JP6972843B2 - 抵抗測定装置の校正方法、抵抗測定装置、基板検査装置、及び基準抵抗器 - Google Patents

Description

本発明は、抵抗を測定する抵抗測定装置の校正方法、抵抗測定装置、これを用いた基板検査装置、及び基準抵抗器に関する。

従来より、抵抗を測定する計測用回路を備えた基板検査装置において、計測用回路の校正に用いるために既知の抵抗を有する基準抵抗器（標準器）を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１には、計測部（計測用回路）は四端子法による抵抗測定が可能であること（段落００５５）、基準抵抗器となる抵抗Ｒ１の一端にピン端子Ｃ１，Ｃ２を接続し、抵抗Ｒ１の他端にピン端子Ｃ３，Ｃ４を接続すること（段落００９３、図１１）、及びピン端子Ｃ１〜Ｃ４を介して計測用回路に抵抗Ｒ１を接続し、抵抗Ｒ１の抵抗を測定して抵抗Ｒ１の既知の抵抗値との差を演算し、計測用回路の校正を行うことが記載されている（段落００９５）。

特開２０１５−５５５１６号公報

ところで、測定対象の抵抗が低抵抗である場合、低抵抗を測定可能な抵抗測定装置を校正するためには、低抵抗の基準抵抗器が必要になる。また、測定対象の抵抗値が変化した場合であっても高精度の抵抗測定を可能にするためには、校正用に、抵抗値の異なる複数の基準抵抗器が必要となる。

しかしながら、１ｍΩ程度の低抵抗の抵抗器は入手が困難であり、市販されていても入手可能な抵抗値が限られ、適切な抵抗値を有する基準抵抗器を入手することが困難である。このような低抵抗の基準抵抗器を入手する方法として、例えば銅を適切な長さと太さに加工することで、任意の抵抗値を有する基準抵抗器を作成することが考えられる。しかしながら、銅は電子部品として市販されている抵抗器と比べて抵抗温度係数が大きい。そのため、銅を用いた抵抗器では、抵抗値の精度が低下するという不都合がある。また、所望の抵抗値にするために銅をある程度の太さと長さにする必要があり、銅を用いた低抵抗の抵抗器は、小型化するのが容易でない。

本発明の目的は、低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易な基準抵抗器、抵抗測定装置の校正方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置を提供することである。

本発明に係る抵抗測定装置の校正方法は、測定対象に供給するための測定用電流を供給する電流供給部と前記測定対象に生じた電圧を測定するための電圧測定部と前記電圧測定部により測定された測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算することによって抵抗値を算出する抵抗算出部とを備える抵抗測定装置の校正方法であって、（ａ）それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と、予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗器を準備する工程と、（ｂ）前記基準抵抗器の、前記基礎抵抗に対して前記電流供給部によって前記測定用電流を供給させる工程と、（ｃ）前記複数の設定抵抗のうちの一又は連続する一部の設定抵抗である選択抵抗部の両端間の電圧を、前記電圧測定部によって前記測定電圧として測定させる工程と、（ｄ）前記抵抗算出部によって、前記測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算させることによって測定抵抗値Ｒｘを算出させる工程と、（ｅ）下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、前記測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する工程とを含む。基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（Ａ）但し、Ｒｔは前記選択抵抗部の抵抗値、Ｒｚは前記直列抵抗部全体の抵抗値である。

また、本発明に係る抵抗測定装置は、測定対象の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、前記測定対象に供給するための測定用電流を供給する電流供給部と、前記測定対象に生じた電圧を測定電圧として測定するための電圧測定部と、それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と、予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗器と、前記基準抵抗器の前記基礎抵抗に対して、前記電流供給部によって前記測定用電流を供給させる電流供給切替部と、前記複数の設定抵抗のうちの一又は連続する一部の設定抵抗である選択抵抗部の両端間の電圧を、前記電圧測定部によって前記測定電圧として測定させる測定対象切替部と、前記電圧測定部により測定された測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算することによって測定抵抗値Ｒｘを算出する抵抗算出部と、下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、前記測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する校正部とを備える。基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（Ａ）但し、Ｒｔは前記選択抵抗部の抵抗値、Ｒｚは前記直列抵抗部全体の抵抗値である。

これらの構成によれば、基準抵抗器の基礎抵抗に対して電流供給部によって測定用電流が供給され、この測定用電流によって基礎抵抗の両端に生じた電圧が直列抵抗部に印加され、その印加電圧が選択抵抗部によって分圧されて、電圧測定部によって測定電圧として測定される。さらに抵抗算出部によって、電圧測定部により測定された測定電圧が測定用電流の電流値で除算されて測定抵抗値Ｒｘが算出される。その結果、抵抗測定装置の測定結果が正確であれば、得られた測定抵抗値Ｒｘは、式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆと等しくなる。従って、基準抵抗値Ｒｒｅｆを校正の目標値として用いることができる。また、式（Ａ）から、基準抵抗値Ｒｒｅｆは基礎抵抗の基礎抵抗値Ｒｓより小さい。この場合、得ようとする低抵抗の基準抵抗値Ｒｒｅｆよりも抵抗値が大きく、従って入手が容易な基礎抵抗を用いて校正に利用可能な基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができるので、低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易である。

また、前記複数の設定抵抗のうち、一又は連続する一部の設定抵抗を、前記選択抵抗部として選択する選択部をさらに備えることが好ましい。

この構成によれば、選択部によって、任意の選択抵抗部を選択することができる。選択抵抗部を選択することができれば、式（Ａ）における選択抵抗部の抵抗値Ｒｚを選択することができる結果、基準抵抗値Ｒｒｅｆを変更することが可能になる。

また、前記校正部は、前記測定抵抗値Ｒｘを、下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆに近づけるように、前記抵抗測定装置を校正することが好ましい。

この構成によれば、抵抗測定装置の抵抗測定精度を調整することができる。

また、本発明に係る基板検査装置は、上述の抵抗測定装置と、前記電流供給切替部によって、前記電流供給部による前記測定用電流の供給先を前記測定対象に切り替えさせ、前記測定対象切替部によって、前記電圧測定部による前記測定電圧の測定先を前記測定対象に切り替えさせる切替制御部と、前記抵抗算出部によって算出された測定抵抗値Ｒｘに基づいて、前記測定対象である基板の検査を行う基板検査部とを備える。

この構成によれば、校正に用いるための低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易な基板検査装置を構成することができる。

また、本発明に係る基準抵抗器は、それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗本体部と、前記基礎抵抗の両端に接続され、測定用電流の入力を受け付けるための一対の電流入力端子と、前記複数の設定抵抗相互間の接続点のうち少なくとも三か所にそれぞれ接続され、基準抵抗値Ｒｒｅｆに対応する電圧を測定するための電圧測定用端子とを備える。

この構成によれば、一対の電流入力端子によって受け付けられた測定用電流の電流が基準抵抗器の基礎抵抗に対して供給され、この測定用電流によって基礎抵抗の両端に生じた電圧が直列抵抗部に印加され、その印加電圧が複数の設定抵抗によって分圧されて、その分圧電圧が少なくとも三つの電圧測定用端子間に生じる。この電圧を測定用電流で除算すると、式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆとなるから、基準抵抗器を、基準抵抗値Ｒｒｅｆを与える基準器として用いることができる。そして、式（Ａ）から、基準抵抗値Ｒｒｅｆは基礎抵抗の基礎抵抗値Ｒｓより小さい。この場合、得ようとする低抵抗の基準抵抗値Ｒｒｅｆよりも抵抗値が大きく、従って入手が容易な基礎抵抗を用いて基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができるので、低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易である。

また、前記基礎抵抗及び前記複数の設定抵抗は、銅よりも小さい抵抗温度係数を有することが好ましい。

この構成によれば、銅で作成された低抵抗の基準器よりも、温度安定性に優れた基準抵抗器となる。

また、前記直列抵抗部は、前記複数の設定抵抗として、第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八、第九、及び第十抵抗をこの順に含み、前記第一及び第二抵抗の抵抗値は１０Ω×Ｎ、前記第三〜第八抵抗の抵抗値は３０Ω×Ｎ、前記第九抵抗の抵抗値は１０Ω×Ｎ、前記第十抵抗の抵抗値は１２０Ω×Ｎ、Ｎは自然数であり、前記基礎抵抗値Ｒｓは３．３ｍΩ＋３．３ｍΩ×１０×Ｍ、Ｍは０以上の整数であり、前記第一〜第九抵抗相互間の接続点と、前記第一抵抗の前記第二抵抗とは反対側の端部とに、それぞれ前記電圧測定用端子が接続されていることが好ましい。

この構成によれば、複数の電圧測定用端子のうち二本を選んでその電圧を測定し、測定用電流で除算することにより、二本の選択の仕方に応じて連続する値の基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができる。

このような構成の基準抵抗器、抵抗測定装置の校正方法、抵抗測定装置、及び基板検査装置は、低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易である。

本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置を用いた基板検査装置の構成の一例を示すブロック図である。 図１に示す基準抵抗器の構成の一例を示す回路図である。 予め記憶部に記憶されるルックアップテーブルの一例を示す説明図である。 二端子測定法による抵抗測定装置を用いた基板検査装置に基準抵抗器を適用した例を示すブロック図である。 基準抵抗器を備えない基板検査装置を本発明の一実施形態に係る校正方法により校正する場合の構成例を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置の校正方法の一例を示すフローチャートである。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置を用いた基板検査装置１の構成の一例を示すブロック図である。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。

図１に示す基板検査装置１（抵抗測定装置）は、基準抵抗器３、電流供給部ＣＳ、電圧測定部４、電流プローブＰｃ１、電流プローブＰｃ２、検出プローブＰｖ１、検出プローブＰｖ２、切替回路６（電流供給切替部、測定対象切替部）、選択部７、及び制御部５を備えている。基板検査装置１は、基板検査のために抵抗測定を行うから、抵抗測定装置の一例に相当する。

図１は、検査対象となる基板Ａに対して、基板検査装置１の各プローブが接触された状態を示している。基板検査装置１は、いわゆる四端子測定法により、抵抗測定を行うようになっている。基板検査装置１から後述する基板検査部５５を除いた部分が抵抗測定装置の一例に相当している。

検査対象の基板は、例えば半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、フィルムキャリア、プリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板等の基板であってもよく、液晶ディスプレイ、ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等のディスプレイ用の電極板や、タッチパネル用等の透明導電板であってもよく、半導体ウェハ、半導体チップ、CSP(Chip size package)等の半導体基板等々種々の基板であってもよい。

また、検査対象の基板は、半導体チップ等の電子部品が埋め込まれた部品内蔵基板（エンベデッド基板）であってもよい。また、検査対象は基板に限られず、半導体チップ等の電子部品であってもよい。検査対象の基板や電子部品には、配線パターン、パッド、ランド、半田バンプ、及び端子等の検査点が形成されている。

図１では、検査対象の基板Ａとして半導体パッケージ用のインターポーザ基板の断面図を例示している。基板Ａの一方の面には、半導体チップと接続されるチップ側電極Ａ１が複数形成されている。基板Ａの他方の面には、半導体チップを外部と接続するための外向電極Ａ２が複数形成されている。

各チップ側電極Ａ１と各外向電極Ａ２とは、基板Ａの厚み方向を貫通するように形成された配線Ａ３（導体）によってそれぞれ導通接続されている。基板検査装置１は、各配線Ａ３の抵抗値を測定し、検査する。配線Ａ３は測定対象の一例に相当している。以下、電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２、及び検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２のことを、単にプローブＰｃ１，Ｐｃ２，Ｐｖ１，Ｐｖ２と記載することがある。

プローブＰｃ１，Ｐｃ２，Ｐｖ１，Ｐｖ２は、例えば直径が１００μｍ〜２００μｍ程度の弾性（可撓性）を有するワイヤ状の接触子である。電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２及び検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２は、例えばタングステン、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（Ｂｅ−Ｃｕ）等の金属その他の導電体で形成されている。

電流プローブＰｃ１及び検出プローブＰｖ１の先端は、基板Ａのチップ側電極Ａ１に接触される。電流プローブＰｃ２及び検出プローブＰｖ２の先端は、チップ側電極Ａ１から離間した位置で外向電極Ａ２に接触される。

図１では図示を簡略化してプローブＰｃ１，Ｐｃ２，Ｐｖ１，Ｐｖ２をそれぞれ一つずつ記載しているが、一枚の基板に対し、検査点が数百から数千設定されている場合があり、そのような多数の検査点に対応してプローブＰｃ１，Ｐｃ２，Ｐｖ１，Ｐｖ２がそれぞれ数百から数千設けられている場合がある。

電流供給部ＣＳは、一定の電流を流す定電流回路である。測定用電流Ｉの電流値Ｉｓは、例えば２０ｍＡ程度とされている。電流供給部ＣＳは、切替回路６によって選択された電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２間、又は選択部７を介して基準抵抗器３へ、測定用電流Ｉを供給する。

電圧測定部４は、検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２間の電圧、又は後述する基準抵抗器３の選択抵抗端子の電圧を測定する。電圧測定部４は、例えばアナログデジタルコンバータや分圧抵抗等を用いて構成されている。電圧測定部４は、切替回路６によって選択された検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２間の電圧を測定電圧Ｖｘとして測定し、あるいは選択抵抗端子の電圧を測定電圧Ｖｘとして測定し、測定電圧Ｖｘを示すデータを制御部５へ出力する。

基準抵抗器３は、校正のための基準となる基準抵抗値Ｒｒｅｆを提供する。図２は、図１に示す基準抵抗器３の構成の一例を示す回路図である。図２に示す基準抵抗器３は、基準抵抗本体部３１と、端子Ｔｓ１，Ｔｓ２（電流入力端子）と、端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔ５，Ｔ６，Ｔ７，Ｔ８，Ｔ９（電圧測定用端子）とを備えている。

基準抵抗本体部３１は、抵抗Ｒｓｔｄ（基礎抵抗）と、抵抗Ｒ１（第一抵抗），Ｒ２（第二抵抗），Ｒ３（第三抵抗），Ｒ４（第四抵抗），Ｒ５（第五抵抗），Ｒ６（第六抵抗），Ｒ７（第七抵抗），Ｒ８（第八抵抗），ＲＡ（第九抵抗），ＲＢ（第十抵抗）が直列接続された直列抵抗部３２との並列回路から構成されている。抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７，Ｒ８，ＲＡ，ＲＢは、設定抵抗の一例に相当している。

抵抗Ｒｓｔｄの一端に端子Ｔｓ１が接続され、抵抗Ｒｓｔｄの他端に端子Ｔｓ２が接続されている。抵抗Ｒ１の抵抗Ｒ２とは反対側の端部に端子Ｔ１が接続され、抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ相互間の接続点に、それぞれ端子Ｔ２〜Ｔ９が接続されている。抵抗Ｒｓｔｄ、及び抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢの抵抗温度係数は、銅の温度係数よりも小さな値にされている。

以下、抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値をＲｓ、抵抗Ｒ１〜Ｒ８の抵抗値をＲ_１〜Ｒ_８、抵抗ＲＡ，ＲＢの抵抗値をＲａ、Ｒｂと表記する。

切替回路６は、電流供給部ＣＳの接続先を、電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２と基準抵抗器３との間で切り替え可能にされている。また、切替回路６は、電圧測定部４の接続先を、検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２と選択部７との間で切り替え可能にされている。

切替回路６は、例えばスイッチ６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂを含む複数のスイッチを備えている。これらのスイッチは、例えばトランジスタ等の半導体スイッチや、リレースイッチ等、種々のスイッチング素子である。各スイッチは、例えば制御部５からの制御信号に応じてオン、オフする。

具体的には、電流供給部ＣＳの正極（＋）は、スイッチ６１ａの一端とスイッチ６１ｂの一端とに接続され、スイッチ６１ａの他端が電流プローブＰｃ１に接続され、スイッチ６１ｂの他端が基準抵抗器３の端子Ｔｓ１に接続されている。電流供給部ＣＳの負極（−）は、スイッチ６２ａの一端とスイッチ６２ｂの一端とに接続され、スイッチ６２ａの他端が電流プローブＰｃ２に接続され、スイッチ６２ｂの他端が基準抵抗器３の端子Ｔｓ２に接続されている。

電圧測定部４の正極側（＋）端子は、スイッチ６３ａの一端とスイッチ６３ｂの一端とに接続され、スイッチ６３ａの他端が検出プローブＰｖ１に接続され、スイッチ６３ｂの他端が選択部７を介して基準抵抗器３に接続されている。電圧測定部４の負極側（−）端子は、スイッチ６４ａの一端とスイッチ６４ｂの一端とに接続され、スイッチ６４ａの他端が検出プローブＰｖ２に接続され、スイッチ６４ｂの他端が選択部７を介して基準抵抗器３に接続されている。

これにより、スイッチ６１ａ，６２ａがオン、スイッチ６１ｂ，６２ｂがオフされると、測定用電流Ｉの供給先が、測定対象の配線Ａ３側に切り替えられ、配線Ａ３の抵抗測定可能な状態にされる。一方、スイッチ６１ａ，６２ａがオフ、スイッチ６１ｂ，６２ｂがオンされると、測定用電流Ｉの供給先が基準抵抗器３の端子Ｔｓ１，Ｔｓ２側に切り替えられ、校正可能な状態にされる。スイッチ６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂは、電流供給切替部の一例に相当している。

スイッチ６３ａ，６４ａがオン、スイッチ６３ｂ，６４ｂがオフされると、電圧測定部４による測定電圧Ｖｘの測定先が、測定対象の配線Ａ３側に切り替えられ、配線Ａ３の抵抗測定可能な状態にされる。一方、スイッチ６３ａ，６４ａがオフ、スイッチ６３ｂ，６４ｂがオンされると、電圧測定部４による測定電圧Ｖｘの測定先が、選択部７で選択された基準抵抗器３の端子間側に切り替えられ、校正可能な状態にされる。スイッチ６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂは、測定対象切替部の一例に相当している。

選択部７は、いわゆるマルチプレクサ回路である。選択部７は、制御部５からの制御信号に応じて端子Ｔ１〜Ｔ９のうち二端子を選択し、スイッチ６３ｂ，６４ｂに接続することによって、選択された二端子間の選択抵抗部を選択する。以下、選択抵抗部の両端に位置する二端子を選択抵抗端子と称する。すなわち、選択抵抗端子間に挟まれた抵抗が、選択抵抗部である。

制御部５は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を記憶する不揮発性の記憶装置、及びこれらの周辺回路等を備えたいわゆるマイクロコンピュータである。記憶装置は、記憶部５６としても用いられる。制御部５は、所定の制御プログラムを実行することによって、切替制御部５２、抵抗算出部５３、校正部５４、及び基板検査部５５として機能する。

図３は、予め記憶部５６に記憶されるルックアップテーブルＬＵＴの一例を示す説明図である。図３に示すルックアップテーブルＬＵＴは、図２に示す基準抵抗器３において、抵抗値Ｒ_１，Ｒ_２を１０Ω、抵抗値Ｒ_３〜Ｒ_８を３０Ωとした場合の、選択抵抗端子及び選択抵抗部の抵抗値Ｒｔと、基準抵抗値Ｒｒｅｆとを対応付けている。

例えば、ルックアップテーブルＬＵＴの「Ｔ３−Ｔ２：１０Ω」との記載は、選択抵抗端子が端子Ｔ３，Ｔ２であり、端子Ｔ３，Ｔ２に挟まれた選択抵抗部の抵抗値Ｒｔが１０Ωであることを示している。

タイプＡ〜Ｅは、抵抗値Ｒｓ，Ｒａ，Ｒｂの違いによって、異なる基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られることを示している。図２に示す基準抵抗器３では、抵抗値Ｒｓ，Ｒａ，Ｒｂは固定値であるから、基板検査装置１に備えられている基準抵抗器３のタイプに対応した部分のみをルックアップテーブルＬＵＴとして記憶部５６に記憶させておくようにしてもよい。

基準抵抗値Ｒｒｅｆと、抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値Ｒｓ及び選択抵抗部の抵抗値Ｒｔとの間には、略下記の式（Ａ）で示す関係がある。

基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（Ａ）
但し、Ｒｚは直列抵抗部３２全体の抵抗値であり、Ｒｚ＝Ｒ_１＋Ｒ_２＋Ｒ_３＋Ｒ_４＋Ｒ_５＋Ｒ_６＋Ｒ_７＋Ｒ_８＋Ｒａ＋Ｒｂ=３３０Ωである。ルックアップテーブルＬＵＴは、予め式（Ａ）に基づき計算され、記憶部５６に記憶されている。

例えば、タイプＡで、選択抵抗端子が端子Ｔ３，Ｔ２であれば、Ｒｓ＝３．３ｍΩ、Ｒｔ＝１０Ω、Ｒｚ＝３３０Ωであるから、式（Ａ）に代入すると、基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝３．３ｍΩ×１０Ω／３３０Ω＝０．１ｍΩとなり、ルックアップテーブルＬＵＴと一致する。

切替制御部５２は、測定対象の抵抗測定を行うときは、スイッチ６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂによって、電流供給部ＣＳによる測定用電流Ｉの供給先を基板Ａに切り替えさせ、スイッチ６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂによって、電圧測定部４による測定電圧Ｖｘの測定先を基板Ａに切り替えさせる。以下、この切替状態を測定モードと称する。

また、切替制御部５２は、抵抗測定の校正を行うときは、スイッチ６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂによって、電流供給部ＣＳによる測定用電流Ｉの供給先を端子Ｔｓ１，Ｔｓ２（抵抗Ｒｓｔｄ）に切り替えさせ、スイッチ６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂによって、電圧測定部４による測定電圧の測定先を、選択部７で選択された基準抵抗器３の選択抵抗部に切り替えさせる。以下、この切替状態を校正モードと称する。

これにより、校正モードでは、基準抵抗器３の抵抗Ｒｓｔｄ（基礎抵抗）に対して電流供給部ＣＳによって測定用電流Ｉが供給され（工程（ｂ））、選択抵抗部の両端間の電圧が電圧測定部４によって測定電圧Ｖｘとして測定される（工程（ｃ））。

なお、本明細書において、「校正」とは、ＪＩＳ Ｚ ８１０３：２０００「計測用語」の定義に従い、計器又は測定系の示す値（測定抵抗値Ｒｘ）と、標準によって実現される値（基準抵抗値Ｒｒｅｆ）との間の関係を確定することを意味し、必ずしも基板検査装置１を調整して誤差を修正することは含まない。

抵抗算出部５３は、電圧測定部４によって検出された測定電圧Ｖｘと、測定用電流Ｉの電流値Ｉｓとに基づき、下記の式（１）を用いて測定抵抗値Ｒｘを算出する（工程（ｄ））。
測定抵抗値Ｒｘ＝Ｖｘ／Ｉｓ ・・・（１）

なお、基板検査装置１（抵抗測定装置）は、測定用電流Ｉの実際の電流値Ｉｓを測定する電流測定部を備え、抵抗算出部５３は、電流測定部によって測定された電流値Ｉｓと測定電圧Ｖｘとを用いて測定抵抗値Ｒｘを算出してもよい。

校正部５４は、記憶部５６に記憶されたルックアップテーブルＬＵＴを参照し、選択部７によって選択される選択抵抗端子に対応する基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得する（工程（ｅ））。ルックアップテーブルＬＵＴの基準抵抗値Ｒｒｅｆは、式（Ａ）で示される値とされているから、校正部５４は、ルックアップテーブルＬＵＴを参照することによって、式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得することができる。式（Ａ）によって、校正の目標値である基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られる原理については後述する。

なお、校正部５４は、必ずしもルックアップテーブルＬＵＴを参照することによって、基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得する例に限らない。校正部５４は、実際に式（Ａ）の計算を実行することによって、基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得してもよい。

また、校正部５４は、予め設定された、あるいは基板検査装置１に外部から入力された基準抵抗値Ｒｒｅｆをそのまま取得してもよい。そして、校正部５４は、上記ルックアップテーブルを参照してその基準抵抗値Ｒｒｅｆと対応する選択抵抗端子を取得し、選択部７によって、その選択抵抗端子に対応する電圧測定用端子を選択させるようにしてもよい。

校正モードにおいて、抵抗算出部５３によって測定抵抗値Ｒｘが算出され、校正部５４によって基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られたならば、計器又は測定系の示す値（測定抵抗値Ｒｘ）と、標準によって実現される値（基準抵抗値Ｒｒｅｆ）との間の関係が対応付けられて確定されたことになるので、工程（ｂ）〜（ｅ）は、校正に相当する。

校正部５４は、測定抵抗値Ｒｘを、基準抵抗値Ｒｒｅｆに近づけるように、電流供給部ＣＳ、電圧測定部４、又は測定用電流Ｉの実際の電流値Ｉｓを測定する電流測定部等を調整して誤差を修正する工程を実行するようにしてもよい。

あるいは、校正部５４は、例えば選択抵抗部（選択抵抗端子）を順次切り替えつつ、工程（ｂ）〜（ｅ）を実行し、各選択抵抗部に対応して得られた測定抵抗値Ｒｘと基準抵抗値Ｒｒｅｆとを対応付ける校正テーブル、あるいは測定抵抗値Ｒｘと基準抵抗値Ｒｒｅｆとの差を測定抵抗値Ｒｘに対応付ける校正テーブルを作成して記憶部５６に記憶させてもよい。そして、抵抗算出部５３は、測定モードにおいて測定抵抗値Ｒｘを算出した後、校正テーブルを参照してその測定抵抗値Ｒｘに対応付けられた基準抵抗値Ｒｒｅｆ又は差に基づいて測定抵抗値Ｒｘを補正するようにしてもよい。

また、校正部５４は、測定抵抗値Ｒｘと基準抵抗値Ｒｒｅｆとを含む校正情報を、例えば図略の表示装置に表示させたり、図略の通信回路を用いて外部に送信したりする等して、保守作業者やユーザ等に通知してもよい。校正情報が通知された保守作業者等は、通知された校正情報に基づいて、測定抵抗値Ｒｘを基準抵抗値Ｒｒｅｆに近づけるように基板検査装置１を調整することが可能となる。

基板検査部５５は、測定モードにおいて、抵抗算出部５３によって算出された測定抵抗値Ｒｘに基づき、測定対象である配線Ａ３の検査を行う。具体的には、基板検査部５５は、予め記憶部に記憶された判定基準値ＲＲと、測定抵抗値Ｒｘとを比較し、測定抵抗値Ｒｘが判定基準値ＲＲより小さかった場合、その配線Ａ３を良品と判定し、測定抵抗値Ｒｘが判定基準値ＲＲ以上であった場合、その配線Ａ３を不良と判定する。

次に、基準抵抗器３を用いて、ルックアップテーブルＬＵＴすなわち式（Ａ）に基づいて校正の目標値である基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られる原理について説明する。

校正モードでは、切替回路６によって、電流供給部ＣＳから出力された電流値Ｉｓの測定用電流Ｉが端子Ｔｓ１，Ｔｓ２に供給され、抵抗Ｒｓｔｄに流れる。なお、抵抗Ｒｓｔｄと直列抵抗部３２とは並列接続されているから、厳密には測定用電流Ｉは抵抗Ｒｓｔｄと直列抵抗部３２とに分流することになる。しかしながら、直列抵抗部３２の抵抗値Ｒｚが抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値Ｒｓよりも充分大きければ、直列抵抗部３２に流れる電流は無視できる。そこで、測定用電流Ｉはすべて抵抗Ｒｓｔｄを流れるものと近似して説明する。

例えば、ルックアップテーブルＬＵＴに示すタイプＡの場合、直列抵抗部３２の抵抗値Ｒｚ＝３３０Ω、抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値Ｒｓ＝３．３ｍΩであり、Ｒｚ：Ｒｓ＝１０００００：１となる。Ｒｚ、Ｒｓに流れる電流値は抵抗比の逆比となるから、直列抵抗部３２に流れる電流は、抵抗Ｒｓｔｄに流れる電流の１／１０００００となり、略無視できる。

抵抗Ｒｓｔｄに電流値Ｉｓの測定用電流Ｉが流れると、抵抗Ｒｓｔｄの両端間の電圧Ｖｓは、Ｖｓ＝Ｉｓ×Ｒｓとなる。抵抗Ｒｓｔｄと直列抵抗部３２とは並列接続されているから、直列抵抗部３２にも電圧Ｖｓが印加される。そうすると、二本の選択抵抗端子間に生じる測定電圧Ｖｘは、直列抵抗部３２の抵抗値Ｒｚと選択抵抗部の抵抗値Ｒｔとの分圧により、下記の式（２）で表される。
測定電圧Ｖｘ＝Ｖｓ×（Ｒｔ／Ｒｚ）＝Ｉｓ×Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（２）

ここで、式（Ａ）から、基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚである。式（２）に式（Ａ）を代入すると、

測定電圧Ｖｘ＝Ｉｓ×Ｒｒｅｆ ・・・（３）
となる。

校正モードでは、切替回路６及び選択部７によって、選択抵抗端子が電圧測定部４に接続され、二本の選択抵抗端子間に生じた測定電圧Ｖｘが電圧測定部４で測定される。電圧測定部４で測定された測定電圧Ｖｘから、抵抗算出部５３によって、上記式（１）を用いて測定抵抗値Ｒｘが算出される。ここで、式（１）に式（３）を代入すると、下記の式（４）が得られる。
測定抵抗値Ｒｘ＝Ｖｘ／Ｉｓ＝（Ｉｓ×Ｒｒｅｆ）／Ｉｓ＝Ｒｒｅｆ ・・・（４）

式（４）から、校正モードにおいて、抵抗算出部５３で算出される測定抵抗値Ｒｘは、基準抵抗値Ｒｒｅｆと等しくなる。

すなわち、電流供給部ＣＳから出力される測定用電流Ｉの電流値Ｉｓと、電圧測定部４の検出精度とが正確であれば、基準抵抗器３の、抵抗Ｒｓｔｄ（基礎抵抗）に対して電流供給部ＣＳによって測定用電流Ｉを供給させる工程（ｂ）と、選択抵抗部の両端間の電圧を、電圧測定部４によって測定電圧Ｖｘとして測定させる工程（ｃ）と、抵抗算出部５３によって、測定電圧Ｖｘを測定用電流Ｉの電流値Ｉｓで除算させることによって測定抵抗値Ｒｘを算出させる工程（ｄ）とを実行することによって、基準抵抗器３を、等価的に基準抵抗値Ｒｒｅｆを有する基準抵抗体として利用できることがわかる。

従って、電流供給部ＣＳ、電圧測定部４、及び抵抗算出部５３を含む抵抗測定回路系の測定精度が正確であれば、校正モードにおいて抵抗算出部５３で得られる測定抵抗値Ｒｘは、式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆ、すなわちルックアップテーブルＬＵＴで示される基準抵抗値Ｒｒｅｆと一致するはずであるから、校正部５４は、基準抵抗値Ｒｒｅｆを校正の目標値として用いることができる。

ここで、式（Ａ）から、基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚであるから、分圧比（Ｒｔ／Ｒｚ）によって、抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値Ｒｓよりも小さな基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができる。

例えば、図３に示すタイプＡのように、抵抗Ｒｓｔｄとして抵抗値Ｒｓが３．３ｍΩの抵抗を一つ用いれば、抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢは分圧に用いられるだけなので、市場で入手が容易な抵抗値、例えば１０〜１２０Ωの抵抗を用いることができる。その結果、低抵抗の３．３ｍΩの抵抗Ｒｓｔｄを一つと、入手容易な抵抗値範囲の抵抗を用いて基準抵抗器３を構成することができる。

また、基準抵抗器３によれば、３．３ｍΩの抵抗Ｒｓｔｄよりもさらに低抵抗であるために市場での入手が困難な、０．１ｍΩ〜２．０ｍΩの基準抵抗値Ｒｒｅｆを、入手が容易な抵抗値の抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢ、及び抵抗Ｒｓｔｄを組み合わせることによって得ることができるので、低抵抗の基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることが容易となる。

また、０．２ｍΩのような低抵抗の特殊な抵抗は、入手困難であるのみならず、入手できたとしても高価である可能性が高い。一方、抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢ，Ｒｓｔｄは、０．２ｍΩのような特殊な抵抗よりも入手が容易で安価である可能性が高く、従って、このような特殊な抵抗を用いる場合よりも基準抵抗器３の方が低コストにできる可能性がある。

また、基準抵抗器３は、複数の電圧測定用端子Ｔ１〜Ｔ９を備え、これらの中から選択抵抗端子を選択することによって、複数種類の基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができる。従って、抵抗値の異なる複数の基準抵抗を備える必要がなく、利便性が向上する。また、複数の基準抵抗を備えるよりも、基準抵抗器３の方が低コストにできる可能性がある。

例えば、図３に示すタイプＡ〜Ｅでは、抵抗値Ｒｓを１０倍ずつ大きくすることによって、タイプＡでは、０．１ｍΩ〜２．０ｍΩまで０．１ｍΩ刻みの基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られ、タイプＢでは、１ｍΩ〜２０ｍΩまで１ｍΩ刻みの基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られ、以下、タイプＣ，Ｄ，Ｅでは１０倍ずつ大きな基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られ、抵抗値Ｒｓを変えるだけで所望の基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られるので、利便性が高い。

このように、連続する値の基準抵抗値Ｒｒｅｆが得られる基準抵抗器３は、抵抗Ｒ１，Ｒ２の抵抗値Ｒ_１，Ｒ_２を１０Ω×Ｎ、抵抗Ｒ３〜Ｒ８の抵抗値Ｒ_３〜Ｒ_８を３０Ω×Ｎ、抵抗ＲＡの抵抗値Ｒａを１０Ω×Ｎ、抵抗ＲＢの抵抗値Ｒｂを１２０Ω×Ｎ、Ｎは自然数とし、抵抗Ｒｓｔｄの抵抗値Ｒｓを３．３ｍΩ＋３．３ｍΩ×１０×Ｍ、Ｍは０以上の整数とすることによって得られる。

また、銅を加工して基準抵抗器を作成した場合、銅は抵抗温度係数が大きいために温度変化に起因する抵抗値の変動が生じ、抵抗値が不安定になる。一方、基準抵抗器３の場合、銅を用いずに、銅より遙かに抵抗温度係数の小さい市販の抵抗器を組み合わせて作成できるので、銅を加工して基準抵抗器を作成した場合よりも遙かに安定性の高い基準抵抗を容易に得ることができる。例えば、銅の温度係数が０．００３９３［１／℃］であるのに対し、例えばAlpha Electronics社製MPPシリーズ超精密チップ抵抗器では抵抗温度係数が０．２×１０^−６／℃程度であり、例えばパナソニック（株）社製低抵抗金属板抵抗器ERJM03Nでは抵抗温度係数が１００×１０^−６／℃程度である。

また、小さなチップ抵抗器が市販されているので、銅で抵抗器を構成する場合よりも小型化が容易である。また、市販の抵抗器を入手すればよいので、銅を加工するよりもリードタイムや加工費が安くなる可能性が高い。

なお、四端子測定法で抵抗測定を行う基板検査装置１に基準抵抗器３を備える例を示したが、例えば図４に示すように、電流プローブＰｃ１と検出プローブＰｖ１との代わりに一つのプローブＰｒ１を備え、電流プローブＰｃ２と検出プローブＰｖ２との代わりに一つのプローブＰｒ２を備え、一つのプローブで電流供給と電圧測定とを兼ねる二端子測定法を行う基板検査装置１ａの場合であっても、基準抵抗器３による校正を行うことができる。

また、基準抵抗器３は、必ずしも基板検査装置１や抵抗測定装置に組み込まれている必要はない。例えば図５に示すように、四端子測定法で抵抗測定を行う基板検査装置１ｂ又は抵抗測定装置であって、基準抵抗器３、切替制御部５２、及び校正部５４を備えない基板検査装置１ｂ又は抵抗測定装置を、本発明に係る抵抗測定装置の校正方法によって校正することも可能である。

この場合、図５に示すように、基準抵抗器３を準備し（工程（ａ））、電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２を基準抵抗器３の端子Ｔｓ１，Ｔｓ２に接触させて電流供給部ＣＳから測定用電流Ｉを供給させ（工程（ｂ））、検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２を基準抵抗器３の選択抵抗端子に接触させて電圧測定部４によって測定電圧Ｖｘを測定させ（工程（ｃ））、抵抗算出部５３によって測定抵抗値Ｒｘを算出させ（工程（ｄ））、これを保守作業者等に通知させればよい。保守作業者等は、ルックアップテーブルＬＵＴを参照する等して選択抵抗端子に対応する基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得し（工程（ｅ））、測定抵抗値Ｒｘとを対比することによって、基板検査装置１ｂ又は抵抗測定装置を校正することが可能となる。

図６は、本発明の一実施形態に係る抵抗測定装置の校正方法の一例を示すフローチャートである。まず、基準抵抗器３を準備する（工程（ａ））。工程（ａ）には、図１、図４に示すように、基板検査装置１，１ａ等の抵抗測定装置内に基準抵抗器３を組み込むことや、図５に示すように、基準抵抗器３を、基板検査装置１ｂ等の抵抗測定装置の外部に測定対象として配置することが含まれる。

次に、基準抵抗器３の抵抗Ｒｓｔｄに対して電流供給部ＣＳによって測定用電流Ｉを供給させる（工程（ｂ））。工程（ｂ）には、図１、図４に示すように、基板検査装置１，１ａ等の抵抗測定装置内の内部配線によって抵抗Ｒｓｔｄに測定用電流Ｉを供給する態様や、図５に示すように、基板検査装置１ｂ等の抵抗測定装置が備える電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２を介して電流を供給する態様が含まれる。

内部配線によって抵抗Ｒｓｔｄに測定用電流Ｉを供給する態様では、基準抵抗器３は、必ずしも端子Ｔｓ１，Ｔｓ２を備える必要はなく、抵抗Ｒｓｔｄの両端に直接配線されていてもよい。

次に、選択抵抗部の両端間の電圧を、電圧測定部４によって測定電圧Ｖｘとして測定させる（工程（ｃ））。工程（ｃ）には、図１、図４に示すように、基板検査装置１，１ａ等の抵抗測定装置内の内部配線を介して電圧測定部４を選択抵抗部の両端に接続して測定電圧Ｖｘを測定させる態様や、図５に示すように、基板検査装置１ｂ等の抵抗測定装置が備える検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２を選択抵抗端子に接触させて測定電圧Ｖｘを測定する態様が含まれる。

次に、抵抗算出部５３によって、測定電圧Ｖｘを測定用電流Ｉの電流値Ｉｓで除算させることによって測定抵抗値Ｒｘを算出させる（工程（ｄ））。

次に、上記式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する（工程（ｅ））。工程（ｅ）には、図１、図４に示すような基板検査装置１，１ａ等の校正部５４が基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得する態様や、図５に示すように、基準抵抗器３や校正部５４を備えない基板検査装置１ｂ等の抵抗測定装置に測定対象として基準抵抗器３を接続して電流プローブＰｃ１，Ｐｃ２及び検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２を接触させ、保守作業者等が予め作成されたルックアップテーブルＬＵＴを参照するなどして式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆ、すなわち検出プローブＰｖ１，Ｐｖ２を接触させた選択抵抗端子に対応する基準抵抗値Ｒｒｅｆを、測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する態様が含まれる。

以上、工程（ａ）〜（ｅ）によれば、基準抵抗器３を用いて校正の目標値（基準値）となる基準抵抗値Ｒｒｅｆを取得することができる。

なお、設定抵抗として、抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢの１０個の抵抗を用いる例を示したが、設定抵抗は二つ以上であればよい。設定抵抗が少なくとも二つあれば、二つの合計抵抗値をＲｚ、二つのうちから選択された選択抵抗部の抵抗値をＲｔとすることにより、上述の式（２）において抵抗分圧の効果が得られ、従って式（Ａ）を適用することができる。その結果、抵抗Ｒｓｔｄよりも小さい基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができるから、低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易な基準抵抗器を構成することが可能となる。

また、電圧測定用端子の一例として９つの端子Ｔ１〜Ｔ９を示したが、電圧測定用端子は、複数の設定抵抗相互間の接続点のうち少なくとも三か所にそれぞれ接続されていればよい。当該三か所にそれぞれ接続された三つの電圧測定用端子があれば、少なくとも二種類の選択抵抗部を選択することが可能となる。

また、基板検査装置１，１ｂは、選択部７を備えず、選択抵抗端子（選択抵抗部）が固定的に切替回路６に接続されていてもよい。

また、抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢ，Ｒｓｔｄの抵抗温度係数は、必ずしも銅より小さい例に限らない。抵抗Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢ，Ｒｓｔｄの抵抗温度係数が銅以上であった場合であっても、抵抗Ｒｓｔｄよりも小さい基準抵抗値Ｒｒｅｆを得ることができ、従って低抵抗の基準抵抗値を得ることが容易な基準抵抗器を構成することが可能である。

また、基板検査装置１，１ａ，１ｂは、基板検査部５５を備えない抵抗測定装置として構成されていてもよい。

１，１ａ，１ｂ 基板検査装置（抵抗測定装置）
３ 基準抵抗器
４ 電圧測定部
５ 制御部
６ 切替回路（電流供給切替部、測定対象切替部）
７ 選択部
３１ 基準抵抗本体部
３２ 直列抵抗部
５２ 切替制御部
５３ 抵抗算出部
５４ 校正部
５５ 基板検査部
５６ 記憶部
６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂ スイッチ（電流供給切替部）
６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂ スイッチ（測定対象切替部）
Ａ 基板
Ａ１ チップ側電極
Ａ２ 外向電極
Ａ３ 配線（測定対象）
ＣＳ 電流供給部
Ｉ 測定用電流
Ｉｓ 電流値（測定用電流Ｉの電流値）
ＬＵＴ ルックアップテーブル
Ｐｃ１，Ｐｃ２ 電流プローブ
Ｐｒ１，Ｐｒ２ プローブ
Ｐｖ１，Ｐｖ２ 検出プローブ
Ｒ１〜Ｒ８，ＲＡ，ＲＢ 抵抗（設定抵抗）
ＲＲ 判定基準値
Ｒｒｅｆ 基準抵抗値
Ｒｓｔｄ 抵抗（基礎抵抗）
Ｒｓ 抵抗値（Ｒｓｔｄの抵抗値）
Ｒｔ 抵抗値（選択抵抗部の抵抗値）
Ｒｘ 測定抵抗値
Ｒｚ 抵抗値（直列抵抗部全体の抵抗値）
Ｔ１〜Ｔ９ 端子（電圧測定用端子）
Ｔｓ１，Ｔｓ２ 端子（電流入力端子）
Ｖｓ 電圧（Ｒｓｔｄの両端電圧）
Ｖｘ 測定電圧

Claims (7)

1. 測定対象に供給するための測定用電流を供給する電流供給部と前記測定対象に生じた電圧を測定するための電圧測定部と前記電圧測定部により測定された測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算することによって抵抗値を算出する抵抗算出部とを備える抵抗測定装置の校正方法であって、
   （ａ）それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と、予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗器を準備する工程と、
   （ｂ）前記基準抵抗器の、前記基礎抵抗に対して前記電流供給部によって前記測定用電流を供給させる工程と、
   （ｃ）前記複数の設定抵抗のうちの一又は連続する一部の設定抵抗である選択抵抗部の両端間の電圧を、前記電圧測定部によって前記測定電圧として測定させる工程と、
   （ｄ）前記抵抗算出部によって、前記測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算させることによって測定抵抗値Ｒｘを算出させる工程と、
   （ｅ）下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、前記測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する工程とを含む抵抗測定装置の校正方法。
   基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（Ａ）
   但し、Ｒｔは前記選択抵抗部の抵抗値、Ｒｚは前記直列抵抗部全体の抵抗値である。
2. 測定対象の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、
   前記測定対象に供給するための測定用電流を供給する電流供給部と、
   前記測定対象に生じた電圧を測定電圧として測定するための電圧測定部と、
   それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と、予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗器と、
   前記基準抵抗器の前記基礎抵抗に対して、前記電流供給部によって前記測定用電流を供給させる電流供給切替部と、
   前記複数の設定抵抗のうちの一又は連続する一部の設定抵抗である選択抵抗部の両端間の電圧を、前記電圧測定部によって前記測定電圧として測定させる測定対象切替部と、
   前記電圧測定部により測定された測定電圧を前記測定用電流の電流値で除算することによって測定抵抗値Ｒｘを算出する抵抗算出部と、
   下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆを、前記測定抵抗値Ｒｘの目標である校正の目標値として取得する校正部とを備える抵抗測定装置。
   基準抵抗値Ｒｒｅｆ＝Ｒｓ×Ｒｔ／Ｒｚ ・・・（Ａ）
   但し、Ｒｔは前記選択抵抗部の抵抗値、Ｒｚは前記直列抵抗部全体の抵抗値である。
3. 前記複数の設定抵抗のうち、一又は連続する一部の設定抵抗を、前記選択抵抗部として選択する選択部をさらに備える請求項２記載の抵抗測定装置。
4. 前記校正部は、前記測定抵抗値Ｒｘを、下記の式（Ａ）で示される基準抵抗値Ｒｒｅｆに近づけるように、前記抵抗測定装置を校正する請求項２又は３に記載の抵抗測定装置。
5. 請求項２〜４のいずれか１項に記載の抵抗測定装置と、
   前記電流供給切替部によって、前記電流供給部による前記測定用電流の供給先を前記測定対象に切り替えさせ、前記測定対象切替部によって、前記電圧測定部による前記測定電圧の測定先を前記測定対象に切り替えさせる切替制御部と、
   前記抵抗算出部によって算出された測定抵抗値Ｒｘに基づいて、前記測定対象である基板の検査を行う基板検査部とを備える基板検査装置。
6. それぞれが予め設定された抵抗値を有する複数の設定抵抗が直列接続された直列抵抗部と予め設定された基礎抵抗値Ｒｓを有する基礎抵抗とが並列接続された基準抵抗本体部と、
   前記基礎抵抗の両端に接続され、測定用電流の入力を受け付けるための一対の電流入力端子と、
   前記複数の設定抵抗相互間の接続点のうち少なくとも三か所にそれぞれ接続され、基準抵抗値Ｒｒｅｆに対応する電圧を測定するための電圧測定用端子とを備える基準抵抗器。
7. 前記基礎抵抗及び前記複数の設定抵抗は、銅よりも小さい抵抗温度係数を有する請求項６記載の基準抵抗器。

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