JP6975031B2 - Bearing inspection equipment - Google Patents

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本発明は、軸受を検査するための軸受検査装置に関する。 The present invention relates to a bearing inspection device for inspecting bearings.

回転機器を回転自在に支持する軸受は、回転機器を円滑に回転させるための機器である。軸受が故障した場合、回転機器の動作が停止する恐れがある。そこで、軸受の劣化が生じないようにメンテナンス作業が行われている。軸受の状態を判定する技術として、例えば、特許文献1には、「軸受状態監視装置1は、軸受3に取り付けられたAEセンサ10、検波処理部30、振幅分布算出部32、基準波形生成部33、及び判定部22を備える。検波処理部30はAEセンサ10からの信号に検波処理を行って検波波形を算出する。振幅分布算出部32は検波波形から振幅分布を算出する。基準波形生成部33は振幅分布から基準波形を生成する。判定部22は振幅分布と基準分布との比較により軸受3の状態を判定する。」ことが開示されている。 A bearing that rotatably supports a rotating device is a device for smoothly rotating the rotating device. If the bearing fails, the rotating equipment may stop working. Therefore, maintenance work is performed so that the bearing does not deteriorate. As a technique for determining the state of the bearing, for example, in Patent Document 1, "the bearing state monitoring device 1 is an AE sensor 10 attached to the bearing 3, a detection processing unit 30, an amplitude distribution calculation unit 32, and a reference waveform generation unit. 33 and a determination unit 22 are provided. The detection processing unit 30 performs detection processing on the signal from the AE sensor 10 to calculate the detection waveform. The amplitude distribution calculation unit 32 calculates the amplitude distribution from the detection waveform. Reference waveform generation. The unit 33 generates a reference waveform from the amplitude distribution. The determination unit 22 determines the state of the bearing 3 by comparing the amplitude distribution with the reference distribution. "

特開2011−252761号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-252761

しかし、AEセンサから得られた測定データを用いても、軸受の状態を確実に検査することができない場合がある。 However, even if the measurement data obtained from the AE sensor is used, it may not be possible to reliably inspect the state of the bearing.

本発明の課題は、少なくとも軸受から発生する磁気の変化を検知して軸受の状態を確実に検査することにある。 An object of the present invention is to reliably inspect the state of a bearing by detecting at least a change in magnetism generated from the bearing.

前記課題を解決するために、本発明は、軸受の振動を検出する振動センサと、前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、を有し、前記判定器は、前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定することを特徴とする。さらに高精度に判定が必要な場合は、前記磁気センサと前記振動センサに加えて、前記軸受の表面温度を測定する温度センサと、前記軸受から発生する音を測定する音センサを配置し、前記温度センサからの出力信号の基準値と、音センサの出力信号の基準値を前記判定器に設定し、前記判定器にて複数のセンサからの情報を統合的に判断して前記軸受の状態を判定することも特徴としている。 In order to solve the above problems, the present invention has a vibration sensor that detects the vibration of the bearing, a plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, an output signal of the vibration sensor, and an output signal of the magnetic sensor. The determination device has a determination device for determining the state of the bearing based on the above, and the determination device determines whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value. The first determination is executed, and the second determination as to whether or not the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is within the range of the second reference value is executed. It is characterized in that at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the determination of 1 and the result of the second determination. When more accurate judgment is required, in addition to the magnetic sensor and the vibration sensor, a temperature sensor for measuring the surface temperature of the bearing and a sound sensor for measuring the sound generated from the bearing are arranged. The reference value of the output signal from the temperature sensor and the reference value of the output signal of the sound sensor are set in the judgment device, and the judgment device comprehensively judges the information from a plurality of sensors to determine the state of the bearing. It is also characterized by making a judgment.

本発明によれば、少なくとも軸受から発生する磁気の変化を検知して軸受の状態を確実に検査することができる。 According to the present invention, it is possible to reliably inspect the state of the bearing by detecting at least the change in magnetism generated from the bearing.

本発明の一実施例を示す軸受検査装置の回路構成図である。It is a circuit block diagram of the bearing inspection apparatus which shows one Embodiment of this invention. センサユニットを軸受のハウジング部に取り付けた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which attached the sensor unit to the housing part of a bearing. センサユニットの内部構造を説明するための図であって、(a)は、正面図、(b)は、斜視図、(c)は、要部側面図である。It is a figure for demonstrating the internal structure of a sensor unit, (a) is a front view, (b) is a perspective view, (c) is a side view of a main part. 磁気センサと磁石との関係を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the relationship between a magnetic sensor and a magnet. 磁気センサを説明するための図であって、(a)は、磁気センサと軸受との関係を示す平面図、(b)は、磁気センサを収納する複数のセンサユニットの構成図、(c)は、複数のセンサユニットに収納される各磁気センサの出力信号の特性図(出力波形)、(d)は、複数のセンサユニットに収納される各磁気センサの出力信号の周波数解析結果を示す特性図(周波数スペクトル解析結果)である。It is a figure for demonstrating a magnetic sensor, (a) is a plan view which shows the relationship between a magnetic sensor and a bearing, (b) is a block diagram of a plurality of sensor units accommodating a magnetic sensor, (c). Is a characteristic diagram (output waveform) of the output signal of each magnetic sensor housed in a plurality of sensor units, and (d) is a characteristic showing a frequency analysis result of an output signal of each magnetic sensor housed in a plurality of sensor units. It is a figure (frequency spectrum analysis result). 磁気センサと振動センサの出力信号の特性図(出力波形)である。It is a characteristic diagram (output waveform) of the output signal of the magnetic sensor and the vibration sensor. コンピュータによる解析方法を説明するための図であって、(a)は、磁気センサの出力信号を解析して得られたピーク検出時刻(最大値をP1、最小値をP2で表記)の検出結果を示す波形図、(b)は、P1とP2それぞれの時間幅(ピーク検出時刻の時間幅)の検出結果と判定結果を示す説明図、(c)は、ピーク検出時間幅の変動に対する判定内容と閾値との関係を説明するための説明図、(d)は、ピーク検出時間幅の検出結果に対する判定結果の表示例を示す図である。It is a figure for demonstrating the analysis method by a computer, and (a) is the detection result of the peak detection time (the maximum value is expressed by P1 and the minimum value is expressed by P2) obtained by analyzing the output signal of a magnetic sensor. (B) is an explanatory diagram showing the detection result and the determination result of the time width (time width of the peak detection time) of each of P1 and P2, and (c) is the judgment content for the fluctuation of the peak detection time width. An explanatory diagram for explaining the relationship between the peak detection time and the threshold value, (d) is a diagram showing a display example of a determination result with respect to the detection result of the peak detection time width. コンピュータによる他の解析方法を説明するための図であって、(a)は、磁気センサの出力信号を解析して得られた(b)の参照信号の立ち上がりと立ち下がりの時刻で検出した位置をプロットした波形図、(b)は、参照信号の波形を示す波形図、(c)は、(a)で検出された位置をプロットした図である。It is a figure for demonstrating another analysis method by a computer, and (a) is the position detected by the rise and fall time of the reference signal of (b) obtained by analyzing the output signal of a magnetic sensor. (B) is a waveform diagram showing the waveform of the reference signal, and (c) is a diagram plotting the positions detected in (a). コンピュータによる軸受の検査に関する図であって、(a)は、コンピュータの判定方法を説明するためのフローチャート、(b)は、コンピュータによる判定結果の表示例を示す図である。It is a figure regarding the inspection of a bearing by a computer, (a) is a flowchart for explaining the determination method of a computer, (b) is a figure which shows the display example of the determination result by a computer.

以下、実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, examples will be described with reference to the drawings.

(実施例)
図1は、本発明の一実施例を示す軸受検査装置の回路構成図である。図1において、軸受検査装置は、磁気センサ10、12、振動センサ14、コイル16、18、温度センサ11、音センサ(マイク)13、抵抗20、22、増幅器24、26、差動増幅器28、増幅器30、31、32、33、アナログ・デジタルコンバータ(A/Dコンバータ)34、デジタル・アナログコンバータ(D/Aコンバータ)コンバータ36、コンピュータ38を備えて構成される。コンピュータ38は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、メモリ、入出力インタフェース、表示装置(液晶ディスプレイ)、入力装置(マウス、キーボード)等を備えた計算機で構成される。CPUは、メモリに格納された各種プログラム、例えば、信号処理プログラム、周波数解析プログラム、ピーク検出処理プログラム等に従って各種の演算処理や判定処理を実行し、処理結果を表示装置に表示する。
(Example)
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a bearing inspection device showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the bearing inspection device includes magnetic sensors 10, 12, vibration sensors 14, coils 16, 18, temperature sensors 11, sound sensors (microphones) 13, resistors 20, 22, amplifiers 24, 26, and differential amplifier 28. It includes amplifiers 30, 31, 32, 33, an analog-to-digital converter (A / D converter) 34, a digital-to-analog converter (D / A converter) converter 36, and a computer 38. The computer 38 includes, for example, a computer including a CPU (Central Processing Unit), a memory, an input / output interface, a display device (liquid crystal display), an input device (mouse, keyboard), and the like. The CPU executes various arithmetic processing and determination processing according to various programs stored in the memory, for example, a signal processing program, a frequency analysis program, a peak detection processing program, and the like, and displays the processing result on the display device.

磁気センサ10、12は、磁場の変化や大きさを電気信号として出力するセンサであって、例えば、AMR(Anisotropic Magneto Resistive)センサ、TMR(Tunnel Magneto Resistive)センサ、GMR(Giant Magneto Resistive effect)センサ等を用いることができる。振動センサ14は、検査対象(軸受)の振動の大きさを電気信号として出力するセンサであって、例えば、圧電素子、加速度センサ、速度センサ等を用いることができる。磁気センサ10、12の出力信号はそれぞれ差動増幅器28に入力される。差動増幅器28からは、磁気センサ10、12の出力信号の差分に応じた信号が出力され、この出力信号が増幅器30を介してアナログ・デジタルコンバータ34に入力される。この時、磁気センサ10、12の差動をとること(この構成はグラジオメータと呼ばれる)により、測定磁場の差分の計測が実現でき、遠方から入る妨害磁場(例えば、ステップ部の磁気雑音など)をキャンセル効果がある。また、振動センサ14の出力信号は、増幅器32を介してアナログ・デジタルコンバータ34に入力される。さらに、温度センサ11の出力信号は、増幅器31を介してアナログ・デジタルコンバータ34に入力される。また、音センサ(マイク)13の出力信号は、増幅器33を介してアナログ・デジタルコンバータ34に入力される。アナログ・デジタルコンバータ34は、増幅器30、31、32、33の出力信号であるアナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換し、変換した各デジタル信号(デジタル情報)をコンピュータ38に出力する。コンピュータ38は、磁気センサ10、12の出力信号から得られたデジタル信号と振動センサ14の出力信号から得られたデジタル信号を基に各種の演算処理や判定処理を実行する判定器として機能する。またデジタル・アナログコンバータ36からの各磁気センサ10、12へのフィードバックを用いたオフセット磁場のキャンセル方法は後述する。 The magnetic sensors 10 and 12 are sensors that output changes and magnitudes of the magnetic field as electric signals, for example, an AMR (Anisotropic Magneto Resistive) sensor, a TMR (Tunnel Magneto Resistive) sensor, and a GMR (Giant Magneto Resistive effect) sensor. Etc. can be used. The vibration sensor 14 is a sensor that outputs the magnitude of vibration of the inspection target (bearing) as an electric signal, and for example, a piezoelectric element, an acceleration sensor, a speed sensor, or the like can be used. The output signals of the magnetic sensors 10 and 12 are input to the differential amplifier 28, respectively. A signal corresponding to the difference between the output signals of the magnetic sensors 10 and 12 is output from the differential amplifier 28, and this output signal is input to the analog-digital converter 34 via the amplifier 30. At this time, by taking the differential of the magnetic sensors 10 and 12 (this configuration is called a gradiometer), it is possible to measure the difference in the measured magnetic field, and the disturbing magnetic field entering from a distance (for example, the magnetic noise of the step portion). Has a canceling effect. Further, the output signal of the vibration sensor 14 is input to the analog-digital converter 34 via the amplifier 32. Further, the output signal of the temperature sensor 11 is input to the analog-digital converter 34 via the amplifier 31. Further, the output signal of the sound sensor (microphone) 13 is input to the analog-digital converter 34 via the amplifier 33. The analog / digital converter 34 converts an analog signal, which is an output signal of the amplifiers 30, 31, 32, 33, into a digital signal, and outputs each converted digital signal (digital information) to the computer 38. The computer 38 functions as a determination device that executes various arithmetic processing and determination processing based on the digital signal obtained from the output signals of the magnetic sensors 10 and 12 and the digital signal obtained from the output signal of the vibration sensor 14. Further, a method of canceling the offset magnetic field using feedback from the digital-to-analog converter 36 to the magnetic sensors 10 and 12 will be described later.

図2は、センサユニットを軸受のハウジング部に取り付けた状態を示す斜視図である。図2において、センサユニット50は、検査対象(測定対象)となる軸受52のハウジング54の外周面に着脱自在に固定される。軸受52は、例えば、円筒コロ、円錐コロを含む転がり軸受で構成され、エスカレーター下部に配置される回転軸(図示せず)の一端側を回転自在に支持するように配置される。ハウジング54は、例えば、磁性体(鉄製の鋳物)を用いて略円筒状に形成されている。センサユニット50は、非磁性体(アルミニュウム)を用いて略箱型のケースとして形成されており、内部に、磁気センサ10、12、振動センサ14、温度センサ11、音センサ13、コイル16、18、抵抗20、22、増幅器24、26、31、33、差動増幅器28が収納されている。センサユニット50の側面には、コネクタ56が固定されており、コネクタ56にはケーブル58の一端側が接続されている。ケーブル58の他端側は、増幅器30、32の入力側とデジタル・アナログコンバータ36の出力側(アナログ信号出力側)に接続されるコネクタ(図示せず)に接続される。 FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the sensor unit is attached to the housing portion of the bearing. In FIG. 2, the sensor unit 50 is detachably fixed to the outer peripheral surface of the housing 54 of the bearing 52 to be inspected (measurement target). The bearing 52 is composed of, for example, a rolling bearing including a cylindrical roller and a conical roller, and is arranged so as to rotatably support one end side of a rotating shaft (not shown) arranged under the escalator. The housing 54 is formed in a substantially cylindrical shape using, for example, a magnetic material (casting made of iron). The sensor unit 50 is formed as a substantially box-shaped case using a non-magnetic material (aluminum), and has magnetic sensors 10, 12, vibration sensors 14, temperature sensors 11, sound sensors 13, coils 16, and 18 inside. , Resistors 20, 22, amplifiers 24, 26, 31, 33, and differential amplifier 28 are housed. A connector 56 is fixed to the side surface of the sensor unit 50, and one end side of the cable 58 is connected to the connector 56. The other end of the cable 58 is connected to a connector (not shown) connected to the input side of the amplifiers 30 and 32 and the output side (analog signal output side) of the digital-to-analog converter 36.

なお、エスカレーター下部に配置される回転軸(図示せず)の他端側を回転自在に支持する軸受(図示せず)のハウジング(図示せず)の外周面にも、センサユニット50と同一の機能を有するセンサユニットが着脱自在に配置される。この際、図1の回路構成は、コンピュータ38以外は、多重系となり、コンピュータ38は、各センサユニット50に属する磁気センサ10、12、振動センサ14、温度センサ11、音センサ13、からの電気信号を処理することになる。 The outer peripheral surface of the housing (not shown) of the bearing (not shown) that rotatably supports the other end of the rotating shaft (not shown) arranged under the escalator is also the same as the sensor unit 50. A sensor unit with a function is detachably arranged. At this time, the circuit configuration of FIG. 1 is a multiplex system except for the computer 38, and the computer 38 has electricity from the magnetic sensors 10 and 12, the vibration sensor 14, the temperature sensor 11, and the sound sensor 13 belonging to each sensor unit 50. It will process the signal.

図3は、センサユニットの内部構造を説明するための図であって、(a)は、正面図、(b)は、斜視図、(c)は、要部側面図である。図3において、センサユニット50は、側板60、62、底板64を含むアルミニウム製の筐体を有し、側板60の貫通穴66にコネクタ56が固定され、センサユニット50の底部となる底板64に、基板68、70と、振動センサ14と、4個の磁石72が固定される。基板68、70は、側板60、62と略平行であって、底板64に略垂直に配置されている。基板68には、コネクタ74と、差動増幅器28が実装されている。基板70には、磁気センサ10、12が上下方向(垂直方向)に分かれて実装されていると共に、コイル16、18と、抵抗20、22と、増幅器24、26、31、33(いずれも図示せず)が実装されている。4個の磁石72は、底板64の四隅に配置されている。各磁石72は、略円筒状に形成さており、各磁石72の底部には、ゴム製のカバー76が装着されている。 3A and 3B are views for explaining the internal structure of the sensor unit, where FIG. 3A is a front view, FIG. 3B is a perspective view, and FIG. 3C is a side view of a main part. In FIG. 3, the sensor unit 50 has an aluminum housing including side plates 60, 62, and a bottom plate 64, and a connector 56 is fixed to a through hole 66 of the side plate 60 to form a bottom plate 64 which is the bottom of the sensor unit 50. , Substrate 68, 70, vibration sensor 14, and four magnets 72 are fixed. The substrates 68 and 70 are substantially parallel to the side plates 60 and 62 and are arranged substantially perpendicular to the bottom plate 64. A connector 74 and a differential amplifier 28 are mounted on the substrate 68. The magnetic sensors 10 and 12 are separately mounted in the vertical direction (vertical direction) on the substrate 70, and the coils 16 and 18, the resistors 20 and 22, and the amplifiers 24, 26, 31 and 33 (all of which are shown in the drawings). Not shown) is implemented. The four magnets 72 are arranged at the four corners of the bottom plate 64. Each magnet 72 is formed in a substantially cylindrical shape, and a rubber cover 76 is attached to the bottom of each magnet 72.

磁気センサ10、12は、互いに分かれて基板70に実装され、磁気センサ10の先端側(下部側)が、底板64に形成された挿入穴(図示せず)から突出されている。磁気センサ10、12は、基板70上に上下方向(垂直方向)に沿って配置され、軸受52から発生する垂直方向(Z軸方向)の磁気を検知する。この際、磁気センサ10、12の出力信号は、差動増幅器28で差分処理されるので、外部から各磁気センサ10、12に妨害磁場が作用しても、差動増幅器28からは、外部からの妨害磁場をキャンセルした電気信号が出力される。 The magnetic sensors 10 and 12 are separately mounted on the substrate 70, and the tip end side (lower side) of the magnetic sensor 10 protrudes from an insertion hole (not shown) formed in the bottom plate 64. The magnetic sensors 10 and 12 are arranged on the substrate 70 along the vertical direction (vertical direction), and detect the magnetism in the vertical direction (Z-axis direction) generated from the bearing 52. At this time, since the output signals of the magnetic sensors 10 and 12 are differentially processed by the differential amplifier 28, even if an interfering magnetic field acts on the magnetic sensors 10 and 12 from the outside, the differential amplifier 28 from the outside. An electric signal that cancels the disturbing magnetic field is output.

振動センサ14は、図3(c)に示すように、スペーサ78と弾性体80との間に挿入されて、スペーサ78と弾性体80で支持され、スペーサ78の先端側(下部側)が、底板64に形成された挿入穴(図示せず)から突出され、弾性体80が取り付け金具82を介して側板60に固定されている。振動センサ14は、軸受52の振動をハウジング54とスペーサ78を介して検知することができる。この際、ハウジング54の径方向の大きさを吸収するために、ハウジング54の外周面の形状(円弧状)に合わせて、スペーサ78の先端側が円弧状に形成されていると共に、垂直方向(上下方向)に移動可能な弾性体80が、振動センサ14を介してスペーサ78の上部側に配置されている。また温度センサ11は、半導体センサの場合はスペーサ78の先端に配置する構成とする。温度センサ11が赤外線検出センサの場合はスペーサ78に穴を開けて計測するか、磁気センサ10と同様にセンサユニット50の底部に配置する構成とする。また温度センサ11は2つ用意し、1つは室温を計測し、もう一つは軸受52の温度を計測することも可能である(温度センサ11の配置の図示は省略)。これらの室温と軸受52の温度の差分の温度を計測することにより、より正確に軸受の温度変化を捉えられることができる。音センサ13においても軸受52の音を測定するため、スペーサ78の先端に配置する構成するか、センサユニット50の底部に配置する構成とする(音センサ13の図示は省略)。 As shown in FIG. 3C, the vibration sensor 14 is inserted between the spacer 78 and the elastic body 80 and supported by the spacer 78 and the elastic body 80, and the tip end side (lower side) of the spacer 78 is It protrudes from an insertion hole (not shown) formed in the bottom plate 64, and the elastic body 80 is fixed to the side plate 60 via the mounting bracket 82. The vibration sensor 14 can detect the vibration of the bearing 52 via the housing 54 and the spacer 78. At this time, in order to absorb the radial size of the housing 54, the tip end side of the spacer 78 is formed in an arc shape according to the shape (arc shape) of the outer peripheral surface of the housing 54, and in the vertical direction (up and down). An elastic body 80 that can move in the direction) is arranged on the upper side of the spacer 78 via the vibration sensor 14. Further, in the case of a semiconductor sensor, the temperature sensor 11 is configured to be arranged at the tip of the spacer 78. When the temperature sensor 11 is an infrared detection sensor, a hole is made in the spacer 78 for measurement, or the temperature sensor 11 is arranged at the bottom of the sensor unit 50 in the same manner as the magnetic sensor 10. It is also possible to prepare two temperature sensors 11, one for measuring the room temperature and the other for measuring the temperature of the bearing 52 (the arrangement of the temperature sensors 11 is not shown). By measuring the temperature difference between the room temperature and the temperature of the bearing 52, the temperature change of the bearing can be captured more accurately. In order to measure the sound of the bearing 52 in the sound sensor 13, it is configured to be arranged at the tip of the spacer 78 or at the bottom of the sensor unit 50 (the sound sensor 13 is not shown).

センサユニット50は、底板64に4個の磁石72が固定されているので、鉄製のハウジング54に着脱が容易に固定される。しかし、センサユニット50を、各磁石72を介してハウジング54に固定すると、磁気センサ10、12は、各磁石72が有する直流磁場と、ハウジング54に生じる残留磁場(ハウジング54に各磁石72を固定することによって生じる残留磁場)を検出し、検出した各磁場によってオフセット磁場が大きくなり、そのままでは、磁気センサ10、12の検出出力が飽和し、動作が不安定となることがある。 Since the sensor unit 50 has four magnets 72 fixed to the bottom plate 64, it can be easily attached to and detached from the iron housing 54. However, when the sensor unit 50 is fixed to the housing 54 via each magnet 72, the magnetic sensors 10 and 12 have the DC magnetic field of each magnet 72 and the residual magnetic field generated in the housing 54 (fixing each magnet 72 to the housing 54). The residual magnetic field generated by this) is detected, and the offset magnetic field becomes large due to each detected magnetic field, and if it is left as it is, the detection outputs of the magnetic sensors 10 and 12 may be saturated and the operation may become unstable.

そこで、本実施例では、図4に示すように、4個の磁石72を、底板64の四隅に配置するに際して、磁気センサ10を底板64の略中心部であって、各磁石72からの漏洩磁束が最も少なく、各磁石72から略等距離の位置(中心点)に配置する。即ち、磁気センサ10を中心に、磁気センサ10から略等距離の位置に各磁石72を配置する。この際、各磁石72を、X方向又はY方向で相隣接する磁石72とは、磁極の極性(S極又はN極)が異なる向きとなるように配置する。また、各磁石72の一部が底板64から突出するように、磁気センサ10を中心に、磁気センサ10から略等距離の位置に、4個の貫通穴(図示せず)を形成し、各貫通穴内に各磁石72を挿入して、底板64に各磁石72を固定する。なお、図中の矢印は、N極からS極への磁力線の向き(磁界の方向)を示す。 Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 4, when the four magnets 72 are arranged at the four corners of the bottom plate 64, the magnetic sensor 10 is a substantially central portion of the bottom plate 64 and leaks from each magnet 72. It has the least magnetic flux and is placed at a position (center point) approximately equidistant from each magnet 72. That is, each magnet 72 is arranged around the magnetic sensor 10 at positions substantially equidistant from the magnetic sensor 10. At this time, the magnets 72 are arranged so that the polarities (S pole or N pole) of the magnetic poles are different from those of the magnets 72 that are adjacent to each other in the X direction or the Y direction. Further, four through holes (not shown) are formed at positions approximately equidistant from the magnetic sensor 10 around the magnetic sensor 10 so that a part of each magnet 72 protrudes from the bottom plate 64. Each magnet 72 is inserted into the through hole, and each magnet 72 is fixed to the bottom plate 64. The arrow in the figure indicates the direction of the magnetic field line from the N pole to the S pole (direction of the magnetic field).

磁気センサ10の周囲に、極性が反対の向きの磁石72を4個配置することで、磁気センサ10で検出されるオフセット磁場を小さいレベル(許容値以下のレベル)に抑制することができる。この際、磁気センサ10は、漏洩磁場が1mT(テスラ)以下で動作するように配置され、各磁石72の磁力が、全て金属製のハウジング54に作用するように、底板64を含む筐体は、非磁性体で構成されている。なお、磁気センサ12は、磁気センサ10よりもハウジング54から離れているので、磁気センサ12で検出されるオフセット磁場のレベルは、磁気センサ10の検出レベルよりも小さくなる。そのため、ベアリングから発生する磁場を差分量として検出が可能となる。また同時に一様な妨害磁場(遠方からの磁場など)はキャンセルする構成となる。 By arranging four magnets 72 having opposite polarities around the magnetic sensor 10, the offset magnetic field detected by the magnetic sensor 10 can be suppressed to a small level (a level below an allowable value). At this time, the magnetic sensor 10 is arranged so that the leakage magnetic field operates at 1 mT (tesla) or less, and the housing including the bottom plate 64 is arranged so that the magnetic force of each magnet 72 acts on the metal housing 54. , Consists of non-magnetic material. Since the magnetic sensor 12 is farther from the housing 54 than the magnetic sensor 10, the level of the offset magnetic field detected by the magnetic sensor 12 is smaller than the detection level of the magnetic sensor 10. Therefore, the magnetic field generated from the bearing can be detected as a difference amount. At the same time, a uniform disturbing magnetic field (such as a magnetic field from a distance) is canceled.

また、磁気センサ10、12で許容値を超えるレベルのオフセット磁場を検出した場合、磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場をキャンセルするように、コイル16、18から磁気センサ10、12に対して、磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場と反対の磁場が生じる制御がコンピュータ38によって実行される。この際、コンピュータ38は、磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場に関するデジタル情報(デジタル信号)を、アナログ・デジタルコンバータ34を介して取り込み、取り込んだデジタル情報を基に磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場をキャンセルするための演算処理を実行し、演算結果を基に磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場と反対の磁場を生じさせるための制御信号を、デジタル・アナログコンバータ36、増幅器24、26及び抵抗20、22を介してコイル16、18に出力する。これにより、コイル16、18から磁気センサ10、12に対して、磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場と反対の磁場が発生する。このため、コンピュータ38は、磁気センサ10、12で検出したオフセット磁場の影響を受けることなく、安定した状態で、磁気センサ10、12からの電気信号を処理することができる。なお、デジタル・アナログコンバータ36と、増幅器24、26及び抵抗20、22は、コンピュータ38からの制御信号をそれぞれコイル16、18に伝達するための信号伝達器として機能する。以上のオフセット磁場のキャンセルの動作は、センサユニット50の据付を完了し、測定を行なう直前または測定の最初に実施することで安定動作が可能となる。また本実施例ではコンピュータ38を用いる構成としたが、センサユニット50内部にマイコンとデジタル・アナログコンバータ36と増幅器24、26及び抵抗20、22を配置し、パソコンのようなコンピュータを使用しないコンパクトな自律した計測器構成も可能である。 Further, when the magnetic sensors 10 and 12 detect an offset magnetic field at a level exceeding the permissible value, the coils 16 and 18 are directed to the magnetic sensors 10 and 12 so as to cancel the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12. The computer 38 executes control to generate a magnetic field opposite to the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12. At this time, the computer 38 captures digital information (digital signal) related to the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12 via the analog-digital converter 34, and detects the digital information detected by the magnetic sensors 10 and 12 based on the captured digital information. An arithmetic process for canceling the offset magnetic field is executed, and a control signal for generating a magnetic field opposite to the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12 based on the arithmetic result is generated by the digital / analog converter 36 and the amplifier 24. , 26 and outputs to the coils 16 and 18 via the resistors 20 and 22. As a result, a magnetic field opposite to the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12 is generated from the coils 16 and 18 with respect to the magnetic sensors 10 and 12. Therefore, the computer 38 can process the electric signal from the magnetic sensors 10 and 12 in a stable state without being affected by the offset magnetic field detected by the magnetic sensors 10 and 12. The digital-to-analog converter 36, the amplifiers 24 and 26, and the resistors 20 and 22 function as signal transmitters for transmitting control signals from the computer 38 to the coils 16 and 18, respectively. The operation of canceling the offset magnetic field described above can be performed stably immediately before the installation of the sensor unit 50 is completed and immediately before the measurement or at the beginning of the measurement. Further, in this embodiment, the computer 38 is used, but the microcomputer, the digital-to-analog converter 36, the amplifiers 24, 26, and the resistors 20 and 22 are arranged inside the sensor unit 50, and the compact size does not use a computer such as a personal computer. An autonomous measuring instrument configuration is also possible.

4個の磁石72の固定法の別実施例(上記では接着剤で底板64に固定)として、4個の磁石72を、底板64に配置するに際して、底板64の上側であって、底板64の四隅に形成された各貫通穴の周囲に、内部にねじ部を有する筒体を垂直方向(上下方向)に沿って固定し、外部に筒体のねじ部と噛み合うねじ部を有する、4個の円柱体(鉄製)の軸方向の一端をそれぞれ各磁石72に連結し、各円柱体の他端側を各筒体内に挿入し、各円柱体のねじ部と各筒体のねじ部とを噛み合わせることで、各円柱体の回転に応じて、各磁石72を垂直方向(上下方向)に移動自在に配置することができる。 As another embodiment of the method of fixing the four magnets 72 (fixed to the bottom plate 64 with an adhesive in the above case), when the four magnets 72 are arranged on the bottom plate 64, the upper side of the bottom plate 64 and the bottom plate 64 Around each of the through holes formed at the four corners, a cylinder having a threaded portion inside is fixed along the vertical direction (vertical direction), and four pieces having a threaded portion that meshes with the threaded portion of the cylinder on the outside. One end of the cylinder (made of iron) in the axial direction is connected to each magnet 72, the other end of each cylinder is inserted into each cylinder, and the threaded portion of each cylinder and the threaded portion of each cylinder are bitten. By matching, each magnet 72 can be movably arranged in the vertical direction (vertical direction) according to the rotation of each cylinder.

図5は、磁気センサを説明するための図であって、(a)は、磁気センサと軸受との関係を示す平面図、(b)は、磁気センサを収納する複数のセンサユニットの構成図、(c)は、複数のセンサユニットに収納される各磁気センサの出力信号の特性図(出力波形)、(d)は、複数のセンサユニットに収納される各磁気センサの出力信号の周波数解析結果を示す特性図(周波数スペクトル解析結果)である。 5A and 5B are views for explaining a magnetic sensor, where FIG. 5A is a plan view showing the relationship between the magnetic sensor and a bearing, and FIG. 5B is a configuration diagram of a plurality of sensor units accommodating the magnetic sensor. , (C) is a characteristic diagram (output waveform) of the output signal of each magnetic sensor housed in a plurality of sensor units, and (d) is a frequency analysis of the output signal of each magnetic sensor housed in a plurality of sensor units. It is a characteristic diagram (frequency spectrum analysis result) which shows the result.

図5(a)において、磁気センサ10、12は、ハウジング54で包囲された軸受52に回転自在に支持される回転軸(図示せず)の軸方向に対して、直交する方向となる垂直方向(Z軸方向)に配置され、軸受52内のコロ(転動体)52aから発生する磁場を検出する。磁気センサ10、12を内蔵する複数のセンサユニット50は、図5(b)に示すように、エスカレーター下部に配置される回転軸(図示せず)の軸方向両端側に分かれて配置される。回転軸の軸方向右端に位置するセンサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第1の出力信号)と、回転軸の軸方向左端に位置するセンサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第2の出力信号)をそれぞれコンピュータ38で処理すると、図5(c)に示すように、コンピュータ38の表示装置の表示画面には、第1の出力信号による特性曲線(出力波形)として波形100が表示され、第2の出力信号による特性曲線(出力波形)として波形102が表示される。 In FIG. 5A, the magnetic sensors 10 and 12 are in a direction perpendicular to the axial direction of a rotation axis (not shown) rotatably supported by the bearing 52 surrounded by the housing 54. It is arranged in the (Z-axis direction) and detects a magnetic field generated from a roller (rolling element) 52a in the bearing 52. As shown in FIG. 5B, the plurality of sensor units 50 incorporating the magnetic sensors 10 and 12 are separately arranged on both ends in the axial direction of the rotation axis (not shown) arranged in the lower part of the escalator. The output signals (first output signals) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 located at the right end in the axial direction of the rotating shaft, and the left end in the axial direction of the rotating shaft. When the output signals (second output signals) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the located sensor unit (second sensor unit) 50 are processed by the computer 38, as shown in FIG. 5 (c). On the display screen of the display device of the computer 38, the waveform 100 is displayed as the characteristic curve (output waveform) by the first output signal, and the waveform 102 is displayed as the characteristic curve (output waveform) by the second output signal. NS.

また、第1の出力信号と第2の出力信号をコンピュータ38で周波数解析すると、図5(d)に示すように、コンピュータ38の表示装置の表示画面には、第1の出力信号の解析結果(周波数スペクトル解析結果)を示す波形104が表示され、第2の出力信号の解析結果(周波数スペクトル解析結果)を示す波形106が表示される。この際、各波形104、106のピーク周波数は1.2Hzである。波形100、102、104、106に関する情報は、磁気センサ10、12の正常時の情報として、コンピュータ38のメモリに格納される。 Further, when the frequency analysis of the first output signal and the second output signal is performed by the computer 38, as shown in FIG. 5D, the analysis result of the first output signal is displayed on the display screen of the display device of the computer 38. The waveform 104 showing the (frequency spectrum analysis result) is displayed, and the waveform 106 showing the analysis result (frequency spectrum analysis result) of the second output signal is displayed. At this time, the peak frequency of each of the waveforms 104 and 106 is 1.2 Hz. Information about the waveforms 100, 102, 104, and 106 is stored in the memory of the computer 38 as normal information of the magnetic sensors 10 and 12.

図6は、磁気センサと振動センサの出力信号の特性図(出力波形)である。コンピュータ38は、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第1の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第2の出力信号)をそれぞれ処理すると共に、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された振動センサ14から得られた出力信号(第3の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された振動センサ14から得られた出力信号(第4の出力信号)をそれぞれ処理し、処理結果を表示装置の表示画面上に表示する。例えば、正常時の波形が得られた場合、コンピュータ38の表示装置の表示画面には、第1の出力信号による特性曲線として波形108が表示され、第2の出力信号による特性曲線として波形110が表示され、第3の出力信号による特性曲線として波形112が表示され、第4の出力信号による特性曲線として波形114が表示される。 FIG. 6 is a characteristic diagram (output waveform) of the output signals of the magnetic sensor and the vibration sensor. The computer 38 has an output signal (first output signal) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 and a built-in sensor unit (second sensor unit) 50. The output signals (second output signals) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 are processed, and the output signals (output signals) obtained from the vibration sensor 14 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 are processed. The third output signal) and the output signal (fourth output signal) obtained from the vibration sensor 14 built in the sensor unit (second sensor unit) 50 are processed, and the processing result is displayed on the display device. Display on the screen. For example, when a normal waveform is obtained, the waveform 108 is displayed as a characteristic curve based on the first output signal, and the waveform 110 is displayed as a characteristic curve based on the second output signal on the display screen of the display device of the computer 38. The waveform 112 is displayed as a characteristic curve based on the third output signal, and the waveform 114 is displayed as a characteristic curve based on the fourth output signal.

この際、コンピュータ38は、波形108と波形110を処理することで、軸受52内のコロ(ベアリング)52aが回っているか否かを判定することができ、波形112と波形114を処理することで、軸受52が異常振動しているか否かを判定することができる。なお、波形116は、エスカレーターのステップが軸受52近傍で畳まれる際に発生する振動に伴う波形である。ここで、図5、図6に音センサ13および温度センサ11の信号波形の表示は省略しているが、音センサ13の波形は図6に示す振動センサ14と類似の波形が観測され、温度センサ11では、その測定時の温度が表示される(測定時間内での変化がないため、1点の測定である)。 At this time, the computer 38 can determine whether or not the roller (bearing) 52a in the bearing 52 is rotating by processing the waveform 108 and the waveform 110, and by processing the waveform 112 and the waveform 114. , It can be determined whether or not the bearing 52 is abnormally vibrating. The waveform 116 is a waveform associated with vibration generated when the escalator step is folded in the vicinity of the bearing 52. Here, although the display of the signal waveforms of the sound sensor 13 and the temperature sensor 11 is omitted in FIGS. 5 and 6, the waveform of the sound sensor 13 is similar to that of the vibration sensor 14 shown in FIG. On the sensor 11, the temperature at the time of the measurement is displayed (since there is no change within the measurement time, it is a one-point measurement).

図7は、コンピュータによる解析方法を説明するための図であって、(a)は、磁気センサの出力信号を解析して得られたピーク検出時刻(最大値をP1、最小値をP2で表記)の検出結果を示す波形図、(b)は、P1とP2それぞれの時間幅(ピーク検出時刻の時間幅)の検出結果と判定結果を示す説明図、(c)は、ピーク検出時間幅の変動に対する判定内容と閾値との関係を説明するための説明図、(d)は、ピーク検出時間幅の検出結果に対する判定結果の表示例を示す図である。 FIG. 7 is a diagram for explaining an analysis method by a computer, and FIG. 7A is a diagram showing a peak detection time (maximum value is P1 and minimum value is P2) obtained by analyzing an output signal of a magnetic sensor. ) Is a waveform diagram showing the detection result, (b) is an explanatory diagram showing the detection result and the determination result of each time width (time width of the peak detection time) of P1 and P2, and (c) is the peak detection time width. An explanatory diagram for explaining the relationship between the determination content for fluctuation and the threshold value, (d) is a diagram showing a display example of the determination result for the detection result of the peak detection time width.

コンピュータ38は、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第1の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第2の出力信号)をそれぞれ処理する際に、各出力信号に対するピーク検出処理あるいは周波数解析処理を実行し、処理結果から軸受52内のコロ52aの回転速度(周波数)を算出し、算出結果から軸受52に対する異常の有無(コロ52aに速度ズレがあるか否か、あるいはコロ52aに引っかかりがあるか否か)を判定する。 The computer 38 has an output signal (first output signal) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 and a built-in sensor unit (second sensor unit) 50. When the output signals (second output signals) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 are processed, peak detection processing or frequency analysis processing is executed for each output signal, and the processing result shows the rollers in the bearing 52. The rotation speed (frequency) of the 52a is calculated, and it is determined from the calculation result whether or not there is an abnormality in the bearing 52 (whether or not the roller 52a has a speed deviation or whether or not the roller 52a is caught).

コンピュータ38は、例えば、第1の出力信号に対するピーク検出処理あるいは周波数解析処理の結果として、図7(a)に示すように、上のピークP1と、下のピークP2を含む信号118の波形を表示装置の表示画面に表示し、図7(b)に示すように、上のピークP1と、下のピークP2を含む時間幅(ピーク検出時間幅)の分布状態を表示装置の表示画面に表示する。この際、コンピュータ38は、メモリに格納された閾値として、図7(c)に示すように、A判定(正常)の閾値0.8〜1.2Hz、B判定(注意)の閾値0.4〜0.8Hz、1.2Hz〜1.6Hz、C判定(異常)の閾値0.4Hz以下、1.6Hz以上を参照し、第1の出力信号に対するピーク検出処理の処理結果に対する判定を行い、判定結果を、図7(d)に示すように、表示装置の表示画面に表示する。 As a result of, for example, a peak detection process or a frequency analysis process for the first output signal, the computer 38 obtains the waveform of the signal 118 including the upper peak P1 and the lower peak P2 as shown in FIG. 7A. It is displayed on the display screen of the display device, and as shown in FIG. 7B, the distribution state of the time width (peak detection time width) including the upper peak P1 and the lower peak P2 is displayed on the display screen of the display device. do. At this time, as shown in FIG. 7 (c), the computer 38 has a threshold value of 0.8 to 1.2 Hz for A determination (normal) and a threshold value of 0.4 for B determination (caution) as threshold values stored in the memory. With reference to ~ 0.8Hz, 1.2Hz ~ 1.6Hz, C judgment (abnormal) threshold value 0.4Hz or less, 1.6Hz or more, the processing result of the peak detection processing for the first output signal is judged. The determination result is displayed on the display screen of the display device as shown in FIG. 7D.

この場合、上のピークP1と、下のピークP2の時間幅(ピーク検出時間幅)の値がA判定の閾値の範囲内にあるので、A判定と判定される。また、上のピークP1と、下のピークP2を含む信号118の解析結果から、コロ52aの回転速度が1Hzと判定され、コロ52aの回転速度が1Hzであって、コロ52aに速度ズレが無い旨が表示される。 In this case, since the values of the time width (peak detection time width) of the upper peak P1 and the lower peak P2 are within the range of the threshold value of the A determination, it is determined to be the A determination. Further, from the analysis result of the signal 118 including the upper peak P1 and the lower peak P2, the rotation speed of the roller 52a is determined to be 1 Hz, the rotation speed of the roller 52a is 1 Hz, and there is no speed deviation in the roller 52a. A message to that effect is displayed.

図8は、コンピュータによる他の解析方法を説明するための図であって、(a)は、磁気センサの出力信号を解析して得られた(b)の参照信号の立ち上がりと立ち下がりの時刻で検出した位置をプロットした波形図、(b)は、参照信号の波形を示す波形図、(c)は、(a)で検出された位置をプロットした図である。 FIG. 8 is a diagram for explaining another analysis method by a computer, and FIG. 8A shows the rising and falling times of the reference signal of (b) obtained by analyzing the output signal of the magnetic sensor. The waveform diagram plotting the positions detected in (b) is a waveform diagram showing the waveform of the reference signal, and (c) is a diagram plotting the positions detected in (a).

コンピュータ38は、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第1の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第2の出力信号)をそれぞれ処理する際に、例えば、第1の出力信号に対するピーク検出処理あるいは周波数解析処理を実行し、この処理で、図8(a)に示す信号120が得られた場合、この信号120と、図8(b)に示す参照信号(ベアリング周波数が既知であるとして得られた信号)120と、を比較し、比較結果を、図8(c)に示すように、ピークP11〜P15、ピークP21〜P25として出力する。 The computer 38 has an output signal (first output signal) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 and a built-in sensor unit (second sensor unit) 50. When processing the output signals (second output signals) obtained from the magnetic sensors 10 and 12, for example, peak detection processing or frequency analysis processing for the first output signal is executed, and in this processing, for example, When the signal 120 shown in FIG. 8 (a) is obtained, this signal 120 and the reference signal (signal obtained assuming that the bearing frequency is known) 120 shown in FIG. 8 (b) are compared and compared. As shown in FIG. 8C, the results are output as peaks P11 to P15 and peaks P21 to P25.

この際、コンピュータ38は、信号120のうち、参照信号122の立上がりに同期した値をピークP11〜P15として検出し、参照信号122の立下りに同期した値をピークP21〜P25として検出する。コンピュータ38は、ピークP11〜P15、ピークP21〜P25の分布状態が正常の範囲内(閾値の範囲内)にあるか否かで、軸受52の異常の有無を判定することができる。 At this time, the computer 38 detects the value of the signal 120 synchronized with the rising edge of the reference signal 122 as peaks P11 to P15, and detects the value synchronized with the falling edge of the reference signal 122 as peaks P21 to P25. The computer 38 can determine whether or not the bearing 52 is abnormal depending on whether or not the distribution states of the peaks P11 to P15 and the peaks P21 to P25 are within the normal range (within the threshold range).

図9は、コンピュータによる軸受の検査に関する図であって、(a)は、コンピュータの判定方法を説明するためのフローチャート、(b)は、コンピュータによる判定結果の表示例を示す図である。ここで記載はしていないが、温度センサ11、音センサ13による判定も基準を作成することでそれぞれのセンサごとの詳細な判定が可能である。例えば温度センサ11がある一定温度以上になる場合は軸受がロック状態である場合の判断に使用することができる。音センサ13では、振動センサ14で記録できていない異常値を判断して、判定1の精度をあげることに使用できる。 9A and 9B are diagrams relating to bearing inspection by a computer, where FIG. 9A is a flowchart for explaining a determination method of the computer, and FIG. 9B is a diagram showing a display example of a determination result by the computer. Although not described here, it is possible to make a detailed judgment for each sensor by creating a reference for the judgment by the temperature sensor 11 and the sound sensor 13. For example, when the temperature sensor 11 exceeds a certain temperature, it can be used to determine when the bearing is in the locked state. The sound sensor 13 can be used to determine an abnormal value that cannot be recorded by the vibration sensor 14 and improve the accuracy of the determination 1.

コンピュータ38は、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第1の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された磁気センサ10、12から得られた出力信号(第2の出力信号)と、センサユニット(第1のセンサユニット)50に内蔵された振動センサ14から得られた出力信号(第3の出力信号)と、センサユニット(第2のセンサユニット)50に内蔵された振動センサ14から得られた出力信号(第4の出力信号)をそれぞれ処理する際に、例えば、第3の出力信号に対する周波数解析処理を実行し、振動センサ14の出力信号の基準周波数帯域の振幅範囲が基準内にあるか否かを判定し(S1)、この判定結果(正常又は異常)を出力すると共に、判定結果(判定1の結果)を表示装置の表示画面上に表示する。 The computer 38 has an output signal (first output signal) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 built in the sensor unit (first sensor unit) 50 and a built-in sensor unit (second sensor unit) 50. The output signal (second output signal) obtained from the magnetic sensors 10 and 12 and the output signal (third output) obtained from the vibration sensor 14 built in the sensor unit (first sensor unit) 50. When processing the signal) and the output signal (fourth output signal) obtained from the vibration sensor 14 built in the sensor unit (second sensor unit) 50, for example, the frequency with respect to the third output signal. The analysis process is executed, it is determined whether or not the amplitude range of the reference frequency band of the output signal of the vibration sensor 14 is within the reference (S1), and this determination result (normal or abnormal) is output and the determination result (judgment result (normal)). The result of determination 1) is displayed on the display screen of the display device.

次に、コンピュータ38は、例えば、第1の出力信号に対するピーク検出処理あるいは周波数解析処理を実行し、ベアリング(コロ52a)が基準周波数範囲内にあるか否か(コロ52aの回転速度が基準周波数の範囲内にあるか否か)を判定するか、或いは、ピーク検出時間幅の変動が基準範囲内にあるか否か(磁気センサ10、12の出力信号に重畳するピーク位置のピーク検出時間幅が基準範囲内にあるか否か)を判定し(S2)、判定結果(正常又は異常)を出力すると共に、判定結果(判定2の結果)を表示装置の表示画面上に表示し、このルーチンでの処理を終了する。 Next, the computer 38 executes, for example, a peak detection process or a frequency analysis process for the first output signal, and whether or not the bearing (roller 52a) is within the reference frequency range (the rotation speed of the roller 52a is the reference frequency). Whether or not it is within the range of), or whether or not the fluctuation of the peak detection time width is within the reference range (whether or not the peak detection time width is superimposed on the output signals of the magnetic sensors 10 and 12). Is within the reference range) (S2), the judgment result (normal or abnormal) is output, and the judgment result (result of judgment 2) is displayed on the display screen of the display device, and this routine is used. Ends the processing in.

コンピュータ38は、ステップS1の判定結果が正常(○)で、ステップS2の判定結果が正常(○)である場合、軸受52は、「正常」であり、ステップS1、S2の処理を組み合わせた判定結果を「A(A判定)」とし、これらの情報を表示装置の表示画面上に表示する。コンピュータ38は、ステップS1の判定結果が正常(○)で、ステップS2の判定結果が異常(×)である場合、「軸受52が一度摩耗した後の状態(軸受52内部のコロ52aが異常運動している状態)」であり、ステップS1、S2の処理を組み合わせた判定結果を「B(B判定)」とし、これらの情報を表示装置の表示画面上に表示する。コンピュータ38は、ステップS1の判定結果が異常(×)で、ステップS2の判定結果が正常(○)である場合、「軸受52が無理に回転している状態(軸受52が異常振動している状態)」であり、ステップS1、S2の処理を組み合わせた判定結果を「B(B判定)」とし、これらの情報を表示装置の表示画面上に表示する。さらに、コンピュータ38は、ステップS1の判定結果が異常(×)で、ステップS2の判定結果が異常(×)である場合、「軸受52がロック状態」であり、ステップS1、S2の処理を組み合わせた判定結果を「C(C判定)」とし、これらの情報を表示装置の表示画面上に表示する。ただし、ここで示した「状態」は一例であり、異なる表現で示す「状態」の記載でも良い。 When the determination result in step S1 is normal (◯) and the determination result in step S2 is normal (◯), the computer 38 determines that the bearing 52 is “normal” and the processes of steps S1 and S2 are combined. The result is set as "A (A determination)", and these information are displayed on the display screen of the display device. When the determination result in step S1 is normal (◯) and the determination result in step S2 is abnormal (×), the computer 38 “states after the bearing 52 is once worn (abnormal movement of the roller 52a inside the bearing 52). The determination result obtained by combining the processes of steps S1 and S2 is defined as "B (B determination)", and these information are displayed on the display screen of the display device. When the determination result in step S1 is abnormal (x) and the determination result in step S2 is normal (◯), the computer 38 states that “the bearing 52 is forcibly rotating (the bearing 52 is vibrating abnormally). State) ”, and the determination result obtained by combining the processes of steps S1 and S2 is defined as“ B (B determination) ”, and these information are displayed on the display screen of the display device. Further, when the determination result in step S1 is abnormal (x) and the determination result in step S2 is abnormal (x), the computer 38 is "the bearing 52 is in the locked state" and combines the processes of steps S1 and S2. The determination result is set to "C (C determination)", and these information are displayed on the display screen of the display device. However, the "state" shown here is an example, and the description of the "state" shown in a different expression may be used.

本実施例によれば、少なくとも軸受52から発生する磁気の変化を検知して軸受52の状態を確実に検査することができる。即ち、ステップS1の結果が正常で、ステップS2の結果が正常である組合せ以外の場合には、軸受52の状態は正常でないと判定することができる。また。ステップS1の結果が正常で、ステップS2の結果が異常である場合には、軸受52が一度摩耗した後の状態であると判定し、ステップS1の結果が異常で、ステップS2の結果が正常である場合には、軸受52が無理に回転している状態であると判定し、ステップS1の結果が異常で、ステップS2の結果が異常である場合には、軸受52がロック状態であると判定することができる。 According to this embodiment, it is possible to reliably inspect the state of the bearing 52 by detecting at least the change in magnetism generated from the bearing 52. That is, if the result of step S1 is normal and the result of step S2 is other than the normal combination, it can be determined that the state of the bearing 52 is not normal. Also. When the result of step S1 is normal and the result of step S2 is abnormal, it is determined that the bearing 52 is in a state after being worn once, the result of step S1 is abnormal, and the result of step S2 is normal. In some cases, it is determined that the bearing 52 is forcibly rotating, and if the result of step S1 is abnormal and the result of step S2 is abnormal, it is determined that the bearing 52 is in the locked state. can do.

なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications. For example, the above-described embodiment has been described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to the one including all the described configurations. Further, it is possible to add / delete / replace a part of the configuration of the embodiment with another configuration.

また、上記の各構成、機能等は、それらの一部又は全部を、例えば、集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、SSD(Solid State Drive)等の記録装置、または、ICカード、SDカード、DVD等の記録媒体に記録して置くことができる。 Further, each of the above configurations, functions and the like may be realized by hardware by designing a part or all of them by, for example, an integrated circuit. Further, each of the above configurations, functions, and the like may be realized by software by the processor interpreting and executing a program that realizes each function. Information such as programs, tables, and files that realize each function should be recorded in a memory, a recording device such as a hard disk or SSD (Solid State Drive), or a recording medium such as an IC card, SD card, or DVD. Can be done.

10、12 磁気センサ、14 振動センサ、16、18 コイル、28 差動増幅器、38 コンピュータ、50 センサユニット、52 軸受、52a コロ(転動体)、54 ハウジング、60、62、側板、64 底板、72 磁石 10, 12 magnetic sensor, 14 vibration sensor, 16, 18 coil, 28 differential amplifier, 38 computer, 50 sensor unit, 52 bearing, 52a roller (rolling element), 54 housing, 60, 62, side plate, 64 bottom plate, 72 magnet

Claims (14)

軸受の振動を検出する振動センサと、
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、を有し、
前記判定器は、
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、
前記第1の値として、前記振動センサの出力信号から基準周波数帯域の振幅範囲を算出し、前記第2の値として、前記磁気センサの出力信号から前記軸受に属するコロの回転速度又は前記磁気センサの出力信号に重畳するピーク位置のピーク検出時間幅の値を算出することを特徴とする軸受検査装置。
A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
It has a determination device for determining the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
The judgment device is
The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment ,
As the first value, the amplitude range of the reference frequency band is calculated from the output signal of the vibration sensor, and as the second value, the rotational speed of the roller belonging to the bearing or the magnetic sensor from the output signal of the magnetic sensor. A bearing inspection device characterized by calculating the value of the peak detection time width of the peak position superimposed on the output signal of.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、を有し、 It has a vibration sensor and a sensor unit that houses the magnetic sensor, which is formed in a box shape with a non-magnetic material.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定されることを特徴とする軸受検査装置。 A bearing inspection device characterized in that a plurality of magnets are arranged on the bottom thereof and are detachably fixed to the outer peripheral surface of a housing configured as an annular magnetic body surrounding the bearing via the plurality of magnets.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、を有し、 It has a vibration sensor and a sensor unit that houses the magnetic sensor, which is formed in a box shape with a non-magnetic material.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定され、 A plurality of magnets are arranged on the bottom thereof, and are detachably fixed to the outer peripheral surface of the housing configured as an annular magnetic material surrounding the bearing via the plurality of magnets.
前記磁気センサは、 The magnetic sensor is
前記センサユニットの中心部であって、前記軸受に回転自在に支持される回転軸の軸方向と直交する方向に分かれて配置され、 It is a central portion of the sensor unit and is separately arranged in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft rotatably supported by the bearing.
前記複数の磁石は、 The plurality of magnets
少なくとも4個の磁石で構成され、 Consists of at least 4 magnets,
前記各磁石は、前記磁気センサのうち前記センサユニットの底部側に配置された一方の磁気センサを中心に、前記一方の磁気センサから等距離の位置に分散して配置されると共に、相隣接する磁石と極性が反対となる向きで配置されることを特徴とする軸受検査装置。 The magnets are distributed and arranged at equal distances from the one magnetic sensor centering on one of the magnetic sensors arranged on the bottom side of the sensor unit, and are adjacent to each other. A bearing inspection device characterized in that it is arranged in a direction opposite to that of a magnet.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、を有し、 It has a vibration sensor and a sensor unit that houses the magnetic sensor, which is formed in a box shape with a non-magnetic material.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記第1の値として、前記振動センサの出力信号から基準周波数帯域の振幅範囲を算出し、前記第2の値として、前記磁気センサの出力信号から前記軸受に属するコロの回転速度又は前記磁気センサの出力信号に重畳するピーク位置のピーク検出時間幅の値を算出し、 As the first value, the amplitude range of the reference frequency band is calculated from the output signal of the vibration sensor, and as the second value, the rotational speed of the roller belonging to the bearing or the magnetic sensor from the output signal of the magnetic sensor. Calculate the value of the peak detection time width of the peak position superimposed on the output signal of
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定されることを特徴とする軸受検査装置。 A bearing inspection device characterized in that a plurality of magnets are arranged on the bottom thereof and are detachably fixed to the outer peripheral surface of a housing configured as an annular magnetic body surrounding the bearing via the plurality of magnets.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、を有し、 It has a vibration sensor and a sensor unit that houses the magnetic sensor, which is formed in a box shape with a non-magnetic material.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記第1の値として、前記振動センサの出力信号から基準周波数帯域の振幅範囲を算出し、前記第2の値として、前記磁気センサの出力信号から前記軸受に属するコロの回転速度又は前記磁気センサの出力信号に重畳するピーク位置のピーク検出時間幅の値を算出し、 As the first value, the amplitude range of the reference frequency band is calculated from the output signal of the vibration sensor, and as the second value, the rotational speed of the roller belonging to the bearing or the magnetic sensor from the output signal of the magnetic sensor. Calculate the value of the peak detection time width of the peak position superimposed on the output signal of
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定され、 A plurality of magnets are arranged on the bottom thereof, and are detachably fixed to the outer peripheral surface of the housing configured as an annular magnetic material surrounding the bearing via the plurality of magnets.
前記磁気センサは、 The magnetic sensor is
前記センサユニットの中心部であって、前記軸受に回転自在に支持される回転軸の軸方向と直交する方向に分かれて配置され、 It is a central portion of the sensor unit and is separately arranged in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft rotatably supported by the bearing.
前記複数の磁石は、 The plurality of magnets
少なくとも4個の磁石で構成され、 Consists of at least 4 magnets,
前記各磁石は、前記磁気センサのうち前記センサユニットの底部側に配置された一方の磁気センサを中心に、前記一方の磁気センサから等距離の位置に分散して配置されると共に、相隣接する磁石と極性が反対となる向きで配置されることを特徴とする軸受検査装置。 The magnets are distributed and arranged at equal distances from the one magnetic sensor centering on one of the magnetic sensors arranged on the bottom side of the sensor unit, and are adjacent to each other. A bearing inspection device characterized in that it is arranged in a direction opposite to that of a magnet.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
前記磁気センサのうち一方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第1のコイルと、 A first coil that forms a magnetic field around one of the magnetic sensors,
前記磁気センサのうち他方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第2のコイルと、 A second coil of the magnetic sensors that forms a magnetic field around the other magnetic sensor,
前記第1のコイルと前記判定器とを結ぶ第1の信号伝達器と、 A first signal transmitter connecting the first coil and the determination device,
前記第2のコイルと前記判定器とを結ぶ第2の信号伝達器と、を有し、 It has a second signal transmitter that connects the second coil and the determination device.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記一方の磁気センサの検出による第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の制御信号を生成し、前記生成した第1の制御信号を前記第1の信号伝達器を介して前記第1のコイルに伝達し、前記第1のコイルから前記第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の磁場を発生させ、 A first control signal for canceling the first offset magnetic field due to the detection of the one magnetic sensor is generated, and the generated first control signal is transmitted to the first control signal via the first signal transmitter. A first magnetic field is generated from the first coil to cancel the first offset magnetic field by transmitting to the coil.
前記他方の磁気センサの検出による第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の制御信号を生成し、前記生成した第2の制御信号を前記第2の信号伝達器を介して前記第2のコイルに伝達し、前記第2のコイルから前記第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の磁場を発生させることを特徴とする軸受検査装置。 A second control signal for canceling the second offset magnetic field due to the detection of the other magnetic sensor is generated, and the generated second control signal is transmitted to the second control signal via the second signal transmitter. A bearing inspection apparatus comprising transmitting to a coil and generating a second magnetic field for canceling the second offset magnetic field from the second coil.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
前記磁気センサのうち一方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第1のコイルと、 A first coil that forms a magnetic field around one of the magnetic sensors,
前記磁気センサのうち他方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第2のコイルと、 A second coil of the magnetic sensors that forms a magnetic field around the other magnetic sensor,
前記第1のコイルと前記判定器とを結ぶ第1の信号伝達器と、 A first signal transmitter connecting the first coil and the determination device,
前記第2のコイルと前記判定器とを結ぶ第2の信号伝達器と、を有し、 It has a second signal transmitter that connects the second coil and the determination device.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記第1の値として、前記振動センサの出力信号から基準周波数帯域の振幅範囲を算出し、前記第2の値として、前記磁気センサの出力信号から前記軸受に属するコロの回転速度又は前記磁気センサの出力信号に重畳するピーク位置のピーク検出時間幅の値を算出し、 As the first value, the amplitude range of the reference frequency band is calculated from the output signal of the vibration sensor, and as the second value, the rotational speed of the roller belonging to the bearing or the magnetic sensor from the output signal of the magnetic sensor. Calculate the value of the peak detection time width of the peak position superimposed on the output signal of
前記一方の磁気センサの検出による第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の制御信号を生成し、前記生成した第1の制御信号を前記第1の信号伝達器を介して前記第1のコイルに伝達し、前記第1のコイルから前記第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の磁場を発生させ、 A first control signal for canceling the first offset magnetic field due to the detection of the one magnetic sensor is generated, and the generated first control signal is transmitted to the first control signal via the first signal transmitter. A first magnetic field is generated from the first coil to cancel the first offset magnetic field by transmitting to the coil.
前記他方の磁気センサの検出による第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の制御信号を生成し、前記生成した第2の制御信号を前記第2の信号伝達器を介して前記第2のコイルに伝達し、前記第2のコイルから前記第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の磁場を発生させることを特徴とする軸受検査装置。 A second control signal for canceling the second offset magnetic field due to the detection of the other magnetic sensor is generated, and the generated second control signal is transmitted to the second control signal via the second signal transmitter. A bearing inspection apparatus comprising transmitting to a coil and generating a second magnetic field for canceling the second offset magnetic field from the second coil.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、 A sensor unit formed in a box shape with a non-magnetic material and accommodating the vibration sensor and the magnetic sensor,
前記磁気センサのうち一方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第1のコイルと、 A first coil that forms a magnetic field around one of the magnetic sensors,
前記磁気センサのうち他方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第2のコイルと、 A second coil of the magnetic sensors that forms a magnetic field around the other magnetic sensor,
前記第1のコイルと前記判定器とを結ぶ第1の信号伝達器と、 A first signal transmitter connecting the first coil and the determination device,
前記第2のコイルと前記判定器とを結ぶ第2の信号伝達器と、を有し、 It has a second signal transmitter that connects the second coil and the determination device.
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定され、 A plurality of magnets are arranged on the bottom thereof, and are detachably fixed to the outer peripheral surface of the housing configured as an annular magnetic material surrounding the bearing via the plurality of magnets.
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記一方の磁気センサの検出による第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の制御信号を生成し、前記生成した第1の制御信号を前記第1の信号伝達器を介して前記第1のコイルに伝達し、前記第1のコイルから前記第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の磁場を発生させ、 A first control signal for canceling the first offset magnetic field due to the detection of the one magnetic sensor is generated, and the generated first control signal is transmitted to the first control signal via the first signal transmitter. A first magnetic field is generated from the first coil to cancel the first offset magnetic field by transmitting to the coil.
前記他方の磁気センサの検出による第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の制御信号を生成し、前記生成した第2の制御信号を前記第2の信号伝達器を介して前記第2のコイルに伝達し、前記第2のコイルから前記第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の磁場を発生させることを特徴とする軸受検査装置。 A second control signal for canceling the second offset magnetic field due to the detection of the other magnetic sensor is generated, and the generated second control signal is transmitted to the second control signal via the second signal transmitter. A bearing inspection apparatus comprising transmitting to a coil and generating a second magnetic field for canceling the second offset magnetic field from the second coil.
軸受の振動を検出する振動センサと、 A vibration sensor that detects the vibration of the bearing and
前記軸受から発生する磁気を検出する複数の磁気センサと、 A plurality of magnetic sensors that detect the magnetism generated from the bearing, and
前記振動センサの出力信号と前記磁気センサの出力信号を基に前記軸受の状態を判定する判定器と、 A determination device that determines the state of the bearing based on the output signal of the vibration sensor and the output signal of the magnetic sensor.
非磁性体で箱型に形成されて前記振動センサと前記磁気センサを収納するセンサユニットと、 A sensor unit formed in a box shape with a non-magnetic material and accommodating the vibration sensor and the magnetic sensor,
前記磁気センサのうち一方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第1のコイルと、 A first coil that forms a magnetic field around one of the magnetic sensors,
前記磁気センサのうち他方の磁気センサの周囲に磁場を形成する第2のコイルと、 A second coil of the magnetic sensors that forms a magnetic field around the other magnetic sensor,
前記第1のコイルと前記判定器とを結ぶ第1の信号伝達器と、 A first signal transmitter connecting the first coil and the determination device,
前記第2のコイルと前記判定器とを結ぶ第2の信号伝達器と、を有し、 It has a second signal transmitter that connects the second coil and the determination device.
前記センサユニットは、 The sensor unit is
その底部に複数の磁石が配置され、前記軸受を囲む環状の磁性体として構成されたハウジングの外周面に前記複数の磁石を介して着脱自在に固定され、 A plurality of magnets are arranged on the bottom thereof, and are detachably fixed to the outer peripheral surface of the housing configured as an annular magnetic material surrounding the bearing via the plurality of magnets.
前記磁気センサは、 The magnetic sensor is
前記センサユニットの中心部であって、前記軸受に回転自在に支持される回転軸の軸方向と直交する方向に分かれて配置され、 It is a central portion of the sensor unit and is separately arranged in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft rotatably supported by the bearing.
前記複数の磁石は、 The plurality of magnets
少なくとも4個の磁石で構成され、 Consists of at least 4 magnets,
前記各磁石は、前記磁気センサのうち前記センサユニットの底部側に配置された一方の磁気センサを中心に、前記一方の磁気センサから等距離の位置に分散して配置されると共に、相隣接する磁石と極性が反対となる向きで配置され、 The magnets are distributed and arranged at equal distances from the one magnetic sensor around the one magnetic sensor arranged on the bottom side of the sensor unit among the magnetic sensors, and are adjacent to each other. Arranged in the opposite direction to the magnet,
前記判定器は、 The judgment device is
前記振動センサの出力信号から得られた第1の値が第1の基準値の範囲内にあるか否かの第1の判定を実行すると共に、前記磁気センサの出力信号から得られた第2の値が第2の基準値の範囲内にあるか否かの第2の判定を実行し、前記第1の判定の結果と前記第2の判定の結果とから少なくとも前記軸受の正常の有無を判定し、 The first determination as to whether or not the first value obtained from the output signal of the vibration sensor is within the range of the first reference value is executed, and the second value obtained from the output signal of the magnetic sensor is executed. The second determination of whether or not the value of is within the range of the second reference value is executed, and at least the presence or absence of normality of the bearing is determined from the result of the first determination and the result of the second determination. Judgment,
前記一方の磁気センサの検出による第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の制御信号を生成し、前記生成した第1の制御信号を前記第1の信号伝達器を介して前記第1のコイルに伝達し、前記第1のコイルから前記第1のオフセット磁場をキャンセルするための第1の磁場を発生させ、 A first control signal for canceling the first offset magnetic field due to the detection of the one magnetic sensor is generated, and the generated first control signal is transmitted to the first control signal via the first signal transmitter. A first magnetic field is generated from the first coil to cancel the first offset magnetic field by transmitting to the coil.
前記他方の磁気センサの検出による第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の制御信号を生成し、前記生成した第2の制御信号を前記第2の信号伝達器を介して前記第2のコイルに伝達し、前記第2のコイルから前記第2のオフセット磁場をキャンセルするための第2の磁場を発生させることを特徴とする軸受検査装置。 A second control signal for canceling the second offset magnetic field due to the detection of the other magnetic sensor is generated, and the generated second control signal is transmitted to the second control signal via the second signal transmitter. A bearing inspection apparatus comprising transmitting to a coil and generating a second magnetic field for canceling the second offset magnetic field from the second coil.
請求項1〜9のうちいずれか1項に記載の軸受検査装置において、
前記判定器は、
前記第1の判定の結果が正常で、前記第2の判定の結果が正常である組合せ以外の場合には、前記軸受の状態は正常でないと判定することを特徴とする軸受検査装置。
The bearing inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9.
The judgment device is
A bearing inspection apparatus, characterized in that it is determined that the state of the bearing is not normal when the result of the first determination is normal and the result of the second determination is other than the normal combination.
請求項1〜9のうちいずれか1項に記載の軸受検査装置において、
前記判定器は、
前記第1の判定の結果が正常で、前記第2の判定の結果が異常である場合には、前記軸受内部のコロが異常運動している状態であると判定することを特徴とする軸受検査装置。
The bearing inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9.
The judgment device is
When the result of the first determination is normal and the result of the second determination is abnormal, it is determined that the roller inside the bearing is in an abnormal motion. Device.
請求項1〜9のうちいずれか1項に記載の軸受検査装置において、
前記判定器は、
前記第1の判定の結果が異常で、前記第2の判定の結果が正常である場合には、前記軸受が異常振動している状態であると判定することを特徴とする軸受検査装置。
The bearing inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9.
The judgment device is
A bearing inspection device, characterized in that, when the result of the first determination is abnormal and the result of the second determination is normal, it is determined that the bearing is in a state of abnormal vibration.
請求項1〜9のうちいずれか1項に記載の軸受検査装置において、
前記判定器は、
前記第1の判定の結果が異常で、前記第2の判定の結果が異常である場合には、前記軸受がロック状態であると判定することを特徴とする軸受検査装置。
The bearing inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9.
The judgment device is
A bearing inspection device, characterized in that, when the result of the first determination is abnormal and the result of the second determination is abnormal, it is determined that the bearing is in a locked state.
請求項1〜13のうちいずれか1項に記載の軸受検査装置において、
前記磁気センサと前記判定器との間には、前記磁気センサのうち一方の磁気センサの出力信号と他方の磁気センサの出力信号との差分に応じた電気信号を生成し、前記生成した電気信号を前記判定器に出力する差分増幅器を有することを特徴とする軸受検査装置。
In the bearing inspection apparatus according to any one of claims 1 to 13.
An electric signal corresponding to the difference between the output signal of one of the magnetic sensors and the output signal of the other magnetic sensor is generated between the magnetic sensor and the determination device, and the generated electric signal is generated. A bearing inspection device comprising a difference amplifier that outputs a signal to the determination device.
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