の酸素引き抜きによりInGaZnOを含むTEM像コントラストが200nmよりも短くなっており、半導体層の厚みが180nmであることが確認された。
表2−1に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−1に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、ショットキー電極作製時のPdのスパッタリングの際に、Ar及びO2混合ガスでスパッタリングしないで、70nm一貫してArのみで成膜した。
その結果、InGaZnO/PdO界面ではInGaZnO側よりPdに向かってXPSのPdスペクトル中の酸素由来のピークが、InGaZnOに含まれる酸素濃度に伴ってなだらかに減少しており、Pd中に酸素が含まれていると断定できなかった。また、EDX像でPdが観察される領域のうち、明確にTEM像のコントラストが認められる領域が存在しなかった。このことより、ショットキー電極は70nm程度のPdからなる層と判断した。表2−1に示すようにPdと表記した。
抵抗率0.001Ω・cmのn型Si基板(直径4インチ、厚さ250μm)をスパッタリング装置(アネルバ製:E−200S)に装着し、オーミック層として以下の積層電極を成膜した。ただし基板裏面に対しては測定時プローバとのコンタクト抵抗を解消するために、Ti100nm/Au50nm処理をした。まずTiを、DC50W、Ar雰囲気で15nm成膜し、次いでNiを、DC50W、Ar雰囲気で50nm成膜し、最後に、オーミック電極として、Moを、DC50W、Ar雰囲気で20nm成膜した。
尚、素子構成は図2に示すように、半導体層下部にオーミック電極を有し、ショットキー電極の外周部からオーミック電極面へ向かって垂線を引いたときに、オーミック電極面が前記垂線の内側にあることを特徴とする構成となっていた。
表2−1に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−1に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、半導体層成膜後のアニール温度を500℃に上昇した結果、断面TEM測定時の回折像に変化が見られた。回折スポットがブロードながらも存在し、複数点の測定箇所に対しスポット位置が変化した。よって本半導体膜は多結晶であると判断した。また、結晶化に伴い、半導体層の厚みも190nmと変化したことが観察された。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、ショットキー電極にRuを用いた。Si/Ti/Ru/RuO/InGaZnO/Moの構成となっている。RuOはArと酸素の混合ガスによるスパッタリングによって形成した。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、ショットキー電極にNiを用いた。Si/Ti/Ni/NiO/InGaZnO/Moの構成となっている。NiOはArと酸素の混合ガスによるスパッタリングによって形成した。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、半導体層にInSnZnO(1:1:1)ターゲットを用いスパッタリングした。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
半導体層にGa2O3ターゲットを用いスパッタリングした。絶縁性のスパッタリングターゲットだったため、DC300Wに変わりRF300Wの成膜条件を用いた。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、半導体層成膜時の雰囲気をAr100体積%とし、半導体アニールの温度を帯域中150℃とした。半導体層にGa2O3ターゲットを用いスパッタリングした。絶縁性のスパッタリングターゲットだったため、DC300Wに変わりRF300Wの成膜条件を用いた。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、半導体層にInAlO(93:7)ターゲットを用いスパッタリングした。得られた断面TEM測定時の回折像に変化が見られた。回折スポットがブロードながら存在し、複数点の測定箇所に対しスポット位置が変化した。ただし、膜厚方向に回折像をとってもスポット位置の変化は観察されなかった。よって本半導体膜は多結晶(柱状)であると判断した。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。また、この実施例の半導体素子は式(I)は満たしていた。
この実施例では、半導体層にInGaO(1:1)ターゲットを用いスパッタリングした。また、結晶性を得るためにアニール温度を600℃に高温化した。それに伴い、実施例8と同様に、図2に示すように、半導体層上部にPdOショットキー電極が位置する構成とした。これはPdOが高温では還元されてPdとなり、ショットキーバリア性が低減するのを抑制するためである。
得られた断面TEM測定時の回折像に変化が見られた。回折スポットがブロードながら存在し、複数点の測定箇所に対しスポット位置が変化した。ただし、膜厚方向に回折像をとってもスポット位置の変化は観察されなかった。よって本半導体膜は多結晶(柱状)であると判断した。
表2−2に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表2−2に記載する。
この実施例では、図3に示すように、半導体層上部にショットキー電極を有し、ショットキー電極の外周部からオーミック電極面へむかって垂線を引いたときに、オーミック電極面が前記垂線の外側にあることを特徴とする構成とした。
式(I)は満足したものの、実施例8に比べ耐圧の低下及びリーク電流の上昇が観察された。
表3に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表3に記載する。
この実施例では、InGaZnOの成膜時の雰囲気をAr100体積%とした。また、半導体成膜後のアニールを実施しなかった。この結果、キャリア濃度が式(I)の範囲外となった。また、耐圧も0.1MV/cmとなりパワー用途への適応が困難な特性となった。リーク電流は−5V印加時に測定装置のコンプライアンス電流値100mAを上回っており、測定不可能であった。よって、表3では>1.0×10−3Aと表記した。
表3に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表3に記載する。
この実施例では、Pd/PdO層の成膜を省略し、ショットキー電極がTiとなるようにした。結果、整流特性は観察されたものの、キャリア濃度が式(I)の範囲外となった。また、リーク電流が高く、耐圧も0.3MV/cmとなりパワー用途への適応が困難な特性となった。
表3に示すように成膜条件を変更した他は、実施例1と同様にして半導体素子を製造し評価した。結果を表3に記載する。
この実施例では、半導体層にIn2O3ターゲットを用いスパッタリングした。得られた断面TEM測定時の回折像に変化が見られた。回折スポットがブロードながら存在し、複数点の測定箇所に対しスポット位置が変化した。ただし、膜厚方向に回折像をとってもスポット位置の変化は観察されなかった。よって本半導体膜は多結晶(柱状)であると判断した。
電気特性は、キャリア濃度が高く、作製したショットキーダイオードは整流比が得られず、キャリア濃度測定がCV測定では不可能であった。また、順方向の『べき』も2〜3V範囲で2以下の値を維持し続けたので式(5)の関係性は成り立っていないと判断し、特性温度は評価できないとみなした。耐圧の低下及びリーク電流の上昇が観察された。
10 ショットキー電極
12 ショットキー電極面の外周部
20 オーミック電極
22 オーミック電極面
30 半導体層
40 絶縁層
50 導電性基板
60 絶縁性基板
A 垂線
Claims (15)
- 離間する一対のオーミック電極及びショットキー電極と、
前記オーミック電極と前記ショットキー電極に接する半導体層を有し、
前記ショットキー電極が金属酸化物から構成され、
前記ショットキー電極が、Pd、Mo、Pt、Ir、Ru、W、Cr、Re、Te、Mn、Os、Fe、Rh、Co及びNiから選択される1以上の金属の酸化物を含み、
下記式(I)を満たすことを特徴とする半導体素子。
- 前記半導体層が、金属酸化物からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記半導体層の金属酸化物が、In、Zn、Ga、Sn及びAlから選択される1以上の元素を含有することを特徴とする請求項2に記載の半導体素子。
- 前記オーミック電極が、Ti、Mo、Ag、In、Al、W、Co及びNiから選択される1以上の金属又はその化合物を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記半導体層が、アモルファス又は多結晶を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記半導体層の特性温度が、1500K以下であることを特徴する請求項1〜5のいずれかに記載の半導体素子。
- ショットキー電極面の外周部からオーミック電極面へ向かって垂線を引いたときに、前記オーミック電極面が前記垂線の内側にあることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体素子。
- 耐圧が0.5MV/cm以上であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の半導体素子。
- 前記半導体層が、前記オーミック電極と前記ショットキー電極の間に介在することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の半導体素子。
- さらに、導電性シリコン基板を有し、
前記オーミック電極又は前記ショットキー電極が前記導電性シリコン基板に接することを特徴とする請求項9に記載の半導体素子。 - 前記半導体層の一表面の上に、前記オーミック電極と前記ショットキー電極が間隔をあけて存在することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の半導体素子。
- 請求項1〜11のいずれかに記載の半導体素子を用いたことを特徴とするショットキーバリアダイオード。
- 請求項1〜11のいずれかに記載の半導体素子を用いたことを特徴とするジャンクショントランジスタ。
- 請求項1〜11のいずれかに記載の半導体素子、請求項12に記載のショットキーバリアダイオード又は請求項13に記載のジャンクショントランジスタを用いたことを特徴とする電子回路。
- 請求項14に記載の電子回路を用いたことを特徴とする電気機器、電子機器、車両、又は動力機関。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2016/088234 WO2017110940A1 (ja) | 2015-12-25 | 2016-12-21 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
KR1020187016656A KR102506724B1 (ko) | 2015-12-25 | 2016-12-21 | 반도체 소자 및 그것을 사용한 전기 기기 |
CN201680074791.XA CN108431963B (zh) | 2015-12-25 | 2016-12-21 | 半导体元件和使用该半导体元件的电气设备 |
US16/064,210 US10374045B2 (en) | 2015-12-25 | 2016-12-21 | Semiconductor device and electric apparatus using same |
TW105142985A TWI751999B (zh) | 2015-12-25 | 2016-12-23 | 半導體元件及使用其之電氣機器 |
TW110135936A TWI769929B (zh) | 2015-12-25 | 2016-12-23 | 半導體元件及使用其之電氣機器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015254761 | 2015-12-25 | ||
JP2015254761 | 2015-12-25 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020176661A Division JP2021010031A (ja) | 2015-12-25 | 2020-10-21 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017120878A JP2017120878A (ja) | 2017-07-06 |
JP6975530B2 true JP6975530B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=59272496
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016159351A Active JP6975530B2 (ja) | 2015-12-25 | 2016-08-15 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
JP2020176661A Pending JP2021010031A (ja) | 2015-12-25 | 2020-10-21 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020176661A Pending JP2021010031A (ja) | 2015-12-25 | 2020-10-21 | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10374045B2 (ja) |
JP (2) | JP6975530B2 (ja) |
KR (1) | KR102506724B1 (ja) |
CN (1) | CN108431963B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017100872A1 (de) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | Thermo King Corporation | Verfahren und Systeme für Transientenschutz vom Automobiltyp für eine Solarladequelle |
JP6991503B2 (ja) * | 2017-07-06 | 2022-01-12 | 株式会社タムラ製作所 | ショットキーバリアダイオード |
JP7015673B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2022-02-03 | 株式会社日本マイクロニクス | 蓄電デバイス |
US11476247B2 (en) | 2017-12-11 | 2022-10-18 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor rectifier |
KR102478014B1 (ko) * | 2018-06-21 | 2022-12-15 | 가부시키가이샤 아루박 | 산화물 반도체 박막, 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법, 및 스퍼터링 타겟 |
CN110890280B (zh) * | 2019-11-27 | 2024-02-06 | 山东大学 | 一种利用钯/钯氧化物双层肖特基电极制备氧化物半导体肖特基二极管的方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6803243B2 (en) * | 2001-03-15 | 2004-10-12 | Cree, Inc. | Low temperature formation of backside ohmic contacts for vertical devices |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
JP5053537B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2012-10-17 | キヤノン株式会社 | 非晶質酸化物を利用した半導体デバイス |
JP2013058741A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-03-28 | Hitachi Cable Ltd | 金属塩化物ガス発生装置、ハイドライド気相成長装置、及び窒化物半導体テンプレート |
JP2013102081A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Tamura Seisakusho Co Ltd | ショットキーバリアダイオード |
JP2014056945A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Idemitsu Kosan Co Ltd | アモルファス酸化物薄膜及びその製造方法、並びにそれを用いた薄膜トランジスタ |
JP6142877B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2017-06-07 | 富士電機株式会社 | 半導体積層基板および半導体素子 |
WO2015025500A1 (ja) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 出光興産株式会社 | 酸化物半導体基板及びショットキーバリアダイオード |
CN105453272B (zh) * | 2013-08-19 | 2020-08-21 | 出光兴产株式会社 | 氧化物半导体基板及肖特基势垒二极管元件 |
US9543290B2 (en) * | 2014-01-23 | 2017-01-10 | International Business Machines Corporation | Normally-off junction field-effect transistors and application to complementary circuits |
-
2016
- 2016-08-15 JP JP2016159351A patent/JP6975530B2/ja active Active
- 2016-12-21 CN CN201680074791.XA patent/CN108431963B/zh active Active
- 2016-12-21 US US16/064,210 patent/US10374045B2/en active Active
- 2016-12-21 KR KR1020187016656A patent/KR102506724B1/ko active IP Right Grant
-
2020
- 2020-10-21 JP JP2020176661A patent/JP2021010031A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021010031A (ja) | 2021-01-28 |
KR102506724B1 (ko) | 2023-03-06 |
KR20180097546A (ko) | 2018-08-31 |
JP2017120878A (ja) | 2017-07-06 |
CN108431963B (zh) | 2021-08-24 |
US20190006473A1 (en) | 2019-01-03 |
US10374045B2 (en) | 2019-08-06 |
CN108431963A (zh) | 2018-08-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20181214 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200604 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201021 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20201021 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20201030 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20201104 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20201120 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20201201 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210323 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210406 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20210525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210720 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210817 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20210914 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20211019 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20211019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6975530 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |